锯线

文档序号:689274 发布日期:2021-04-30 浏览:18次 >En<

阅读说明:本技术 锯线 (Saw wire ) 是由 藤原伸彦 飞田政志 于 2019-06-13 设计创作,主要内容包括:本发明的锯线(2)具有波状的折痕。该折痕具有由第一波成分(4)、第二波成分(6)以及第三波成分(8)复合而成的形状。第一波成分(4)的波长WL1与第二波成分(6)的波长WL2不同。第二波成分(6)的波长WL2与第三波成分(8)的波长WL3不同。第三波成分(8)的波长WL3与第一波成分(4)的波长WL1不同。第一波成分(4)的波高WH1与第二波成分(6)的波高WH2不同。第二波成分(6)的波高WH2与第三波成分(8)的波高WH3不同。第三波成分(8)的波高WH3与第一波成分(4)的波高WH1不同。(The saw wire (2) of the invention has wavy folds. The fold has a shape obtained by combining a first wave component (4), a second wave component (6), and a third wave component (8). The wavelength WL1 of the first wave component (4) differs from the wavelength WL2 of the second wave component (6). The wavelength WL2 of the second wave component (6) is different from the wavelength WL3 of the third wave component (8). The wavelength WL3 of the third wave component (8) is different from the wavelength WL1 of the first wave component (4). The wave height WH1 of the first wave component (4) is different from the wave height WH2 of the second wave component (6). The wave height WH2 of the second wave component (6) is different from the wave height WH3 of the third wave component (8). The wave height WH3 of the third wave component (8) is different from the wave height WH1 of the first wave component (4).)

锯线

技术领域

本发明涉及锯线。详细而言,本发明涉及锯线的折痕赋予的改进。

背景技术

半导体锭的切割使用锯线。通过切割得到晶片。使用固定磨粒式的锯线和游离磨粒式的锯线。固定磨粒式的锯线的切削效率优异。然而,通过固定磨粒式的锯线得到的切削面的尺寸精度差。从晶片性能的观点出发,游离磨粒式的锯线是有利的。

对于在游离磨粒式的锯线,在切割之前将浆料喷射到该锯线。该浆料包含磨粒。由于锯线的行进,磨粒被引入锭与锯线之间。通过该磨粒的移动来切削锭,从而实现切割。可引入大量磨粒的锯线其切削效率优异。可引入大量磨粒的锯线也有助于切削面的尺寸精度。

在日本特开2004-276207公报中公开有被赋予折痕的锯线。该折痕具有波形状。波具有波峰和波谷。磨粒是被补充到波谷中,并在锭的内部行进。该锯线可引入大量磨粒。

在日本特表2008-519698公报中公开有被赋予相同折痕的锯线。该锯线具有两种波。一波的振动方向与另一波的振动方向不同。

专利文献1:日本特开2004-276207公报

专利文献2:日本特表2008-519698公报

通过在切削加工中使用,从而在锯线产生偏磨损。偏磨损使切削面的尺寸精度降低。

发明内容

本发明的目的在于,提供一种不容易产生偏磨损,因此可得到品质优异的切削面的锯线。

本发明所涉及的锯线具有波状的折痕。该折痕具有由第一波成分、第二波成分以及第三波成分复合而成的形状。

优选为,第一波成分的波长WL1与第二波成分的波长WL2不同。优选为,第二波成分的波长WL2与第三波成分的波长WL3不同。优选为,第三波成分的波长WL3与第一波成分的波长WL1不同。

优选为,第一波成分的波高WH1与第二波成分的波高WH2不同。优选为,第二波成分的波高WH2与第三波成分的波高WH3不同。优选为,第三波成分的波高WH3与第一波成分的波高WH1不同。

优选为,第一波成分的振动方向与第二波成分的振动方向不同。优选为,第二波成分的振动方向与第三波成分的振动方向不同。优选为,第三波成分的振动方向与第一波成分的振动方向不同。

优选为,第一波成分的波长WL1和波高WH1、第二波成分的波长WL2和波高WH2、第三波成分的波长WL3和波高WH3、以及线径Di满足下述式子。

1.1*Di≤WL1≤50*Di,

1.2*Di≤WL2≤100*Di,

2000*Di≤WL3≤6000*Di,

1.05*Di≤WH1≤5*Di,

1.1*Di≤WH2≤10*Di,

2*Di≤WH3≤1000*Di。

本发明所涉及的锯线的折痕具有三个以上的波成分。在该锯线中,磨粒被均匀地引入。在该锯线中,难以产生偏磨损。通过该锯线,可得到尺寸精度良好的切削面。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式所涉及的锯线的一部分的主视图。

图2是示意性地表示图1的锯线的放大右视图。

图3是表示图1的锯线的折痕的第一波成分的示意图。

图4是表示图1的锯线的折痕的第二波成分的示意图。

图5是表示图1的锯线的折痕的第三波成分的示意图。

图6是表示用于图1的锯线的折痕赋予装置的一部分的示意图。

图7是示意性地表示本发明的其他实施方式所涉及的锯线的右视图。

具体实施方式

以下,适当地参照附图,并且基于优选的实施方式对本发明详细地进行说明。

在图1和2中示出有锯线2。在这些附图中,X方向为水平方向,Y方向为铅垂方向,Z方向为水平方向。X方向也是该锯线2的长度方向。该锯线2安装于锯床(Saw Machine),并朝向图1的左方行进。

该锯线2具有波状的折痕。该折痕具有图2中示意性地示出的由第一波成分4、第二波成分6以及第三波成分8复合而成的形状。折痕也可以具有由4个以上的波成分复合而成的形状。

在图3中示意性地示出有第一波成分4。图3示出有从图2的箭头A1的方向观察的第一波成分4。第一波成分4在相对于箭头A1垂直的平面振动。第一波成分4在其他平面不振动。第一波成分4为二维波。第一波成分4以恒定波长振动。由图2可知,第一波成分4的波的振动方向为Y方向。

如图3所示,第一波成分4具有多个波峰10和多个波谷12。这些波峰10和波谷12沿X方向交替配置。锯线2在第一波成分4的波谷12中补充磨粒,并向切削面引入。在图3中,箭头WL1表示第一波成分4的波长,箭头WH1表示第一波成分4的波高。

在图4中示意性地示出有第二波成分6。图4示出有从图2的箭头A2的方向观察的第二波成分6。第二波成分6在相对于箭头A2垂直的平面振动。第二波成分6在其他平面不振动。第二波成分6为二维波。第二波成分6以恒定波长振动。由图2可知,第二波成分6的振动方向相对于Y方向倾斜。第二波成分6的振动方向与第一波成分4的振动方向不同。在本实施方式中,第二波成分6的振动方向的相对于第一波成分4的振动方向的角度θ1-2为60°(参照图2)。

如图4所示,第二波成分6具有多个波峰14和多个波谷16。这些波峰14和波谷16沿X方向交替配置。锯线2在第二波成分6的波谷16中补充磨粒,并向切削面引入。在图4中,箭头WL2表示第二波成分6的波长,箭头WH2表示第二波成分6的波高。

在图5中示意性地示出有第三波成分8。图5示出有从图2的箭头A3的方向观察的第三波成分8。第三波成分8在相对于箭头A3垂直的平面振动。第三波成分8在其他平面不振动。第三波成分8为二维波。第三波成分8以恒定波长振动。由图2可知,第三波成分8的振动方向相对于Y方向倾斜。第三波成分8的振动方向与第一波成分4的振动方向不同。在本实施方式中,第三波成分8的振动方向相对于第一波成分4的振动方向的角度θ1-3为120°(参照图2)。第三波成分8的振动方向与第二波成分6的振动方向也不同。在本实施方式中,第三波成分8的振动方向相对于第二波成分6的振动方向的角度θ2-3为60°(参照图2)。

如图5所示,第三波成分8具有多个波峰18和多个波谷20。这些波峰18和波谷20沿X方向交替配置。锯线2在第三波成分8的波谷20中补充磨粒,并向切削面引入。在图5中,箭头WL3表示第三波成分8的波长,箭头WH3表示第三波成分8的波高。

第一波成分4、第二波成分6以及第三波成分8如上述那样为二维波。通过将第一波成分4、第二波成分6以及第三波成分8复合而形成三维波。该锯线2的折痕具有三维形状。在该锯线2中,沿其长度方向,同时进行第一波成分4的振动、第二波成分6的振动以及第三波成分8的振动。

该锯线2通过第一波成分4的波谷12、第二波成分6的波谷16以及第三波成分8的波谷20引入磨粒。该锯线2均匀地引入磨粒。在该锯线2中难以产生偏磨损。通过该锯线2,可得到尺寸精度优异的切削面。通过该锯线2,可得到粗糙度小的切削面。

在该锯线2中,第一波成分4的振动方向与第二波成分6的振动方向不同,第二波成分6的振动方向与第三波成分8的振动方向不同,第三波成分8的振动方向与第一波成分4的振动方向不同。该锯线2具有由振动方向不同的3个波成分复合而成的折痕。在该锯线2中,磨粒被均匀地引入。

第一波成分4的振动方向与第二波成分6的振动方向之间的角度优选为20°以上且160°以下,特别优选为30°以上且150°以下。第二波成分6的振动方向与第三波成分8的振动方向之间的角度优选为20°以上且160°以下,特别优选为30°以上且150°以下。第三波成分8的振动方向与第一波成分4的振动方向之间的角度优选为20°以上且160°以下,特别优选为30°以上且150°以下。

由图3与4的对比可知,第二波成分6的波长WL2大于第一波成分4的波长WL1。由图4与5的对比可知,第三波成分8的波长WL3大于第二波成分6的波长WL2。波长的大小关系也可以不同。例如,第一波成分4的波长WL1也可以大于第二波成分6的波长WL2。第一波成分4的波长WL1也可以与第二波成分6的波长WL2相同。

由图3与4的对比可知,第一波成分4的波高WH1大于第二波成分6的波高WH2。由图3与5的对比可知,第三波成分8的波高WH3大于第一波成分4的波高WH1。波高的大小关系也可以不同。例如,第一波成分4的波高WH1也可以小于第二波成分6的波高WH2。第一波成分4的波高WH1也可以与第二波成分6的波高WH2相同。

在该锯线2中,第一波成分4的波长WL1与第二波成分6的波长WL2不同,第二波成分6的波长WL2与第三波成分8的波长WL3不同,第三波成分8的波长WL3与第一波成分4的波长WL1不同。该锯线2具有由波长不同的3个波成分复合而成的折痕。在该锯线2中,磨粒被均匀地引入。

如上所述,第一波成分4的波长WL1也可以与第二波成分6的波长WL2相同。即使在该情况下,由于第三波成分8的波长WL3与波长WL1和波长WL2不同,所以也能够实现磨粒的均匀的引入。第一波成分4的波长WL1也可以与第二波成分6的波长WL2和第三波成分8的波长WL3相同。

在该锯线2中,第一波成分4的波高WH1与第二波成分6的波高WH2不同,第二波成分6的波高WH2与第三波成分8的波高WH3不同,第三波成分8的波高WH3与第一波成分4的波高WH1不同。该锯线2具有由波高不同的3个波成分复合而成的折痕。在该锯线2中,磨粒被均匀地引入。

如上所述,第一波成分4的波高WH1也可以与第二波成分6的波高WH2相同。即便在该情况下,由于第三波成分8的波高WH3与波高WH1和波高WH2不同,所以也能够实现磨粒的均匀的引入。第一波成分4的波高WH1、第二波成分6的波高WH2以及第三波成分8的波高WH3也可以相同。

优选为,第一波成分4的波长WL1满足下述式子。

1.1*Di≤WL1≤50*Di

在该式子中,Di表示线径(参照图2)。换言之,第一波成分4的波长WL1为线径Di的1.1倍以上且50倍以下。优选为,波长WL1为线径Di的3倍以上且40倍以下。

优选为,第二波成分6的波长WL2满足下述式子。

1.2*Di≤WL2≤100*Di

换言之,第二波成分6的波长WL2为线径Di的1.2倍以上且100倍以下。优选为,波长WL2为线径Di的3.5倍以上且50倍以下。

优选为,第三波成分8的波长WL3满足下述式子。

2000*Di≤WL3≤6000*Di

换言之,第三波成分8的波长WL3为线径Di的2000倍以上且6000倍以下。优选为,波长WL3为线径Di的2200倍以上且5000倍以下。

波长WL1与波长WL2之差的绝对值相对于线径Di的比率,优选为3%以上,特别优选为5%以上。波长WL2与波长WL3之差的绝对值相对于线径Di的比率优选为3%以上,特别优选为5%以上。波长WL3与波长WL1之差的绝对值相对于线径Di的比率优选为3%以上,特别优选为5%以上。

波长WL3相对于波长WL1之比WL3/WL1优选为250以上,特别优选为650以上。比WL3/WL1优选为2500以下。波长WL3相对于波长WL2之比WL3/WL2优选为200以上,特别优选为520以上。比WL3/WL2优选为2000以下。

优选为,第一波成分4的波高WH1满足下述式子。

1.05*Di≤WH1≤5*Di

在该式子中Di表示线径(参照图2)。换言之,第一波成分4的波高WH1为线径Di的1.05倍以上且5倍以下。优选为,波高WH1为线径Di的1.1倍以上且3倍以下。

优选为,第二波成分6的波高WH2满足下述式子。

1.1*Di≤WH2≤10*Di

换言之,第二波成分6的波高WH2为线径Di的1.1倍以上且10倍以下。优选为,波高WH2为线径Di的1.2倍以上且5倍以下。

优选为,第三波成分8的波高WH3满足下述式子。

2*Di≤WH3≤1000*Di

换言之,第三波成分8的波高WH3为线径Di的2倍以上且1000倍以下。优选为,波高WH3为线径Di的50倍以上且800倍以下。

波高WH1与波高WH2之差的绝对值相对于线径Di的比率优选为3%以上,特别优选为5%以上。波高WH2与波高WH3之差的绝对值相对于线径Di的比率优选为3%以上,特别优选为5%以上。波高WH3与波高WH1之差的绝对值相对于线径Di的比率优选为3%以上,特别优选为5%以上。

线径Di优选为0.05mm以上且0.40mm以下,特别优选为0.10mm以上且0.20mm以下。

锯线2的材质是金属。典型的金属是碳钢。锯线2优选在由碳钢构成的主要部分的表面镀有黄铜。

用于该锯线2的折痕赋予装置具有第一折痕赋予部、第二折痕赋予部以及第三折痕赋予部。在图6中示出有第一折痕赋予部30。该第一折痕赋予部30具有由第一齿轮32以及第二齿轮34构成的齿轮对36。母线38经过齿轮对36,由此产生塑性变形。通过该塑性变形,对母线38赋予第一波成分4的折痕。

虽然未图示,但第二折痕赋予部也具有齿轮对。从第一折痕赋予部30排出的母线38经过第二折痕赋予部的齿轮对。由于该经过而产生塑性变形,而对母线38赋予第二波成分6的折痕。通过具有相对于第一折痕赋予部30的齿轮对的轴倾斜的轴的齿轮对,可形成振动方向与第一波成分4不同的第二波成分6。

虽然未图示,但第三折痕赋予部也具有齿轮对。从第二折痕赋予部排出的母线38经过第三折痕赋予部的齿轮对。由于该经过而产生塑性变形,从而对母线38赋予第三波成分8的折痕。通过具有相对于第一折痕赋予部30的齿轮对的轴倾斜的轴的齿轮对,可形成振动方向与第一波成分4不同的第三波成分8。通过具有相对于第二折痕赋予部的齿轮对的轴倾斜的轴的齿轮对,可形成振动方向与第二波成分6不同的第三波成分8。

图7是示意性地示出有本发明的其他实施方式所涉及的本发明的其他实施方式所涉及的锯线22的右视图。该锯线22具有波状的折痕。该折痕具有图7中示意性地示出的由第一波成分24、第二波成分26以及第三波成分28复合而成的形状。第一波成分24的振动方向为Y方向。第二波成分26的振动方向相对于Y方向倾斜90°。第三波成分28的振动方向相对于Y方向倾斜120°。除第二波成分26的振动方向之外,该锯线22的构造与图1~5所示的锯线22的构造相同。

该锯线22通过第一波成分24的波谷、第二波成分26的波谷以及第三波成分28的波谷引入磨粒。该锯线22均匀地引入磨粒。在该锯线22中,难以产生偏磨损。通过该锯线22,可得到尺寸精度优异的切削面。通过该锯线22可得到粗糙度小的切削面。

实施例

以下,通过实施例明确本发明的效果,但不应该基于该实施例的记载而限定地解释本发明。

[实施例1]

制作了图1~5所示的锯线。该锯线的规格在下述表1中示出。该锯线是由镀有黄铜的碳钢构成。

[实施例2~9]

除了将规格设为下述表1和2所示以外,其他设为与实施例1相同而得到实施例2~9的锯线。

[比较例1]

制作了具有第一波成分和第二波成分的锯线。该锯线不具有第三波成分。

[比较例2]

准备了以往的锯线。该锯线不具有波的形状。

[试验1]

将各锯线安装于锯床。在该锯线的表面涂敷包含磨粒的浆料。使该锯线以0.6mm/min的速度行进,来切割玻璃板。观察所得到的切削面的粗糙度和波纹度,进行评价。其结果,作为指数示于下述表1~3中。数值越大,评价越优异。

[试验2]

除将该锯线的行进速度设为0.8mm/min之外,其他设为与实验1相同,来对切削面的粗糙度和波纹度进行了评价。其结果,作为指数示于下述表1~3。数值越大,评价越优异。

[表1]

表1评价结果

[表2]

表2评价结果

[表3]

表3评价结果

如表1~3所示那样,在各实施例的锯线中,得到了相比于比较例1和2的锯线优异的评价。根据该评价结果可知,本发明的优越性明显。

工业实用性

本发明所涉及的锯线可用于各种物品的切断。

附图标记的说明

2、22...锯线;4、24...第一波成分;6、26...第二波成分;8、28...第三波成分;10、14、18...波峰;12、16、20...波谷;30...第一折痕赋予部;32...第一齿轮;34...第二齿轮;36...齿轮对;38...母线。

14页详细技术资料下载
上一篇:一种医用注射器针头装配设备
下一篇:研磨垫和使用其的研磨方法

网友询问留言

已有0条留言

还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!

精彩留言,会给你点赞!