本发明提供一种双轴微机械系统换能器结构,其包括：固定基板；可移动基板,其悬置于固定基板上方；多个第一锚定结构,其设置于可移动基板的外侧；多组折叠梁,其设置于可移动基板的外侧,且每组折叠梁均包括相互垂直正交的第一折叠梁和第二折叠梁,第一折叠梁和第二折叠梁均连接可移动基板和对应的第一锚定结构；多个第二锚定结构,其设置于可移动基板的外侧；多个梳齿电容元件,其设置于可移动基板和第二锚定结构之间,梳齿电容元件包括成叉指状排布的可动梳齿和固定梳齿,其可动梳齿与可移动基板连接,其固定梳齿与对应的第二锚定结构连接。与现有技术相比,本发明具有集成度高、正交误差小的优点。

微镜器件具备第1及第2致动器,该第1及第2致动器为具备在振动板上层叠有下部电极、压电膜及上部电极的压电元件的压电致动器。各压电元件的各上部电极由以第1应力反转区域及第2应力反转区域分离的多个个别电极部构成,并且该各压电元件包括由多个个别电极部分别规定的多个压电部,该第1应力反转区域中,在以使反射镜部绕第1轴产生倾斜位移的第1共振模式驱动时的最大位移状态下,在压电膜的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转,该第2应力反转区域中,在以使反射镜部绕第2轴产生倾斜位移的第2共振模式驱动时在压电膜的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转。

本发明涉及一种用于转速传感器的微机械构件,所述微机械构件具有带有衬底表面(10)的衬底、一件式的第一转子质量(12a)和微机械构件的至少一个第一部件(22a,22b,38a,38b),所述第一转子质量能够被置于围绕垂直于衬底表面(10)定向的第一旋转轴线(18a)的第一扭转振动运动(16a)中,其中,第一转子质量(12a)通过至少一个第一弹簧元件(26a)附接到所述至少一个第一部件(22a,22b,38a,38b)上,其中,至少一个第一弹簧元件(26a)分别延伸通过第一转子质量(12a)上的各一个侧向凹口(28a)并且附接到第一转子质量(12a)的缩回的边缘区域上。本发明还涉及一种转速传感器和一种用于转速传感器的微机械构件的制造方法。

本发明涉及一种通过以下步骤制造盖器件或盖晶圆的制造方法：在第一衬底的第一衬底表面上形成第一凹槽和第二凹槽,使得借助第一凹槽由第一衬底的材料形成穿通的第一框架结构,通过第二衬底形成至少一个连续的凹部,使得借助连续的凹部由第二衬底的材料形成封闭的第二框架结构,借助封闭的第二框架结构覆盖第二凹槽,在第一框架结构和第二框架结构上构造以后的盖器件或以后的盖晶圆的部分外表面,使得第二凹槽作为通道穿通部分外表面。本发明还涉及一种用于制造用于至少一个器件的微机械封装的方法以及一种用于封装至少一个器件的方法。本发明还涉及一种盖晶圆、一种盖器件、一种用于至少一个器件的微机械封装以及一种装置。

一种设备(400)具有：第一光源(404),其被配置为将第一光束(410)引导到相位光调制器(414)；以及第二光源(406),其被配置为将第二光束(420)引导到相位光调制器(414)。相位光调制器(414)被配置为提供：引导到第一视野(418)的第一调制光束(416)；以及引导到第二视野(428)的第二调制光束(426)。设备(400)还具有：第一光检测器,其被配置为检测如从第一视野反射的第一调制光束；以及第二光检测器,其被配置为检测如从第二视野反射的第二调制光束。

阀装置具备主体(51)、阀芯(52)以及控制阀部件(Y1),该控制阀部件(Y1)使作用于压力室(51g、58a)的压力变化,而该压力室(51g、58a)产生用于使阀芯(52)移动的控制压力。控制阀部件(Y1)具有：基部(Y11、Y121、Y13),该基部形成有制冷剂室(Y19)、与制冷剂室(Y19)连通并且与所述压力室(51g、58a)连通的第一制冷剂孔(Y16)、与制冷剂室(Y19)连通并且与该控制阀部件(Y1)外的制冷剂通路(51c、51k)连通的第二制冷剂孔(Y17、Y18)；驱动部(Y123、Y124、Y125),该驱动部当自身的温度变化时进行位移；放大部(Y126、Y127),该放大部对驱动部(Y123、Y124、Y125)的由温度的变化引起的位移进行放大；可动部(Y128),该可动部被传递由放大部(Y126、Y127)放大后的位移而在制冷剂室(Y19)内移动,从而对第二制冷剂孔(Y17、Y18)相对于制冷剂室(Y19)的开度进行调整。

用于制冷循环的阀装置具备主体(100)、阀室(10)内的阀芯(13、15)以及用于使阀芯(13、15)移动的阀部件(X1),阀部件(X1)具有：基部,该基部形成有供制冷剂流通的制冷剂室、与制冷剂室连通的第一制冷剂孔以及与制冷剂室连通的第二制冷剂孔；驱动部,该驱动部当自身的温度发生变化时进行位移；放大部,该放大部对驱动部的由温度的变化引起的位移进行放大；以及可动部,该可动部被传递由放大部放大后的位移而移动,从而对经由制冷剂室的第一制冷剂孔与第二制冷剂孔之间的制冷剂的流量进行调整,第一制冷剂孔和第二制冷剂孔中的一方与阀装置的外部的流路连通,另一方与阀室(10)连通。

本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法,其中,压力传感器包括具有线性渐变梁膜结构的硅应变膜、压敏电阻、重掺杂接触区域,金属引线,所述硅应变膜为硅衬底的正面经过腐蚀工艺并键合硅片层所形成的,所述压敏电阻位于梁膜结构的端部,所述金属引线和重掺杂接触区在硅应变梁膜的正面形成欧姆接触。本发明通过采用在硅衬底的正面设置具有线性渐变的梁膜结构、压敏电阻、重掺杂接触区以及金属引线并键合硅片所形成的压阻式压力传感器,使得通过调节渐变梁结构的线性变化比例,达到提高压力传感器线性度的目的,以及通过调整压敏电阻与渐变梁结构之间的尺寸大小,实现提高灵敏度的目的。

公开了一种致动器,包括活性层,该活性层包含至少一种金属氢氧化物,活性层在无刺激下具有第一体积并在刺激下具有大于或小于第一体积的第二体积；以及包含多孔聚合物薄膜的钝化层,该钝化层的弹性模量至少是该活性层的弹性模量的一半。

本发明提出MEMS湿压集成传感器及制备方法,包括：位于衬底上的CPW信号线及位于CPW信号线两侧的CPW地线,且CPW信号线包括主线、第一副线和第二副线；凹槽,设置在主线下方的衬底上,包括第一凹槽和第二凹槽；MEMS梁,分别位于第一凹槽的底面和靠近第一副线的两个侧面上、第二凹槽的底面和靠近第二副线的两个侧面上；MEMS薄膜,与第一凹槽形成密闭腔体；第二MEMS薄膜位于第二凹槽正上方,且主线两侧的部分设置通孔；感湿层,位于第二MEMS梁和第二MEMS薄膜之间；终端匹配电阻,位于第一副线和第二副线远离主线的一端；热电堆,位于终端匹配电阻远离主线的一端。利用本发明的结构可分别获取环境压强和环境湿度。