电力介面

文档序号:1174068 发布日期:2020-09-18 浏览:9次 >En<

阅读说明:本技术 电力介面 (Power interface ) 是由 金正培 琴旻钟 尹永太 李景国 于 2019-02-07 设计创作,主要内容包括:本发明是关于一种电力介面,尤其是关于用于电连接待侧物和测试驱动单元的电力介面。根据示例实施例的电力介面包含:支撑件、弹性件、第一连接端部、第二连接端部以及弹性片。弹性件固定到支撑件并提供垂直方向的弹力。第一连接端部设置于弹性件。第二连接端部电连接到第一连接端部。弹性片的一端固定到弹性件且弹性片的另一端固定到支撑件以限制弹性件的变形范围。(The present invention relates to an electrical interface, and more particularly to an electrical interface for electrically connecting a test object to a test driver unit. A power interface according to an example embodiment includes: support piece, elastic component, first connection end, second connection end and flexure strip. The elastic member is fixed to the support member and provides elastic force in a vertical direction. The first connecting end is arranged on the elastic piece. The second connection end portion is electrically connected to the first connection end portion. One end of the elastic piece is fixed to the elastic member and the other end of the elastic piece is fixed to the support member to limit the deformation range of the elastic member.)

电力介面

技术领域

本发明是关于一种电力介面(或电力接口),尤其是关于一种用于使待测物和测试驱动单元电性连接的电力介面。

背景技术

发光元件是作为光源的装置,而通过使用化合物半导体特性(compoundsemiconductor characteristics)来发送或接收讯号,进而将电性讯号转换成红外光束或红外光。

发光元件已经应用于多种产品中,包含薄膜电晶体液晶显示器(thin filmtransistor liquid crystal display,TFT-LCD)、电浆显示器面板(plasma displaypanel,PDP)、有机发光二极体(organic light emitting diodes,OLED)。上述发光元件通过重复执行诸如照光(photo)、扩散(diffusion)、沉积(deposition)、蚀刻(etching)及离子植入(ion implant)等的制程所制造。

一般来说,在制造发光元件的过程中会进行用于可靠信测试的老化制程(agingprocess),用以事先检查发光元件是否被适当地驱动。

老化制程包含基本粒子检验,并且在发光元件转移并放置于老化腔(agingchamber)的状态下,通过在预定时间内施加电性讯号来检查发光元件是否正常运作。

为了检查发光元件是否正常地运作,需要电力介面来使作为待测物的发光元件与测试驱动单元电性连接。在先前技术中,一种弹簧探针(pogo pin)常用来作为电力介面,且弹簧探针(pogo pin)所具有的外形使针安装于包含弹簧的主体。

然而,因为先前技术中用于检测发光元件的弹簧探针随着主体中的弹簧移动,所以主体和针彼此面接触。面接触所造成的摩擦力使得粒子持续产生。因此,由于检测时间和所制造的发光元件发生接触失败的机率会增加,且用于移除粒子的额外步骤也需要大量的时间,因此便会降低产率(yield)。

〔相关技术文献〕

专利文献1:KR10-2005-0017759A

发明内容

技术问题

本发明提出一种电力介面,其能够使待测物和测试驱动单元电性连接,并同时弹性地支撑待测物。

技术手段

根据一示例性实施例,电力介面包含:支撑件、弹性件、第一连接端部、第二连接端部以及弹性片。弹性件固定于支撑件并用以于垂直方向提供弹力;第一连接端部设置于弹性件;第二连接端部电性连接于第一连接端部;弹性片的一端固定于弹性件且弹性片的另一端固定于支撑件,用以限制弹性件的变形范围。这里,弹性片除了固定于各个弹性件和支撑件的区域之外,其余的区域不与弹性件或支撑件接触。

第一连接端部可以设置于弹性件以根据弹性件的变形自由地移动。

弹性件可以具有长度和宽度,该长度和该宽度由直立于支撑件上的原则确定。

弹性片可以根据第一连接端部的移动而变形。

第一连接端部和第二连接端部可以各具有垫片状的外型,而具有一预定接触区域,且第一连接端部和第二连接端部各设置于弹性片上。

支撑件可以包含阶梯部,而使得固定弹性片的位置高于固定弹性件的位置。

弹性片可以从弹性件上端的外侧向下弯曲。

弹性件、第一连接端部和第二连接端部的数量各可以为多个,多个第一连接端部分别设置于多个弹性件,并且多个第二连接端部可以分别电性连接于多个第一连接端部。

弹性片可以包含一切除部,切除部由移除多个第一连接端部之间的至少部分的区域所定义。

电力介面可以进一步包含弹性连接片,用于使多个第一连接端部互相连接,以便限制多个第一连接端部的各个的移动范围。

弹性连接片的长度可以大于多个第一连接端部之间的长度。

电力介面可以进一步包含印刷电路板,印刷电路板固定于支撑件并用以施加一测试电流到多个第二连接端部的各个上。

有益效果

根据一示例性实施例的电力介面,因为电性连接到待测物的连接端可以随弹性件和弹性片自由地移动,所以可以防止由连接端部移动所造成的摩擦力,并防止因摩擦力而产生的粒子。

此外,因为待测物和测试驱动单元由设置于弹性片上的导电图案电性连接,所以可以最小化电性连接路径,且因为弹性片上设有连接端部以增加待测物和测试驱动单元之间的电性接触区域,所以根据施加测试电流的内部电阻也可以被有效地降低。

附图说明

图1为说明一般常用的弹簧探针(pogo pin)的外观。

图2为说明根据一示例性实施例的电力介面的外观。

图3为说明根据一示例性实施例的电力介面操作时的状态。

图4为说明根据另一示例性实施例的电力介面的外观的立体示意图。

具体实施方式

在下文中,将会参考附图详细描述本发明的示例实施例。然而,本发明可以不同的形式实施并不应被阐述于此的实施例所限制。而提供这些实施例使得本发明透彻且完整,并且向本领域通常知识者完整地传达本发明的范围。

另外,为了方便描述,在本文中空间相对术语,例如「之上」或「上」及「之下」或「下」等,可以用来描述如图所示的元件或特征与另一个元件或特征的关系。应理解除了图中描绘的方向之外,空间相对术语包含使用时或操作时装置的不同方向。这里,相同的标号表示相同的元件。

图1为说明一般常用的弹簧探针(pogo pin)的外观。这里,图1中的(a)部分为示出弹簧30处于伸展状态的视图,而图1中的(b)部分为示出弹簧30处于压缩状态的视图。

请参考图1,一般使用的弹簧探针包含:筒部10、接触端部20、弹簧30以及柱塞40。筒部10用作为主体并具有中空结构;接触端部20设置于筒部10的上端;弹簧30在筒部10中连接于接触端部20以提供用于压缩和拉伸的弹力;柱塞40连接于弹簧30中相对接触端部20的一端以进行活塞运动。

上述的弹簧探针通过使待测物与测试驱动单元电性连接,来进行电性功能测试,且待测物例如为发光元件的连接终端,并同时通过弹簧30的压缩和拉伸吸收柱塞40与接触端部20所产生的机械性冲击。

然而,当接触端部20和柱塞40通过弹簧30的压缩和拉伸垂直运动时,上述的弹簧探针面接触筒部10的内侧。由于上述接触端部20、柱塞40和筒部10之间的面接触,接触端部20、柱塞40和筒部10会受到磨损,并且随着接触端部20、柱塞40和筒部10受到磨损,粒子便会持续从弹簧探针产生。

因此,由于所制造的发光元件发生接触失败和短路的机率增加,在包含基本粒子检测的老化制程中发光元件的电性功能测试所需的时间便会增加,且用于移除粒子的额外制程所需的时间也会增加,而使发光元件的制造产率显著地降低。

因此,当待测物被弹性地支撑并电性连接到测试驱动单元时,根据示例性实施例的电力介面提出一种防止弹性运动造成面接触摩擦力,并使粒子的生成最小化的技术特征。

图2为说明根据一示例性实施例的电力介面的外观,图3为说明根据一示例性实施例的电力介面操作时的状态。这里,图3中的(a)部分为示出弹性件200处于伸展状态的视图,图3中的(b)部分为示出弹性件200处于压缩状态的视图。

请参考图2和图3,根据示例性实施例的电力介面包含:支撑件100、弹性件200、第一连接端部310、第二连接端部320以及弹性片300。弹性件200固定于支撑件100以提供垂直方向的弹力;第一连接端部310设置于弹性件200;第二连接端部320电性连接于第一连接端部310;弹性片300的一侧固定于弹性件200且弹性片300的另一侧固定于支撑件100,用以限制弹性件200的变形范围。

支撑件100设置于底部,用以固定弹性件200和弹性片300各自的部分区域。支撑件100可以呈现沿着一个方向延伸的平板状,且弹性件200固定于支撑件100的顶面。这里,用于固定弹性件200和弹性片300各自的部分区域的支撑件100可以由非导电性合成树酯材料制成,例如塑胶。

弹性件200具有固定于支撑件100的下端且弹性件200向上直立以提供垂直方向的弹力。如后文所述,第一连接端部310可以设置于弹性件200,用以根据弹性件200的变形自由地移动。因此,因弹性件200支撑第一连接端部310并经由压缩和拉伸来垂直移动第一连接端部310,所以弹性件200的长度和宽度被确定为使得弹性件200直立于支撑件100上。也就是说,因为当弹性件200长度减少且宽度增加时,弹性件200立于支撑件100而不向侧边偏离,所以弹性件200的长度和宽度可以被确定而具有最大减少长度和最大增加宽度,其中最大减少长度和最大增加宽度在给第一连接端部310提供弹力的范围内。

弹性件200可以包含在向上提供弹力时不会面接触的多种构件。虽然在视图中弹簧示例性地作为弹性件200,但示例性实施例并不限于此。举例来说,弹性件200可以包含多种弯折或弯曲的构件,以经由压缩或拉伸来向上提供弹力。

这里,弹性件200的下端固定于支撑件100的上表面,且弹性件200的上端固定于弹性片300的下表面。这里,第一固定构件210可以安装到弹性件200的下端和支撑件100的上表面之间,而用于简单地将弹性件200组合到支撑件100的上表面。第一固定构件210可以具有用于***结合(insert-coupling)弹性件200的凸起形状,或具有提供对应于支撑件100的上表面的接触面的形状。此外,第二固定构件220可以安装到弹性件200的上端和弹性片300的下表面之间,且第二固定构件220用于支撑弹性片300使弹性片300为平坦的。上述第一固定构件210和第二固定构件220可以与支撑件100或弹性片300一体成形或附接(attach)于支撑件100或弹性片300。

第一连接端部310可以设置于弹性件200,且第二连接端部320可以电性连接于第一连接端部310。这里,第一连接端部310可以设置于弹性片300的上表面的一侧,以根据弹性件200的变形自由地移动,其中在弹性片300的上表面的一侧延伸到弹性件200上。这里,根据弹性件200的变形的自由移动除了弹性件200的变形之外还表示不直接被控制移动方向的独立结构所支撑的结构。如上所述,当第一连接端部310设置于弹性件200而根据弹性件200的变形自由地移动时,由第一连接端部310的运动可能不会造成摩擦力,因此粒子可能不会被产生。

此外,第二连接端部320电性连接于第一连接端部310。这里,第二连接端部320可以设置于弹性片300的上表面的另一侧,其中此另一侧固定于支撑件100,并且第二连接端部320可以通过设于弹性片300的上表面或内侧的导电图案(conductive pattern),来电性连接到第一连接端部310。

这里,第一连接端部310、第二连接端部320和弹性片300可以当作可挠式印刷电路板(flexible printed circuit board,FPCB),且可挠式印刷电路板包含电性连接第一连接端部310和第二连接端部320的电路图案。也就是说,第一连接端部310、第二连接端部320和弹性片300可以当作具有弹性的可挠式印刷电路板,且可挠式印刷电路板中由铜箔制成的导电图案设置于可挠性薄膜。

如上所述,因第一连接端部310和电性连接到第一连接端部310的第二连接端部320设置于弹性片300上,用以电性连接待侧物50与弹性片300上的测试驱动单元,所以根据示例性实施例的电力介面可以最小化内部电阻。也就是说,如上所述,当弹簧探针作为电力介面时,筒部10和接触端部20与柱塞40之间的弹簧30提供使待测物50和测试驱动单元电性连接的路径。另一方面,因待测物50和测试驱动单元通过设置于弹性片300上的第一连接端部310和第二连接端部320来电性连接,而不是通过筒部10和弹簧30来使待测物50和测试驱动单元电性连接,所以根据示例性实施例的电力介面可以最小化电性连接路径并有效降低内部电阻。

为了增加接触性质(contact property),第一连接端部310和第二连接端部320各自可以具有设有预定接触区域的垫片形状。也就是说,第一连接端部310可以具有用以增加与待测物50的连接端部55的接触性质的垫片形状,且第二连接端部320可以具有增加与测试驱动单元的印刷电路板的接触性质的垫片形状,而用于检侧待测物50的电力特性。虽然未示出,但是当多个凸起物设置于第一连接端部310和第二连接端部320各自的上表面时,待测物50和测试驱动单元之间的接触性质可以更进一步增加。

弹性片300的一侧固定于弹性件200,弹性片300的另一侧固定于支撑件100以限制弹性件200的变形范围。也就是说,弹性片300的一侧固定于弹性件200的上端,且弹性片300的另一侧固定于支撑件100。这里,由于弹性件200的压缩和拉伸所产生的第一连接端部310的移动,以及由于弹性件200在一侧向上的变形所产生的第一连接端部310的移动,弹性片300根据第一连接端部310的移动而变形,并同时限制弹性件200的变形范围。上述弹性片300可以呈薄膜状,而具有当施加外部压力时可以弹性变形的性质。弹性片300可以由多种弹性合成树酯材料制成,例如聚丙烯(polypropylene)和聚乙烯(polyethylene)。

这里,因弹性片300的一侧固定于弹性件200的上端且弹性片300的另一侧固定于支撑件100,所以弹性片300中除了各自固定到弹性件200的上端和支撑件100的区域之外,其余的区域皆不与弹性件200或支撑件100接触。弹性片300的一侧可固定到弹性件200的上端且弹性片300的另一侧可固定到支撑件100,或者,虽然未示出,但是弹性片300的两端可以都固定于支撑件100且两端之间的部分区域可固定于弹性件200的上端。此外,弹性片300也可以在限制弹性件200变形范围的范围内以多种方式设置。举例来说,弹性片300的一端可以固定于弹性件200的上端,而弹性片300的另一端可固定于位于弹性件200下端的支撑件100。

此外,弹性片300的部分区域可以固定于支撑件100的上表面。也就是说,支撑件100中,固定弹性件200的区域称为第一区域,且固定弹性片300的区域称为第二区域,其中第一区域和第二区域各自可以设置于支撑件100的上表面。在此情况下,当固定于弹性件200的区域和固定于支撑件100的区域以侧向设置时,即使弹性件200被压缩或拉伸,弹性片300也可以不接触到弹性件200。

这里,弹性片300在弹性件200能压缩或拉伸的范围内用于限制弹性件200的变形或侧向偏离。因此,支撑件100可以包含阶梯部110,且阶梯部110用于使固定弹性片300的第二区域高于固定弹性件200的第一区域。阶梯部110可以从支撑件100凸出。相较于第二区域与第一区域设置于相同的平面,当支撑件100如上所述设有阶梯部110而使得第二区域高于第一区域时,延伸于弹性件200和支撑件100之间的弹性片300的长度便会减少,因此可以更容易地限制弹性件200于侧向的变形或偏离。

也就是说,在图2中的情况下,当弹性件200向左倾斜时,弹性片300提供一拉伸力以阻止弹性件200变形或偏离。虽然未示出,在弹性片300的两端都固定到支撑件100,且位于弹性片300两端之间的部分区域固定到弹性件200的上端的情况下,当弹性件200向左或向右倾斜时,弹性片300可以提供一拉伸力以阻止弹性件200变形或偏离。此外,因弹性片300具有预定的宽度,甚至当弹性件200向前或向后倾斜时,弹性片300可以提供一拉伸力。在此情况下,虽然弹性片300可能无法完全阻止弹性件200在侧向的变形,但就产生粒子所造成的更严重的限制而言,当应用于待测物50的连接端部55具有相对较大宽度和间距的发光元件时,通过在预定范围内限制弹性件200的变形范围,弹性片300可以使构造变得简单并降低制造成本。

此外,弹性片300可以从弹性件200的上端的外侧向下弯曲。也就是说,因第一连接端部310设置于弹性件200的上端并向上露出、仅有第一连接端部310向上露出,且电性连接第一连接端部310和第二连接端部320的导电图案略微地向上露出,所以弹性片300可以从弹性件200的上端的外侧(即第一连接端部310的外侧)向下弯曲,而使得待测物50的连接端部55连接于第一连接端部310。

如上所述,根据示例性实施例的电力介面的结构可以具有下述特征:设置于弹性片300的第一连接端部310根据弹性件200的压缩或拉伸来消除垂直运动中的面对面接触。

也就是说,当位于支撑件100的夹具Z抵压待测物50时,第一连接端部310通过设置于弹性片300之下的弹性件200的弹力来垂直移动,但同时会被弹性片300限制移动范围。因此,当第一连接端部310通过弹性件200的弹力移动时,可以防止因摩擦所产生的粒子。

此外,可以设有多个如上所述的根据示例性实施例的电力介面,且这些电力介面可以设置为彼此相邻。也就是说,这些电力介面可以一预定距离相间隔,用以分别电性连接到待测物50的多个连接端部55。在此情况下,各电力介面可以***独立结构,在此结构中定义出通过支撑件100所固定***之处的凹槽。此外,具有部分一体成形结构的电力介面可以分别电连接到待测物50的这些连接端部55,且根据另一示例性实施例的上述电力介面将会于以下详细描述。

图4为说明根据另一示例性实施例的电力介面外观的立体示意图。

请参考图4,根据另一示例性实施例的电力介面与上述根据一示例性实施例的电力介面的不同之处在于,各个弹性件200、第一连接端部310和第二连接端部320的数量为多个,这些第一连接端部312、314、316分别设置于这些弹性件200,而这些第二连接端部322、324、326电性连接于这些第一连接端部312、314、316。

也就是说,根据另一示例性实施例的电力介面与上述根据一示例性实施例的电力介面的不同之处在于包含一体成形的支撑件100和弹性片300。因为除了一体成形的支撑件100和弹性片300之外,可直接采用上述根据一示例性实施例的电力介面的特征,故将省略重复的描述。

支撑件100设置于底部以固定各弹性片300的部分区域,以便将各弹性件200的上端固定于这些弹性件200。支撑件100可以呈平板状,而延伸于用来固定弹性片300的部分区域的一方向及这些弹性件200所排列于的另一方向中的每一个。这里,固定这些弹性件200的区域是指第一区域;固定弹性片300区域是指第二区域;第一区域可以在这些弹性件200所排列的方向延伸,且第二区域可以在这些第二连接端部320所排列的方向延伸。此外,如上所述,支撑件100可以由非导体合成树酯材料制成,例如塑胶。

这里,多个弹性件200各自固定于第一区域,且弹性片300固定于第二区域,第一区域和第二区域各可以设置于支撑件100的上表面。此外,支撑件100可以包含阶梯部110,而使得第二区域被设置而高于第一区域。如上所述,因为第一区域和第二区域各设置于支撑件100的上表面,所以固定这些弹性件200的区域和固定弹性片300的区域可以于侧向排列。因此,即使当各个弹性件200被压缩或拉伸时,弹性片300也可能不与弹性件200接触;通过将第二区域设置为高于第一区域,弹性片300的长度可能会降低,并且可以更容易地限制各个弹性件200于侧向上的偏离。

弹性件200各具有固定于支撑件100的下端,且此下端向上提供弹力。虽然弹簧较佳地作为弹性件200,且弹簧在压缩或拉伸时不会有面对面的(surface-to-surface)结构,但是弹性件200可以包含多种构件,且这些构件弯折或弯曲而通过压缩或拉伸来向上提供弹力。此外,虽然因为图4中的这些弹性件200排列于一个方向,所以各个弹性件200的下端固定于支撑件100,但是各个弹性件200可以根据待测物的连接端的排列而以不同方式排列及固定。

弹性片300延伸以固定于各个弹性件200的上端并固定于支撑件100;这些第一连接端部312、314、316设置于各个弹性件200的上端并向上露出;这些第二连接端部322、324、326分别电连接于这些第一连接端部312、314、316,且第二连接端部322、324、326设置于弹性片300的上表面。

也就是说,弹性片300具有与各个弹性件200的上端一体成型的区域以及固定于支撑件100的另一区域,并且除了固定各个弹性件200的上端和支撑件100的区域之外,弹性片300的其余区域与弹性件200和支撑件100相间隔。这里,弹性片300用于在弹性件200能压缩或拉伸的范围内限制弹性件200的侧向偏离。此外,弹性片300具有薄膜状的外形而于被施加外加压力时可以弹性弯曲,且露出在弹性片300上的第一连接端部312、314、316以及第二连接端部322、324、326分别由导电图案332、334、336电性连接。这里,如视图所示,这些第一连接端部312、314、316可以用一对一对应的方式电性连接到这些第二连接端部322、324、326。或者,导电图案可以用于使这些第一连接端部312、314、316电性连接到一个第二连接端部。此外,如上所述,可挠式印刷电路板可以用来简单地设置这些第一连接端部312、314、316、这些第二连接端部322、324、326、以及导电图案332、334、336于弹性片300上。

这里,当第一连接端设置于各个弹性件200的上端时,因为弹性片300与各个弹性件200的上端一体成型,所以当第一连接端各自根据设置于第一连接端下方的弹性件200的压缩或拉伸而垂直移动时,各个第一连接端会受到其他第一连接端限制。因此,弹性片300可以包含多个切除部350,其中切除部350是由移除这些第一连接端部312、314、316之间的至少部分区域所定义。这里,各个切除部350可以由部分地移除位于相邻于其的多个第一连接端之间的弹性片300的部分形成,并因此根据各个弹性件200的压缩和拉伸单独地垂直移动,其中各个弹性件200分别设置于第一连接端部312、314、316之下。

此外,这些切除部350可以从各个弹性件200的上端向下延伸。也就是说,这些切除部350可以由移除弹性片300中从这些第一连接端部312、314、316之间的至少部分区域向下延伸的区域来形成。这里,弹性片300可以从各个弹性件200的上端(即这些第一连接端部312、314、316的外侧)向下弯曲。在此情况下,即使当这些第一连接端部312、314、316不排列于一个方向中时,因为这些切除部350从各个弹性件200的上部向下延伸,所以弹性片300可以从各个弹性件200的上部向下弯曲。

此外,根据示例性实施例的电力介面可以进一步包含弹性连接片400,其中弹性连接片400将这些第一连接端部310彼此连接。也就是说,当弹性片300的这些第一连接端部312、314、316之间的至少部分区域被这些切除部350移除时,弹性连接片400在部分移除的区域中将这些第一连接端部312、314、316彼此连接。这里,弹性连接片400用于限制第一连接端部的移动范围,即当各个弹性件200倾斜于侧向时,弹性连接片400用来防止各个第一连接端部于侧向移动。在此情况下,弹性连接片400的长度可以大于这些第一连接端部312、314、316之间的长度。在此情况下,弹性连接片400可以向下弯曲于这些第一连接端部312、314、316之间。也就是说,当弹性连接片400的长度与这些第一连接端部312、314、316之间的长度相同时,弹性连接片400的长度可以与当这些第一连接端部312、314、316之间没有设置切除部350时的长度相同。在此情况下,第一连接端部会于单独移动时受到限制。然而,当弹性连接片400的长度大于这些第一连接端部312、314、316之间的长度时,各个第一连接端部可以独自运动而不影响另一个第一连接端部,且通过调整弹性连接片400的长度来限制第一连接端部在预定的范围内的侧向移动。如上所述,因为固定弹性片300的部分区域被固定但于侧向间隔于弹性件200,且这些第一连接端部312、314、316之间所定义的切除部350的部分区域由弹性连接片400所连接,所以根据示例性实施例的电力介面可以限制各个第一连接端部向前和向后还有向两侧方向的移动,用以防止各个第一连接端部扭曲或偏离。

此外,根据另一示例性实施例的电力介面可以进一步包含印刷电路板(未示出),其中印刷电路板包含用来施加测试电流到设置于弹性片300上的各个第二连接端部322、324、326的电路图案。这里,印刷电路板可以用来从测试驱动单元施加测试电流到这些第二连接端部322、324、326,且印刷电路板可以固定于支撑件100,而使得印刷电路板的电路图案电性连接于支撑件100上的弹性片300的这些第二连接端部322、324、326。印刷电路板可以由螺栓等耦合(couple)并固定到支撑件100,并且因为印刷电路板直接固定并耦合于支撑件100,所以印刷电路板可以牢固地耦合于第二连接端部322、324、326并同时维持与第二连接端部322、324、326的电性连接。

如上所述,因为电性连接到待测物的连接端可以随弹性件200和弹性片300自由地移动,所以根据示例性实施例的电力介面可以防止由连接端部移动所造成的摩擦力,并防止因摩擦力而产生的粒子。

此外,因为待测物和测试驱动单元由设置于弹性片300上的导电图案电性连接,所以可以最小化电性连接路径,且因为弹性片300上设有连接端部以增加待测物和测试驱动单元之间的电性接触区域,所以根据施加测试电流的内部电阻也可以被有效地降低。

虽然已参考附图描述特定实施例,但不限于此。因此,本领域通常知识者应理解,在不脱离申请专利范围所定义的本发明的精神和范围内可以做多样的修改和变化。

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