具体实施方式

以下，在各附图中，对相同或相等的构成要件、部件及工序标注相同的符号，并适当省略重复说明。并且，为了便于理解，在各附图中，适当放大或缩小表示部件的尺寸。并且，在各附图中，省略对实施方式的说明并不重要的部件的一部分。

图1是载物台装置的立体图。载物台装置100主要具备：平台102、除振台104、除振装置106、工作台110、沿X轴方向延伸的1个X轴气动致动器120及沿Y轴方向延伸的两个Y轴气动致动器130A、130B。平台102被除振台104支承。俯视观察时，X轴气动致动器120及Y轴气动致动器130A、130B呈H型。除振装置106吸收由X轴气动致动器120及Y轴气动致动器130A、130B的运动引起的力量，从而抑制平台102振动。

X轴气动致动器120具有引导件(方形轴)122、滑块124及伺服阀(图1中未图示)。Y轴气动致动器130A、130B分别具有引导件132、滑块134及伺服阀136。引导件122的两端分别支承于Y轴气动致动器130A的滑块及Y轴气动致动器130B的滑块134。滑块124沿着引导件122在X轴方向上移动。X轴气动致动器120伴随滑块134的移动而沿着Y轴气动致动器130A、130B在Y轴方向上移动。由此，载物台装置100使工作台110与滑块124一同在XY平面内移动。工作台110、X轴气动致动器120及Y轴气动致动器130A、130B被外壳108包围并且置于真空环境下。

位置传感器140检测工作台110在X轴方向上的位置。并且，位置传感器142检测工作台110在Y轴方向上的位置。

图2是气动致动器的概略剖视图。具体而言，图2概略地表示了引导件122的Y轴方向上的中央处的纵截面。

引导件122上设置有静压轴承，滑块124通过设置于其内周侧各面上的空气轴承而相对于引导件122悬浮。由此，滑块124被支承为相对于引导件122能够以完全不接触的方式沿X轴方向移动。另外，虽然省略了图示，工作台110(参考图1)固定于滑块124的Z轴方向上的正侧的面上，从而与滑块124一同沿X轴方向移动。

滑块124上设置有内部空间(即，伺服腔室150)，伺服腔室150被固定于引导件122上的受压板123划分为正侧腔室152和负侧腔室154。

X轴气动致动器120具备分别配置于X轴方向上的正侧和负侧的正侧伺服阀126P(该例子中相当于第1压力控制阀)及负侧伺服阀126N(该例子中相当于第2压力控制阀)。滑块124被正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N驱动。正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N通过后述阀柱的位置而控制正侧腔室152及负侧腔室154的供排气量。正侧伺服阀126P经由正侧配管128P与正侧腔室152连通。负侧伺服阀126N经由负侧配管128N与负侧腔室154连通。

X轴气动致动器120通过控制正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N从而在正侧腔室152及负侧腔室154产生压差。通过该压差，控制滑块124相对于引导件122的速度及加速度。

正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N分别经由正侧空气供给管144P(该例子中相当于第1流体供给管)及负侧空气供给管144N(该例子中相当于第2流体供给管)与空气供给源(即，泵146)连接。并且，正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N分别构成为分别经由正侧空气排出管148P(该例子中相当于第1流体排出管)及负侧空气排出管148N(该例子中相当于第2流体排出管)能够向外壳108(参考图1)外排出空气。来自泵146的空气通过正侧空气供给管144P、正侧伺服阀126P及正侧配管128P而供给至正侧腔室152。因此，正侧空气供给管144P、正侧伺服阀126P及正侧配管128P构成正侧的空气供给流路。并且，来自泵146的空气通过负侧空气供给管144N、负侧伺服阀126N及负侧配管128N而供给至负侧腔室154。因此，负侧空气供给管144N、负侧伺服阀126N及负侧配管128N构成负侧的空气供给流路。正侧腔室152内的空气通过正侧配管128P、正侧伺服阀126P及正侧空气排出管148P而排出到外部。因此，正侧配管128P、正侧伺服阀126P及正侧空气排出管148P构成正侧的空气排出流路。负侧腔室154内的空气通过负侧配管128N、负侧伺服阀126N及负侧空气排出管148N而排出到外部。因此，负侧配管128N、负侧伺服阀126N及负侧空气排出管148N构成负侧的空气排出流路。

载物台装置100具备控制正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N的控制器200。

图3是伺服阀的剖视图。另外，正侧伺服阀126P的结构与负侧伺服阀126N的结构相同，因此，以下统称为“伺服阀126”来进行详细说明。并且，对与伺服阀126的结构相关的部件，也省略“正侧”及“负侧”的术语以及符号“N”及“P”。

如图3所示，伺服阀126具备主体160、配置于主体160内的阀柱162、马达164及位置传感器166。伺服阀126为具备三个端口168A、168B、168C的三通阀。伺服阀126通过阀柱162的位置将三个端口中的一个端口168C的连接对象在端口168A或端口168B之间进行切换。阀柱162配置于主体160内部的沿Z轴方向延伸的流路内，并且能够沿Z轴方向移动。阀柱162的位置通过马达164的驱动量而变化。位置传感器166检测阀柱162的位置。在主体160的一个侧面上设置有沿Z轴方向排列的两个端口168A、168B，位于Z轴方向上的正侧的端口168A与空气排出管148连接，位于Z轴方向上的负侧的端口168B与空气供给管144连接。也可以将端口168A连接于空气供给管144，且将端口168B连接于空气排出管148。位于主体160的另一个侧面侧的端口168C与配管128连接。位置传感器166的检测结果供给至控制器200的放大器单元AU。控制器200根据由放大器单元AU获取的检测结果来获取阀柱162的位置，并根据所获取的位置来控制马达164。控制器200驱动马达164来控制阀柱162的位置，从而使从泵146(参考图2)供给过来的空气通过伺服阀126后供给至伺服腔室150，或使伺服腔室150内的空气通过伺服阀126而被排出。在图3中，伺服阀126配置成阀柱162沿Z轴方向移动，但是，伺服阀126的朝向并不只限于该方向。

接着，对载物台装置100正常运转时的动作进行说明。图4分别表示正常运转时的滑块124的速度v、滑块124的加速度α及伺服腔室150内的压力P值的经时变化。

参考图2至图4，在使滑块124朝向正侧移动时，控制器200使正侧伺服阀126P的阀柱162移动从而关闭与正侧空气排出管148P连接的端口168A并打开与正侧空气供给管144P连接的端口168B。与此同时，控制器200使负侧伺服阀126N的阀柱162移动从而打开与负侧空气排出管148N连接的端口168A并关闭与负侧空气供给管144N连接的端口168B。由此，空气供给至正侧腔室152内使得压力P1上升，且空气从负侧腔室154排出使得压力P2下降(时刻t0)。若压力P1与压力P2之间产生压差，则加速度α增加，滑块124被加速(时刻t0～t1)。控制器200控制正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N，以使压力P1与压力P2之间的压差在滑块124的速度v达到了预定速度v1时成为零(时刻t1～t2)。若压差成为了零，则滑块124以恒定速度移动。

接着，控制器200使滑块124减速，以使速度v在滑块124到达了目标位置时成为零。在该情况下，控制器200使正侧伺服阀126P的阀柱162移动从打开与正侧空气排出管148P连接的端口168A并关闭与正侧空气供给管144P连接的端口168B。与此同时，控制器200使负侧伺服阀126N的阀柱162移动从而关闭与负侧空气排出管148N连接的端口168A并打开与负侧空气供给管144N连接的端口168B。由此，空气从正侧腔室152排出使得压力P1下降，且空气供给至负侧腔室154使得压力P2上升。若压力P1与压力P2之间产生压差，则加速度α减小，滑块124被减速(时刻t2)。控制器200使压差在滑块124到达了目标位置时成为零，由此使滑块124停止(时刻t3)。

接着，对载物台装置100的特征部分进行说明。

返回到图2，载物台装置100至少在图中所示的位置A1、位置A2、位置B1、位置B2、位置C1及位置C2中的任意一个部位具备阻断空气流动的截止阀或排气阀。在此，阻断空气流动是指：阻断载物台装置100正常运转时的空气流动，从而减小正侧腔室152与负侧腔室154之间的压差。更具体而言，阻断空气是指：阻断朝向产生用于驱动滑块124的压力的伺服腔室150的空气供给或阻断从伺服腔室150的空气排出。作为用于阻断空气的具体方法，包括关闭供给路径的方法、阻断排气路径来减少伺服腔室150内的压力变化的方法、打开供给路径来防止空气到达伺服腔室150的方法。

图5是简化了载物台装置的结构图。更具体而言，图5是在图2所示的位置A1及位置A2均设置了截止阀的图。载物台装置100在正侧伺服阀126P与伺服腔室150之间延伸的正侧配管128P内的任意位置上具备截止阀170P(该例子中相当于第1截止阀)。并且，载物台装置100在负侧伺服阀126N与伺服腔室150之间延伸的负侧配管128N内的任意位置上具备截止阀170N(该例子中相当于第2截止阀)。截止阀170P与正侧伺服阀126P串联连接，截止阀170N与负侧伺服阀126N串联连接。由于截止阀170P、170N设置于空气双向流动的配管128内，因此也可以称为双向截止阀。截止阀170P、170N受控制器200的控制。控制器200具备异常检测部200A及阀控制部200B。异常检测部200A检测与滑块124的移动有关的异常。阀控制部200B在正常运转时使截止阀170P、170N维持打开状态，而在出现了异常时则同时关闭截止阀170P、170N。

“异常”是指：与滑块124的移动相关的移动机构的某些异常。滑块124的移动机构包括正侧伺服阀126P、负侧伺服阀126N、滑块124本身、检测滑块124的各参数的传感器类以及进行检测值的通讯的通讯机器。滑块124与工作台110一同移动，因此与滑块124的驱动有关的部件也是工作台110的移动机构。

作为异常的例子有：正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N的故障、滑块124本身的机械故障、滑块124的控制系统的故障。在使用者进行了按下紧急停止按钮等操作时，控制器200也判断为出现了异常。

例如，伺服阀126的阀柱162(参考图3)会因马达164的故障或因夹杂有某些异物而无法移动。在该情况下，供给至马达164的驱动电流与由位置传感器166检测出的阀柱162的位置变化会变得不一致。

例如，若滑块124出现了机械故障，则滑块124的移动速度、加速度或位置的反馈值会偏离控制指令值。在设置于滑块124上的速度传感器或位置传感器140、142出现了故障时或将传感器的检测值发送给控制器200的通讯机构出现了故障时，反馈值也会偏离控制值或无法获取反馈值。在用于读取滑块124的位置的编码器出现了故障时，也无法获取滑块124的位置。

例如，若滑块124或与滑块124的驱动有关的部件出现了机械故障，则滑块124会以比设计上的预期速度更快的速度移动。并且，尽管滑块124实际上低速移动，但因速度传感器的故障，速度传感器的检测值会变得比设计上的预期速度快。

在使工作台110及滑块124移动时出现了异常时，控制器200执行如下控制。

接着，对图5所示的载物台装置100中的使滑块124朝向正侧移动时出现了滑块124的速度超过阈值的异常的情况进行说明。图6分别表示滑块124的速度v、滑块124的加速度α及伺服腔室150内的压力P值的经时变化。

参考图5及图6，使滑块124朝向正侧移动的期间(时刻t10～t11)，空气经由正侧伺服阀126P供给至正侧腔室152，且空气从负侧腔室154经由负侧伺服阀126N排出。由此，正侧腔室152的压力P1(图6中用实线表示)与负侧腔室154的压力P2(图6中用虚线表示)之间的压差保持恒定。若在时刻t11出现了滑块124的速度v超过阈值vt的异常，则控制器200检测出异常并同时关闭截止阀170P、170N。若截止阀170P、170N被关闭，则朝向正侧腔室152的供气及从负侧腔室154的排气就停止。由此，正侧腔室152内及正侧配管128P内的空气的量保持恒定。并且，由此，负侧腔室154内及负侧配管128N内的空气的量也保持恒定。

即使截止阀170P、170N被关闭，压力P1与压力P2也不平衡，因此滑块124继续朝向正侧移动。因此，正侧腔室152的容积继续增加，而正侧腔室152的压力P1下降。与此同时，负侧腔室154的容积继续减少，而负侧腔室154的压力P2增加。因此，压力P1与压力P2之间的压差变小，滑块124的加速度α减小。

在时刻t12，若负侧腔室154内的压力P2变得大于正侧腔室152内的压力P1，则朝向负侧牵引滑块124的力量会作用于滑块124。此时，作用于滑块124上的力量成为朝向正侧移动的滑块124的制动力。由此，在时刻t12，滑块124的速度v开始下降。

时刻t12之后，压力P2与压力P1之间的压差继续变大，加速度α会接近零。因此，作用于滑块124的制动力逐渐衰减，在时刻t13压差变成零时，加速度α也变成零。另外，在图示的例子中，滑块124的加速度α减小了之后仅增加了一次，但是，加速度α也可以反复多次增减的同时衰减。

如此，通过关闭截止阀170P、170N，可以利用正侧腔室152及正侧配管128P内的空气以及负侧腔室154及负侧配管128N内的空气来使制动力作用用于滑块124上。

如上所述，控制器200利用正侧腔室152与负侧腔室154之间的压差来驱动滑块124。若采用这种驱动方式，则即使在出现异常时关掉载物台装置100的电源，滑块124也不会立即停止而基于惯性力继续移动。同样，即使停止向载物台装置100供给空气，滑块124也不会立即停止。控制器200关闭截止阀170P、170N来切断对正侧腔室152内及负侧腔室154内的空气的出入，从而利用压力P1与压力P2之间的压差的变化来使制动力作用于滑块124上。由此，能够使滑块124及工作台110减速，从而能够抑制其与其他部件高速碰撞。

接着，对图7所示的载物台装置100中的使滑块124朝向正侧移动时出现了滑块124的速度超过阈值的异常的情况进行说明。图7是简化了载物台装置的结构图。图8分别表示滑块124的速度v、滑块124的加速度α及伺服腔室150内的压力P值的经时变化。

在该例子中，载物台装置100在图2所示的位置B1及位置B2分别具备截止阀180P(该例子中相当于第1截止阀)及截止阀180N(该例子中相当于第2截止阀)。具体而言，截止阀180P配置于正侧空气排出管148P内的任意位置上。截止阀180N配置于与负侧伺服阀126N连接的负侧空气排出管148N内的任意位置上。截止阀180P与正侧伺服阀126P串联连接，截止阀180N与负侧伺服阀126N串联连接。由于截止阀180P、180N设置于排出空气的正侧空气排出管148P及负侧空气排出管148N内，因此也可以称为排出管截止阀。截止阀180P、180N受控制器200的控制。控制器200在正常运转时使截止阀180P、180N维持打开状态，而在出现了异常时则同时关闭截止阀180P、180N。在该例子中，控制器200作为包括异常检测部及阀控制部的载物台控制装置而发挥作用。

参考图7及图8，使滑块124朝向正侧移动的期间(时刻t20～t21)，空气经由正侧伺服阀126P供给至正侧腔室152，且空气从负侧腔室154经由负侧伺服阀126N排出。由此，正侧腔室152的压力P1(图8中用实线表示)与负侧腔室154的压力P2(图8中用虚线表示)之间的压差保持恒定。若在时刻t21出现了滑块124的速度v超过阈值vt的异常，则控制器200检测出异常并关闭截止阀180P、180N。若截止阀180P、180N被关闭，则从正侧腔室152及负侧腔室154的排气就停止。由此，正侧腔室152内及截止阀180P与正侧腔室152之间的正侧配管128P内的空气的量不会减少。并且，负侧腔室154内及截止阀180N与负侧腔室154之间的负侧配管128N内的空气的量也不会减少。

即使截止阀180P、180N被关闭，滑块124也会基于惯性力而继续朝向正侧移动。因此，正侧腔室152的容积继续增加，而正侧腔室152的压力P1下降。与此同时，负侧腔室154的容积继续减少，而空气不会从负侧腔室154内排出，因此负侧腔室154的压力P2会增加。由此，正侧腔室152内的压力P1与负侧腔室154内的压力P2之间的压差变小，滑块124的加速度α减小。

在时刻t22，若负侧腔室154内的压力P2变得大于正侧腔室152内的压力P1，则朝向负侧牵引滑块124的力量会作用于滑块124，因此，制动力会作用于滑块124。因此，在时刻t22，滑块124的速度v开始下降。

时刻t22之后，压力P2与压力P1之间的压差继续变大，加速度α会接近零。因此，作用于滑块124的制动力逐渐衰减，在时刻t23压差变成零时，加速度α也变成零。

如此，通过关闭截止阀180P、180N，可以利用正侧腔室152及正侧配管128P内的空气以及负侧腔室154及负侧配管128N内的空气来使制动力作用于滑块124上。由此，能够抑制工作台110与其他部件高速碰撞。该例子在正侧伺服阀126P或负侧伺服阀126N中的至少一个伺服阀处于能够排气的状态时尤为有效。

接着，对图9所示的载物台装置100中的使滑块124朝向正侧移动时出现了滑块124的速度v超过阈值vt的异常的情况进行说明。图9是简化了载物台装置的结构图。图10表示滑块124的速度v、滑块124的加速度α及伺服腔室150内的压力P值的经时变化。

在该例子中，载物台装置100在图2所示的位置C1及位置C2分别具备截止阀190P(该例子中相当于第1截止阀)及截止阀190N(该例子中相当于第2截止阀)。截止阀190P配置于与正侧伺服阀126P连接的正侧空气供给管144P内的任意位置上。截止阀190N配置于与负侧伺服阀126N连接的负侧空气供给管144N内的任意位置上。截止阀190P与正侧伺服阀126P串联连接，截止阀190N与负侧伺服阀126N串联连接。由于截止阀190P、190N设置于供给空气的正侧空气供给管144P及负侧空气供给管144N内，因此也可以称为供给管截止阀。截止阀190P、190N受控制器200的控制。控制器200在正常运转时使截止阀190P、190N维持打开状态，而在出现异常时则同时关闭截止阀190P、190N。在该例子中，控制器200作为包括异常检测部及阀控制部的载物台控制装置而发挥作用。

参考图9及图10，使滑块124朝向正侧移动的期间(时刻t30～t31)，空气经由正侧伺服阀126P供给至正侧腔室152，且空气从负侧腔室154经由负侧伺服阀126N排出。由此，正侧腔室152的压力P1(图10中用实线表示)与负侧腔室154的压力P2(图10中用虚线表示)之间的压差保持恒定。若出现了滑块124的速度v超过阈值vt的异常，则控制器200检测出异常并关闭截止阀190P、190N。若在时刻t31控制器200关闭了截止阀190P、190N，则朝向伺服腔室150内、正侧伺服阀126P内及负侧伺服阀126N内的空气的供给会被阻断。由此，正侧腔室152内及截止阀190P与正侧腔室152之间的正侧配管128P内的空气的量不会增加。并且，与此同时，负侧腔室154内及截止阀190N与负侧腔室154之间的负侧配管128N内的空气的量也不会增加。

即使截止阀190P、190N被关闭，滑块124也会基于惯性力而继续朝向正侧移动。由此，正侧腔室152的容积继续增加，而负侧腔室154的容积继续减少。由于正侧腔室152内的容积增加并且从正侧空气供给管144P不供给空气，因而正侧腔室152内压力会下降。由此，正侧腔室152内的压力P1与负侧腔室154内的压力P2之间的压差逐渐变小。在未设置有截止阀190P、190N时，正侧腔室152内的压力大致平稳而不会发生变化(参考线PN)，因此滑块124的压力也大致平稳而不会发生变化(参考线αN)。相对于此，在设置有截止阀190P、190N时，正侧腔室152内的压力与未设置截止阀190P、190N时相比下降。因此，加速度α也同样比未设置截止阀190P、190N时下降。因此，若在时刻t31正侧腔室152及负侧腔室154的压力同时开始下降，则正侧腔室152与负侧腔室154的压差逐渐变小，并在时刻t32压差变成零。由此，滑块124的加速度α变成零，滑块124的速度v变为恒定速度。因此，能够抑制滑块124的加速，从而能够抑制工作台110与其他部件高速碰撞。

如上所述，通过在空气的流路上设置截止阀170P、170N、180P、180N、190P、190N并在出现了异常时阻断空气的流动，能够使工作台110减速或至少能够抑制加速。由此，能够提高载物台装置100的安全性。尤其，在像载物台装置100那样通过空气的供给及排出来驱动滑块124的装置中，即使停止对装置的供电或供气，装置也不会停止。因此，在载物台装置100上设置截止阀170P、170N、180P、180N、190P、190N从而使制动力作用于滑块124是尤为有益的。

并且，载物台装置100通过正侧的截止阀170P、180P、190P及负侧的截止阀170N、180N、190N同时阻断流路。由此，能够使正侧腔室152及负侧腔室154的压力P1、P2转移为平衡状态。例如，在图6所示的例子中，假设错开截止阀170P、170N的关闭时刻从而在关闭了负侧的截止阀170N之后经过了一段时间再关闭正侧的截止阀170P。此时，正侧腔室152与负侧腔室154之间的压差变小的时期延迟或压差的减少量变少。因此，制动力作用于滑块124的时刻会延迟或制动力会变小。相对于此，若同时关闭截止阀170P、170N，则制动力的作用时刻会提前而且制动力会变大。另外，在此，所谓的“同时”是指：并不是指时间上丝毫不差的同时，有一些时间差也视为是“同时”。

而且，除了上述截止阀170P、170N、180P、180N、190P、190N之外还可以在供给路径上的位置A1、A2或位置C1、C2上设置排气阀及排气路径从而阻断供给至正侧腔室152及负侧腔室154的空气的流动，或者也可以代替上述截止阀170P、170N、180P、180N、190P、190N而在供给路径上的位置A1、A2或位置C1、C2设置排气阀及排气路径从而阻断供给至正侧腔室152及负侧腔室154的空气的流动。

图11是简化了载物台装置的结构图。如图11所示，载物台装置100在正侧配管128P及负侧配管128N上分别具备排气阀200P、200N。排气阀200P与正侧伺服阀126P串联设置，排气阀200N与负侧伺服阀126N串联设置。从排气阀200P、200N排出的空气优选通过排气路径而排出到外壳108(参考图1)的外部。排气阀200P、200N受控制器200的阀控制部200B的控制。若异常检测部200A检测到异常而打开排气阀200P、200N，则正侧腔室152内的空气经由排气阀200P及排气路径而排出到外部。与此同时，负侧腔室154内的空气经由排气阀200N及排气路径而排出到外部。

图12是分别表示图11的载物台装置出现了异常时的滑块的速度、滑块的加速度及伺服腔室内的压力值的经时变化的曲线图。使滑块124朝向正侧移动的期间(时刻t40～t41)，空气经由正侧伺服阀126P供给至正侧腔室152，且空气从负侧腔室154经由负侧伺服阀126N排出。由此，正侧腔室152的压力P1(图12中用实线表示)与负侧腔室154的压力P2(图12中用虚线表示)之间的压差保持恒定。若出现滑块124的速度v超过阈值vt的异常，则控制器200检测出异常并打开排气阀200P、200N。若在时刻t41控制器200打开了排气阀200P、200N，则伺服腔室150内的空气从排气阀200P、200N排出。由此，正侧腔室152与负侧腔室154之间的压差变成零，能够防止滑块124进一步被加速。在该例子中，无论正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N的状态如何，均能够排出正侧腔室152及负侧腔室154内的空气。因此，该例子在正侧伺服阀126P及负侧伺服阀126N因某种原因而出现了故障时尤为有效。

图13是简化了载物台装置的结构图。如图13所示，载物台装置100在正侧空气供给管144P及负侧空气供给管144N上分别具备排气阀210P、210N。排气阀210P、210N优选向外壳108(参考图1)的外部排出空气。排气阀200P、200N受控制器200的阀控制部200B的控制。若异常检测部200A检测出异常并打开排气阀210P、210N，则来自泵146的空气经由正侧空气供给管144P后从排气阀210P排出，朝向正侧腔室152的空气的供给被阻断。与此同时，来自泵146的空气经由负侧空气供给管144N后从排气阀210N排出，朝向负侧腔室154的空气的供给被阻断。由此，正侧腔室152及负侧腔室154内的压力、滑块124的速度及滑块124的加速度显示出如图12所示的变化。由此，能够防止滑块124进一步被加速。

本发明并不只限于上述实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内，能够适当改变各结构。

也可以将上述截止阀170P、170N、180P、180N、190P、190N及排气阀200P、200N、210P、210N设置于一个载物台装置上。