一种气浮轴承装置及光刻设备

本发明公开了一种气浮轴承装置及光刻设备,其属于光刻技术领域,气浮轴承装置包括轴承本体和预载磁铁,轴承本体具有多个气浮面和中部区域,多个所述气浮面关于所述中部区域对称分布且与所述中部区域之间间隔设置形成缝隙；预载磁铁设于所述中部区域上。预载磁铁与气浮面之间的连接断开,在磁预载时,预载磁铁受到预载力,使得预载力不会直接传递至气浮面上,减少磁预载对气浮面的变形影响。光刻设备包括上述气浮轴承装置。由于预载力不会直接传递至气浮面上,减少磁预载对气浮面的变形影响,使得光刻设备的可靠性提高,加工精度较高。

2021-11-02

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气体轴承、压缩机和空调系统

本申请涉及空调技术领域,公开一种气体轴承,包括：轴承基体,其上设置有多个环形节流孔组,相邻两个环形节流孔组中的节流孔交错设置；环形节流孔组包括多个节流孔,且多个所述节流孔呈环形设置。本公开实施例的气体轴承,将相邻的环形节流孔组中的节流孔交错设置,优化了气体轴承的供气方式。与传统的平齐布置方式相比,而采用本公开实施例的节流孔交错设置的气体轴承,在周向方向上增加了一倍的供气位置,使得润滑气体在轴承间隙内的分布更为均匀。本申请还公开一种压缩机和空调系统。

2021-10-29

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电磁辅助式气浮恒力弹簧支架

电磁辅助式气浮恒力弹簧支架,涉及飞行器地面零重力模拟技术领域。本发明是为了使卫星模拟器能够提供六自由度的全方位三维空间模拟。本发明所述的电磁辅助式气浮恒力弹簧支架,包括：恒力弹簧系统和电磁主动式恒力补偿系统,电磁主动式恒力补偿系统包括：直线电机和直线电机输出端力传感器。直线电机的芯轴首端通过直线电机输出端力传感器与恒力弹簧系统的滚轮支架下表面相连,直线电机输出端力传感器用于采集直线电机的输出力,直线电机位于恒力弹簧系统的主弹簧的内部、且二者轴线重合,直线电机的末端连接有预紧螺母,主弹簧的两端分别与滚轮支架的下表面和预紧螺母相接触。

2021-10-29

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一种带污染过滤装置的动压气浮轴承结构

本发明涉及一种带污染过滤装置的动压气浮轴承结构,包括轴、转子组件、左右两止推板、左右两锁紧螺母；在轴的中心设有轴向进气通孔,在轴向进气通孔内安装有过滤芯；在轴的外环面上与转子组件配合的中部位置制有均压环槽,在均压环槽与进气通孔之间设有径向通气孔；在轴外环面上位于均压环槽两侧均制有数条轴面导气螺旋槽,两侧轴面导气螺旋槽的旋向相反且导气方向由轴中部向两侧方向延伸；在左止推板内端面上和右止推板内端面上均制有沿圆周方向布设的数条端面导气螺旋槽,左止推板上的端面导气螺旋槽和右止推板上端面导气螺旋槽的旋向相反且导气方向均由止推板的中心部位朝向外环方向延伸。本发明缓解动压气浮轴承污染问题,延长了陀螺电机寿命。

2021-10-26

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一种紧凑型气动高速静压空气主轴

本发明提供一种紧凑型气动高速静压空气主轴,包括主轴基座、中空旋转轴、蜗扇轮、送气组件、气孔压紧环、气孔法兰、气膜铜套组件等多个部件,通过上述各部件中的进气及泄气通道的具体结构和配合方式进行设计,得到一种结构稳定、可应用于导弹壳体曲面内腔涂覆机器人上的紧凑型气动高速静压空气主轴,能在狭小空间内对抛涂头及高粘度胶液进行高速旋转和雾化抛涂作业。

2021-10-26

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花岗岩空气静压气浮滑块

本发明公开了花岗岩空气静压气浮滑块,具体为静压浮块领域,包括装置整体,所述活动块的表面固定安装有顶部区块,所述活动块的内部固定安装有活动区块,所述活动块的底部固定安装有卡接区块,所述装置整体的顶部固定安装有装置导轨,所述装置整体的表面固定安装有卡接层,所述活动区块的底部固定安装有卡接区块。本发明通过设置透气孔装置,使得装置在进行使用的时候,其装置本体的活动可以有效的通过排气孔使得滑块大大的减少与轨道的摩擦,使得其摩擦力基本趋于零,通过设置该装置,既避免了装置整体在进行使用的时候效率不高的问题,又解决了装置整体的使用摩擦力过大的问题。

2021-10-26

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具有带减小的轴向和径向累积的空气轴承的电动压缩机装置

一种涡轮机,包括壳体组件,该壳体组件具有带护罩表面的第一壳体构件、轴承壳体和第二壳体构件。涡轮机还包括轴承,其支撑旋转组在壳体组件内的旋转。第一壳体构件具有第一轴向表面,并且轴承壳体具有与第一轴向表面大致齐平的第二轴向表面。第二壳体构件具有第三轴向表面,该第三轴向表面面向与第一轴向表面和第二轴向表面的轴向方向相反的轴向方向。第一壳体构件具有第一径向表面,并且轴承壳体具有第二径向表面。第一壳体构件和轴承壳体附接到第二壳体构件。第一和第二轴向表面抵靠第三轴向表面,并且第一径向表面抵靠第二径向表面。

2021-10-26

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一种一字型分体式扁轴气浮轴系结构

本发明公开了一种一字型分体式扁轴气浮轴系结构；本发明中的包括主轴、节流器、节流器套、固定座、丝杆、底板、供气管、导气管和上盖；主轴采用小长径比的一字型扁轴结构,极大的减小了现有轴系的轴向尺寸,弥补了现有闭式气浮轴系过长,整体体积过大,难以适应小尺寸要求场合的局限；节流器整合轴向和径向的气浮功能,并提供按需选择节流器数量的自由,拓宽了适用场合和领域,使用方式更灵活。

2021-10-22

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一种四分体式扁轴二级气浮轴系

本发明公开了一种四分体式扁轴二级气浮轴系。本发明中的装置包括四分体气浮模块、支承调节模块和保护盖；四分体气浮模块整合了轴向和径向气浮功能,在保证功能的基础上简化了轴系结构；二级气浮结构赋予了节流器自动调节位置和姿态的能力,在满足主轴承载和润滑的同时,保证了四分体过定位结构的稳定性。

2021-10-22

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一种分体式扁轴气浮转台

本发明公开了一种分体式扁轴气浮转台。本发明中的装置包括分体式扁轴气浮轴系、动力模块、测角模块和支承保护模块；分体式扁轴气浮轴系采用模块化设计,利用主轴和多个气浮模组的组合,实现闭式气浮结构,并且整合轴向和径向的气浮功能,提升了气浮转台的使用灵活度,扩展了适用场合；动力模块驱动转台旋转；测角模块对转台的实际旋转角度进行测量和反馈；支承保护模块用于保护转台内部和承载外接设备。

2021-10-22

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