阅读说明：本技术 一种真空炉真空泵机组 (Vacuum pump unit of vacuum furnace ) 是由 王德顺 王攀 阮灵兵 于 2020-06-24 设计创作，主要内容包括：本申请涉及一种真空炉真空泵机组,包括一级泵,一级泵的进气口连接有输气管,所述一级泵的出气口连接有消音器,机组包括底座,一级泵安装于底座上,底座上设置有位于一级泵一侧的净化箱体,净化箱体的顶部设置有与一级泵的输气管连通的充气阀,充气阀的进气口与净化箱体之间连通有出气管,净化箱体的顶部设置有二级泵,二级泵的出气口与净化箱体之间连通有进气管,二级泵的进气口与被抽容器的出气口连通。本申请具有能够减少被抽容器中的杂质进入真空泵中,以提高真空泵的工作效率并延长真空泵的使用寿命的效果。(The utility model relates to a vacuum furnace vacuum pump unit, including the primary pump, the air inlet of primary pump is connected with the gas-supply pipe, the gas outlet of primary pump is connected with the muffler, the unit includes the base, the primary pump is installed on the base, be provided with the purification box who is located primary pump one side on the base, the top of purifying the box is provided with the inflation valve with the gas-supply pipe intercommunication of primary pump, the intercommunication has the outlet duct between the air inlet of inflation valve and the purification box, the top of purifying the box is provided with the secondary pump, the intercommunication has the intake pipe between the gas outlet of secondary pump and the purification box, the air inlet of secondary pump and the gas outlet intercommunication of being taken out. This application has can reduce and is taken out impurity among the container and get into the vacuum pump to improve the work efficiency of vacuum pump and prolong the life's of vacuum pump effect.)

一种真空炉真空泵机组

技术领域

本申请涉及真空泵的领域，尤其是涉及一种真空炉真空泵机组。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，广泛应用于航天、航空、原子、石油、化工、制药、电工、陶瓷、冶炼、新材料、真空热处理、真空镀膜等行业的真空冶炼、真空干燥、真空浸渍以及其他真空作业中。真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、二级泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。

现有技术中公开号为CN105422447B的中国专利，其公开了一种耐腐蚀湿式罗茨真空泵，包括一级泵、主动轴、从动轴以及分别设置在主动轴和从动轴上的主动转子和从动转子，所述主动轴和从动轴上分别设有轴套，所述一级泵、主动转子和从动转子的材质为酚醛石棉耐酸模塑料或酚醛石墨耐酸模塑料或二者任意比例混合物，轴套的材质为酚醛石棉耐酸模塑料或酚醛石墨耐酸模塑料或二者任意比例混合物；所述主动轴和从动轴与所述一级泵之间设有机械密封。本发明的耐腐蚀湿式罗茨真空泵使抽取的腐蚀性的气体或液体与金属部件隔离，耐腐蚀性强。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有当真空泵抽取被抽容器时，真空炉的空气中含有的杂质也随之进入真空泵中，杂质进入真空泵的泵腔后会对真空泵造成损伤，不仅降低真空泵的工作效率，也会缩短真空泵的使用寿命。

发明内容

为了减少被抽容器中的杂质进入真空泵中，以提高真空泵的工作效率并延长真空泵的使用寿命，本申请提供一种真空炉真空泵机组。

本申请提供的一种真空炉真空泵机组采用如下的技术方案：

一种真空炉真空泵机组，包括包括一级泵，所述一级泵的进气口连接有输气管，所述一级泵的出气口连接有消音器，所述机组包括底座，所述一级泵安装于所述底座上，所述底座上设置有位于所述一级泵一侧的净化箱体，所述净化箱体的顶部设置有与所述一级泵的输气管连通的充气阀，所述充气阀的进气口与所述净化箱体之间连通有出气管，所述净化箱体的顶部设置有二级泵，所述二级泵的出气口与所述净化箱体之间连通有进气管，所述二级泵的进气口与被抽容器的出气口连通；所述净化箱体包括分别位于所述净化箱体两端的沉淀腔和纯净腔，所述沉淀腔和所述纯净腔之间设置有净化腔，所述进气管位于所述沉淀腔内，所述出气管位于所述纯净腔内，所述沉淀腔和所述纯净腔分别与所述净化腔的顶部连通，所述净化腔的顶面固接有隔离所述沉淀腔和所述纯净腔气体传输路径的挡板，所述挡板的下方设置有净化筒，所述净化箱体的侧壁连接有与所述沉淀腔连通的水阀，所述水阀靠近所述沉淀腔的底部。

通过采用上述技术方案，先后启动一级泵和二级泵后，两个真空泵同时运转可以提高抽真空的速率；此外，二级泵抽出的气体进入沉淀腔进行沉淀，气体中的油液和杂质会沉淀至沉淀腔的底部，在一级泵抽真空的作用下，气体会向纯净腔一侧移动，气体在经过净化腔时，净化筒会对气体进行净化，可以过滤掉气体中的细微颗粒，最后进入纯净腔中的气体较为纯净，从而可以减少杂质进入一级泵中，减少对泵体的损伤，有利于延长真空泵的使用寿命。

优选的，所述进气管位于所述沉淀腔的中间位置，所述进气管位于所述沉淀腔内的一端向远离所述净化腔的一侧弯曲；所述出气管位于所述纯净腔的中间位置，所述出气管位于所述纯净腔内的一端向远离所述净化腔的一侧弯曲。

通过采用上述技术方案，将进气管的端部向远离净化腔一侧弯曲，可以使得进入沉淀腔的气体聚集在远离净化腔的一侧，从而可以增加气体在沉淀腔的停留时间，有利于气体沉淀杂质；此外，将出气管的端部向远离净化腔的一侧弯曲，可以使得气体进入纯净腔时，需要移动一端距离才能到达出气管的开口端，也增加了气体在纯净腔的停留时间，有利于气体中没有过滤掉的杂质进行沉淀，进一步提高了气体的纯净度。

优选的，所述净化箱体远离所述一级泵的一侧分别开设有与所述沉淀腔连通的清理孔一、与所述纯净腔连通的清理孔二以及与所述净化腔连通的清理孔三，所述清理孔一、所述清理孔二以及所述清理孔三上分别螺栓连接有密封板一、密封板二以及密封板三。

通过采用上述技术方案，分别将密封板一、密封板二以及密封板三打开，可以分别通过清理孔一对纯净腔进行清理、通过清理孔二对净化腔进行清理以及通过清理孔三对沉淀腔进行清理。

优选的，所述沉淀腔的体积大于所述纯净腔的体积和所述净化腔的体积。

通过采用上述技术方案，将沉淀腔的体积设置为大于纯净腔的体积和净化腔的体积，可以增大沉淀腔在净化箱体中体积的占比，进而可以提高气体在沉淀腔中的扩散面积，有利于气体中杂质的沉淀。

优选的，所述净化箱体的顶部螺栓连接有上盖。

通过采用上述技术方案，当需要对净化箱体内部进行维护和清理时，可以将上盖打开，便于维护人员清理和维护。

优选的，所述净化箱体顶部开设有密封槽，所述密封槽沿所述净化箱体顶部的一周开设，所述密封槽内设置有密封垫圈。

通过采用上述技术方案，利用密封垫圈可以增加上盖与净化箱体之间的密封性，减少气体外漏，有利于保证机组的工作效率。

优选的，所述一级泵底部和所述底座之间固接有护板，所述护板竖直设置，所述护板为两个并分别位于所述消音器的两侧。

通过采用上述技术方案，有利于消音器上会产生大量的热量，进而消音器的表面温度较高，提高护板的设置，可以对消音器进行隔挡，减少工作人员由于误碰而发生烫伤的情况，提高了真空泵机组的安全性。

优选的，所述护板截面呈U形状，所述一级泵的底面与所述护板的侧边之间固接有橡胶支撑件。

通过采用上述技术方案，橡胶支撑件对泵体起到支撑作用，而橡胶支撑件的设置使得顶板与泵体的底部间隔设置，有利于减少真空泵机组的震动。

优选的，所述底座底部的四个边角处设置有减震组件，所述减震组件包括螺栓连接于所述底座底面的减震罩，所述减震罩的开口端朝向地面，所述减震罩的底面开设有螺纹孔，所述减震罩的底面固接有减震弹簧，所述减震弹簧中穿插有支撑柱，所述支撑柱的高度小于所述减震弹簧的长度，所述支撑柱的底面固接有支撑板，所述减震弹簧远离所述减震罩的一端固接于所述支撑板上。

通过采用上述技术方案，底座上方的两个泵体同时工作会产生震动，而利用减震组件中的减震弹簧可以吸收真空泵机组的震动，进而可以减少真空泵机组的震动，进一步减少因机组的震动对真空炉造成影响。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

通过设置净化箱体，先后启动一级泵和二级泵后，两个真空泵同时运转可以提高抽真空的速率；此外，二级泵抽出的气体进入沉淀腔进行沉淀，气体中的油液和杂质会沉淀至沉淀腔的底部，在一级泵抽真空的作用下，气体会向纯净腔一侧移动，气体在经过净化腔时，净化筒会对气体进行净化，可以过滤掉气体中的细微颗粒，最后进入纯净腔中的气体较为纯净，从而可以减少杂质进入一级泵中，减少对泵体的损伤，有利于延长真空泵的使用寿命；

通过将沉淀腔的体积设置为大于纯净腔的体积和净化腔的体积，可以增大沉淀腔在净化箱体中体积的占比，进而可以提高气体在沉淀腔中的扩散面积，有利于气体中杂质的沉淀；

通过设置减震组件，利用减震组件中的减震弹簧可以吸收真空泵机组的震动，进而可以减少真空泵机组的震动，进一步减少因机组的震动对真空炉造成影响。

附图说明

图1是申请实施例中真空泵机组的整体构造。

图2是图1的剖面示意图，主要示意净化箱体的内部构造。

图3是图2中A部分的放大示意图，主要示意密封槽和密封垫圈的构造。

图4是图1中部分结构示意图，主要示意护板的构造。

图5主要示意图1中减震组件的构造。

附图标记说明：1、一级泵；11、输气管；12、消音器；13、护板；14、支撑件；2、底座；3、净化箱体；301、沉淀腔；302、纯净腔；303、净化腔；31、挡板；32、净化筒；33、水阀；34、清理孔一；35、清理孔二；36、清理孔三；37、上盖；38、密封槽；381、密封垫圈；4、充气阀；5、出气管；6、二级泵；7、进气管；81、密封板一；82、密封板二；83、密封板三；9、减震组件；91、减震罩；911、螺纹孔；92、减震弹簧；93、支撑柱；94、支撑板。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种真空炉真空泵机组。参照图1，一种真空炉真空泵机组包括一级泵1、底座2、净化箱体3、充气阀4、二级泵6以及减震组件9。底座2为长方形框体，减震组件9为四组并分别固接于底座2底面的四个边角处。一级泵1安装于底座2上，一级泵1可以是无油螺杆泵，一级泵1的长度方向与底座2的长度方向一致，且一级泵1位于靠近底座2长度方向的其中一侧，一级泵1的进气口连通有输气管11，一级泵1的出气口连接有消音器12，消音器12为圆柱状且长度方向与底座2的长度方向一致。净化箱体3为内部中空的长方体状，净化箱体3固接于底座2的上，净化箱体3位于一级泵1的一侧，且净化箱体3长度方向与底座2的长度方向一致。充气阀4可以是电磁真空压差式充气阀，充气阀4安装于净化箱体3的顶部，充气阀4连通于净化箱体3和一级泵1的输气管11之间。二级泵6安装于净化箱体3的顶部，二级泵6可以是罗茨泵，二级泵6的抽真空速率大于一级泵1，二级泵6的出气口与净化箱体3连通，二级泵6的进气口与真空炉中的被抽容器连通。

如图2所示，净化箱体3包括沉淀腔301、纯净腔302以及净化腔303，沉淀腔301和纯净腔302分别位于净化箱体3长度方向的两端，净化腔303位于沉淀腔301和纯净腔302之间。沉淀腔301的顶部和净化腔303的顶部相互连通，纯净腔302和净化腔303的顶部相互连通。净化腔303的顶部和底部均固接有挡板31，挡板31与净化箱体3的长度方向垂直，两个挡板31之间固接有净化筒32，净化筒32的轴线与净化箱体3的长度方向垂直，净化筒32表面开孔且内部填充有钢丝球。此外，净化箱体3的侧壁上连接有水阀33，水阀33与沉淀腔301连通，水阀33靠近沉淀腔301的底部且水阀33位于沉淀腔301远离净化腔303的一侧，打开水阀33可以将沉淀腔301中的水分和杂质排出。

如图2所示，沉淀腔301内设置有进气管7，进气管7的一端与二级泵6的出气口连通，另一端位于沉淀腔301中并靠近净化腔303的一侧，进气管7远离二级泵6的一端向远离净化腔303的一侧弯曲。净化腔303内设置有出气管5，出气管5的一端与充气阀4的进气口连通，另一端位于净化腔303的中间位置，出气管5远离充气阀4的一端向远离净化腔303的一侧弯曲。此外，沉淀腔301的体积大于净化腔303的体积和纯净腔302的体积，可以增大沉淀腔301在净化箱体3中体积的占比，进而可以提高气体在沉淀腔301中的扩散面积，有利于气体中杂质的沉淀。

在使用真空泵机组时，先启动一级泵1，再缓慢打开充气阀4和二级泵6后，两个真空泵同时运转可以提高抽真空的速率；此外，二级泵6抽出的气体进入沉淀腔301进行沉淀，气体中的油液和杂质会沉淀至沉淀腔301的底部，在一级泵1抽真空的作用下，气体会向纯净腔302一侧移动，气体在经过净化腔303时，净化筒32会对气体进行净化，可以过滤掉气体中的细微颗粒，最后进入纯净腔302中的气体较为纯净，从而可以减少杂质进入一级泵1中，减少对泵体的损伤，有利于延长真空泵的使用寿命。

如图1所示，净化箱体3远离一级泵1一侧的侧壁上开设有分别与沉淀腔301连通的清理孔一34、与纯净腔302连通的清理孔二35以及与净化腔303连通的清理孔三36，清理孔一34、清理孔二35以及清理孔三36上分别设置有与净化箱体3外侧壁螺栓连接的密封板一81、密封板二82以及密封板三83。分别将密封板一81、密封板二82以及密封板三83打开，可以分别通过清理孔一34对纯净腔302进行清理、通过清理孔二35对净化腔303进行清理以及通过清理孔三36对沉淀腔301进行清理。

如图2和图3所示，净化箱体3的顶部开口，净化箱体3的顶部螺栓连接用上盖37，上盖37能够对净化箱体3进行密封，当需要对净化箱体3内部进行维护和清理时，可以将上盖37打开，便于维护人员清理和维护。净化箱体3的顶面开设有密封槽38，密封槽38沿净化箱体3的一周开设，密封槽38内设置有密封垫圈381，利用密封垫圈381可以增加上盖37与净化箱体3之间的密封性，减少气体外漏，有利于保证机组的工作效率。

如图4所示，一级泵1底部与底座2之间固接有护板13，护板13的截面呈U形状，护板13的长度方向与底座2的长度方向一致，护板13垂直于底板，护板13为两个，两个护板13分别位于消音器12的两侧，护板13的靠近一级泵1一侧的侧边与一级泵1之间固接有橡胶支撑件14，橡胶支撑件14为四个并分别位于一级泵1底部的四个边角处。橡胶支撑件14对泵体起到支撑作用，而橡胶支撑件14的设置使得顶板与泵体的底部间隔设置，有利于减少真空泵机组的震动。

如图1和图5所示，减震组件9包括减震罩91、减震弹簧92、支撑柱93以及支撑板94。减震罩91为圆罩，减震罩91底面的中间位置开设有螺纹孔911，利用螺栓可以将减震罩91固接于底座2的底面上；减震弹簧92的一端固接于减震罩91的底面，减震弹簧92的长度大于减震罩91的高度；支撑柱93为内部中空状，支撑柱93插设于减震弹簧92中，支撑柱93的高度小于减震弹簧92的长度；支撑板94为菱形状，支撑板94与支撑柱93的底面固接，减震弹簧92远离减震罩91的一端固接于支撑板94上。底座2上方的两个泵体同时工作会产生震动，而利用减震组件9中的减震弹簧92可以吸收真空泵机组的震动，进而可以减少真空泵机组的震动，进一步减少因机组的震动对真空炉造成影响。

本申请实施例一种真空炉真空泵机组的实施原理为：在使用真空泵机组时，先启动一级泵1，再缓慢打开充气阀4和二级泵6后，两个真空泵同时运转可以提高抽真空的速率；此外，二级泵6抽出的气体进入沉淀腔301进行沉淀，气体中的油液和杂质会沉淀至沉淀腔301的底部，在一级泵1抽真空的作用下，气体会向纯净腔302一侧移动，气体在经过净化腔303时，净化筒32会对气体进行净化，可以过滤掉气体中的细微颗粒，最后进入纯净腔302中的气体较为纯净，从而可以减少杂质进入一级泵1中，减少对泵体的损伤，有利于延长真空泵的使用寿命。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。