阅读说明：本技术 一种半导体芯片生产用接触式光刻机 (Contact photoetching machine for semiconductor chip production ) 是由 周杰 张琪 符友银 李俊毅 于 2020-12-02 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种半导体芯片生产用接触式光刻机,包括底座和固定座,固定座活动连接在底座的内部,底座内部两侧固定连接有第一固定板,第一固定板顶部固定连接有支撑板,支撑板一侧固定连接有连接板,连接板一侧固定连接有第二固定板,第二固定板一侧固定连接在底座的内壁上,支撑板之间活动连接有隔板,其中隔板底部固定连接有限位块,并且隔板底部两侧固定连接有减震板,减震板底部固定连接有气缸,气缸一端固定连接在底座的内壁上,隔板顶部固定连接有三个电动推杆。该种半导体芯片生产用接触式光刻机,解决了现有接触式光刻机无法调节高度,不便于工作人员使用的问题,同时具有良好的固定功能和减震功能。(The invention discloses a contact type photoetching machine for producing semiconductor chips, which comprises a base and a fixed seat, wherein the fixed seat is movably connected inside the base, two sides inside the base are fixedly connected with a first fixed plate, the top of the first fixed plate is fixedly connected with a supporting plate, one side of the supporting plate is fixedly connected with a connecting plate, one side of the connecting plate is fixedly connected with a second fixed plate, one side of the second fixed plate is fixedly connected on the inner wall of the base, a partition plate is movably connected between the supporting plates, the bottom of the partition plate is fixedly connected with a limiting block, two sides of the bottom of the partition plate are fixedly connected with damping plates, the bottom of the damping plates is fixedly connected with an air cylinder, one. This kind of contact lithography machine is used in semiconductor chip production has solved the unable height-adjusting of current contact lithography machine, the problem that the staff of being not convenient for used, has good fixed function and shock-absorbing function simultaneously.)

一种半导体芯片生产用接触式光刻机

技术领域

本发明涉及接触式光刻机技术领域，具体为一种半导体芯片生产用接触式光刻机。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，

接触式光刻机是光刻机的一种，曝光时掩模压在光刻胶的衬底晶片上，其主要优点是可以使用价格较低的设备制造出较小的特征尺寸。接触式光刻和深亚微米光源已经达到了小于0.1 gm的特征尺寸，常用的光源分辨率为0.5 gm左右。接触式光刻机的掩模版包括了要复制到衬底上的所有芯片阵列图形。在衬底上涂上光刻胶，并被安装到一个由手动控制的台子上，台子可以进行X、y方向及旋转的定位控制。掩模版和衬底晶片需要通过分立视场的显微镜同时观察，这样操作者用手动控制定位台子就能把掩模版图形和衬底晶片上的图形对准了。经过紫外光曝光，光线通过掩模版透明的部分，图形就转移到了光刻胶上。接触式光刻机的主要缺点是依赖于人操作，由于涂覆光刻胶的圆片与掩模的接触会产生缺陷，每一次接触过程，会在圆片和掩模上都造成一定的缺陷。因此，接触式光刻机一般用于能容忍较高缺陷水平的器件研究和其他应用方面。

目前，现有的接触式光刻机无法调节高度，不方便工作人员的使用，并且不具备良好的固定和减震功能，因此我们对此做出改进，提出一种半导体芯片生产用接触式光刻机。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了如下的技术方案：

本发明一种半导体芯片生产用接触式光刻机，包括底座和固定座，所述固定座活动连接在底座的内部，所述底座内部两侧固定连接有第一固定板，所述第一固定板顶部固定连接有支撑板，所述支撑板一侧固定连接有连接板，所述连接板一侧固定连接有第二固定板，所述第二固定板一侧固定连接在底座的内壁上，所述支撑板之间活动连接有隔板，其中隔板底部固定连接有限位块，并且隔板底部两侧固定连接有减震板，所述减震板底部固定连接有气缸，所述气缸一端固定连接在底座的内壁上。

作为本发明的一种优选技术方案，所述隔板顶部固定连接有三个电动推杆，三个所述电动推杆的外侧固定设置有限位弹簧，所述电动推杆和固定座之间设置有防护垫，所述防护垫固定连接在固定座的底面。

作为本发明的一种优选技术方案，所述第一固定板和第二固定板一侧均固定设置有紧固螺栓。

作为本发明的一种优选技术方案，所述支撑板的内部设置有限位滑槽，所述隔板两侧固定连接有限位板，所述限位板固定设置在限位滑槽的内部，并且限位板的宽度为隔板宽度的三分之二。

作为本发明的一种优选技术方案，所述底座的顶面设置有开口槽，所述开口槽和固定座外壁之间的缝隙不得大于2mm。

作为本发明的一种优选技术方案，所述底座底部固定连接有防滑垫。

作为本发明的一种优选技术方案，所述固定座顶部一侧固定连接有控制机，所述控制机一侧固定连接有控制面板，所述固定座顶部的另一侧固定连接有光刻机本体，所述光刻机本体一侧固定连接有工作台。

本发明的有益效果是：

一、该种半导体芯片生产用接触式光刻机，通过限位板和限位滑槽的配合，可启动设置的气缸推动隔板升降，当限位板接触限位滑槽顶面时，可再通过电动推杆进一步将固定座顶起，达到二次调节的目的，解决了现有接触式光刻机无法调节高度，不便于工作人员使用的问题。

二、该种半导体芯片生产用接触式光刻机，设置有限位弹簧，当电动推杆不工作时，限位弹簧的高度会高于电动推杆的高度，支撑着固定座，首先起到减震的作用，而隔板底部的减震板可进一步起到减震作用，同时支撑板通过第一固定板、第二固定板和紧固螺栓的配合可牢牢固定在底座的内壁上，进而有效的对固定座起到固定作用。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明一种半导体芯片生产用接触式光刻机的立体图；

图2是本发明一种半导体芯片生产用接触式光刻机的底座剖视；

图3是本发明一种半导体芯片生产用接触式光刻机的支撑板剖视图。

图中：1、底座；2、固定座；3、控制机；4、光刻机本体；5、工作台；6、控制面板；7、第一固定板；8、紧固螺栓；9、第二固定板；10、连接板；11、支撑板；12、开口槽；13、防护垫；14、电动推杆；15、限位弹簧；16、减震板；17、限位块；18、隔板；19、气缸；20、防滑垫；21、限位滑槽；22、限位板。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例：如图1-3所示，本发明一种半导体芯片生产用接触式光刻机，包括底座1和固定座2，固定座2活动连接在底座1的内部，底座1内部两侧固定连接有第一固定板7，第一固定板7顶部固定连接有支撑板11，支撑板11一侧固定连接有连接板10，连接板10一侧固定连接有第二固定板9，第二固定板9一侧固定连接在底座1的内壁上，支撑板11之间活动连接有隔板18，其中隔板18底部固定连接有限位块17，限位块17可在气缸19不工作时用于支撑隔板18，避免气缸19被长时间压迫造成毁坏，并且隔板18底部两侧固定连接有减震板16，减震板16底部固定连接有气缸19，气缸19一端固定连接在底座1的内壁上。

其中，隔板18顶部固定连接有三个电动推杆14，三个电动推杆14的外侧固定设置有限位弹簧15，电动推杆14和固定座2之间设置有防护垫13，防护垫13固定连接在固定座2的底面，防护垫13起到隔断作用，避免损伤电动推杆14的顶端或固定座2的底面。

其中，第一固定板7和第二固定板9一侧均固定设置有紧固螺栓8，用于将第一固定板7和第二固定板9固定在底座1的内壁上。

其中，支撑板11的内部设置有限位滑槽21，隔板18两侧固定连接有限位板22，限位板22固定设置在限位滑槽21的内部，并且限位板22的宽度为隔板18宽度的三分之二。

其中，底座1的顶面设置有开口槽12，开口槽12和固定座2外壁之间的缝隙不得大于2mm。

其中，底座1底部固定连接有防滑垫20，避免底座1在光刻机本体4工作时移动。

其中，固定座2顶部一侧固定连接有控制机3，控制机3一侧固定连接有控制面板6，固定座2顶部的另一侧固定连接有光刻机本体4，光刻机本体4一侧固定连接有工作台5。

工作原理：当需要调节固定座2的高度时，通过启动气缸19使其一端升起，由于隔板18两侧固定连接有限位板22，而限位板22又设置在限位滑槽21的内部，进而气缸19将隔板18向上推动，如限位板22接触限位滑槽21的顶面后，举升高度仍然不够，可再启动电动推杆14，使其推动防护垫13，进而推动固定座2向上移动，需注意举升时，固定座2的底面不可超过支撑板11的顶面，以免支撑板11无法对固定座2起到限位固定的作用。

最后应说明的是：在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。