阅读说明：本技术 一种非金属膜片式真空获得设备 (Non-metal diaphragm type vacuum obtaining equipment ) 是由 王浩为 邓高飞 刘淑婷 马现刚 齐英 陈林 于 2020-06-01 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种非金属膜片式真空获得设备,属于真空设备技术领域,包括：电机,具有朝向两端伸出的传动轴；第一泵体,设置在所述电机的一端,具有与所述传动轴连接的第一非金属膜片,所述第一非金属膜片通过第一偏心结构与所述传动轴连接；第二泵体,设置在所述电机的另一端,具有与所述传动轴连接的第二非金属膜片,所述第二非金属膜片通过第二偏心结构与所述传动轴连接；所述第一偏心结构与所述第二偏心结构的偏心方向相反；本发明的非金属膜片式真空获得设备,设计为采用一台电机驱动两个泵体的结构,并且两个泵体采用交替出力的优化设计,通过合理设计泵的尺寸、转速、冷却条件,能够使得泵的结构紧凑、安全可靠、寿命长、耗能低。(The invention provides a non-metal diaphragm type vacuum obtaining device, which belongs to the technical field of vacuum equipment and comprises: a motor having a transmission shaft extending toward both ends; the first pump body is arranged at one end of the motor and is provided with a first non-metal diaphragm connected with the transmission shaft, and the first non-metal diaphragm is connected with the transmission shaft through a first eccentric structure; the second pump body is arranged at the other end of the motor and is provided with a second non-metal diaphragm connected with the transmission shaft, and the second non-metal diaphragm is connected with the transmission shaft through a second eccentric structure; the eccentric directions of the first eccentric structure and the second eccentric structure are opposite; the nonmetal diaphragm type vacuum obtaining equipment is designed to adopt a structure that one motor drives two pump bodies, the two pump bodies adopt an optimized design of alternative output, and the pump has the advantages of compact structure, safety, reliability, long service life and low energy consumption by reasonably designing the size, the rotating speed and the cooling condition of the pump.)

一种非金属膜片式真空获得设备

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，具体涉及一种非金属膜片式真空获得设备。

背景技术

随着半导体生产线的发展，干式真空泵得到了广泛的应用，半导体生产线的集成控制为一个大的趋势，因此行业渴望将干式真空泵的物理尺寸减小。

然而，这又与干式真空泵的抽气速率相矛盾，因为干式真空泵的抽气速率与容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。

因此，减小物理尺寸，需要提高干式真空泵转子的转速，这需要更好的动平衡、更优的热力学性能和更小的泄漏量。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于设计一种具有体积小、转速高、抽速快、自身冷却和耗能低等特点的真空获得设备。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种非金属膜片式真空获得设备，包括：

电机，具有朝向两端伸出的传动轴；

第一泵体，设置在所述电机的一端，具有与所述传动轴连接的第一非金属膜片，所述第一非金属膜片通过第一偏心结构与所述传动轴连接；

第二泵体，设置在所述电机的另一端，具有与所述传动轴连接的第二非金属膜片，所述第二非金属膜片通过第二偏心结构与所述传动轴连接；

所述第一偏心结构与所述第二偏心结构的偏心方向相反。

作为优选方案，具有进气总口和出气总口，所述进气总口分别与所述第一泵体的第一进气口和第二泵体的第二进气口连通；

所述出气总口分别与所述第一泵体的第一出气口和第二泵体的第二出气口连通。

作为优选方案，所述进气总口和出气总口设置在所述第一泵体上，所述第一泵体上还具有进气连口和出气连口，所述进气连口和第二进气口通过进气连管连通，所述出气连口和第二出气口通过出气连管连通。

作为优选方案，所述第一偏心结构包括：

第一偏心块，具有偏心块本体和第一安装孔，所述偏心块本体相对于所述第一安装孔偏心设置，所述第一安装孔内适于连接电机的传动轴；

轴承，内圈套设在所述偏心块本体的外圈上；

连杆支架，具有用于容纳所述轴承的外圈的第二安装孔，所述连杆支架的顶端连接有非金属膜片。

作为优选方案，所述第一偏心块的偏心块本体一侧设置有偏心补偿结构，所述偏心补偿结构为朝向远离所述偏心块本体的偏心方向偏心设置的圆形块。

作为优选方案，所述圆形块的偏心距离大于所述偏心块本体的偏心距离。

作为优选方案，所述第二偏心结构与所述第一偏心结构的结构相同，并且所述第二偏心结构的第二偏心块与所述第一偏心结构的第一偏心块的偏心方向相反。

作为优选方案，所述传动轴的穿过所述偏心补偿结构的部分上设有平面，所述偏心补偿结构上设有与所述平面连通的螺纹孔，通过螺丝穿过所述螺纹孔后可抵接在所述平面上。

作为优选方案，还包括：腔室支架，支撑在泵体的压缩腔室的底部，一侧与所述电机连接。

作为优选方案，还包括：风扇结构，设置在所述传动轴的两端，具有与所述传动轴的端部连接的扇叶，还具有罩设在所述扇叶外部的风扇外罩，所述风扇外罩的内部具有风道，所述风道的一端朝向所述扇叶连通，所述风道的另一端朝向所述腔室支架连通。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的非金属膜片式真空获得设备，设计为采用一台电机驱动两个泵体的结构，并且两个泵体采用交替出力的优化设计，通过合理设计泵的尺寸、转速、冷却条件，能够使得泵的结构紧凑、安全可靠、寿命长、耗能低。

2.本发明提供的非金属膜片式真空获得设备，两个泵体采用同一个进气总口和同一个出气总口，两个泵体配合交叉出力，可提高设备整体的抽速。

3.本发明提供的非金属膜片式真空获得设备，进气总口和出气总口设置在第一泵体上，在第一泵体的朝向第二泵体的一侧还设置有进气连口和出气连口，通过进气连管将第一泵体的进气连口和第二泵体的第二进气口连通，通过出气连管将第一泵体的出气连口和第二泵体的出气口连通，使设备与容器连接时通过软管即可方便的实现。

4.本发明提供的非金属膜片式真空获得设备，在偏心块的一侧设置有偏心补偿结构，偏心补偿结构为朝向远离偏心块本体的偏心方向偏心设置的圆形块，这样在偏心块带动连杆支架进行偏心转动时，通过偏心补偿结构可以抵消掉部分连杆支架带来的偏心力，使系统运转更加平稳。

5.本发明提供的非金属膜片式真空获得设备，偏心补偿结构的圆形块的偏心距离大于偏心块本体的偏心距离，这样在平衡连杆之间的偏心力时也不需要设置圆形块的体积太大。

6.本发明提供的非金属膜片式真空获得设备，在电机的传动轴两端分别设置有一个风扇结构，工作中，传动轴带动扇叶旋转，使风扇外罩的风道内通过气流，气流经过腔室之间，可通过腔室支架降低压缩腔室的温度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明

具体实施方式

或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的非金属膜片式真空获得设备的一种实施方式的立体结构示意图。

图2为图1的爆炸图。

图3为图2中第一偏心结构的爆炸图。

图4为图3的仰视角度立体图。

图5为图1中风扇结构与腔室支架的装配示意图。

图6为图5的仰视角度立体图。

附图标记说明：

1、电机；2、第一泵体；3、第二泵体；4、腔室支架；5、橡胶支腿；6、风扇外罩；7、扇叶；8、第一进气口；9、第一出气口；10、第二进气口；11、第二出气口；12、进气连管；13、出气连管；14、进气连口；15、出气连口；16、传动轴；17、第一偏心结构；18、第二偏心结构；19、封盖；20、连杆支架；21、第一非金属膜片；22、腰型密封垫；23、偏心块本体；24、偏心补偿结构；25、第一安装孔；26、轴承；27、第二安装孔；28、平面；29、螺纹孔；30、螺丝；31、风道；32、插槽；33、配合筋；34、弹性卡条；35、卡槽。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供一种非金属膜片式真空获得设备的具体实施方式，如图1所示，包括:电机1和安装在电机1两端的第一泵体2和第二泵体3。所述第一泵体2和第二泵体3具有连接在电机1两端的腔室支架4，所述腔室支架4支撑在泵体的压缩腔室的底部，在腔室支架4的底端设置有用于支撑设备的橡胶支腿5。在第一泵体2和第二泵体3的腔室支架4上，还分别连接有风扇结构。

如图2所示，所述第一泵体2具有第一进气口8、第一出气口9、进气连口14和出气连口15，其中第一进气口8作为设备的进气总口，第二出气口11作为设备的出气总口；所述第二泵体3具有第二进气口10和第二出气口11，所述进气连口14和第二进气口10通过进气连管12连通，所述出气连口15和第二出气口11通过出气连管13连通。

如图2所示，电机1具有朝向两端伸出的传动轴16，所述传动轴16的两端分别通过两个偏心结构与第一泵体2和第二泵体3的非金属膜片连接。所述第一泵体2和第二泵体3具有相同的结构，不同的是，工作时，第一泵体2的第一非金属膜片21与第二泵体3的第二非金属膜片为相互交替做功，产生此效果的手段是，使第一偏心结构17与第二偏心结构18的偏心方向相反。

如图3所示，第一泵体2包括：腔室支架4和封盖19，在所述封盖19和腔室支架4之间形成压缩腔室。所述压缩腔室内具有与连杆支架20连接的第一非金属膜片21，所述封盖19上具有两个腰型密封垫22，工作时，第一非金属膜片21在压缩腔室内做功，然后通过两个腰型密封垫22的单向导通使压缩腔室内形成真空，从而进行抽真空。

如图3、图4所示，所述第一偏心结构17包括：第一偏心块、轴承26和连杆支架20，所述第一偏心块具有偏心块本体23、偏心补偿结构24和第一安装孔25，所述电机1的传动轴16的穿过所述第一安装孔25进行连接。所述连杆支架20具有用于容纳所述轴承26的外圈的第二安装孔27，所述连杆支架20的顶端连接所述第一非金属膜片21。所述轴承26的外环套设在连杆支架20的第二安装孔27内，轴承26的内圈套设在所述偏心块本体23的外圈上。

如图4所示，所述偏心块本体23相对于所述第一安装孔25偏心设置。所述偏心补偿结构24设置在偏心块本体23的一侧，所述偏心补偿结构24为朝向远离所述偏心块本体23的偏心方向偏心设置的圆形块，并且所述圆形块的偏心距离大于所述偏心块本体23的偏心距离。

如图3所示，所述电机1的传动轴16在所述偏心补偿结构24的位置上设有平面28，所述偏心补偿结构24上设有与所述平面28连通的螺纹孔29，通过螺丝30穿过所述螺纹孔29后可抵接在所述平面28上。另外，第二泵体3的第二偏心结构18与第一泵体2的第一偏心结构17在结构上相同，不同之处在于，所述第二偏心结构18的第二偏心块与所述第一偏心结构17的第一偏心块的偏心方向相反，即两个偏心块的安装方向相反，与之对应的电机1的传动轴16上的平面28设置位置也相反。

如图5所示，风扇结构设置在电机1的传动轴16的两端，风扇结构的扇叶7与所述传动轴16的端部连接，风扇结构的风扇外罩6为罩设在扇叶7的外部。在所述风扇外罩6的内部具有风道31，所述风道31的一端朝向所述扇叶7连通，所述风道31的另一端朝向所述腔室支架4连通。

如图5、图6所示，所述风扇外罩6与所述腔室支架4之间为通过插接和卡接的配合进行联合装配，具体的，在风扇外罩6的顶端具有插槽32，对应的在腔室支架4上具有配合筋33，安装时，将风扇外罩6的插槽32水平插入到腔室支架4的配合筋33上。在风扇外罩6的顶部和底部还具有弹性卡条34，对应的在腔室支架4上具有卡槽35，在将风扇外罩6朝向腔室支架4水平插入的过程中，所述弹性卡条34卡入到卡槽35内，从而完成装配。

工作原理

本实施例提供的非金属膜片式真空获得设备在运行时，如图2所述，通过电机1驱动，使传动轴16进行旋转。传动轴16在旋转的过程中，传动轴16的两端分别带动第一偏心结构17和第二偏心结构18进行偏心转动，使第一泵体2和第二泵体3交叉出力做功，以持续的进行抽真空作业。

同时，传动轴16在旋转的过程中，传动轴16的两端还分别带动两个扇叶7进行旋转，以对第一泵体2和第二泵体3的压缩腔室进行降温。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。