具体实施方式

下面将结合附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电气连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

此外，下面所描述的本申请不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

参考图3，其示出了本申请一个示例性实施例提供的支撑环的量测方法的流程图，该方法包括：

步骤301，通过晶圆的图像量测环形区域的宽度，该晶圆是经过太鼓减薄工艺减薄后的晶圆，环形区域是中心区域的边缘至边线的环形区域，中心区域是晶圆被减薄的区域，边线是晶圆的边缘弧线与晶圆所在平面的交点形成的线。

通过太鼓减薄工艺处理后，晶圆100的中心区域101被减薄，未被减薄的区域构成晶圆100的支撑环102。

示例性的，如图1和图2所示，晶圆100的边缘为弧线，该弧线与晶圆100下表面所在的平面具有交点，该交点组成了圆形的边线，即图2中晶圆的边缘和中心区域101的边缘之间的虚线。

其中，晶圆的图像可以是通过量测设备拍摄晶圆的截面得到的图像。例如，该图像可以是沿图2中的切割线P0P5切割得到的截面拍摄的图像，该图像可参考图1。

如图1所示，环形区域104在截面的一侧的具有第一环形宽度D1(P1P2)，其在截面的另一侧的具有第二环形宽度为D2(P3P4)，可通过该图像量测得到D1和D2。

步骤302，根据宽度、晶圆的直径和中心区域的直径计算边缘区域的宽度，边缘区域是从环形区域的边缘至晶圆的边缘的环形区域。

示例性的，晶圆100的直径R(P0P5)和中心区域101的直径r(P2P3)已知，则可根据D1、D2、R和r计算得到边缘区域103的宽度d(P0P1和P4P5)为：

d＝(R-r-D1-D2)/2

步骤303，根据环形区域的宽度和边缘区域的宽度计算支撑环的宽度。

其中，如图1和图2所示，支撑环102的宽度包括第一支撑环宽度Ring1(P0P2)和第二支撑环宽度(P3P5)，第一支撑环宽度Ring1是支撑环102在晶圆100截面的一侧的宽度，第二支撑环宽度Ring2是支撑环102在该截面的另一侧的宽度。

示例性的，步骤303包括但不限于：根据第一环形宽度D1和边缘区域的宽度d计算第一支撑环宽度Ring1；根据第二环形宽度D2和边缘区域的宽度d计算第二支撑环宽度Ring2。

其中，可通过以下公式计算第一支撑环宽度Ring1：

Ring1＝D1+d

可通过以下公式计算第二支撑环宽度Ring2：

Ring2＝D2+d

综上所述，本申请实施例中，通过从晶圆的图像量测晶圆的边缘区域和中心区域之间的环形区域的宽度，根据该宽度、晶圆的直径和中心区域的直径计算得到边缘区域的宽度，进而根据环形区域的宽度和边缘区域的宽度计算得到支撑环的宽度，由于边缘区域的宽度是通过量测计算得到，解决了相关技术中通过定值的边缘区域的宽度计算支撑环的宽度所导致的准确度较差的问题，提高了支撑环的宽度的计算的准确度。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本申请创造的保护范围之中。