阅读说明：本技术 燃料电池的制造方法 (Method for manufacturing fuel cell ) 是由 麦岛丈弘 藤本洸生 长﨑仁志 于 2020-02-18 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种燃料电池的制造方法及燃料电池,可利用一个激光振荡器无需高精度的控制而形成适当的互联体部。所述燃料电池的制造方法包括：第一狭缝形成步骤,在第一电极上形成第一狭缝；电解质膜层叠步骤,在第一电极上层叠电解质膜；IC形成步骤,在电解质膜上形成互联体部；第二狭缝形成步骤,在第二电极上形成第二狭缝；第二电极层叠步骤,使第二电极层叠于电解质膜；以及侧缘部去除步骤,以经由第一狭缝将第一电极分割为多个的方式且以经由第二狭缝将第二电极分割为多个的方式,除去第一电极及第二电极的侧缘部。(The invention provides a method for manufacturing a fuel cell and a fuel cell, which can form a proper interconnection part by using a laser oscillator without high-precision control. The manufacturing method of the fuel cell includes: a first slit forming step of forming a first slit on the first electrode; an electrolyte membrane laminating step of laminating an electrolyte membrane on the first electrode; an IC forming step of forming an interconnect portion on the electrolyte membrane; a second slit forming step of forming a second slit on the second electrode; a second electrode stacking step of stacking a second electrode on the electrolyte membrane; and a skirt removing step of removing the skirts of the first and second electrodes so as to divide the first electrode into a plurality of parts via the first slit and so as to divide the second electrode into a plurality of parts via the second slit.)

燃料电池的制造方法

技术领域

本发明涉及一种燃料电池的制造方法。

背景技术

燃料电池是从氢与氧获得电力的装置。由于伴随着发电仅生成水，因此近年来作为清洁的电力源备受瞩目。由于所述燃料电池的单位单元(unit cell)的电压低至0.6V～0.8V左右，因此层叠多个由膜电极接合体(膜电极组(Membrane Electrode Assembly，MEA))与隔板构成的单位单元并串联连接而获得高输出功率的燃料电池堆栈正在实用化。所述燃料电池堆栈在层叠时作业步骤多，因此存在费工夫的问题。

另一方面，已知有如下燃料电池：在一片电解质膜上以平面状形成多个单位单元，并且形成用于连接相邻的单位单元彼此的互联体(interconnector)部，串联连接多个单位单元(例如，参照专利文献1)。所述构成具有如下优点：可利用一片电解质膜进行高电压化，可消除或削减层叠单位单元的作业。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2018/124039号

发明内容

发明所要解决的问题

在以往的燃料电池的制造方法中，首先照射较低温的激光，然后照射较高温的激光，使温度缓慢上升，形成适当的互联体部。

另外，在专利文献1中，还提出通过利用一个激光振荡器控制输出照射强度与运送速度(移动速度)而形成互联体部。然而，为了形成适当的互联体部，需要高精度地控制输出照射强度与运送速度(移动速度)，难以利用低廉的装置制造燃料电池。

本发明是鉴于以上方面而完成，目的在于提供一种可比以往更容易地制造电量电池的燃料电池的制造方法。

解决问题的技术手段

[1]为了实现所述目的，本发明为

一种方法，制造包括形成有第一狭缝(例如实施方式的第一狭缝161a。以下相同)的第一电极(例如实施方式的第一电极161。以下相同)、以及形成有第二狭缝(例如实施方式的第二狭缝162a。以下相同)的第二电极(例如实施方式的第二电极162。以下相同)的燃料电池(例如实施方式的燃料电池10。以下相同)，且所述方法包括：

狭缝形成步骤，在所述第一电极及所述第二电极中的任意其中一个电极上形成所述狭缝；

电解质膜层叠步骤，在所述其中一个电极上层叠电解质膜(例如实施方式的电解质膜12。以下相同)；

互联体(interconnector，IC)形成步骤，在所述电解质膜上形成互联体部(例如实施方式的互联体部30。以下相同)；

电极层叠步骤，以在所述第一电极与所述第二电极之间夹持所述电解质膜的方式，使形成有所述狭缝的所述第一电极及所述第二电极中的任意另一个电极层叠于所述电解质膜上；以及

侧缘部去除步骤，以经由所述第一狭缝将所述第一电极分割为多个的方式且经由所述第二狭缝将所述第二电极分割为多个的方式，除去所述第一电极及所述第二电极的侧缘部。

根据本发明，可无需一个一个隔开间隔地配置第一电极及第二电极而容易地制造由多个单位单元构成的燃料电池。

[2]另外，在本发明中，优选为

在所述第一电极及所述第二电极中设置有定位孔(例如实施方式的第一定位孔201、第二定位孔202)，所述定位孔用于以使所述第一狭缝与所述第二狭缝的相对位置成为规定位置的方式定位。

根据本发明，可容易地将第一狭缝与第二狭缝定位。

[3]另外，在本发明中，

所述IC形成步骤优选为在所述电解质膜层叠步骤后且所述第二电极层叠步骤前进行。

根据本发明，可对应于第一狭缝或第二狭缝的位置而形成互联体部，无需以第一狭缝或第二狭缝与互联体部成为规定位置的方式重叠第一电极或第二电极与电解质膜而容易制造。

[4]另外，在本发明中，

包括一体化步骤，所述一体化步骤是通过利用两片膜(例如实施方式的绝缘膜164)夹持所述第一电极、所述电解质膜、所述第二电极的层叠体并将膜的端部接合而实现一体化。

根据本发明，可使第一电极、电解质膜、第二电极彼此难以剥离。

附图说明

图1是表示应用本发明的实施方式的燃料电池的示意性剖面图。

图2是放大表示本实施方式的燃料电池的主要部分的示意性剖面图。

图3是表示在加热芳香族系高分子前的傅里叶变换红外分光分析(FourierTransform Infrared Spectroscopy，FT-IR)光谱的图。

图4是表示在加热芳香族系高分子后的FT-IR光谱的图。

图5是表示芳香族系高分子的加热前后的拉曼光谱的图。

图6是表示第一狭缝形成步骤的说明图。

图7是表示第二狭缝形成步骤的说明图。

图8是表示电解质膜层叠步骤与IC形成步骤的说明图。

图9是表示电极层叠步骤的说明图。

图10是表示在侧缘部去除步骤中除去第一电极的侧缘部的步骤的说明图。

图11是表示在侧缘部去除步骤中除去第二电极的侧缘部的步骤的说明图。

图12是表示膜被覆步骤的说明图。

符号的说明

10：燃料电池

12：电解质膜

14：保护层

16：催化剂层

16a：去除部

17：分割槽

18：气体扩散层

20：上板

22：下板

24：密封件

26：石墨片材

28：导线

30：互联体部

101：第一扩散电极层叠体

102：第二扩散电极层叠体

161：第一电极

161a：第一狭缝

161c：可断裂线

161d：切口部

162：第二电极

162a：第二狭缝

163：片材

164：绝缘膜

201：第一定位孔

202：第二定位孔

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行更详细的说明。

＜燃料电池＞

图1是表示应用本发明的燃料电池的一实施方式的示意剖面图，图2是放大表示图1的主要部分的图，上侧为阳极，下侧为阴极。图1、图2所示的燃料电池10的膜电极接合体(MEA)11在电解质膜12的两面侧包括气体扩散层18，在下侧设置有作为电极层的催化剂层16，在上侧设置有作为电极层的催化剂层16及与电解质膜12接触的保护层14。即，在本实施方式中，上侧的电极层由催化剂层16与保护层14这两层构成。进而，在上侧的气体扩散层18的上方设置有上板20，在下侧的气体扩散层的下方设置有下板22。这些上板20及下板22形成以规定压力按压MEA 11的按压构件。再者，图1中，省略描绘了位于中央的层叠结构。

在上板20、下板22各自的气体扩散层18侧的面上设置有用于氢气、含氧气体(空气)的流路槽(图中的凹部分)。在电解质膜12的上表面(阳极侧)的周缘部与上板20之间设置有密封件24。密封件24与电解质膜12及上板20抵接，密封上板20与电解质膜12之间的空间。再者，在上板20设置有未图示的氢导入口，所述氢导入口将从未图示的氢供给机构供给的氢导入上板20与电解质膜12之间。另一方面，电解质膜12的下表面(阴极侧)不会如上表面那样被密封，而成为从周围的空气吸收氧气的结构。

另外，在电解质膜12的下表面(阴极侧)，在MEA 11的两端部(图1中左端及右端)下表面的气体扩散层18与下板22之间配置有石墨片材26，石墨片材26构成为与气体扩散层18抵接。在各自的石墨片材26连接有导线28，燃料电池10中产生的电力通过导线28取出至外部。再者，电解质膜12、其下表面侧的催化剂层16及气体扩散层18由上板20与下板22以一定压力按压的状态被夹持。

电解质膜12的上表面侧的保护层14、催化剂层16及气体扩散层18、以及电解质膜12的下表面侧的催化剂层16及气体扩散层18被多个分割槽17分割，从而形成多个区域(以下，称为“电极区域”)。这些电极区域是以所述分割槽17的延伸方向为长边、两个分割槽之间为短边的矩形状。另外，电解质膜12的上表面侧的电极区域以与下表面侧的电极区域相对的方式配置。

在MEA 11中，由包含电解质膜12的上表面侧的一个电极区域、与所述电极区域的一部分相对的下表面侧的电极区域、以及位于这些电极区域之间的电解质膜12的层叠结构来构成单位单元(发电单元)。即，图1中，包含电解质膜12、其上表面侧的保护层14、催化剂层16及气体扩散层18、以及下表面侧的催化剂层16及气体扩散层18的层叠结构为单位单元。在图1中，利用虚线L仅表示位于最左侧的单位单元。

在电解质膜12的内部具有将一个单位单元的上表面侧的电极区域与所述一个单位单元的相邻的单位单元的下表面侧的电极区域电连接的互联体部30。通过互联体部30，邻接的单位单元彼此电性串联连接。

在图1、图2中，各电极区域的宽度(两个分割槽17之间的长度)例如可设为约5mm，互联体部30的宽度可设为约0.1mm，分割槽17的宽度可设为0.2mm。

如上所述，电解质膜12、其下表面侧的催化剂层16、以及气体扩散层18由上板20与下板22以一定的压力按压的状态夹持。在上板20及下板22中，如图1所示，上板20的突起部20A及下板22的突起部22A分别位于相对的位置，且形成为夹持互联体部30。通过由突起部20A、突起部22A将上侧与下侧的电极层向互联体部30按压，可更可靠地保持这些电极层与互联体部30的接触。因此，更能确保上侧的电极层与下侧的电极层的导通。

此处，就对互联体部30施加充分的压力的观点而言，突起部20A、突起部22A的宽度为互联体部30的宽度以上，优选为设为彼此相邻的单位单元彼此的间隔以下。

如上所述，由上板20及下板22按压MEA11，但作为按压方法，可列举设置贯通上板20及下板22的贯通孔，使螺栓通过所述贯通孔并利用螺母紧固(在多个部位进行所述紧固)，或者利用夹具的紧固等。

在以上的构成中，向阳极侧供给氢气，向阴极侧供给含氧气体(空气)，由此在各单位单元中发电，通过与两个石墨片材26连接的导线28，可取出电力。而且，各单位单元串联连接，因此各单位单元的电压的和为燃料电池10的电压。

以下，对以上的本发明的实施方式的燃料电池的构成要素进行详述。

[电解质膜]

本发明的燃料电池的电解质膜并无特别限定，可采用各种电解质膜。而且，如上所述，在电解质膜中包括将邻接的单位单元彼此电性串联连接的互联体部。如后所述，互联体部通过对电解质膜局部施加热并进行碳化而形成。

作为电解质膜的质子传导性树脂，优选为在芳香族聚亚芳基醚酮类或芳香族聚亚芳基醚砜类等烃系聚合物中导入磺酸基的芳香族系高分子化合物。原因在于：与纳菲昂(Nafion)(注册商标)等全氟磺酸树脂相比，通过碳化可容易地形成互联体部。原因虽不明确，但认为由于芳香族系高分子在分子结构中含有碳的6员环结构，因此通过热分解容易石墨化。所述芳香族系高分子例如通过在约900℃下进行加热而变化为具有导电性的碳化物。

[催化剂层]

催化剂层例如包含承载催化剂金属的碳粒子(催化剂粒子)而构成。作为碳粒子，可使用碳黑，除此之外，例如也可采用石墨、碳纤维、活性炭等或它们的粉碎物、碳纳米纤维或碳纳米管等碳化合物。另一方面，作为催化剂金属，可将铂、钌、铱、铑、钯、锇、钨、铅、铁、铬、钴、镍、锰、钒、钼、镓、铝等金属单独或组合两种以上使用。

催化剂层除了所述催化剂粒子以外，包含质子传导性树脂。催化剂层采用多孔性的构造，以使其与氢气或含氧气体的接触面积变大。因此，质子传导性树脂的填充密度设定为比后述的保护层小。例如，相对于催化剂层的质子传导性树脂可设为30wt％～50wt％。

另一方面，从层叠方向观察时，所述其中一面的催化剂层与邻接的单位单元的另一面的催化剂层不重叠。在图2所示的燃料电池中，上侧的催化剂层16(图2中，比上侧的分割槽17更靠左侧的催化剂层)形成为与邻接的单位单元的下侧的催化剂层16(图2中，比下侧的分割槽17更靠右侧的催化剂层)不重叠。

平面排列型燃料电池中，由互联体部附近的其中一面的分割槽与另一面的分割槽夹持的区域(图3中，由上侧的分割槽17与下侧的分割槽17夹持的区域)成为无助于净电力的死区，但即便在所述区域中也会发生催化剂与氢或氧的电化学反应。但是，两面的电极层因互联体部而发生短路，因此产生的电能变化为热。于是，燃料电池产生过度的发热，燃料电池的性能有可能下降。因此，从层叠方向观察时，包括保护层的其中一面的催化剂层与邻接的单位单元的另一面的催化剂层不重叠。由于在死区中其中一面的催化剂层与另一面的催化剂层不重叠，因此死区中的两个催化剂层之间难以发生反应，因此可抑制发热。

如图2所示，上侧的催化剂层与下侧的催化剂层从层叠方向观察必须重叠，但也可在所述死区中在上侧、下侧均不形成催化剂层。可进一步抑制无助于净电力的反应，并且也与催化剂量的减少有关。所述情况下，只要在下侧也预先形成保护层且确保互联体部30与催化剂层的导通即可。

将本实施方式的燃料电池开始发电后的所述死区的温度变化示于表1中。再者，表中，燃料电池I在所述死区中上侧与下侧的催化剂层重叠，燃料电池II在所述死区中上侧与下侧的催化剂层不重叠。

[表1]

根据所述表，催化剂层中有重叠的燃料电池I在发电开始后发热，温度上升。即，发生无用的电化学反应。进而，若如本实施方式的燃料电池那样为阴极侧开放的电池，则由于所述发热而电解质膜干燥，有可能发电性能下降。另一方面，可知催化剂层不重叠的燃料电池II未观察到温度上升。即，抑制了所述无用的电化学反应，且也抑制了电解质膜的干燥。

[保护层]

在电解质膜、或者电解质膜中的互联体部或其附近，为了防止气体泄漏的所谓的交叉泄漏，优选为在电解质膜的其中一面侧或者两面侧设置保护层。在图1中，在电解质膜12的上表面侧设置保护层。

保护层只要可防止交叉泄漏，则不论其形态如何，但优选为具备阻气性且进一步具备电传导性及质子传导性的保护层。

作为所述保护层的一形态，可由质子传导性树脂与导电性碳(碳)形成。为了提高阻气性，质子传导性树脂的填充密度设定得比催化剂层的填充密度高。例如保护层中的质子传导性树脂可设为70wt％以上。再者，质子传导性树脂可为与催化剂层相同的材料，也可为不同的材料。

作为质子传导性树脂，可使用纳菲昂(Nafion)(注册商标)等全氟磺酸树脂或所述芳香族系高分子化合物。

作为导电性碳，可列举碳黑、乙炔黑、科琴黑等。

所述保护层例如可通过涂布向纳菲昂(Nafion)(注册商标)等质子传导性树脂的分散液中添加科琴黑等导电性碳而制备的涂布液，并进行干燥而形成。再者，作为保护层的厚度，例如可设为5μm～50μm。

[气体扩散层]

气体扩散层由基材与多孔质层层叠而构成。基材可使用碳纸或碳布。

[上板、下板]

如上所述，上板20及下板22在气体扩散层18侧包括用于气体的流路槽(凹部分)，利用流路槽之间的部分(凸部分)按压气体扩散层。由于MEA 11的单位单元彼此通过互联体部30而串联连接，因此上板20及下板22优选为由绝缘性树脂形成。作为所述通用树脂，可列举聚丙烯树脂(Polypropylene，PP)、聚苯硫醚树脂(Polyphenylene sulfide，PPS)等。

如上所述，上板20及下板22分别包括突起部20A、突起部22A。突起部20A及突起部22A构成为在燃料电池10中夹持互联体部30而位于相对的位置，将MEA 11两面的电极层相对于互联体部30按压。

再者，上板20及下板22产生的压力优选为设为5MPa以下。

[燃料电池的制造方法]

以上的本发明的燃料电池可通过以下说明的本发明的制造方法制造。

首先，准备作为气体扩散层18的原材料的碳纸。为了在所述碳纸的一面形成作为第一电极161的催化剂层16，而涂敷包含催化剂与质子传导性树脂的油墨。进而，为了在催化剂层16上形成保护层14，在作为第一电极161的催化剂层16上涂敷含有导电材(科琴黑等)与质子传导性树脂的油墨。

而且，如图6中示意地表示，关于如上所述制作的气体扩散层18与作为第一电极层的催化剂层16的第一层叠体(以下，“第一扩散电极层叠体101”)，裁切为矩形状，在四角穿设定位用的第一定位孔201，并且在作为第一电极层的催化剂层16中设置多个去除部16a(参照图2)，所述多个去除部16a是留下保护层14，仅对催化剂层16部分地照射激光并以直线状去除。

[第一狭缝形成步骤]

另外，如图6中示意性地表示，作为第一狭缝形成步骤，在第一扩散电极层叠体101中，形成与去除部16a邻接且与去除部16a平行地延伸的作为电极区域间的分割槽17的第一狭缝161a。第一狭缝161a的形成可通过使用针状刀具机械地去除所述部分的气体扩散层18、作为第一电极161的催化剂层16的方法或者照射激光使所述部分蒸发的方法来进行。

另外，之后为了容易地除去第一电极161的第一狭缝161a的两端侧的不需要的部分，以横切第一狭缝161a与去除部16a的方式设置有由半切等构成的两个可断裂线161c。另外，在第一电极161的侧缘设置有切口部161d，切口部161d位于可断裂线161c之间并且被切成U字状。

[第二狭缝形成步骤]

接着，为了在由碳纸构成的气体扩散层18的一面上形成作为第二电极162的催化剂层16，而涂敷含有催化剂与质子传导性树脂的油墨。而且，如图7中示意性地表示，将气体扩散层18与作为第二电极162的催化剂层16的第二层叠体(以下，“第二扩散电极层叠体102”)裁切为矩形状，并且在四角穿设与第一定位孔201以相同间隔设定的第二定位孔202，且作为第二狭缝形成步骤，形成作为分割槽17的第二狭缝162a。

[电解质膜层叠步骤]

接着，如图8中示意性地表示，作为电解质膜层叠步骤，在形成作为分割槽17的第二狭缝162a的第二扩散电极层叠体102上载置电解质膜12。在图8中，利用斜线表示电解质膜12。

再者，在本实施方式中，对在具有第二电极162的第二扩散电极层叠体102上层叠电解质膜12的方法进行了说明，但也可在具有第一电极161的第一扩散电极层叠体101上层叠电解质膜12。

[IC形成步骤]

而且，如图8中示意性地表示，作为IC形成步骤，对电解质膜12的要形成互联体部30的部位局部施加热，在电解质膜12上形成互联体部30。作为其方法，可列举激光照射。作为所使用的激光光源，例如可列举CO₂激光。

[电极层叠步骤]

接着，如图9中示意性地表示，作为电极层叠步骤，在以所述方式形成互联体部30的电解质膜12中，在与层叠于电解质膜12上的第二扩散电极层叠体102相反的面侧，以使第一电极161成为电解质膜12侧的方式载置第一扩散电极层叠体101。作为分割槽17的第一狭缝161a以相对于互联体部30位于规定位置(即，互联体部30被第一扩散电极层叠体101的第一电极161(保护层14)覆盖)的方式对位载置。此时，通过使第一定位孔201与第二定位孔202的位置对齐且使第二扩散电极层叠体102与电解质膜12定位，可容易将第一狭缝161a与第二狭缝162a的位置配置成规定的位置。再者，在电解质膜层叠步骤中在第一扩散电极层叠体101上层叠电解质膜12的情况下，在电极层叠步骤中，在电解质膜12上层叠第二扩散电极层叠体12。

另外，当在电解质膜12载置第一扩散电极层叠体101时，使其位于利用可断裂线161c而断裂的部位，并夹持聚四氟乙烯制的片材163。利用所述片材163，在断裂的预定的部分，可防止第一扩散电极层叠体101与第二扩散电极层叠体202粘附，且容易断裂。

[侧缘部去除步骤]

接着，如图10中示意性地表示，作为侧缘部去除步骤，剥下片材163，使第一扩散电极层叠体101的第一电极161沿着可断裂线161c断裂，去除端部的不需要的部分。由此，第一狭缝161a的两端也被除去，第一电极161按照每个单位单元被分割成多个。

接着，如图11中示意性地表示，按照每个电解质膜12切除第二电极162的端部。此时，通过以第二狭缝162a的两端部被去除的方式利用裁切机切除，第二电极162被分割成多个。

[一体化步骤]

而且，如图12中示意性地表示，作为一体化步骤，利用绝缘膜164夹持第一电极161、电解质膜12、第二电极162，使绝缘膜164的端部彼此直接重叠并粘接，制造MEA111。

此处，示出使用芳香族系高分子作为质子传导性树脂时的所述互联体部部位的所述加热前与加热后的红外线分光(FT-IR)与拉曼分光的测定结果。图3、图4分别表示加热前、加热后的FT-IR光谱。在加热前的图3中观察到源自质子传导性树脂中的原子间的结合的吸收线，与此相对，在加热后的图4中所述吸收线消失。认为其原因在于：通过加热质子传导性树脂分解，变化为碳质。

另一方面，拉曼分光的测定结果中，可知虽然加热前并未出现峰值，但加热后在1350cm^-1附近与1600cm^-1附近出现峰值(图5)。认为这些分别是源自碳质材料的D带、G带，认为通过所述加热所述部位变化为碳质。

如上所述，通过利用加热使质子传导性树脂碳化，可容易地对所述部位赋予体积电阻率为0.1Ω·mm左右的导电性。

根据本实施方式的燃料电池的制造方法，在IC形成步骤或者使第一电极与第二电极重叠时，在第一狭缝及第二狭缝的端部多个单位单元的第一电极及第二电极连接成一个，因此无需一个一个隔开间隔地配置每个单位单元的第一电极及第二电极，在夹持电解质膜而使第一电极与第二电极层叠后，切断端部，按照每个单位单元分割第一电极与第二电极。因此，可容易地制造由多个单位单元构成的燃料电池。

再者，第一狭缝161a只要在第一电极层叠于电解质膜之前形成即可，第二狭缝162a只要在电解质膜上形成第二电极即可。因此，在第一电极与第二电极中的任意其中一者上层叠有电解质膜的电解质膜层叠步骤的时间点，在第一电极与第二电极中的任意另一者上，也可不形成狭缝，只要在另一个电极层叠于电解质膜之前在另一个电极上形成狭缝即可。

另外，在本实施方式中，第一电极161与第二电极162利用第一定位孔201与第二定位孔202定位，因此可容易地将第一狭缝161a与第二狭缝162a定位。另外，在侧缘部去除步骤中，剥下片材163并去除第一扩散电极层叠体101的第一电极161的端部的不需要的部分，但在所述去除的范围内设置有第一定位孔201与第二定位孔202。因此，在进行之后的膜电极接合体MEA的定位时，第二定位孔202不会成为阻碍，不会对膜电极接合体MEA部分造成影响。

另外，在本实施方式中，IC形成步骤在电解质膜层叠步骤后、第二电极层叠步骤前进行。由此，可对应于第一狭缝161a的位置而形成互联体部30，无需以第一狭缝161a与互联体部30成为规定位置的方式重叠第一电极161与电解质膜12而容易制造。

另外，本实施方式的燃料电池的制造方法包括一体化步骤，所述一体化步骤通过利用两片绝缘膜164夹持第一电极161、电解质膜12、第二电极162的层叠体，将绝缘膜164的端部接合而实现一体化。根据本实施方式，可使第一电极161、电解质膜12、第二电极162彼此难以剥离。

另外，一体化步骤也可在侧缘部去除步骤前进行。通过以所述方式制造，在分割前使第一电极与第二电极一体化，因此容易进行第一电极与第二电极的定位。