阅读说明：本技术 柔性板结构移相器 (Flexible plate structure phase shifter ) 是由 汤明智 于 2020-08-10 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种柔性板结构移相器,包括基座和主体；所述基座的内部为工作腔；主体设置在基座的上方；所述基座内安装有竖向的促动器组件；促动器组件电连接有线束组件,线束组件连接线束接头,线束接头上套接有线扣；所述基座的侧面设置有通孔,线扣安装在通孔上；所述促动器组件的顶部安装有柔性板组件,主体固定在柔性板组件上。本发明不会产生位置的偏差,大大提升了使用寿命,间接帮助企业减少损失,提高了卧式干涉仪的工作效率。(The invention discloses a flexible plate structure phase shifter, which comprises a base and a main body, wherein the base is provided with a plurality of grooves; a working cavity is arranged inside the base; the main body is arranged above the base; a vertical actuator assembly is mounted in the base; the actuator assembly is electrically connected with the wire harness assembly, the wire harness assembly is connected with the wire harness connector, and the wire harness connector is sleeved with the wire buckle; a through hole is formed in the side face of the base, and the wire buckle is installed on the through hole; the top of the actuator assembly is provided with a flexible plate assembly, and the main body is fixed on the flexible plate assembly. The invention can not generate position deviation, greatly prolongs the service life, indirectly helps enterprises to reduce loss and improves the working efficiency of the horizontal interferometer.)

柔性板结构移相器

技术领域

本发明涉及干涉仪零部件领域，具体而言，涉及一种柔性板结构移相器。

背景技术

目前在干涉仪检测领域，通过计算机算法来计算干涉仪条纹所反映的被测样品的优劣越来越被广泛的使用。在干涉移相算法中，要求被测样品与标准镜头之间具有一段亚微米级、被移动物体端面各点位移曲线一致、稳定、可恢复的一段位移，移相器的作用便是如此。

干涉仪在通过软件计算时，无法获得一段稳定、精密、可恢复的位移，往往带来很大的位移误差，导致最后的计算结果与实际的数值相差很大，最终影响企业对于被测样品优劣的判断。

市场上已有的相近方案，是在干涉仪上设置单点支撑的移相器。移相器为单点支撑，存在着移相的位置偏差、恢复性能随时间推移降低、使用寿命短等缺陷，同时，柔性铰链移相器在卧式的设备上的运用载重有限。

发明内容

本发明针对现有技术的缺点，提供了一种柔性板结构移相器，解决了上述技术的缺陷。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

柔性板结构移相器，其特征在于：包括基座和主体；所述基座的内部为工作腔；主体设置在基座的上方；所述基座内安装有竖向的促动器组件；促动器组件电连接有线束组件，线束组件连接线束接头，线束接头上套接有线扣；所述基座的侧面设置有通孔，线扣安装在通孔上；所述促动器组件的顶部安装有柔性板组件，主体固定在柔性板组件上。

优化的方案，所述促动器组件包括通过第一紧固件固定安装在工作腔内的若干个促动器；所有的促动器为圆周排列。

优化的方案，所述线束组件包括与促动器一一对应的导线制成的线束；线束的一端电连接促动器，所有的线束的另一端共同连接线束接头。

优化的方案，所述柔性板组件包括与促动器一一对应的柔性板，柔性板通过圆柱销和顶丝实现与促动器的固定连接。

优化的方案，所述促动器的数目为3-6个，均匀分布在工作腔内。

由于采用了上述技术，与现有技术相比较，本发明的有益效果是：

本发明通过在主体、基座之间增加柔性板，柔性板与基座之间接近刚性连接，利用结构本身的弹性恢复力使得移相器移相完成后恢复原状。

本发明不会产生位置的偏差，大大提升了使用寿命，间接帮助企业减少损失，提高了卧式干涉仪的工作效率。

附图说明

图1为本发明一种实施例的***式结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1所示，柔性板结构移相器，包括基座8和主体1。

所述基座的内部为工作腔。主体1设置在基座8的上方。所述基座8内安装有竖向的促动器组件。促动器组件电连接有线束组件，线束组件连接线束接头，线束接头上套接有线扣6。所述基座的侧面设置有通孔7，线扣6安装在通孔7上。所述促动器组件的顶部安装有柔性板组件，主体1固定在柔性板组件上。

具体的设计如下：

所述促动器组件包括通过第一紧固件固定安装在工作腔内的若干个促动器5。所有的促动器5为圆周排列。所述促动器的数目为3-6个，均匀分布在工作腔内。

所述线束组件包括与促动器一一对应的导线制成的线束。线束的一端电连接促动器，所有的线束的另一端共同连接线束接头。

所述柔性板组件包括与促动器一一对应的柔性板4，柔性板4通过圆柱销2和顶丝3实现与促动器的固定连接。

在本实施例中，促动器，由封装结构将压电陶瓷封装好的具有良好压电效应的零件。基座，其作用是将固定促动器与设备相连接。主体，将促动器的位移转化为主体端面的位移。柔性板，安装在基座上，实现主体与柔性板连接，促动器使柔性板发生微小形变传递给主体。线扣，将线束接头固定并引出的零部件。圆柱销，将促动器的位移平稳转移的零部件。顶丝，调节圆柱销与促动器接触的预紧力。

本发明通过在主体、基座之间增加柔性板，柔性板与基座之间接近刚性连接，利用结构本身的弹性恢复力使得移相器移相完成后恢复原状。

本发明不会产生位置的偏差，大大提升了使用寿命，间接帮助企业减少损失，提高了卧式干涉仪的工作效率。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。