传感器
阅读说明：本技术 传感器 (Sensor with a sensor element ) 是由 樱井和彦 原田昌树 赤井幸辉 镰形州一 于 2020-03-24 设计创作，主要内容包括：本发明的传感器包括：第1电极；第2电极；吸附部,其配置于所述第1电极与所述第2电极之间,通过吸附比所述第1电极与所述第2电极之间的间隔小的导体颗粒而使所述第1电极与所述第2电极之间的电阻变化；以及短路抑制部,其用于抑制由具有比所述第1电极与所述第2电极之间的间隔大的尺寸的大径导体片引起的所述第1电极与所述第2电极间的短路。(The sensor of the present invention comprises: a 1 st electrode; a 2 nd electrode; an adsorption part which is arranged between the 1 st electrode and the 2 nd electrode and adsorbs conductor particles smaller than the interval between the 1 st electrode and the 2 nd electrode to change the resistance between the 1 st electrode and the 2 nd electrode; and a short-circuit suppressing portion for suppressing a short-circuit between the 1 st electrode and the 2 nd electrode caused by a large-diameter conductor piece having a size larger than a gap between the 1 st electrode and the 2 nd electrode.)
技术领域
本发明涉及一种传感器。
背景技术
减速器等机械装置为了抑制齿轮等机械零件的损伤而收纳于贮存有润滑油的壳体内。在这样的机械装置运转时，若机械零件磨损，则磨损粉末(例如，铁粉等导体物质)混入到润滑油内。该磨损粉末例如是铁粉等导体物质。若机械零件的磨损进展而进入故障率曲线(浴盆曲线)中的磨损故障期，则混入到润滑油内的磨损粉末的量增加。因此，能够利用用于检测润滑油内的磨损粉末的量的传感器准确地进行机械零件的预防保护。
作为这样的传感器，例如在专利文献1中公开了一种油检测传感器，其安装于汽车的变速器等，用于检测油容器内的油的劣化、利用油润滑的机械零件的磨损程度等。该传感器包括一对电极和用于吸附油中所包含的铁粉等(导体物质)的磁体，基于根据所吸附的导体物质而变化的一对电极之间的电阻值来检测油中的导体物质的量。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-286697号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，在减速器等中检测的磨损粉末由于初期磨损而增加，之后，在经过大致一定的通常运转之后，在故障发生前急剧增加。传感器检测该故障前的磨损粉末量的增大，但在减速器的尺寸较大的情况等由于初期磨损而产生的磨损粉末量较多的情况下，有时传感器会误动作，而无法检测到本来应检测到的故障前的磨损粉末量的增大。
另外，存在防止传感器的误动作、利用故障前的检测可靠地停止·更换减速器等这样的要求。
并且，在制造减速器等机械装置时，由于切削加工等而产生的大粒径的异物(例如，切屑等)可能附着于该机械装置的构成构件，混入润滑油内。若这样的大粒径的异物附着于传感器，则即使几乎不产生磨损粉末，一对电极之间也会短路。像这样，在用于检测磨损粉末的量的传感器中，即使磨损粉末的量较少，传感器有时也会非预期地工作。
本发明是鉴于上述情况而完成的，其要实现如下这样的目的：提供一种能够抑制由异物的混入、磨损粉末的产生量与动作设定量的差异导致的非预期的工作的传感器。
用于解决问题的方案
本发明的第一技术方案的传感器包括：
第1电极；
第2电极；
吸附部，其配置于所述第1电极与所述第2电极之间，通过吸附比所述第1电极与所述第2电极之间的间隔小的导体颗粒而使所述第1电极与所述第2电极之间的电阻变化；以及
短路抑制部，其用于抑制由具有比所述第1电极与所述第2电极之间的间隔大的尺寸的大径导体片引起的所述第1电极与所述第2电极间的短路。由此，解决了上述课题。
该传感器具备用于抑制由具有比第1电极与第2电极之间的间隔大的尺寸的大径导体片(即，异物)引起的第1电极与第2电极间的短路的短路抑制部。由此，抑制由大径导体片引起的第1电极与第2电极间的短路，因此能够抑制传感器的非预期的工作。
本发明的第一技术方案的传感器能够具备用于检测所述第1电极与所述第2电极之间的电阻的变化的检测部。
在本发明的第一技术方案的传感器中，能够是，所述短路抑制部是设于所述第1电极和所述第2电极中的至少一者的具有绝缘性的凸部。
根据该结构，即使在吸附了大径导体片的情况下，与第1电极和第2电极中的至少一者的电接触也被凸部抑制。因而，抑制由大径导体片引起的第1电极与第2电极间的短路，能够抑制传感器的非预期的工作。
在本发明的第一技术方案的传感器中，能够是，所述短路抑制部是设于所述吸附部的凸部。
像这样，通过在第1电极与第2电极之间设有凸部，从而即使在吸附了大径导体片的情况下，也能抑制与第1电极和第2电极中的至少一者的电接触。因而，抑制由大径导体片引起的第1电极与第2电极间的短路，能够抑制传感器的非预期的工作。
在本发明的第一技术方案的传感器中，能够是，所述短路抑制部和所述吸附部之间形成单件构造。
在本发明的第一技术方案的传感器中，能够是，所述短路抑制部和所述吸附部之间成为分体构件。
在本发明的第一技术方案的传感器中，能够是，所述短路抑制部具有绝缘性。
在本发明的第一技术方案的传感器中，能够是，所述短路抑制部是沿着与所述第1电极和所述第2电极相面对的方向交叉的方向延伸的线材。
根据该结构，即使在吸附有大径导体片的情况下，与第1电极和第2电极中的至少一者的电接触也被线材抑制。因而，抑制由大径导体片引起的第1电极与第2电极间的短路，能够抑制传感器的非预期的工作。
本发明的第二技术方案的传感器包括：
多个检测单元，其包括一对电极和吸附部，该吸附部配置于所述一对电极之间，通过吸附导体颗粒而使所述一对电极之间的电阻变化；以及
检测部，当在所设定的数量的所述检测单元中电阻发生变化的情况下，该检测部输出信号。由此，解决了上述课题。
该传感器具备多个检测单元，当在所设定的数量的检测单元中电阻降低的情况下，检测部输出信号。由此，能够将检测部设定为，即使由于大径导体片而在1个检测单元中电阻变化，也不输出信号。因而，能够抑制由大径导体片引起的传感器的非预期的工作。
在本发明的第二技术方案的传感器中，能够是，在未吸附所述导体颗粒的状态下，所述多个检测单元各自的电阻相同。
根据该结构，能够使分别对多个检测单元施加的电压相同，因此能够降低施加于传感器的电压。
在本发明的第二技术方案的传感器中，能够是，所述多个检测单元相互并联连接。
根据该结构，与多个检测单元串联连接的情况相比，能够降低施加于各个检测单元的一对电极之间的电压。
本发明的第三技术方案的传感器具有：
第1电极；
第2电极；
吸附部，其配置于所述第1电极与所述第2电极之间，通过吸附导体颗粒而使所述第1电极与所述第2电极之间的电阻变化；
检测部，其用于检测吸附了预定量的所述导体颗粒的情况；以及
灵敏度调整部，其调整所述导体颗粒的吸附状态而变更检测灵敏度。由此解决了上述课题。
根据本发明的第三技术方案的传感器，利用灵敏度调整部调整导体颗粒的吸附状态。由此，即使在磨损粉末的吸附量较多的情况下，也能够根据导体颗粒的吸附调整传感器的检测灵敏度，而进行可靠的检测。特别是，在设有传感器的减速器等的尺寸较大，初期磨损粉末的产生量较多的情况下，能够以限制初期磨损粉末的吸附、或者改变吸附量较多的情况下的检测状态的方式进行设定，而进行可靠的检测。
在本发明的第三技术方案的传感器中，能够是，所述灵敏度调整部调整所述第1电极与所述第2电极之间的距离。
在本发明的第三技术方案的传感器中，能够是，所述灵敏度调整部是配置于所述第1电极与所述第2电极之间的绝缘体的壁，且形成所述壁的高度不同的所述绝缘体的组。
在本发明的第三技术方案的传感器中，能够是，所述灵敏度调整部是配置于所述第1电极与所述第2电极之间的绝缘体，且形成所述第1电极与所述第2电极之间的所述绝缘体的厚度不同的所述绝缘体的组。
在本发明的第三技术方案的传感器中，能够是，所述第1电极在与所述第2电极相同的面上具有端部。
在本发明的第三技术方案的传感器中，能够是，所述灵敏度调整部是至少在所述吸附部以外吸附所述导体颗粒的其他吸附部。
在本发明的第三技术方案的传感器中，能够是，所述灵敏度调整部具有所述第1电极和所述第2电极的表面处理层。
本发明的第四技术方案的传感器具有：
有底筒状的外电极；
绝缘体，其作为有底内筒配置于所述外电极；
磁体，其配置于所述绝缘体的内部；
内电极，其配置于所述绝缘体的内部，并且在轴向上位于比所述磁体靠所述外电极的开口侧的位置；
检测部，其检测以使所述外电极和所述内电极短路的方式利用所述磁体吸附了预定量的导体颗粒的情况；以及
灵敏度调整部，其调整所述导体颗粒的吸附状态而变更检测灵敏度。由此解决了上述课题。
根据本发明的第四技术方案的传感器，利用灵敏度调整部调整导体颗粒的吸附状态。由此，即使在磨损粉末的吸附量较多的情况下，也能够根据导体颗粒的吸附调整传感器的检测灵敏度，而进行可靠的检测。特别是，在设有传感器的减速器等的尺寸较大，初期磨损粉末的产生量较多的情况下，能够以限制初期磨损粉末的吸附、或者改变吸附量较多的情况下的检测状态的方式进行设定，而进行可靠的检测。
在本发明的第四技术方案的传感器中，能够是，所述绝缘体具有筒部和片状的底部。
在本发明的第四技术方案的传感器中，能够是，该传感器具有沿所述轴向贯穿所述内电极、所述磁体、所述绝缘体的底部以及所述外电极的底部的紧固部。
发明的效果
根据本发明的上述技术方案，能够产生如下效果：能够提供一种抑制非预期的工作，能够提高动作可靠性的传感器。
附图说明
图1是表示具备本发明的第1实施方式的传感器的机械装置的一例的剖视图。
图2是本发明的第1实施方式的传感器的俯视图和剖视图。
图3是表示变形例的具有短路抑制部的传感器的俯视图和剖视图。
图4是表示变形例的具有短路抑制部的传感器的俯视图和剖视图。
图5是表示变形例的具有短路抑制部的传感器的俯视图和剖视图。
图6是表示变形例的具有短路抑制部的传感器的俯视图和剖视图。
图7是用于说明本发明的第2实施方式的传感器的图。
图8是表示本发明的第3实施方式的传感器的剖视图。
图9是表示本发明的第4实施方式的传感器的俯视图。
图10是表示本发明的第5实施方式的传感器的剖视图。
图11是用于说明本发明的第6实施方式的传感器的图。
图12是用于说明本发明的第7实施方式的传感器的图。
附图标记说明
2…减速器；5、30、60…传感器；6、61…第1电极(内电极)；8、62…第2电极(外电极)；9、69…紧固构件(紧固部)；10、63…吸附部(绝缘体)；7、64…磁体；10a、11、12a、12b、12c、15…短路抑制部；14…线材；31…中心电极；32(32A、32B、32C)…外侧电极；50、70…检测部；60a…检测面；61h、62h…表面处理层；66…罩。
具体实施方式
以下，基于附图说明本发明的第1实施方式的传感器。
另外，对多个附图中通用的结构要素在该多个附图中标注相同的附图标记。应留意的是，为了便于说明，各附图未必一定以准确的比例尺记载。
图1是表示具备本发明的一实施方式的传感器5的机构1的一例的剖视图。机构1例如是机器人手臂等可动部等，包括减速器2、设于输入侧的凸缘3、伺服马达4以及输出侧的装置A1。
减速器2包括安装于凸缘3的壳体21、与伺服马达4的输出轴22连接的输入轴23以及与输出侧的装置A1连接的输出轴24。
输入轴23和输出轴24被支承为能够相对于壳体21以轴线AX为中心旋转。伺服马达4的输出经由输入轴23向减速器2输入，在被减速器2减速之后，经由输出轴24向输出侧的装置A1传递。由此，输出侧的装置A1和凸缘3能够相对旋转。
凸缘3是筒状的构件，收纳减速器2的至少一部分。另外，在凸缘3安装有伺服马达4。凸缘3的沿着轴线AX的方向上的一端的开口部被减速器2堵塞，凸缘3的另一端的开口部被伺服马达4堵塞。由此，在凸缘3形成有密闭的中空部(空间S)。
在空间S内收纳有润滑油，凸缘3也作为油浴发挥功能。
在减速器2的壳体21内例如收纳有齿轮机构。壳体21内的空间与凸缘3内的空间S连续。在减速器2工作时，伴随着壳体21内的齿轮机构的旋转，在壳体21内的空间与凸缘3内的空间S之间产生润滑油的循环。在该润滑油的循环的作用下，在减速器2的内部产生的磨损粉末(导体磨损粉末)等导体物质向凸缘3内的空间S排出。
在空间S内安装有用于检测润滑油内所包含的导体物质的量的传感器5。传感器5例如借助支承构件25固定于凸缘3。传感器5利用磁体使润滑油内所包含的导体物质集聚在一对电极之间，基于一对电极之间的电阻的变化检测润滑油内的导体物质的量。配置传感器5的位置例如也可以在壳体21内，只要是收纳有润滑油的空间内就能够配置于机构1内的任意的位置。
接下来，参照图2，详细说明传感器5的构造。图2是概略性地表示本发明的第1实施方式的传感器的结构的图。图2表示传感器5的俯视图以及沿着该俯视图的A-A线的截面。
如图2所示，传感器5具有大致圆柱状的外形，包括第1电极6、磁体7、第2电极8、紧固构件9以及吸附部10。如图2所示，从传感器5的上表面观察，第1电极6为圆形形状，并配置于传感器5的中心部。第2电极8为有底圆筒状的构件，包括与第1电极6大致平行地延伸的底部8a、与底部8a连续且相对于该底部8a大致垂直地延伸的壁部(筒部)8b。
磁体7呈大致圆柱状，配置于第1电极6与第2电极8的底部8a之间。在第1电极6、磁体7以及第2电极8的底部8a分别设有供紧固构件9(在图示的实施方式中为螺栓)贯穿的贯通孔。通过将紧固构件9贯穿于该贯通孔，从而第1电极6、磁体7以及第2电极8相互固定。第1电极6和第2电极8以相互分开的状态被固定。第1电极6和第2电极8例如由铁、铁氧体芯、硅钢等具有导电性的磁性材料构成。磁体7例如是永磁体，但也可以不使用永磁体而是构成为第1电极6兼作磁体和电极。
吸附部10以填埋第1电极6与第2电极8之间的空间的方式设置，介于第1电极6与第2电极8之间。第1电极6与第2电极8的壁部8b之间的间隔X1比润滑油内所包含的导体物质的尺寸大。作为一例，导体物质的尺寸为1.0μm～100μm左右，间隔X1优选设为不会因初期磨损铁粉导致发生短路的程度的距离。在图示的实施方式中，磁体7与第1电极6接触，被吸附部10包围。吸附部10例如由树脂等具有绝缘性的非磁性材料构成。利用磁体7在第1电极6与第2电极8之间形成磁通线。由此，润滑油内所包含的导体物质集聚在吸附部10的周边。
传感器5包括用于抑制由大径导体片引起的第1电极6与第2电极8间的短路的短路抑制部10a。在此，大径导体片是指，例如由在制造机构1(参照图1)时的切削加工等产生的切屑等异物，且是具有比第1电极6与第2电极8之间的间隔X1大的尺寸的导体颗粒。作为一例，大径导体片的大小为2mm～5mm左右。
在图2所示的实施方式中，短路抑制部10a是设于吸附部10的凸部，与吸附部10构成为一体。即，短路抑制部10a和吸附部10之间形成单件构造。因此，短路抑制部10a与吸附部10同样地，例如由树脂等具有绝缘性的非磁性材料构成。另外，吸附部10和短路抑制部10a也可以分体。在图2的剖视图中，短路抑制部10a的宽度与第1电极6和第2电极8的壁部8b之间的间隔X1大致相同。从传感器5的上表面观察，短路抑制部10a呈环状，以包围第1电极6的整周的方式形成。
在第1电极6和第2电极8分别连接有输出线(未图示)，第1电极6和第2电极8经由该输出线与检测部50(参照图1)电连接。
检测部50用于检测第1电极6与第2电极8之间的电阻的变化。检测部50例如包括基于导体物质向吸附部10的周边的集聚而引起的电阻变化来进行机构1的零件的故障预测的传感器驱动电路。在润滑油内所包含的导体物质集聚在吸附部10的周边时，施加有电压的第1电极6与第2电极8之间的电阻降低(或者短路)，输出线的输出电平发生变化。检测部50通过检测该电阻的变化，从而进行机构1的零件的故障预测。
另外，电阻的降低也包括由非通电和通电引起的通断信号，也可以检测非通电和通电这两个状态(以下，称为“数字检测”)。检测部50也可以通过有线或者无线方式与操纵器等上位控制装置(未图示)连接。上位控制装置能够构成为，在接收到来自检测部50的信号时，利用预定的通知部件(例如，显示装置、声音输出装置等通知部)发出催促减速器2等的维护的警告。
如以上说明的那样，传感器5包括用于抑制由具有比第1电极6与第2电极8之间的间隔X1大的尺寸的大径导体片引起的第1电极6与第2电极8间的短路的短路抑制部10a。短路抑制部10a是设于吸附部10的凸部。像这样，通过在第1电极6与第2电极8之间设有凸部，从而即使在大径导体片被吸附在吸附部10的周边的情况下，也抑制第1电极6和第2电极8中的至少一者与大径导体片电接触。因而，抑制由大径导体片引起的第1电极6与第2电极8间的短路，能够抑制传感器5的非预期的工作。
另外，传感器5的短路抑制部10a与吸附部10之间形成单件构造。
由此，构成传感器5的零件个数减少，因此能够使传感器5的制造容易。
接下来，参照图3说明传感器5的短路抑制部的变形例。
如图3所示，变形例的短路抑制部11与短路抑制部10a同样地，是设于吸附部10的凸部，与吸附部10构成为一体。短路抑制部11与短路抑制部10a同样地例如由树脂等具有绝缘性的非磁性材料构成。从传感器5的上表面观察，短路抑制部11呈环状，以包围第1电极6的整周的方式形成。短路抑制部11与短路抑制部10a不同的方面在于，短路抑制部11的宽度比第1电极6与第2电极8的壁部8b之间的间隔X1小。
如上所述，对于具备宽度比间隔X1小的短路抑制部11的传感器5，也能抑制第1电极6和第2电极8中的至少一者与大径导体片电接触。因而，抑制由大径导体片引起的第1电极6与第2电极8间的短路，能够抑制传感器5的非预期的工作。
接下来，参照图4，说明传感器5的短路抑制部的另一变形例。
如图4所示，传感器5的短路抑制部也可以被分割为多个。在图4所示的实施方式中，传感器5具有3个短路抑制部12a、12b、12c。多个短路抑制部12a、12b、12c分别是设于吸附部10的凸部，与吸附部10构成为一体。短路抑制部12a、12b、12c与吸附部10同样地，例如由树脂等具有绝缘性的非磁性材料构成。从传感器5的上表面观察，多个短路抑制部12a、12b、12c在第1电极6的周围以等间隔相互分开地配置。
如上所述，即使短路抑制部被分割为多个，也能在设有短路抑制部12a、12b、12c的位置抑制第1电极6和第2电极8中的至少一者与大径导体片电接触。因而，抑制第1电极6与第2电极8间的短路，能够抑制传感器5的非预期的工作。
接下来，参照图5说明传感器5的短路抑制部的又一变形例。
如图5所示，传感器5的短路抑制部也可以是沿着与第1电极6和第2电极8的壁部8b相面对的方向交叉的方向延伸的线材14。线材14被多个支承部13支承，与吸附部10分开，并设于该吸附部10。
在图5的实施方式中，多个支承部13分别为桩状的构件。各个支承部13的一端以埋入吸附部10的内部的状态被固定。在各个支承部13的另一端设有供线材14贯穿的贯通孔。通过将线材14贯穿于该贯通孔，该线材14以与吸附部10分离开的状态被固定。从传感器5的上表面观察，多个支承部13在第1电极6的周向上以等间隔相互分开地配置，线材14以包围第1电极6的整周的方式设置。
构成线材14的材料没有特别限定，既可以是金属等导电性材料，也可以是树脂等绝缘性材料。
如上所述，在短路抑制部是线材14的情况下，也能利用线材14抑制第1电极6和第2电极8中的至少一者与大径导体片电接触。因而，抑制第1电极6与第2电极8间的短路，能够抑制传感器5的非预期的工作。
接下来，参照图6说明传感器5的短路抑制部的又一变形例。
如图6所示，变形例的短路抑制部15也可以是设于第1电极6和第2电极8中的至少一者的具有绝缘性的凸部。在图示的实施方式中，短路抑制部15在第2电极8的壁部8b处沿着壁部8b与吸附部10接触的内缘设置。另外，短路抑制部15既可以设于第1电极6，也可以分别设于第1电极6和第2电极。
如上所述，在短路抑制部15设于第1电极6和第2电极8中的至少一者的情况下，也与短路抑制部10a同样地，能抑制第1电极6和第2电极8中的至少一者与大径导体片电接触。因而，抑制第1电极6与第2电极8间的短路，能够抑制传感器5的非预期的工作。
以下，基于附图说明本发明的第2实施方式的传感器。
图7是说明本实施方式的传感器的图。
本实施方式的传感器30与上述第1实施方式的传感器5同样地，是用于检测润滑油内所包含的导体物质的量的传感器。
传感器30具有大致圆柱状的外形，包括多个检测单元和当在该检测单元中电阻发生变化了的情况下输出信号的检测部50。
更具体而言，传感器30具有中心电极31、多个外侧电极32、配置于中心电极31与外侧电极32之间的吸附部33、磁体34。多个外侧电极32相互绝缘，由包括中心电极31和1个外侧电极32的一对电极以及配置在该一对电极之间的吸附部33构成1个检测单元。
在图示的实施方式中，传感器30具有4个外侧电极32A、32B、32C、32D，构成4个检测单元。外侧电极32的数量以及检测单元的数量没有特别限定。传感器30的磁体34在一对电极之间形成磁通线，因此润滑油内所包含的导体物质被吸附于吸附部33。像这样，在导体物质集聚在吸附部33的附近时，检测单元的电阻发生变化。在未吸附导体颗粒的状态下，多个检测单元各自的电阻相同。
在中心电极31和多个外侧电极32分别连接有输出线，多个检测单元分别经由该输出线与检测部50电连接。
在本实施方式中，多个检测单元相互并联地连接，在中心电极31与各外侧电极32之间施加有来自相同的电压源的电压。当在所设定的任意数量的检测单元中电阻发生变化的情况下，检测部50输出信号。
例如，检测部50既可以设定为，当在2个以上的检测单元中电阻降低的情况下向操纵器等上位控制装置输出信号，也可以设定为，当在全部检测单元中电阻降低的情况下输出信号。
如以上说明的那样，传感器30具备多个检测单元，当在所设定的任意数量的检测单元中电阻降低的情况下，检测部50输出信号。
由此，能够将检测部50设定为，即使由于大径导体片而在1个检测单元中电阻发生变化，也不输出信号。因而，能够抑制由大径导体片引起的传感器的非预期的工作。另外，采用传感器30，能够设定检测部50输出信号的条件，因此能够使在1个传感器30中输出信号的时机与根据每个用户而需求不同的最佳的故障预测的时机一致。
另外，在未吸附导体颗粒的状态下，多个检测单元各自的电阻相同。由此，能够降低施加于传感器30的电压。
另外，多个检测单元相互并联地连接。由此，能够降低施加于各个检测单元的一对电极之间的电压。
以下，基于附图说明本发明的第3实施方式的传感器。
图8是表示本实施方式的传感器的剖视图，在本实施方式中，与上述各实施方式不同的是关于吸附部的方面。另外，在图8中，存在省略了图示的结构。
如图8所示，本实施方式的传感器60具有大致圆柱状的外形，包括第1电极(内电极)61、磁体64、第2电极(外电极)62、紧固构件(紧固部)69、吸附部(绝缘体)63以及壳体65。
从传感器60的上表面观察，第1电极(内电极)61为圆形形状，并配置于传感器60的中心部。第2电极(外电极)62为有底圆筒形的构件，具有与第1电极(内电极)61大致平行地延伸的底部62a和与底部62a连续且相对于该底部62a大致垂直地延伸的壁部(筒部)62b。第1电极(内电极)61位于第2电极(外电极)62的开口。
磁体64呈大致圆柱状(大致圆盘状)，配置于第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的底部62a之间。在第1电极(内电极)61、磁体64以及第2电极(外电极)62的底部62a分别设有供紧固构件(紧固部)69(在图示的实施方式中为螺栓)贯穿的贯通孔。通过将紧固构件(紧固部)69贯穿于该贯通孔，从而第1电极(内电极)61、磁体64以及第2电极(外电极)62相互固定。
磁体64的外径形成得比第2电极(外电极)62的外径小。
第1电极(内电极)61和第2电极(外电极)62以相互分开的状态被固定。第1电极(内电极)61和第2电极(外电极)62例如由铁、铁氧体芯、硅钢等具有导电性的磁性材料构成。磁体64例如是永磁体，但也可以不使用永磁体而是构成为第1电极(内电极)61兼作磁体和电极。
吸附部(绝缘体)63以填埋第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的空间的方式设置，介于第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间。
吸附部(绝缘体)63具有沿着第2电极(外电极)62的底部62a的底部63a以及沿着第2电极(外电极)62的壁部(筒部)62b的筒部63b。
底部63a和筒部63b分体。底部63a设为片状。
吸附部(绝缘体)63的底部63a例如设为绝缘纸，且能够将其厚度设为0.05mm～1mm。吸附部(绝缘体)63的底部63a能够设为外径与筒部63b的内径大致相同的圆形纸。
此外，底部63a能够设为外径比筒部63b的内径大的圆形纸。此时，底部63a能够设为外径比筒部63b的外径小的圆形纸。此外，底部63a能够设为外径与筒部63b的外径相同的圆形纸。
在吸附部(绝缘体)63的筒部63b的内表面形成有台阶63c。吸附部(绝缘体)63的筒部63b的比台阶63c靠第1电极(内电极)61侧的部位具有与第1电极(内电极)61的外径相等的内径尺寸。吸附部(绝缘体)63的筒部63b的比台阶63c靠磁体64侧的部位具有与磁体64的外径相等的内径尺寸。
吸附部(绝缘体)63的筒部63b的端部的厚度、也就是第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的壁部62b之间的间隔X1比润滑油内所包含的导体物质的尺寸大。作为一例，导体物质的尺寸为1.0μm～100μm左右，间隔X1优选设为不会因初期磨损铁粉导致发生短路的程度的距离。在图示的实施方式中，磁体64与第1电极(内电极)61接触，并被吸附部(绝缘体)63包围。
吸附部(绝缘体)63例如由树脂等具有绝缘性的非磁性材料构成。利用磁体64在第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间形成磁通线。由此，润滑油内所包含的导体物质集聚在吸附部(绝缘体)63的周边。另外，润滑油循环的范围设为检测区域。
本实施方式的传感器60的连结与第1电极(内电极)61的表面大致共面的第2电极(外电极)62的端部的平面设为检测面60a。即，在检测面60a上，在第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间与磁通线相对应地吸附导体磨损粉末，将第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间电连接。由此，用于检测第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值变化的情况。
另外，第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的开口也可以不设为共面。
通过使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离变长，从而第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变大。
另外，通过使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离变短，从而第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值降低到阈值或者成为短路的状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变小。
本实施方式的传感器60具有调整导体磨损粉末的吸附状态而变更检测灵敏度的灵敏度调整部。
在本实施方式中，灵敏度调整部设为吸附部(绝缘体)63。并且，在本实施方式中，灵敏度调整部设为吸附部(绝缘体)63的筒部63b。
本实施方式的吸附部(绝缘体)63调节第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的爬电距离，从而能够调节由吸附部(绝缘体)63吸附的导体磨损粉末的量。
具体而言，如图8所示，吸附部(绝缘体)63的筒部63b形成从检测面60a突出的高度发生变化的组。
图8的传感器60A的检测面60a与吸附部(绝缘体)63A的筒部63b的端部的高度HA相同，也就是说，检测面60a与吸附部(绝缘体)63A的筒部63b共面。
对于图8的传感器60B而言，吸附部(绝缘体)63B的筒部63b的端部比检测面60a高出了高度HB，也就是说，吸附部(绝缘体)63B的筒部63b从检测面60a突出了高度HB。
对于图8的传感器60C而言，吸附部(绝缘体)63C的筒部63b的端部比检测面60a高出了高度HC，也就是说，吸附部(绝缘体)63C的筒部63b从检测面60a突出了高度HC。
对于图8的传感器60D而言，吸附部(绝缘体)63D的筒部63b的端部比检测面60a高出了高度HD，也就是说，吸附部(绝缘体)63D的筒部63b从检测面60a突出了高度HD。
在此，高度HA、HB、HC、HD之间的关系设定为HA(＝0)<HB<HC<HD。
本实施方式的传感器60具有设定为这样的不同的值的吸附部(绝缘体)63的筒部63b的组，能够从其中选择并组装。
也就是说，高度(轴向尺寸)不同的多个吸附部(绝缘体)63的筒部63b的组构成灵敏度调整部。
由此，通过选择灵敏度调整部，能够从多个值中选择第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离。
在此，在图8的传感器60A中，以由吸附部(绝缘体)63A的筒部63b的端部设定的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离为基准。
相对于此，在图8的传感器60B中，由吸附部(绝缘体)63B的筒部63b的端部设定的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离比基准长。因而，能够使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变大。由此，即使在例如减速器2的尺寸较大的情况下，也不受减速器2的初期磨损粉末量增大的影响，能够可靠地进行减速器2的故障检测。
并且，在图8的传感器60C中，由吸附部(绝缘体)63C的筒部63b的端部设定的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离比传感器60B长。因而，能够使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变大。由此，即使在减速器2的尺寸更大的情况下，也不受减速器2的初期磨损粉末量增大的影响，能够可靠地进行减速器2的故障检测。
并且，在图8的传感器60D中，由吸附部(绝缘体)63D的筒部63b的端部设定的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离比传感器60C长。因而，能够使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变大。由此，即使在减速器2的尺寸进一步较大的情况下，也不受减速器2的初期磨损粉末量增大的影响，能够可靠地进行减速器2的故障检测。
像这样，通过从吸附部(绝缘体)63的组中适当选择，能够在不使传感器60的尺寸变大，另外不对其他构成零件造成影响的前提下，可靠地进行减速器2的故障检测。
也就是说，中心电极(内电极)61、外侧电极(外电极)62、磁体64、壳体65、紧固构件(紧固部)69均通用，仅通过更换吸附部(绝缘体)63，就能够形成灵敏度不同的传感器60。
另外，在上述本实施方式中，将作为灵敏度调整部的吸附部(绝缘体)63的组设为4种，但不限于此，能够适当地设定。
本实施方式的传感器60的组装如下这样进行。
首先，将外侧电极(外电极)62安置于壳体65的内部。接下来，将吸附部(绝缘体)63的底部63a配置于外侧电极(外电极)62的底部62a。接下来，将具有所选择的高度尺寸的吸附部(绝缘体)63的筒部63b***外侧电极(外电极)62。接下来，将磁体64***筒部63b，并且，将中心电极(内电极)61***筒部63b。在该状态下，通过贯通紧固构件(紧固部)69并进行紧固·固定，从而组装传感器60。
本实施方式的传感器60具有灵敏度调整部，从而能够将检测灵敏度设定为预定的状态。
具体而言，与假定的导体磨损粉末的产生量较多的情况相对应地，选择灵敏度调整部，从而能够增大磨损粉末在电极61、62之间被吸附的爬电距离，将传感器60的检测灵敏度设定为预定的状态。另外，与假定的导体磨损粉末的产生量较少的情况相对应地，选择灵敏度调整部，从而能够减小磨损粉末在电极61、62之间被吸附的长度，将传感器60的检测灵敏度设定为预定的状态。
由此，不受减速器2的初期磨损粉末量的增大的影响，能够可靠地进行减速器2的故障检测。
根据减速器的型号(大小)的不同，在初期磨损中产生的铁粉(磨损粉末)量存在差异，在大型减速器的情况下，初期磨损铁粉的量较多，初期磨损铁粉会填埋电极61、62之间的传感器电气间隙而发生反应，有可能进行误动作。因此，需要进行与减速器型号相应的传感器的电气间隙设计，但存在导致传感器的直径方向的大型化的问题。
相对于此，本实施方式的传感器60具有由高度不同的吸附部(绝缘体)63构成的灵敏度调整部，从而获得与向直径方向延伸相同的效果，因此传感器60不会大型化。
以下，基于附图说明本发明的第4实施方式的传感器。
图9是表示本实施方式的传感器的俯视图，在本实施方式中，与上述第3实施方式不同的是关于吸附部和外电极的方面。另外，在图9中，存在省略了图示的结构。
如图9所示，本实施方式的传感器60具有大致圆柱状的外形，包括第1电极(内电极)61、磁体64、第2电极(外电极)62、紧固构件(紧固部)69、吸附部(绝缘体)63以及壳体65。
从传感器60的上表面观察，第1电极(内电极)61为圆形形状，并配置于传感器60的中心部。第2电极(外电极)62为有底圆筒形的构件，具有与(内电极)61大致平行地延伸的底部62a和与底部62a连续且相对于该底部62a大致垂直地延伸的壁部(筒部)62b。
磁体64呈大致圆柱状(大致圆盘状)，配置于第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的底部62a之间。在第1电极(内电极)61、磁体64以及第2电极(外电极)62的底部628a分别设有供紧固构件(紧固部)69(在图示的实施方式中为螺栓)贯穿的贯通孔。通过将紧固构件(紧固部)69贯穿于该贯通孔，从而第1电极(内电极)61、磁体64以及第2电极(外电极)62相互固定。
磁体64的外径形成得比第2电极(外电极)62的外径小。
第1电极(内电极)61和第2电极(外电极)62以相互分开的状态被固定。第1电极(内电极)61和第2电极(外电极)62例如由铁、铁氧体芯、硅钢等具有导电性的磁性材料构成。磁体64例如是永磁体，但也可以不使用永磁体而是构成为第1电极(内电极)61兼作磁体和电极。
吸附部(绝缘体)63以填埋第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的空间的方式设置，介于第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间。
吸附部(绝缘体)63具有沿着第2电极(外电极)62的底部62a的底部63a以及沿着第2电极(外电极)62的壁部(筒部)62b的筒部63b。
底部63a和筒部63b分体。底部63a设为片状。
吸附部(绝缘体)63的底部63a例如设为绝缘纸，且能够将其厚度设为0.05mm～1mm。吸附部(绝缘体)63的底部63a能够设为外径与筒部63b的内径大致相同的圆形纸。
此外，底部63a能够设为外径比筒部63b的内径大的圆形纸。此时，底部63a能够设为外径比筒部63b的外径小的圆形纸。此外，底部63a能够设为外径与筒部63b的外径相同的圆形纸。
在吸附部(绝缘体)63的筒部63b的内表面形成有台阶63c。吸附部(绝缘体)63的筒部63b的比台阶63c靠第1电极(内电极)61侧的部位具有与第1电极(内电极)61的外径相等的内径尺寸。吸附部(绝缘体)63的筒部63b的比台阶63c靠磁体64侧的部位具有与磁体64的外径相等的内径尺寸。
吸附部(绝缘体)63的筒部63b的端部的厚度、也就是第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的壁部62b之间的间隔X1比润滑油内所包含的导体物质的尺寸大。作为一例，导体物质的尺寸为1.0μm～100μm左右，间隔X1优选设为不会因初期磨损铁粉导致发生短路的程度的距离。在图示的实施方式中，磁体64与第1电极(内电极)61接触，并被吸附部(绝缘体)63包围。
吸附部(绝缘体)63例如由树脂等具有绝缘性的非磁性材料构成。利用磁体64在第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间形成磁通线。由此，润滑油内所包含的导体物质集聚在吸附部(绝缘体)63的周边。
本实施方式的传感器60的连结与第1电极(内电极)61的表面大致共面的第2电极(外电极)62的端部的平面设为检测面60a。即，在检测面60a上，在第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间与磁通线相对应地吸附导体磨损粉末，将第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间电连接，从而用于检测第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值发生变化的情况。
通过使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离变长，从而第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变大。
另外，通过使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离变短，从而第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变小。
本实施方式的传感器60具有调整导体磨损粉末的吸附状态而变更检测灵敏度的灵敏度调整部。
在本实施方式中，灵敏度调整部设为吸附部(绝缘体)63。并且，在本实施方式中，灵敏度调整部设为吸附部(绝缘体)63的筒部63b、外侧电极(外电极)62以及壳体65。
本实施方式的吸附部(绝缘体)63调节基于大径导体片的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的爬电距离，从而能够调节吸附的导体磨损粉末的量。
具体而言，如图9所示，具有吸附部(绝缘体)63的筒部63b的径向厚度发生变化的组。
图9的传感器60E具有吸附部(绝缘体)63E，该吸附部(绝缘体)63E成为检测面60a上的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的壁部62b之间的间隔X1，也就是检测面60a上的筒部63b的端部的厚度X1。
另外，传感器60E具有外侧电极(外电极)62E和壳体65E，该外侧电极(外电极)62E具有与吸附部(绝缘体)63E相对应的直径尺寸。
图9的传感器60F具有吸附部(绝缘体)63F，该吸附部(绝缘体)63F成为检测面60a上的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的壁部62b之间的间隔X2，也就是检测面60a上的筒部63b的端部的厚度X2。
另外，传感器60F具有外侧电极(外电极)62F和壳体65F，该外侧电极(外电极)62F具有与吸附部(绝缘体)63F相对应的直径尺寸。
图9的传感器60G具有吸附部(绝缘体)63G，该吸附部(绝缘体)63G成为检测面60a上的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62的壁部62b之间的间隔X3，也就是检测面60a上的筒部63b的端部的厚度X3。
另外，传感器60G具有外侧电极(外电极)62G和壳体65G，该外侧电极(外电极)62G具有与吸附部(绝缘体)63G相对应的直径尺寸。
在此，厚度X1、X2、X3之间的关系设定为X1<X2<X3。
本实施方式的传感器60具有设定为这样的不同的值的吸附部(绝缘体)63的筒部63b的组，能够从其中选择并组装。
也就是说，厚度(径向尺寸)不同的多个吸附部(绝缘体)63的筒部63b的组构成灵敏度调整部。
由此，通过选择灵敏度调整部，能够从多个值中选择第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间的爬电距离。
在此，在图9的传感器60E中，以由吸附部(绝缘体)63E的筒部63b的端部设定的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62E之间的爬电距离为基准。
相对于此，在图9的传感器60F中，由吸附部(绝缘体)63F的筒部63b的端部设定的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62F之间的爬电距离比基准长。因而，能够使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62F之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变大。由此，即使在例如减速器2的尺寸较大的情况下，也不受减速器2的初期磨损粉末量增大的影响，能够可靠地进行减速器2的故障检测。
并且，在图9的传感器60G中，由吸附部(绝缘体)63G的筒部63b的端部设定的第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62G之间的爬电距离比传感器60F长。因而，能够使第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62G之间的电阻值降低到阈值或者成为短路状态为止所吸附的导体磨损粉末的量变大。由此，即使在减速器2的尺寸更大的情况下，也不受减速器2的初期磨损粉末量增大的影响，能够可靠地进行减速器2的故障检测。
像这样，通过从吸附部(绝缘体)63的组中适当选择，从而能够在不使传感器60的轴向的大小变大，另外不会对中心电极(内电极)61、磁体64、紧固构件(紧固部)69造成影响的前提下，可靠地进行减速器2的故障检测。
也就是说，它们均通用，通过更换吸附部(绝缘体)63、外侧电极(外电极)62以及壳体65，能够做成不同灵敏度的传感器60。
另外，在上述本实施方式中，将作为灵敏度调整部的吸附部(绝缘体)63的组设为3种，但不限于此，能够适当地设定。
本实施方式的传感器60的组装如下这样进行。
首先，将外侧电极(外电极)62安置于具有所选择的直径尺寸的壳体65的内部。接下来，将对应的直径尺寸的吸附部(绝缘体)63的底部63a配置于外侧电极(外电极)62的底部62a。接下来，将具有所选择的直径尺寸的吸附部(绝缘体)63的筒部63b***外侧电极(外电极)62。接下来，将磁体64***筒部63b，并且，将中心电极(内电极)61***筒部63b。在该状态下，通过贯通紧固构件(紧固部)69并进行紧固·固定，从而组装传感器60。
另外，也能够预先安置具有所选择的直径尺寸的壳体65、外侧电极(外电极)62、吸附部(绝缘体)63的组。
本实施方式的传感器60具有灵敏度调整部，从而能够将检测灵敏度设定为预定的状态。
具体而言，与假定的导体磨损粉末的产生量较多的情况相对应地，选择灵敏度调整部，增大磨损粉末在电极61、62之间被吸附的爬电距离，从而能够将传感器60的检测灵敏度设定为预定的状态。另外，与假定的导体磨损粉末的产生量较少的情况相对应地，选择灵敏度调整部，减小磨损粉末在电极61、62之间被吸附的长度，从而能够将传感器60的检测灵敏度设定为预定的状态。
由此，不受减速器2的初期磨损粉末量的增大的影响，能够可靠地进行减速器2的故障检测。
以下，基于附图说明本发明的第5实施方式的传感器。
图10是表示本实施方式的传感器的剖视图，在本实施方式中，与上述第3和第4实施方式不同的是关于电极的方面。另外，在图10中，存在省略了图示的结构。
如图10所示，本实施方式的传感器60设为与第3和第4实施方式的传感器60大致相同的结构。
本实施方式的传感器60具有调整导体磨损粉末的吸附状态而变更检测灵敏度的灵敏度调整部。
在本实施方式中，灵敏度调整部设为第1电极(内电极)61和第2电极(外电极)62。
在本实施方式的第1电极(内电极)61形成有表面处理层61h。在本实施方式的第2电极(外电极)62形成有表面处理层62h。
表面处理层61h、62h的滑动性·非粘合性均良好，且具有导电性，具有低附着性、平滑性、润滑性。
表面处理层61h、62h例如能够通过氟树脂复合化学镀镍等形成。在此，氟树脂能够设为聚四氟乙烯颗粒等。
利用表面处理层61h、62h，能够防止如下情况：有可能减少能够在第1电极(内电极)61和第2电极(外电极)62吸附的磨损粉末的量的淤渣附着于第1电极(内电极)61、第2电极(外电极)62以及检测面60a而在第1电极(内电极)61与第2电极(外电极)62之间磨损粉末被吸附的量减少。
由此，能够将传感器60的检测灵敏度设定为预定的状态。另外，在图10中，用虚线表示淤渣附着的状态。
在未设置表面处理层61h、62h的情况下，由润滑剂产生的淤渣堆积于传感器的电极而形成绝缘覆膜，这有可能产生误动作。相对于此，在本实施方式中，通过形成表面处理层61h、62h，利用由表面处理层61h、62h带来的滑动性的提高和由此带来的润滑剂的良好的流动来防止淤渣的堆积，从而能够期待稳定的传感器60的故障预测的动作。
以下，基于附图说明本发明的第6实施方式的传感器。
图11是说明本实施方式的传感器的图。
本实施方式的传感器60与上述第2实施方式的传感器30同样地，是用于检测润滑油内所包含的导体物质的量的传感器。
传感器60具有大致圆柱状的外形，包括多个检测单元和当在该检测单元中电阻发生变化了的情况下输出信号并且防止漏电的检测部70。
更具体而言，传感器60具有中心电极61、多个外侧电极62、配置于中心电极61与外侧电极62之间的吸附部63、磁体64。多个外侧电极62相互绝缘，由包括中心电极61和1个外侧电极62的一对电极以及配置在该一对电极之间的吸附部63构成1个检测单元。
在图示的实施方式中，传感器60具有4个外侧电极62A、62B、62C、62D，构成4个检测单元。外侧电极62的数量以及检测单元的数量没有特别限定。传感器60的磁体64在一对电极之间形成磁通线，因此润滑油内所包含的导体物质被吸附于吸附部63。像这样，在导体物质集聚在吸附部63的附近时，检测单元的电阻发生变化。在未吸附导体磨损颗粒的状态下，多个检测单元各自的电阻相同。
在中心电极61和多个外侧电极62分别连接有输出线，多个检测单元分别经由该输出线与检测部70电连接。
在本实施方式中，多个检测单元相互并联地连接，在中心电极61与各外侧电极62之间施加有来自相同的电压源的电压。当在所设定的任意数量的检测单元中电阻发生变化的情况下，检测部70输出信号。
例如，检测部70既可以设定为，当在2个以上的检测单元中电阻降低的情况下向操纵器等上位控制装置输出信号，也可以设定为，当在全部检测单元中电阻降低的情况下输出信号。
或者，检测部70依次切换所设定的任意的检测单元，当在该检测单元中电阻发生变化的情况下输出信号。
另外，如上所述，检测部70被设定为，当在检测单元中电阻降低的情况下输出信号，之后，使向传感器60的检测电力断开。
具体而言，如上所述，检测部70设定为，当在检测单元中电阻降低的情况下输出将故障显示点亮的信号，之后，切断开关71而使向传感器60的检测电力断开。也就是说，传感器60在检测到铁粉增加(间隙部电阻值降低)而判断减速器2发生故障之后不通电。
由此，即使磨损粉末持续堆积而传感器60与减速器2或机构1接触，也能够防止漏电、触电。
因而，即使在传感器60传递了减速器2的故障之后，还仍然继续使用减速器2的情况下，也能够防止如下可能发生的情况：在减速器2内部随着运转而持续产生铁粉，在传感器60上也会持续堆积导体磨损粉末，传感器60的尺寸因铁粉的堆积而扩大，结果，传感器60与机构1内的零件经由磨损粉末而接触·通电，导致漏电、触电。
以下，基于附图说明本发明的第7实施方式的传感器。
图12是说明本实施方式的传感器的图。
本实施方式的传感器60与上述各实施方式的传感器5、30、60同样地，是用于检测润滑油内所包含的导体物质的量的传感器。
在本实施方式中，如图12所示，在空间S内，设有覆盖传感器60的罩66。罩66在其内部收纳传感器60，并且，在与传感器60的检测面60a相对的位置形成有许多贯通孔67。
对于贯通孔67而言，与作为罩66的内部的成为与传感器60相面对的面侧的内侧开口67b相比，作为罩66的外部的成为空间S侧的外侧开口67a被扩径。也就是说，对于贯通孔67而言，导体磨损粉末在从空间S进入罩66的内侧时，经由被缩径的贯通孔67到达传感器60。罩66配置为，贯通孔67的内侧开口67b和传感器60的检测面60a分离开。除贯通孔67之外，罩66将其内部密闭。
由此，即使在机构1、减速器2的运转剧烈、润滑剂的流动剧烈的情况下，也能够利用罩66保护传感器60。由此，能够防止进入到罩66内部的导体磨损粉末再次释放到外部的空间S，维持准确的吸附量，并进行可靠的故障预测。另外，也能够防止导体磨损粉末从罩66再次释放，降低对机构1、减速器2的影响。
另外，从传感器60的轴向观察，罩66也能够具有与传感器60的外径大致相等的内径。
并且，根据本实施方式，在磨损粉末较少的减速器2的运转初期，能够利用罩66防止在传感器60一次吸附大量的磨损粉末等，防止传感器60的误动作。并且，相比于磨损粉末较少的减速器2的运转初期，在减速器2即将发生故障之前，大量产生磨损粉末的情况下，能够使足够的磨损粉末经由贯通孔67吸附于传感器60，从而进行检测。
另外，在本发明中，也能够将上述各实施方式的各个结构适当组合来应对。
并且，本发明的传感器的所述灵敏度调整部能够具有相对于所述外电极的所述开口而言的所述轴向高度不同的所述绝缘体的组。
由此，能够从具有多个轴向高度的绝缘体中选择，与假定的导体磨损粉末的产生量相对应地，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。
具体而言，能够与假定的导体磨损粉末的产生量较多的情况相对应地，选择轴向高度较高的绝缘体，使磨损粉末在电极之间被吸附的长度增大，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。另外，能够与假定的导体磨损粉末的产生量较少的情况相对应地，选择轴向高度较低或者与电极共面的绝缘体，减小磨损粉末在电极之间被吸附的长度，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。
本发明的传感器的所述灵敏度调整部能够具有由所述绝缘体和与所述绝缘体的外径相对应的所述外电极的组构成的组，所述绝缘体的相对于所述内电极的外径而言的与所述外电极的所述开口相邻的径向厚度不同。
由此，能够从具有多个径向厚度的绝缘体中选择，与假定的导体磨损粉末的产生量相对应地，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。
具体而言，能够与假定的导体磨损粉末的产生量较多的情况相对应地，选择径向厚度较大的绝缘体，使磨损粉末在电极之间被吸附的长度增大，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。另外，能够与假定的导体磨损粉末的产生量较少的情况相对应地，选择径向厚度较小的绝缘体，减小磨损粉末在电极之间被吸附的长度，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。
本发明的传感器的所述外电极能够具有与所述内电极共面的开口端部。
本发明的传感器的所述灵敏度调整部能够具有除所述磁体以外设置的其他磁体。
在该情况下，也能够从具有多个吸附量的其他磁体的组中选择，或者不设置其他磁体。
由此，通过与假定的导体磨损粉末的产生量相对应地利用其他磁体吸附磨损粉末，从而能够减少磨损粉末在电极之间被吸附的量，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。
具体而言，能够与假定的导体磨损粉末的产生量较多的情况相对应地，选择强磁力或者较大的其他磁体，减少在电极之间被吸附的磨损粉末的量，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。另外，能够与假定的导体磨损粉末的产生量较少的情况相对应地，选择磁力较弱的或较小的其他磁体，或者不设置其他磁体，从而以在电极之间被吸附的磨损粉末成为预定量的方式进行设定，将传感器的检测灵敏度设定为预定的状态。
本发明的传感器的所述灵敏度调整部能够具有所述外电极和所述内电极的表面处理层。
由此，能够防止如下情况：有可能减少能够吸附的磨损粉末的量的淤渣附着于电极的吸附面，而磨损粉末在电极之间被吸附的量减少，不呈现所需的检测灵敏度。
具体而言，表面处理层具有导电性，具有低附着性、平滑性、润滑性即可。
本发明的传感器的所述灵敏度调整部能够是覆盖至少一对电极和配置于所述一对电极之间的所述吸附部的罩。