一种多用途的掩膜式光面光刻机
阅读说明：本技术 一种多用途的掩膜式光面光刻机 (Multipurpose mask type smooth surface photoetching machine ) 是由 刘烽 于 2020-12-08 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种多用途的掩膜式光面光刻机,包括光刻台和伺服移动台,所述光刻台顶面安装有伺服移动台,且伺服移动台顶面安装有晶圆放置板。有益效果：本发明通过转动第二手柄螺栓压住菲林片来固定菲林片,避免菲林片过薄而引起放置不稳定的情况,固定完成后,可向外转动第一手柄螺栓,带动第二滑块向外移动,从而带动捻锁伸缩杆向外移动,进而带动外杆向外移动,从而带动弹簧伸长,拉扯内杆,进而拉扯菲林片四角,完成张拉,避免菲林片出现褶皱弯曲的现象,提高菲林片的平整性,从而提高透光的均匀性,提高使用菲林片时的光刻效率,固定框中也可放入玻璃的四角,完成对玻璃的固定,从而使本装置适合使用菲林片和玻璃片,提高使用的多功能性。(The invention discloses a multipurpose mask type smooth surface photoetching machine which comprises a photoetching table and a servo moving table, wherein the servo moving table is arranged on the top surface of the photoetching table, and a wafer placing plate is arranged on the top surface of the servo moving table. Has the advantages that: according to the device, the film is fixed by rotating the second handle bolt to press the film, so that the situation that the film is unstable due to too thin film is avoided, after the film is fixed, the first handle bolt can be rotated outwards to drive the second sliding block to move outwards, so that the twist lock telescopic rod is driven to move outwards, the outer rod is driven to move outwards, the spring is driven to extend, the inner rod is pulled, the four corners of the film are pulled, tensioning is completed, the phenomenon that the film is folded and bent is avoided, the smoothness of the film is improved, the uniformity of light transmission is improved, the photoetching efficiency when the film is used is improved, the four corners of glass can be placed into the fixing frame, and the glass is fixed, so that the device is suitable for using the film and the glass, and the use versatility is improved.)
技术领域
本发明涉及光刻机技术领域，具体来说，涉及一种多用途的掩膜式光面光刻机。
背景技术
光刻机又名:掩膜对准曝光机，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常七纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有1.2亿美金一台的光刻机，高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。
掩膜式光刻机通常采用玻璃片作为掩膜版，掩膜版固定座也是针对玻璃片或者石英片来设计，当需要使用到成本更低的菲林片时，由于菲林片较为轻薄，传统的固定座无法稳定安装菲林片，容易引起菲林片起拱，不够平整，影响光穿过效率，从而影响光刻效率，同时，菲林片耐热变形能力远不如玻璃片，传统的光刻机在进行光刻时的热量会停留在菲林片表面，从而引起菲林片受热变形，也会限制菲林片的使用功能，还可以进一步作出改进，同时，传统的固定座多为固定尺寸，不方便进行大小和高度调节，也影响了使用的便利性，也还可以进一步作出改进。
针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种多用途的掩膜式光面光刻机，具备便于菲林片和玻璃片使用、提高使用的多功能性、便于调节、使用方便的优点，进而解决上述背景技术中的问题。
(二)技术方案
为实现上述便于菲林片和玻璃片使用、提高使用的多功能性、便于调节、使用方便的优点，本发明采用的具体技术方案如下：
一种多用途的掩膜式光面光刻机，包括光刻台和伺服移动台，所述光刻台顶面安装有伺服移动台，且伺服移动台顶面安装有晶圆放置板，所述伺服移动台外侧对角线处固定安装有轨道，且轨道内部滑动连接有第二滑块，并且第二滑块顶面竖向固定安装有捻锁伸缩杆，所述捻锁伸缩杆的顶端固定套接有固定环，且固定环一侧表面横向固定连接有外杆，并且外杆内部插接有内杆，所述内杆一端通过弹簧与外杆内壁固定连接，且内杆另一端固定安装有固定框，并且固定框顶面中心位置贯穿螺纹连接有第二手柄螺栓，所述第二手柄螺栓底面通过旋转连接座转动连接有压板，且压板底面粘接有硅胶垫，所述轨道内部贯穿螺纹连接有第一手柄螺栓，且第一手柄螺栓一端与轨道一端转动连接，并且第一手柄螺栓另一端贯穿轨道另一端，所述第一手柄螺栓贯穿第二滑块并与第二滑块螺纹连接。
进一步的，所述轨道和第二滑块的竖向截面均为凸字形，且轨道内壁和第二滑块外壁均开设有滚珠槽，并且滚珠槽内部滚动连接有滚珠。
进一步的，所述固定框底面固定安装有风箱，且风箱底面通过接头贯通连接有连接软管，并且风箱一侧表面开设有排风口，所述轨道一侧位于光刻台顶面安装有迷你鼓风机，且迷你鼓风机出风端与连接软管另一端贯通连接。
进一步的，所述硅胶垫为圆形，且硅胶垫底面开设有摩擦纹。
进一步的，所述外杆内壁与内杆外壁过盈配合，且内杆和外杆均为不易变形材质制成。
进一步的，所述排风口出风方向斜向上，且排风口开口高度不小于2mm。
进一步的，所述内杆底面开设有滑槽，且滑槽内部滑动连接有第一滑块，并且第一滑块底面通过斜撑杆与捻锁伸缩杆顶端外壁固定连接。
进一步的，所述第一滑块和滑槽竖向断面形状均为凸字形，且滑槽内壁为光滑结构，并且第一滑块和滑槽过盈配合。
进一步的，所述内杆为矩形实心杆，所述外杆为矩形管。
进一步的，所述压板为不易变形金属圆板，且压板表面涂刷有黑色漆。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种多用途的掩膜式光面光刻机，具备以下有益效果：
(1)、本发明通过转动第二手柄螺栓压住菲林片来固定菲林片，避免菲林片过薄而引起放置不稳定的情况，在安装时，可将菲林片的四角放入到固定框内部，向下转动第二手柄螺栓即可带动压板下移，从而带动硅胶垫变形压住菲林片四角，从而固定菲林片四角，固定完成后，可向外转动第一手柄螺栓，带动第二滑块向外移动，从而带动捻锁伸缩杆向外移动，进而带动外杆向外移动，从而带动弹簧伸长，拉扯内杆，进而拉扯菲林片四角，完成张拉，避免菲林片出现褶皱弯曲的现象，提高菲林片的平整性，从而提高透光的均匀性，提高使用菲林片时的光刻效率，同时，固定框中也可放入玻璃的四角，完成对玻璃的固定，从而使本装置适合使用菲林片和玻璃片，提高使用的多功能性。
(2)、本发明通过捻锁伸缩杆调节固定框高度，从而适应不同的安装高度需求，通过转动第一手柄螺栓可调节固定框之间的距离，从而适应不同尺寸的菲林片和玻璃片的使用要求，提高了本装置使用的通用性，提高了本装置使用的便利性。
(3)、本发明通过迷你鼓风机向风箱中注入空气，空气经过风箱一侧表面开设的排风口排出，从菲林片底面拐角处交叉吹出风，增加空气流动，从而减少菲林片下表面的热量聚集，进而便于菲林片散热，避免菲林片过热变形而引起的故障，从而提高使用菲林片进行光刻时的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本发明实施例的一种多用途的掩膜式光面光刻机的结构示意图；
图2是根据本发明实施例的固定框和捻锁伸缩杆的连接示意图；
图3是根据本发明实施例的一种多用途的掩膜式光面光刻机的俯视图；
图4是根据本发明实施例的第二滑块和轨道的连接示意图；
图5是根据本发明实施例的第一滑块和内杆的连接示意图；
图6是根据本发明实施例的固定框的结构示意图；
图7是根据本发明实施例的一种多用途的掩膜式光面光刻机的A节点放大图；
图8是根据本发明实施例的风箱的外部结构示意图。
图中：
1、光刻台；2、伺服移动台；3、晶圆放置板；4、轨道；5、第一手柄螺栓；6、迷你鼓风机；7、捻锁伸缩杆；8、固定环；9、斜撑杆；10、固定框；11、内杆；12、第一滑块；13、外杆；14、风箱；15、连接软管；16、第二手柄螺栓；17、旋转连接座；18、压板；19、硅胶垫；20、接头；21、第二滑块；22、滚珠；23、滑槽；24、弹簧；25、排风口。
具体实施方式
为进一步说明各实施例，本发明提供有附图，这些附图为本发明揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本发明的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。
根据本发明的实施例，提供了一种多用途的掩膜式光面光刻机。
现结合附图和具体实施方式对本发明进一步说明，如图1-8所示，根据本发明实施例的一种多用途的掩膜式光面光刻机，包括光刻台1和伺服移动台2，光刻台1顶面安装有伺服移动台2，且伺服移动台2顶面安装有晶圆放置板3，为常见光刻机结构，在此不做过多赘述，光刻机为常见设备，图中未全部示出，伺服移动台2外侧对角线处固定安装有轨道4，且轨道4内部滑动连接有第二滑块21，并且第二滑块21顶面竖向固定安装有捻锁伸缩杆7，捻锁伸缩杆7的顶端固定套接有固定环8，捻锁伸缩杆7为常见设备，可上下调节和锁定高度，且固定环8一侧表面横向固定连接有外杆13，并且外杆13内部插接有内杆11，内杆11一端通过弹簧24与外杆13内壁固定连接，且内杆11另一端固定安装有固定框10，并且固定框10顶面中心位置贯穿螺纹连接有第二手柄螺栓16，第二手柄螺栓16底面通过旋转连接座17转动连接有压板18，且压板18底面粘接有硅胶垫19，硅胶垫19起到缓冲保护作用，避免压板18压坏菲林片或者玻璃片，轨道4内部贯穿螺纹连接有第一手柄螺栓5，且第一手柄螺栓5一端与轨道4一端转动连接，并且第一手柄螺栓5另一端贯穿轨道4另一端，第一手柄螺栓5贯穿第二滑块21并与第二滑块21螺纹连接，为常见丝杠结构，在安装时，可将菲林片的四角放入到固定框10内部，向下转动第二手柄螺栓16即可带动压板18下移，从而带动硅胶垫19变形压住菲林片四角，从而固定菲林片四角，固定完成后，可向外转动第一手柄螺栓5，带动第二滑块21向外移动，从而带动捻锁伸缩杆7向外移动，进而带动外杆13向外移动，从而带动弹簧24伸长，拉扯内杆11，进而拉扯菲林片四角，完成张拉，避免菲林片出现褶皱弯曲的现象，提高菲林片的平整性，从而提高透光的均匀性，提高使用菲林片时的光刻效率，同时，固定框10中也可放入玻璃的四角，通过转动第二手柄螺栓16带动硅胶垫19挤压玻璃片，完成对玻璃的固定，从而使本装置适合使用菲林片和玻璃片，提高使用的多功能性。
在一个实施例中，轨道4和第二滑块21的竖向截面均为凸字形，且轨道4内壁和第二滑块21外壁均开设有滚珠槽，并且滚珠槽内部滚动连接有滚珠22，滚珠22减小轨道4和第二滑块21之间的摩擦，从而便于第二滑块21平稳移动，工作人员可通过捻锁伸缩杆7调节固定框10高度，从而适应不同的安装高度需求，通过转动第一手柄螺栓5可调节固定框10之间的距离，从而适应不同尺寸的菲林片和玻璃片的使用要求，提高了本装置使用的通用性，提高了本装置使用的便利性。
在一个实施例中，固定框10底面固定安装有风箱14，且风箱14底面通过接头20贯通连接有连接软管15，连接软管15不影响固定框10移动，并且风箱14一侧表面开设有排风口25，轨道4一侧位于光刻台1顶面安装有迷你鼓风机6，且迷你鼓风机6出风端与连接软管15另一端贯通连接，迷你鼓风机6向风箱14中注入空气，空气经过风箱14一侧表面开设的排风口25排出，从菲林片底面拐角处交叉吹出风，增加空气流动，从而减少菲林片下表面的热量聚集，进而便于菲林片散热，避免菲林片过热变形而引起的故障，从而提高使用菲林片进行光刻时的稳定性。
在一个实施例中，硅胶垫19为圆形，且硅胶垫19底面开设有摩擦纹，提高摩擦力，从而提高压紧时的稳定性。
在一个实施例中，外杆13内壁与内杆11外壁过盈配合，且内杆11和外杆13均为不易变形材质制成，避免产生晃动影响菲林片安装的稳定。
在一个实施例中，排风口25出风方向斜向上，且排风口25开口高度不小于2mm，避免开口过窄引起风速变大而吹动菲林片，从而避免干扰菲林片。
在一个实施例中，内杆11底面开设有滑槽23，且滑槽23内部滑动连接有第一滑块12，并且第一滑块12底面通过斜撑杆9与捻锁伸缩杆7顶端外壁固定连接，斜撑杆9斜向支撑内杆11，避免内杆11发生下垂形变，从而提高安装的稳定性。
在一个实施例中，第一滑块12和滑槽23竖向断面形状均为凸字形，避免第一滑块12脱落，且滑槽23内壁为光滑结构，并且第一滑块12和滑槽23过盈配合，减少缝隙，从而减少晃动，结构更加稳定可靠。
在一个实施例中，内杆11为矩形实心杆，外杆13为矩形管，避免内杆11发生转动而引起固定框10转动，便于内杆11平稳移动。
在一个实施例中，压板18为不易变形金属圆板，且压板18表面涂刷有黑色漆，避免反射光线干扰光刻。
工作原理：
在安装时，可将菲林片的四角放入到固定框10内部，向下转动第二手柄螺栓16即可带动压板18下移，从而带动硅胶垫19变形压住菲林片四角，从而固定菲林片四角，固定完成后，可向外转动第一手柄螺栓5，带动第二滑块21向外移动，从而带动捻锁伸缩杆7向外移动，进而带动外杆13向外移动，从而带动弹簧24伸长，拉扯内杆11，进而拉扯菲林片四角，完成张拉，避免菲林片出现褶皱弯曲的现象，提高菲林片的平整性，从而提高透光的均匀性，提高使用菲林片时的光刻效率，同时，固定框10中也可放入玻璃的四角，通过转动第二手柄螺栓16带动硅胶垫19挤压玻璃片，完成对玻璃的固定，从而使本装置适合使用菲林片和玻璃片，提高使用的多功能性，同时，工作人员可通过捻锁伸缩杆7调节固定框10高度，从而适应不同的安装高度需求，通过转动第一手柄螺栓5可调节固定框10之间的距离，从而适应不同尺寸的菲林片和玻璃片的使用要求，提高了本装置使用的通用性，提高了本装置使用的便利性，另外，在使用菲林片光刻的过程中，迷你鼓风机6向风箱14中注入空气，空气经过风箱14一侧表面开设的排风口25排出，从菲林片底面拐角处交叉吹出风，增加空气流动，从而减少菲林片下表面的热量聚集，进而便于菲林片散热，避免菲林片过热变形而引起的故障，从而提高使用菲林片进行光刻时的稳定性。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
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