阅读说明：本技术 一种带分流板的四级分馏式油扩散泵 (Four-stage fractionating type oil diffusion pump with flow distribution plate ) 是由 潘燕萍 井苅晴美 于 2019-08-23 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种带分流板的四级分馏式油扩散泵,包括内置泵芯的泵体,泵体的底部设有油室,泵体的上端设有进气口,泵体的侧端底部设有喷射嘴,且喷射嘴外接有排气管,泵体的外周固定有冷却水管,油室中固定有支撑罩,支撑罩由支撑板和柱形管构成,支撑罩的内部设有加热管道以及位于其上方的分流板,分流板包括中心盲板、第一环形端板和第二环形端板,支撑罩的上侧固定有泵芯。本发明结构设计科学合理,在油室中增设有分流板,能够对馏分进行预导向,增大通过蒸馏能够提高的极限真空度；同时由于分流板的存在,能够将未达到沸点前挥发的馏分进行有效拦截阻挡,进而大幅降低返油现象,提高泵体的使用效果。(The invention discloses a four-stage fractional distillation type oil diffusion pump with a flow distribution plate, which comprises a pump body internally provided with a pump core, wherein an oil chamber is arranged at the bottom of the pump body, an air inlet is arranged at the upper end of the pump body, an injection nozzle is arranged at the bottom of the side end of the pump body, an exhaust pipe is externally connected with the injection nozzle, a cooling water pipe is fixed at the periphery of the pump body, a support cover is fixed in the oil chamber, the support cover consists of a support plate and a cylindrical pipe, a heating pipeline and the flow distribution plate positioned above the heating pipeline are arranged in the support cover, the flow distribution plate comprises a central blind plate, a first annular end plate and a second annular end plate, and. The invention has scientific and reasonable structural design, and the splitter plate is additionally arranged in the oil chamber, so that the distillate can be pre-guided, and the ultimate vacuum degree which can be improved by distillation is increased; meanwhile, due to the existence of the flow distribution plate, the volatile fractions before reaching the boiling point can be effectively intercepted and blocked, so that the oil return phenomenon is greatly reduced, and the using effect of the pump body is improved.)

一种带分流板的四级分馏式油扩散泵

技术领域

本发明涉及油扩散泵技术领域，尤其涉及一种带分流板的四级分馏式油扩散泵。

背景技术

在低于10^-2Torr的压力区域，对现代工业和科学研究是非常重要的，高真空在活性金属和难熔金属的熔化和精炼，塑料的装饰镀膜等许多方便得到广泛的应用。为了获得所需要的高真空而应用最广的抽气设备是扩散泵。扩散泵借助定向的高速蒸汽流抽气，可获得10^-2-10^-7Torr或更低的压力，在10^-7Torr以下通常使用障板和冷阱。扩散泵是高真空和超高真空获得设备，扩散泵与低温泵联合工作，可获得10^-14Torr的真空度。

传统高真空油扩散泵，泵体上方设有进气口，泵体底部作为油室，油室装有泵油，泵体外部、底部设有敞开式加热器，泵芯包括与油室相连通的一级导流管与一级喷嘴、二级导流管与二级喷嘴和三级导流管与三级喷嘴；它有共三级扩散、一级喷射，包括完成三级扩散的一级喷嘴、二级喷嘴、三级喷嘴和完成一级喷射的喷射嘴，喷射嘴出口连接排气管，冷却管装在泵体与排气管外表面。这种高真空油扩散泵存在诸多不足之处，一是为了弥补抽气速率的不足，泵体中端扩大泵体的环形面积，使一级喷嘴、二级喷嘴及三级喷嘴在泵体中所处位置的环形面积增加，即增大抽气面积，泵体的加工过程比较繁琐，比如增加泵体的焊接工序，频繁的焊接会降低扩散泵的气密性，材料的焊接变形增加，所以对泵体的加工精度就要求比较高；二是油室中未设置分流板，不能对馏分进行预导向，降低通过蒸馏能够提高的极限真空度；三是虽然真空油扩散泵是真空泵类型中返油量比较少的泵体，但是其仍存在一定的返油量，如果能够进一步降低，将极大改善真空油扩散泵使用效果。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中存在的上述问题，提供一种带分流板的四级分馏式油扩散泵。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明是通过以下技术方案实现：

一种带分流板的四级分馏式油扩散泵，包括内置泵芯的泵体，所述泵体的底部设有油室，所述泵体的上端设有进气口，所述泵体的侧端底部设有喷射嘴，且喷射嘴外接有排气管，所述泵体的外周固定有冷却水管，其特征在于：所述油室中固定有支撑罩，所述支撑罩为上端设有端板的柱形管罩，所述支撑罩的内部设有加热管道以及位于其上方的分流板，所述支撑罩上侧固定有泵芯；

所述支撑罩由支撑板和柱形管构成，所述支撑板的中心处开设有第一透气孔，所述第一透气孔外侧依次开设有第二透气孔、第三透气孔、第四透气孔，所述第一透气孔为圆孔，所述第二透气孔、第三透气孔、第四透气孔各自为呈环形阵列分布的弧形孔，所述柱形管的上端与支撑板的边缘密封固定，下端沿周向均匀开设有回油孔；

所述泵芯包括一级导流管、一级喷头、二级导流管、二级喷头、三级导流管、三级喷头、四级导流管、四级喷头和隔热防护板，所述一级导流管的内部由外往内依次设有轴线相重合的二级导流管、三级导流管、四级导流管，所述四级导流管位于第一透气孔和第二透气孔之间，所述三级导流管位于第二透气孔和第三透气孔之间，所述二级导流管位于第三透气孔和第四透气孔之间，所述一级导流管位于第四透气孔的外侧，所述一级导流管、二级导流管、三级导流管、四级导流管的高度逐渐增加，所述一级喷头、二级喷头、三级喷头、四级喷头分别固定在一级导流管、二级导流管、三级导流管、四级导流管的上端，所述一级喷头、二级喷头的外侧还固定有隔热防护板；

所述分流板包括中心盲板、第一环形端板和第二环形端板，所述中心盲板的外端通过若干第一连接件与第一环形端板的内端固定，所述第一环形端板的外端通过若干第二连接件与第二环形端板的内端固定。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述泵体为直腔型泵体，其上端设有法兰盘，下端设有支脚。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述加热管道为能够均匀加热的盘状结构。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述加热管道内装有加热丝，并填充有氧化镁粉。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述一级喷头的外面装有阻挡油蒸汽蒸发用的挡油帽。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述支撑罩的外径小于油室的内径，所述一级导流管的外径小于支撑罩的外径。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述第二环形端板的外边缘向内弯折形成锥管。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述第一连接件为Z形板，所述第二连接件为C形板。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述中心盲板、第一环形端板、第二环形端板、第一连接件、第二连接件均由不锈钢材料制成。

进一步地，上述带分流板的四级分馏式油扩散泵中，所述支撑罩与泵芯通过焊接连为一体。

本发明的有益效果是：

1、泵体采用直腔式结构，加工过程比较简单，有效降低焊接操作，保障扩散泵的气密性，对泵体的加工精度就要求比较低。

2、在油室中增设有分流板，能够对馏分进行预导向，增大通过蒸馏能够提高的极限真空度；同时由于分流板的存在，能够将未达到沸点前挥发的馏分进行有效拦截阻挡，进而大幅降低返油现象，提高泵体的使用效果。

3、在一级喷头、二级喷头的外侧设置有隔热防护板，有效防止一级喷头、二级喷头凝结的油雾再次蒸发，通过保证喷嘴温度，使油蒸汽维持一定的温度，保证喷流正常。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的主视结构示意图；

图2为本发明分流板的立体结构示意图；

图3为本发明分流板的半剖结构示意图；

图4为本发明中支撑罩的仰视结构示意图；

图5为本发明中支撑罩及部分泵芯的半剖结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-泵体，2-油室，3-进气口，4-喷射嘴，5-排气管，6-冷却水管，7-支撑罩，701-支撑板，702-柱形管，703-第一透气孔，704-第二透气孔，705-第三透气孔，706-第四透气孔，707-回油孔，8-加热管道，9-分流板，901-中心盲板，902-第一环形端板，903-第二环形端板，904-第一连接件，905-第二连接件，10-一级导流管，11-一级喷头，12-二级导流管，13-二级喷头，14-三级导流管，15-三级喷头，16-四级导流管，17-四级喷头，18-隔热防护板，19-支脚。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

参阅附图1-5所示，本实施例为一种带分流板的四级分馏式油扩散泵，包括内置泵芯的泵体1，泵体1的底部设有油室2，泵体1的上端设有进气口3，泵体1的侧端底部设有喷射嘴4，且喷射嘴4外接有排气管5，泵体1的外周固定有冷却水管6。油室2中固定有支撑罩7，支撑罩7为上端设有端板的柱形管罩，支撑罩7的内部设有加热管道8以及位于其上方的分流板9，支撑罩7的端板上侧固定有泵芯。

本实施例中，支撑罩7由支撑板701和柱形管702构成，支撑板701的中心处开设有第一透气孔703，第一透气孔703外侧依次开设有第二透气孔704、第三透气孔705、第四透气孔706，第一透气孔703为圆孔，第二透气孔704、第三透气孔705、第四透气孔706各自为呈环形阵列分布的弧形孔；柱形管702的上端与支撑板701的边缘密封固定，下端沿周向均匀开设有回油孔707。

本实施例中，泵芯包括一级导流管10、一级喷头11、二级导流管12、二级喷头13、三级导流管14、三级喷头15、四级导流管16、四级喷头17和隔热防护板18。一级导流管10的内部由外往内依次设有轴线相重合的二级导流管12、三级导流管14、四级导流管16。四级导流管16位于第一透气孔703和第二透气孔704之间，三级导流管14位于第二透气孔704和第三透气孔705之间，二级导流管12位于第三透气孔705和第四透气孔706之间，一级导流管10位于第四透气孔706的外侧。一级喷头11、二级喷头13、三级喷头15、四级喷头17分别固定在一级导流管10、二级导流管12、三级导流管14、四级导流管16的上端，一级喷头11、二级喷头13的外侧还固定有隔热防护板17。支撑罩7与泵芯通过焊接连为一体。

本实施例中，分流板9包括中心盲板901、第一环形端板902和第二环形端板903，中心盲板901的外端通过若干第一连接件904与第一环形端板902的内端固定，第一环形端板902的外端通过若干第二连接件905与第二环形端板903的内端固定。第一连接件904为Z形板，第二连接件905为C形板。中心盲板901、第一环形端板902、第二环形端板903、第一连接件904、第二连接件905均由不锈钢材料制成。

本实施例中，泵体1为直腔型泵体，其上端设有法兰盘，下端设有支脚19。加热管道8为能够均匀加热的盘状结构。加热管道8内装有加热丝，并填充有氧化镁粉。一级喷头11的外面装有阻挡油蒸汽蒸发用的挡油帽。

本实施例中，支撑罩7的外径小于油室2的内径，一级导流管10的外径小于支撑罩7的外径。第二环形端板902的外边缘向内弯折形成锥管。

本实施例的一个具体应用为：本实施例泵体1采用直腔式结构，加工过程比较简单，有效降低焊接操作，保障扩散泵的气密性，对泵体1的加工精度就要求比较低。在油室2中增设有分流板9，能够对馏分进行预导向，增大通过蒸馏能够提高的极限真空度。同时由于分流板的存在，能够将未达到沸点前挥发的馏分进行有效拦截阻挡，进而大幅降低返油现象，提高泵体的使用效果。在一级喷头11、二级喷头13的外侧设置有隔热防护板17，有效防止一级喷头11、二级喷头13凝结的油雾再次蒸发，通过保证喷嘴温度，使油蒸汽维持一定的温度，保证喷流正常工作。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。