具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种太赫兹波导及其制备方法，以使介质膜厚度达到最优要求。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

如图1-2所示，太赫兹波导制备方法包括：

步骤101：采用毛细管拉丝的方法将预制管拉制成毛细管。其中，所述预制管材料为碘化银、硫化锌、硒化锌、二氧化硅、聚甲基丙烯酸甲酯、聚亚酰胺、环烯烃聚合物、环烯烃类共聚物、聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚碳酸酯或碳氟聚合物。

步骤102：在所述毛细管外镀制金属膜。其中，所述金属膜采用液相镀膜法、金属真空蒸镀法或金属溅射法镀制。所述金属膜材料为金、银、铜或铝。

步骤103：在所述金属膜外镀制保护层。其中，所述保护层材料为塑料。

步骤104：采用腐蚀法对所述毛细管进行腐蚀。具体为：

使用蠕动泵将环己烷-乙醇混合液或相应的腐蚀液循环通入所述毛细管中，利用所述环己烷-乙醇混合液或相应的腐蚀液腐蚀所述毛细管。在一个具体的实施例中，腐蚀后的毛细管厚度为8μm-80μm。

如图3所示，毛细管膜厚为0时，色散始终为正值。而100、200、300微米厚度时都在某些频段具有负色散的特性，并且都具有零色散点，选择一定毛细管膜厚，便可在0.1-0.4THz获得一定的数值负色散特性。对金属波导的正色散特性实现补偿，减小信息传输系统的色散影响。

本发明通过腐蚀法实现的低膜厚波导还可以实现在0.5-5THz处的低损耗。当毛细管膜厚为20微米情况下，内径4mm波导在波长为100-300微米，3THz-1THz波长处的损耗特性如图4所示，可以看出波导在150微米，2THz处的损耗最低。

本发明的制备方法与传统的在金属圆形空芯波导内表面再镀制介质膜的方法不同，采用先制作介质膜，在介质膜层外面再镀制金属膜的顺序。通过腐蚀毛细管(也就是介质膜)，可使其达到最优膜厚要求，具体为，通过控制腐蚀时间便可制备出任意膜厚度。突破了传统镀制方法无法镀制较厚薄膜的局限。

本实施例还提供了一种太赫兹波导，所述太赫兹波导从内到外依次设置有毛细管、金属膜以及保护层。

本实施例中的太赫兹波导工作波长可以为太赫兹的高频段如0.5-5THz或太赫兹的低频段如0.1-0.4THz。选择正确的金属膜和介质膜(也就是毛细管)厚度，以及适合的金属膜和介质膜材料，波导可在0.1-0.4THz频段实现负色散特性。再通过腐蚀法，减小上述负色散波导的介质膜的厚度，可在0.5-5THz频段实现低损耗特性。

本实施例中，毛细管内径可以实现从几十微米到数毫米任意选择，以适应不同的光源和检测器的选型，并且柔韧性好，最小弯曲半径可以达到1厘米以内，长度可达数十米，可以用于激光和非相干宽谱光源的低损耗传输。介质金属波导在太赫兹波段具有负色散的特性，而金属波导具有正色散，所以可以通过两种波导的配置，达到色散补偿的目的。同时介质金属波导在某些特殊波长点具有零色散特性，可以在通信等领域广泛被应用。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。