阅读说明：本技术 处理液供给装置 (Processing liquid supply device ) 是由 冈留俊介 大仓宝欢 于 2019-05-31 设计创作，主要内容包括：提供一种实现缩短变更处理液等所需要的时间的处理液供给装置。彩色抗蚀剂供给装置(处理液供给装置)(23)具备：液体运输通道(24),其运输彩色抗蚀剂(处理液)(10)和洗净液(11)；液体供给通道(29),其与彩色抗蚀剂(10)和洗净液(11)的供给源(27、28)连接；氮气压送通道(气体压送通道)(25),其压送氮气(气体)；切换部(35),其与液体运输通道(24)、液体供给通道(29)、氮气压送通道(25)连接而至少切换在液体运输通道(24)内的彩色抗蚀剂(10)或者洗净液(11)的运输、和氮气的压送。(Provided is a processing liquid supply device which can shorten the time required for changing the processing liquid. A color resist supply device (processing liquid supply device) (23) is provided with: a liquid transport path (24) that transports the color resist (treatment liquid) (10) and the cleaning liquid (11); a liquid supply channel (29) connected to supply sources (27, 28) of the color resist (10) and the cleaning liquid (11); a nitrogen gas pressure feed passage (gas pressure feed passage) (25) for feeding nitrogen gas (gas) under pressure; and a switching unit (35) that is connected to the liquid transport path (24), the liquid supply path (29), and the nitrogen gas pressure feed path (25) and switches at least between the transport of the color resist (10) or the cleaning liquid (11) in the liquid transport path (24) and the pressure feed of the nitrogen gas.)

处理液供给装置

技术领域

本发明是关于处理液供给装置。

背景技术

以往，作为处理液供给装置的一例，已知下述专利文献1所记载的内容。在作为专利文献1所记载的处理液供给装置中一个的抗蚀剂涂布装置中，在供给不同类型的光致抗蚀剂的三个抗蚀剂供给系统、即第一、第二、第三抗蚀剂供给系统的各自的抗蚀剂供给单元附近的配管上设有三个三通阀，该各三通阀连接稀释剂供给系统的配管。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开平11-169775号公报

发明内容

本发明所要解决的技术问题

根据上述专利文献1所记载的抗蚀剂涂布装置，虽然具有多个抗蚀剂供给系统，但可以实现操作速率的提高。而且，在洗净抗蚀剂供给系统的配管时，稀释剂供给系统的配管通过连接的三通阀将稀释剂送到抗蚀剂供给系统的配管。然而，若只是通过将稀释剂送到抗蚀剂供给系统的管道来洗净，则存在为了不让光致抗蚀剂和稀释剂的混合液残留在配管内需要花费大量时间进行洗净的问题。

本发明为基于上述情况而完成的，其目的在于，实现缩短变更处理液等所需要的时间。

用于解决技术问题的技术方案

(1)本发明的一实施方式的处理液供给装置包括：液体运输通道，其运输处理液和洗净液；液体供给通道，其与所述处理液和所述洗净液的供给源连接；气体压送通道，其压送气体；切换部，其与所述液体运输通道、所述液体供给通道、所述气体压送通道连接，而至少切换在所述液体运输通道内的所述处理液或者所述洗净液的运输、和所述气体的压送。

处理液从该供给源经由液体供给通道以及切换部，通过液体运输通道被运输。另一方面，例如变更处理液等时，洗净液从该供给源经由液体供给通道以及切换部被运输至液体运输通道，因此能够进行液体运输通道等的洗净。在进行该洗净液的洗净时，为了不让液体运输通道内残留洗净液以及处理液的混合液等，往往需要较多时间。关于这点，切换部与液体运输通道、液体供给通道、气体压送通道连接，而能够至少切换在液体运输通道内的处理液或者洗净液的运输、和气体的压送，因此结束洗净液的液体运输通道的洗净之后，切换部只要进行将气体从气体压送通道压送至液体运输通道的切换即可。在液体运输通道内压送气体，因此有效地去除残留在液体运输通道内的处理液以及洗净液的混合液等。因此，能够缩短洗净液的洗净时间、以及洗净后进行的处理液的洗净液的挤出时间。如上所述，能够缩短变更处理液等所需要的时间。

(2)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(1)的构成的基础上，所述液体供给通道包括与所述液体运输通道、所述洗净液的供给源连接的洗净液体供给通道、以及与所述液体运输通道、所述处理液的供给源连接的处理液体供给通道，所述切换部与所述洗净液体供给通道和所述处理液体供给通道的任何一个连接。

(3)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(2)的构成的基础上，所述洗净液体供给通道与所述切换部连接，相对地，所述处理液体供给通道与所述液体运输通道中的相较于所述切换部的下游侧连接。

(4)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(3)的构成的基础上，所述液体运输通道包括运输所述处理液以及所述洗净液的共通运输通道、和运输所述洗净液的洗净液体运输通道，还包括第二切换部，所述第二切换部与所述处理液体供给通道、所述洗净液体运输通道、所述共通运输通道连接，而切换在所述共通运输通道内的所述处理液的运输和所述洗净液的运输、或者所述气体的压送。

(5)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(2)至(4)中任一项的构成的基础上，在所述处理液的供给源可替换为第二洗净液的供给源的构成中，所述液体供给通道除了所述洗净液体供给通道之外还包括与所述液体运输通道、和所述第二洗净液的供给源连接的第二洗净液体供给通道或者所述处理液体供给通道。

(6)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(1)至(5)中任一项的构成的基础上，所述气体压送通道包括与所述切换部连接的主气体压送通道、和与所述主气体压送通道、和所述处理液或者所述洗净液的供给源连接的供给源侧气体压送通道。

(7)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(6)的构成的基础上，所述液体供给通道包括：与所述液体运输通道和所述洗净液的供给源连接的洗净液体供给通道、以及与所述液体运输通道和所述处理液的供给源连接的处理液体供给通道，所述供给源侧气体压送通道包括：与所述洗净液的供给源和所述主气体压送通道连接的洗净液供给源侧气体压送通道、以及与所述处理液的供给源和所述主气体压送通道中的相较于所述洗净液供给源侧气体压送通道的上游侧或者下游侧连接的处理液供给源侧气体压送通道。

(8)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(7)的构成的基础上，所述主气体压送通道从上游侧依次包括：与所述洗净液供给源侧气体压送通道和所述处理液供给源侧气体压送通道的一方连接的第一主气体压送通道、与所述洗净液供给源侧气体压送通道和所述处理液供给源侧气体压送通道的另一方连接的第二主气体压送通道、与所述切换部连接的第三主气体压送通道，还包括第三切换部和第四切换部，所述第三切换部与所述一方、所述第一主气体压送通道、所述第二主气体压送通道连接而切换在所述一方内的所述气体的压送、和在所述第二主气体压送通道内的所述气体的压送，所述第四切换部与所述另一方、所述第二主气体压送通道、所述第三主气体压送通道连接而切换在所述另一方内的所述气体的压送、和在所述第三主气体压送通道内的所述气体的压送。

(9)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(1)至(8)中任一项的构成的基础上，所述气体压送通道作为所述气体压送氮气。

(10)另外，本发明的某实施方式的处理液供给装置在上述(1)至(9)中任一项的构成的基础上，所述液体运输通道作为所述处理液运输彩色抗蚀剂。

有益效果

根据本发明，能够实现缩短变更处理液等所需要的时间。

附图说明

图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的缝涂布装置的装置结构的图。

图2是示出彩色抗蚀剂供给装置所具备的切换部以及第四切换部的结构的图。

图3是示出伴随涂布作业的彩色抗蚀剂以及氮气的流向的图。

图4是示出伴随洗净作业的洗净液以及氮气的流向的图。

图5是示出伴随冲洗作业的氮气的流向的图。

图6是示出伴随本发明的第二实施方式所涉及的洗净作业的洗净液以及氮气的流向的图。

图7是示出伴随第二洗净作业的第二洗净液以及氮气的流向的图。

图8是示出伴随冲洗作业的氮气的流向的图。

图9是示出本发明的第三实施方式所涉及的缝涂布装置的装置结构的图。

具体实施方式

<第一实施方式>

通过图1至图5说明本发明的第一实施方式。例示液晶面板的制造中使用的缝涂布装置(处理液涂布装置)20所具备的彩色抗蚀剂供给装置(处理液供给装置)23。

本实施方式所涉及的缝涂布装置20是用于在液晶面板所具备的CF基板上形成彩色滤光片的装置。如图1所示，缝涂布装置20至少具备：涂布部21，其将作为彩色滤光片的材料的彩色抗蚀剂(处理液)10涂布在CF基板上；贮存部22，其临时贮存供给涂布部21的彩色抗蚀剂10；彩色抗蚀剂供给装置23，其向贮存部22供给彩色抗蚀剂10。涂布部21是抗蚀剂涂布头，所述抗蚀剂涂布头具备多个狭缝喷嘴，所述狭缝喷嘴将彩色抗蚀剂10涂布于CF基板上。贮存部22具备：贮存从彩色抗蚀剂供给装置23供给的彩色抗蚀剂10的容器、用于将彩色抗蚀剂10适当地供给至涂布部21的泵等。涂布部21、贮存部22以及彩色抗蚀剂供给装置23通过配管连接。

如图1所示，彩色抗蚀剂供给装置23至少具备：液体运输通道24，其运输彩色抗蚀剂10等；氮气压送通道(气体压送通道)25，其压送氮气(气体)；连接部26，其将液体运输通道24连接于贮存部22侧的配管的同时，将氮气压送通道25连接于氮气的供给源；液体供给通道29，其将作为彩色抗蚀剂10的供给源的彩色抗蚀剂供给源(处理液供给源)27、和作为洗净液11的供给源的洗净液供给源28连接于液体运输通道24，而将彩色抗蚀剂10、洗净液11供给至液体运输通道24。在CF基板上形成彩色滤光片时，被液体运输通道24运输的彩色抗蚀剂10经由连接部26供给至贮存部22。液体运输通道24能够运输用于伴随彩色抗蚀剂10的变更等而洗净内部的洗净液11。液体供给通道29包含：彩色抗蚀剂供给通道(处理液体供给通道)31，其连接液体运输通道24与彩色抗蚀剂供给源27而负责彩色抗蚀剂10的供给；洗净液体供给通道32，其连接液体运输通道24与洗净液供给源28而负责洗净液11的供给。此外，液体运输通道24、氮气压送通道25以及液体供给通道29均由配管构成。另外，彩色抗蚀剂供给源27以及洗净液供给源28均由提桶等带有盖子的容器构成。

如图1所示，氮气压送通道25包含：主氮气压送通道(主气体压送通道)25A，其上游端侧经由连接部26连接于氮气的供给源，下游端侧连接于液体运输通道24；供给源侧氮气压送通道(供给源侧气体压送通道)30，其将彩色抗蚀剂供给源27、洗净液供给源28连接于主氮气压送通道25A而将氮气供给各供给源27、28。此外，氮气的供给源是通过规定的圧力向氮气压送通道25压送氮气的构成。供给源侧氮气压送通道30包含：彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道(处理液供给源侧气体压送通道)33，其与主氮气压送通道25A和彩色抗蚀剂供给源27连接而向彩色抗蚀剂供给源27压送氮气；洗净液供给源侧氮气压送通道(洗净液供给源侧气体压送通道)34，其与氮气压送通道25和洗净液供给源28连接而向洗净液供给源28压送氮气。

然而，彩色抗蚀剂10由感光性着色材料构成。液晶面板的CF基板例如由于具备有呈红色、绿色以及蓝色的三色的彩色滤光片，因此形成各彩色滤光片时，使用呈红色、绿色以及蓝色的三色的彩色抗蚀剂10。由于本实施方式所涉及的缝涂布装置20从彩色抗蚀剂供给源27到涂布部21的彩色抗蚀剂10的运输路径(包括液体运输通道24)为单一的，因此在变更使用的彩色抗蚀剂10的颜色时，需要进行彩色抗蚀剂供给源27的替换、和彩色抗蚀剂10的运输路径的洗净。通过适当地进行其中的彩色抗蚀剂10的运输路径的洗净，能够防止彩色抗蚀剂10的混色。洗净液11例如由稀释剂等的溶剂构成，且洗净液11用于洗净彩色抗蚀剂10的运输路径。

并且，如图1所示，本实施方式所涉及的彩色抗蚀剂供给装置23在液体运输通道24和液体供给通道29的连接处、与主氮气压送通道25A和供给源侧氮气压送通道30的连接处，分别设有两个切换部35～38。如图2所示，各切换部35～38均具有成为连接对象的各配管上设置的三个电磁阀39，成为所谓的三通阀。此外，在图2中，第一切换部35以及第四切换部38为代表进行了图示，但是第二切换部36以及第三切换部37也是相同的构成。以下，详细地说明各切换部35～38。

如图1所示，切换部35与液体运输通道24、构成液体供给通道29的洗净液体供给通道32、构成氮气压送通道25的主氮气压送通道25A连接，而至少切换在液体运输通道24内的彩色抗蚀剂10或者洗净液11的运输、和氮气的压送。具体而言，切换部35具有设置在液体运输通道24中的上游侧的端部(洗净液体运输通道24B)的电磁阀39、设置在洗净液体供给通道32中的下游侧(与洗净液供给源28侧相反的一侧)的端部的电磁阀39、设置在主氮气压送通道25A中的下游侧的端部(第三主氮气压送通道25A3)的电磁阀39。在从彩色抗蚀剂供给装置23向涂布部21以及贮存部22侧供给彩色抗蚀剂10时、洗净彩色抗蚀剂10的运输路径时，构成切换部35的电磁阀39(参照图2)中，打开设置在液体运输通道24的电磁阀39和设置在洗净液体供给通道32的电磁阀39，相对地，关闭设置在主氮气压送通道25A的电磁阀39。这样，能够避免主氮气压送通道25A内的氮气压送至液体运输通道24，对此，彩色抗蚀剂10、洗净液11从彩色抗蚀剂供给源27、洗净液供给源28通过彩色抗蚀剂供给通道31、洗净液体供给通道32之后，通过切换部35而运输至液体运输通道24。另一方面，若在构成切换部35的电磁阀39中，打开设置在液体运输通道24的电磁阀39、和设置在主氮气压送通道25A的电磁阀39，相对地，关闭设置在洗净液体供给通道32的电磁阀39，就能够将主氮气压送通道25A内的氮气压送至液体运输通道24内。这样的切换部35的设定优选为在将由洗净液11的液体运输通道24的洗净结束之后进行，由此能够通过压送至液体运输通道24内的氮气有效地去除残留在液体运输通道24内的彩色抗蚀剂10以及洗净液11的混合液等。因此，能够缩短洗净液11的洗净时间、洗净之后进行的彩色抗蚀剂10的洗净液11的挤出时间。如上所述，能够缩短变更彩色抗蚀剂10所需要的时间。另外，切换部35连接洗净液体供给通道32和液体运输通道24中的上游侧的端部，因此能够利用从洗净液体供给通道32经由切换部35运输至液体运输通道24的洗净液11洗净液体运输通道24的大致整个区域。因此，能够高效化液体运输通道24的洗净。

如图1所示，第二切换部36连接液体运输通道24中的中间部分、和构成的液体供给通道29的彩色抗蚀剂供给通道31。在液体运输通道24中，相较于第二切换部36的下游侧部分设为彩色抗蚀剂10以及洗净液11被运输的共通运输通道24A，对此，相较于第二切换部36的上游侧部分设为洗净液11被运输的洗净液体运输通道24B。第二切换部36具有：设置在共通运输通道24A中的上游侧的端部的电磁阀39；设置在洗净液体运输通道24B中的下游侧(与切换部35侧相反的一侧)的端部的电磁阀39；设置在彩色抗蚀剂供给通道31中的下游侧(与彩色抗蚀剂供给源27侧相反的一侧)的端部的电磁阀39。第二切换部36是切换在共通运输通道24A内的彩色抗蚀剂10的运输、洗净液11的运输或者氮气的压送的构成。具体而言，若在构成第二切换部36的电磁阀39中，打开设置在共通运输通道24A的电磁阀39、和设置在彩色抗蚀剂供给通道31的电磁阀39，相对地，关闭设置在洗净液体运输通道24B的电磁阀39，就能够将彩色抗蚀剂10从彩色抗蚀剂供给通道31至共通运输通道24A。另一方面，若在构成第二切换部36的电磁阀39中，打开设置在共通运输通道24A的电磁阀39、和设置在洗净液体运输通道24B的电磁阀39，相对地，若关闭设置在彩色抗蚀剂供给通道31的电磁阀39，就能够将被洗净液体运输通道24B运输的洗净液11运输至共通运输通道24A而实现共通运输通道24A的洗净，或者将被压送到洗净液体运输通道24B内的氮气压送至共通运输通道24A内而实现共通运输通道24A的冲洗。

如图1所示，第三切换部37与主氮气压送通道25A中的中间部分、和构成供给源侧氮气压送通道30的彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33连接。对此，第四切换部38与主氮气压送通道25A中的相较于第三切换部37的下游侧部分、和构成供给源侧氮气压送通道30的洗净液供给源侧氮气压送通道34连接。在主氮气压送通道25A中，相较于第三切换部37的上游侧部分设为第一主氮气压送通道(第一主气体压送通道)25A1，夹在在第三切换部37与第四切换部38之间的部分设为第二主氮气压送通道(第二主气体压送通道)25A2，相较于第四切换部38的下游侧部分设为第三主氮气压送通道(第三主气体压送通道)25A3。

如图1所示，第三切换部37具有设置在第一主氮气压送通道25A1中的下游侧的端部的电磁阀39、设置在第二主氮气压送通道25A2中的上游侧的端部的电磁阀39、设置在彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33中的上游侧(与彩色抗蚀剂供给源27侧相反的一侧)的端部的电磁阀39。第三切换部37是切换在彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33内的氮气的压送、和在第二主氮气压送通道25A2内的氮气的压送的构成。具体而言，若在构成第三切换部37的电磁阀39中，打开设置在第一主氮气压送通道25A1的电磁阀39、和设置在彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的电磁阀39，相对地，关闭设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39，就能够将氮气从第一主氮气压送通道25A1压至送彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33。被压送至彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的氮气，被压送至彩色抗蚀剂供给源27内，因此能够将彩色抗蚀剂10送出至彩色抗蚀剂供给通道31内。另一方面，构成第三切换部37的电磁阀39中，打开设置在第一主氮气压送通道25A1的电磁阀39、和设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39，相对地，关闭设置在彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的电磁阀39，就能够将被压送至第一主氮气压送通道25A1内的氮气压送至第二主氮气压送通道25A2内。

如图1所示，第四切换部38具有设置在第二主氮气压送通道25A2中的下游侧的端部的电磁阀39、设置在第三主氮气压送通道25A3中的上游侧的端部的电磁阀39、和设置在洗净液供给源侧氮气压送通道34中的上游侧(与洗净液供给源28侧相反的一侧)的端部的电磁阀39。第四切换部38是切换在洗净液供给源侧氮气压送通道34内的氮气的压送、和在第三主氮气压送通道25A3内的氮气的压送的构成。具体而言，若在构成第四切换部38的电磁阀39中，打开设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39、和设置在洗净液供给源侧氮气压送通道34的电磁阀39，相对地，关闭设置在第三主氮气压送通道25A3的电磁阀39，就能够将氮气从第二主氮气压送通道25A2压送至洗净液供给源侧氮气压送通道34。被压送到洗净液供给源侧氮气压送通道34内的氮气，被压送至洗净液供给源28内，因此能够将洗净液11送出至洗净液体供给通道32内。另一方面，若在构成第四切换部38的电磁阀39中，打开设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39、和设置在第三主氮气压送通道25A3的电磁阀39，相对地，关闭设置在洗净液供给源侧氮气压送通道34的电磁阀39，就能够将被压送到第二主氮气压送通道25A2内的氮气压送至第三主氮气压送通道25A3内。

本实施方式所涉及的缝涂布装置20是如上所述的构成，接着说明其作用。首先，在CF基板上涂布作为彩色滤光片的材料的彩色抗蚀剂10时，如图3所示，将彩色抗蚀剂10从彩色抗蚀剂供给装置23供给至贮存部22。此时，在第二切换部36中，打开设置在共通运输通道24A的电磁阀39、和设置在彩色抗蚀剂供给通道31的电磁阀39，相对地，关闭设置在洗净液体运输通道24B的电磁阀39。另一方面，在第三切换部37中，打开设置在第一主氮气压送通道25A1的电磁阀39、和设置在彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的电磁阀39，相对地，关闭设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39。这样，氮气从第一主氮气压送通道25A1经由第三切换部37压送至彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33，因此经由被压送的氮气，彩色抗蚀剂供给源27内的彩色抗蚀剂10送出至彩色抗蚀剂供给通道31内。送出至彩色抗蚀剂供给通道31内的彩色抗蚀剂10经由第二切换部36运输至共通运输通道24A内。因此，能够将彩色抗蚀剂10从彩色抗蚀剂供给源27运输至共通运输通道24A，因此能够将彩色抗蚀剂10从彩色抗蚀剂供给装置23供给至贮存部22。此外，可以适当地设定构成切换部35以及第四切换部38的各电磁阀39的开闭状态，但是例如也可以全部关闭。

变更涂布在CF基板上的彩色滤光片的颜色时，成为变更从彩色抗蚀剂供给装置23供给至贮存部22的彩色抗蚀剂10的颜色。在变更彩色抗蚀剂10的颜色之前，为了防止混色，进行洗净彩色抗蚀剂10的运输路径的作业。进行洗净作业时，如图4所示，在切换部35中，打开设置在洗净液体运输通道24B的电磁阀39、和设置在洗净液体供给通道32的电磁阀39，相对地，关闭设置在第三主氮气压送通道25A3的电磁阀39。在第二切换部36中，打开设置在共通运输通道24A的电磁阀39、和设置在洗净液体运输通道24B的电磁阀39，相对地，关闭设置在彩色抗蚀剂供给通道31的电磁阀39。在第三切换部37中，打开设置在第一主氮气压送通道25A1的电磁阀39、和设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39，相对地，关闭设置在彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的电磁阀39。在第四切换部38中，打开设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39、和设置在洗净液供给源侧氮气压送通道34的电磁阀39，相对地，关闭设置在第三主氮气压送通道25A3的电磁阀39。这样，氮气从第一主氮气压送通道25A1经由第三切换部37、第二主氮气压送通道25A2以及第四切换部38压送至洗净液供给源侧氮气压送通道34，因此经由被压送的氮气，洗净液供给源28内的洗净液11送出至洗净液体供给通道32内。在洗净液体供给通道32内被送出的洗净液11经由切换部35运输至洗净液体运输通道24B内之后，经由第二切换部36运输至共通运输通道24A内。因此，在液体运输通道24中，从上游侧的端部到达下游侧的端部为止大致整个长度上由洗净液11被洗净。伴随该洗净进行变更前的彩色抗蚀剂10等的去除。到达至液体运输通道24的下游侧的端部的洗净液，经由连接部26到达至贮存部22以及涂布部21，且也洗净它们。在进行如上所述那样的洗净作业的期间，进行将含有变更前的彩色抗蚀剂10的彩色抗蚀剂供给源27，更换为含有变更后的彩色抗蚀剂10的彩色抗蚀剂供给源27的作业。

在规定时间内进行了洗净作业之后，通过氮气的压送进行冲洗作业。进行冲洗作业时，如图5所示，在切换部3中，打开设置在洗净液体运输通道24B的电磁阀39、和设置在第三主氮气压送通道25A3的电磁阀39，相对地，关闭设置在洗净液体供给通道32的电磁阀39。在第二切换部36中，打开设置在共通运输通道24A的电磁阀39、和设置在洗净液体运输通道24B的电磁阀39，相对地，关闭设置在彩色抗蚀剂供给通道31的电磁阀39。在第三切换部37中，打开设置在第一主氮气压送通道25A1的电磁阀39、和设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39，相对地，关闭设置在彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的电磁阀39。在第四切换部38中，打开设置在第二主氮气压送通道25A2的电磁阀39、和设置在第三主氮气压送通道25A3的电磁阀39，相对地，关闭设置在洗净液供给源侧氮气压送通道34的电磁阀39。这样，氮气从第一主氮气压送通道25A1经由第三切换部37、第二主氮气压送通道25A2、第四切换部38、第三主氮气压送通道25A3以及切换部35，被压送至洗净液体运输通道24B。氮气从洗净液体运输通道24B经由第二切换部36被压送至共通运输通道24A。因此，在液体运输通道24中，从上游侧的端部到达下游侧的端部为止大致整个长度上由被压送的氮气被冲洗。伴随该冲洗，有效地去除变更前的彩色抗蚀剂10、洗净液11以及这些的混合液，因此能够缩短之前进行的洗净作业中的洗净时间。到达至液体运输通道24的下游侧的端部的氮气，经由连接部26到达至贮存部22以及涂布部21，且也冲洗这些。

在规定时间内进行了氮气压送的冲洗作业之后，将变更后的彩色抗蚀剂10运输至共通运输通道24A，进行挤出共通运输通道24A内的残留物的作业。在进行该挤出作业时，如图3所示，各切换部35～38处于与如上所述的彩色抗蚀剂10的涂布作业时相同的状态。变更后的彩色抗蚀剂10从变更后的彩色抗蚀剂供给源27运输至共通运输通道24A，因此共通运输通道24A内的残留物被挤出至连接部26侧。此时，残留在共通运输通道24A内的残留物的量伴随之前进行的冲洗作业大幅度减少，因此能够实现缩短在挤出作业上花费的作业时间。在规定时间内进行了挤出作业之后，进行利用了变更后的彩色抗蚀剂10的涂布作业。

如以上说明，本实施方式的彩色抗蚀剂供给装置(处理液供给装置)23具备：运输彩色抗蚀剂(处理液)10和洗净液11的液体运输通道24；与彩色抗蚀剂10和洗净液11的供给源27、28连接的液体供给通道29；压送氮气(气体)的氮气压送通道(气体压送通道)25；与液体运输通道24、液体供给通道29、氮气压送通道25连接而至少切换在液体运输通道24内的彩色抗蚀剂10或者洗净液11的运输、和氮气的压送的切换部35。

彩色抗蚀剂10从该彩色抗蚀剂供给源27经由液体供给通道29以及切换部35而通过液体运输通道24被运输。另一方面，例如在变更彩色抗蚀剂10等时，洗净液11从该彩色抗蚀剂供给源27经由液体供给通道29以及切换部35运输至液体运输通道24，因此能够进行液体运输通道24等的洗净。由该洗净液11进行洗净时，为了在液体运输通道24内不残留洗净液11以及彩色抗蚀剂10的混合液等，往往需要较多时间。关于这点，切换部35能够与液体运输通道24、液体供给通道29、氮气压送通道25连接而至少切换在液体运输通道24内的彩色抗蚀剂10或者洗净液11的运输、和氮气的压送，因此结束由洗净液11的液体运输通道24的洗净之后，以氮气从氮气压送通道25压送至液体运输通道24方式由切换部35进行切换即可。氮气在液体运输通道24内被压送，因此有效地去除残留在液体运输通道24内的彩色抗蚀剂10以及洗净液11的混合液等。因此，能够缩短洗净液11的洗净时间、洗净后进行的彩色抗蚀剂10的洗净液11的挤出时间。如上所述，能够缩短变更彩色抗蚀剂10所需要的时间。

另外，液体供给通道29包括：与液体运输通道24、洗净液供给源(洗净液11的供给源)28连接的洗净液体供给通道32；与液体运输通道24、彩色抗蚀剂供给源(彩色抗蚀剂10的供给源)27连接的彩色抗蚀剂供给通道31，切换部35与洗净液体供给通道32和彩色抗蚀剂供给通道31的任何一个连接。这样，洗净液11从洗净液供给源28经由洗净液体供给通道32运输至液体运输通道24，彩色抗蚀剂10从彩色抗蚀剂供给源27经由彩色抗蚀剂供给通道31运输至液体运输通道24。通过与洗净液体供给通道32和彩色抗蚀剂供给通道31的任何一个连接的切换部35，能够切换在液体运输通道24内的洗净液11或者彩色抗蚀剂10的运输、和氮气的压送。假设与伴随彩色抗蚀剂10的变更等，对一个液体供给通道29每次重新连接洗净液供给源28和彩色抗蚀剂供给源27的情况相比，能够缩短变更彩色抗蚀剂10等所需要的时间。

另外，洗净液体供给通道32与切换部35连接，相对地，彩色抗蚀剂供给通道31连接于液体运输通道24中的相较于切换部35的下游侧。这样，洗净液11从洗净液供给源28经由洗净液体供给通道32以及切换部35，运输至液体运输通道24中的相较于彩色抗蚀剂供给通道31的上游侧。因此，假设与将洗净液体供给通道32和彩色抗蚀剂供给通道31的位置关系相反设置的情况相比，能够由洗净液11遍及更大范围地洗净液体运输通道24，能够高效化液体运输通道24的洗净。

另外，液体运输通道24包括：运输彩色抗蚀剂10以及洗净液11的共通运输通道24A；运输洗净液11的洗净液体运输通道24B，且具备第二切换部36，所述第二切换部36与彩色抗蚀剂供给通道31、洗净液体运输通道24B、共通运输通道24A连接，而切换在共通运输通道24A内的彩色抗蚀剂10的运输和洗净液11的运输、或者氮气的压送。这样，彩色抗蚀剂10从彩色抗蚀剂供给源27经由彩色抗蚀剂供给通道31以及第二切换部36运输至共通运输通道24A。另一方面，洗净液体运输通道24时，在执行第二切换部36的切换的基础上，使洗净液11从洗净液供给源28经由洗净液体供给通道32以及切换部35运输至洗净液体运输通道24B。被运输至洗净液体运输通道24B的洗净液11经由第二切换部36运输至共通运输通道24A。因此，包含于液体运输通道24的共通运输通道24A以及洗净液体运输通道24B由洗净液11被洗净。液体运输通道24洗净之后，执行切换部35的切换，因此氮气从氮气压送通道25压送至洗净液体运输通道24B。被压送至洗净液体运输通道24B的氮气经由第二切换部36压送至共通运输通道24A。因此，在包含于液体运输通道24的共通运输通道24A以及洗净液体运输通道24B的内部残留的彩色抗蚀剂10以及洗净液11的混合液等，由被压送的氮气有效地去除。

另外，氮气压送通道25包含：与切换部35连接的主氮气压送通道(主气体压送通道)25A；与主氮气压送通道25A和彩色抗蚀剂10、或者洗净液供给源28连接的供给源侧氮气压送通道(供给源侧气体压送通道)30。这样，被压送至主氮气压送通道25A的氮气，经由切换部35被压送至液体运输通道24，或者经由供给源侧氮气压送通道30压送至彩色抗蚀剂10或者洗净液供给源28。氮气被压送至供给源侧氮气压送通道30，因此彩色抗蚀剂10或者洗净液11从供给源供给至液体供给通道29。假设与主氮气压送通道25A和供给源侧氮气压送通道30不连接的情况相比，简化氮气的压送所涉及的构成，因此适合于实现低成本化。

另外，液体供给通道29包括：与液体运输通道24和洗净液供给源28连接的洗净液体供给通道32；与液体运输通道24和彩色抗蚀剂供给源27连接的彩色抗蚀剂供给通道31，供给源侧氮气压送通道30包括：与洗净液供给源28和主氮气压送通道25A连接的洗净液供给源侧氮气压送通道(洗净液供给源侧气体压送通道)34；与彩色抗蚀剂供给源27、和主氮气压送通道25A中的相较于洗净液供给源侧氮气压送通道34的上游侧或者下游侧连接的彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道(处理液供给源侧气体压送通道)33。这样，被压送至主氮气压送通道25A的氮气，经由洗净液供给源侧氮气压送通道34被压送至洗净液供给源28，或经由彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33被压送至彩色抗蚀剂供给源27。氮气被压送至洗净液供给源侧氮气压送通道34，因此洗净液11从供给源供给至洗净液体供给通道32，氮气被压送至彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33，因此彩色抗蚀剂10从供给源供给至彩色抗蚀剂供给通道31。

另外，主氮气压送通道25A从上游侧依次包括：与洗净液供给源侧氮气压送通道34和彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的一方连接的第一主氮气压送通道(第一主气体压送通道)25A1；与洗净液供给源侧氮气压送通道34和彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的另一方连接的第二主氮气压送通道(第二主气体压送通道)25A2；与切换部35连接的第三主氮气压送通道(第三主气体压送通道)25A3，与该一方、第一主氮气压送通道25A1和第二主氮气压送通道25A2连接而切换在一方内的氮气的压送、和在第二主氮气压送通道25A2内的氮气的压送的第三切换部37；与该另一方、第二主氮气压送通道25A2和第三主氮气压送通道25A3连接而切换在另一方内的氮气的压送、和在第三主氮气压送通道25A3内的氮气的压送的第四切换部38。这样，氮气被压送至构成主氮气压送通道25A的第一主氮气压送通道25A1、第二主氮气压送通道25A2以及第三主氮气压送通道25A3之后，经由切换部35被压送至液体运输通道24。相对地，若通过第三切换部37切换氮气的压送，则氮气从第一主氮气压送通道25A1压送至洗净液供给源侧氮气压送通道34和彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的一方，到达至洗净液11和彩色抗蚀剂10的一方的供给源。进一步，若通过第四切换部38切换氮气的压送，则氮气从第二主氮气压送通道25A2压送至洗净液供给源侧氮气压送通道34和彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道33的另一方，到达至洗净液11和彩色抗蚀剂10的另一方的供给源。如上所述，通过第三切换部37以及第四切换部38能够适当地切换向液体运输通道24的氮气的压送、向洗净液供给源28的氮气的压送、和向彩色抗蚀剂供给源27的氮气的压送。

另外，在氮气压送通道25中，作为气体压送氮气。通过使用化学稳定且廉价的氮气作为气体，能够适当地冲洗液体运输通道24内的同时，适合于实现低成本化。

另外，在液体运输通道24中，作为处理液运输彩色抗蚀剂10。将作为处理液的彩色抗蚀剂10变更为不同颜色时，通过洗净液11洗净液体运输通道24之后，通过氮气的压送冲洗，因此能够在短时间内防止彩色抗蚀剂10的混色。

<第二实施方式>

通过图6至图8说明本发明的第二实施方式。该第二实施方式中，示出将彩色抗蚀剂供给源127替换成第二洗净液供给源40的构成。此外，针对与上述第一实施方式同样的结构、作用和效果，省略重复的说明。

如图6所示，在本实施方式所涉及的彩色抗蚀剂供给装置123中，彩色抗蚀剂供给源127可替换为第二洗净液供给源40。在第二洗净液供给源40中，含有与洗净液供给源128内的洗净液111不同的第二洗净液12。在本实施方式中，变更后的彩色抗蚀剂110与变更前的彩色抗蚀剂110组合等不同时，只通过一种洗净液111来难以高效地进行变更后的彩色抗蚀剂110的洗净，此时并用与洗净液111组合等不同的第二洗净液12。将彩色抗蚀剂供给源127替换为第二洗净液供给源40时，彩色抗蚀剂供给通道131成为用于供给第二洗净液12的第二洗净液体供给通道41，彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道133成为用于将氮气压送至第二洗净液供给源40的第二洗净液供给源侧氮气压送通道42(参照图7)。

说明具体的作业顺序。变更彩色抗蚀剂110的颜色时，如图6所示，进行洗净作业。洗净作业是上述的第一实施方式所记载的那样。在进行该洗净作业期间，进行将变更前的彩色抗蚀剂110的彩色抗蚀剂供给源127替换为第二洗净液供给源40的作业。因此，在替换彩色抗蚀剂供给源127和第二洗净液供给源40的作业上花费的作业时间，包含于洗净作业花费的作业时间，避免使整体的作业时间增加。洗净作业结束之后，接着进行第二洗净液12的第二洗净作业。进行第二洗净作业时，如图7所示，在第二切换部136中，打开设置在共通运输通道124A的电磁阀、和设置在第二洗净液体供给通道41的电磁阀，相对地，关闭设置在洗净液体运输通道124B的电磁阀。另一方面，在第三切换部137中，打开设置在第一主氮气压送通道125A1的电磁阀、和设置在第二洗净液供给源侧氮气压送通道42的电磁阀，相对地，关闭设置在第二主氮气压送通道125A2的电磁阀。这样，氮气从第一主氮气压送通道125A1经由第三切换部137压送至第二洗净液供给源侧氮气压送通道42，因此通过被压送的氮气，第二洗净液供给源40内的第二洗净液12送出至第二洗净液体供给通道41内。在第二洗净液体供给通道41内被送出的第二洗净液12，经由第二切换部136运输至共通运输通道124A内。因此，共通运输通道124A内被第二洗净液12洗净，因此与之前进行的洗净液111的洗净作业相结合，更高效地洗净/去除彩色抗蚀剂110。此外，可以适当地设定构成切换部135以及第四切换部138的各电磁阀的开闭状态，但是例如也可以全部关闭。之后，如图8所示，在进行氮气的压送的冲洗作业期间，进行将第二洗净液供给源40替换为含有变更后的彩色抗蚀剂110的彩色抗蚀剂供给源127的作业。因此，替换第二洗净液供给源40和彩色抗蚀剂供给源127的作业所花费的作业时间，包含于冲洗作业所花费的作业时间，避免使整体的作业时间增加。此外，冲洗作业是上述第一实施方式所记载的那样。

如上所述，根据本实施方式，在彩色抗蚀剂供给源127可替代为第二洗净液供给源40的构成中，液体供给通道129除了洗净液体供给通道132之外包含与液体运输通道124和第二洗净液供给源40连接的所述第二洗净液体供给通道41或者彩色抗蚀剂供给通道131。这样，例如变更彩色抗蚀剂110等时，能够将彩色抗蚀剂供给源127替代为第二洗净液供给源40。第二洗净液12从第二洗净液供给源40经由第二洗净液体供给通道41运输至液体运输通道124，因此液体运输通道124被洗净。如上所述，利用洗净液111和第二洗净液12进行液体运输通道124的洗净之后，根据彩色抗蚀剂110的种类选择第二洗净液12，因此能够使液体运输通道124的洗净更高效。

<第三实施方式>

通过图9说明本发明的第三实施方式。在该第三实施方式中示出，从上述的第一实施方式中将氮气压送通道225设为双系统的构成。此外，针对与上述第一实施方式同样的结构、作用和效果，省略重复的说明。

如图9所示，本实施方式所涉及的氮气压送通道225由双系统构成，所述双系统是第一氮气压送通道43和第二氮气压送通道44，所述第一氮气压送通道43的上游端侧连接于连接部226，下游端侧连接于第三切换部237，第二氮气压送通道44的上游端侧连接于连接部226，下游端侧连接于切换部235。第一氮气压送通道43经由第三切换部237与彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道233和洗净液供给源侧氮气压送通道234连接，能够根据第三切换部237的切换状态将氮气选择性地压送至彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道233和洗净液供给源侧氮气压送通道234。伴随如上所述的构成，在本实施方式中省略上述第一实施方式所记载的第四切换部。相对地，第二氮气压送通道44经由切换部235与构成液体运输通道224的洗净液体运输通道224B连接，能够根据切换部235的切换状态将氮气压送至洗净液体运输通道224B。即便是如上所述的构成，可以得到与上述第一实施方式相同的作用以及效果。

<其他实施方式>

本发明不受根据上述记载和附图说明的实施方式限定，例如如下实施方式也包含于本发明的技术范围。

(1)在上述各实施方式中，示出了液体运输通道中的上游侧经由切换部与洗净液体供给通道连接，下游侧经由第二切换部与彩色抗蚀剂供给通道连接的情况，但是也可以是液体运输通道中的上游侧经由切换部与彩色抗蚀剂供给通道连接，下游侧经由第二切换部与洗净液体供给通道连接。

(2)在上述第一、二实施方式中，示出了主氮气压送通道中的上游侧经由第三切换部与彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道连接，下游侧经由第四切换部与洗净液供给源侧氮气压送通道连接的情况，但是也可以是主氮气压送通道中的上游侧经由第三切换部与洗净液供给源侧氮气压送通道连接，下游侧经由第四切换部与彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道连接。

(3)在上述各实施方式中，例示了各切换部由三个电磁阀构成的结构，但是能够适当地变更各切换部的具体结构。

(4)在上述各实施方式中，示出了更换彩色抗蚀剂供给源时进行洗净作业、冲洗作业的情况，但是不限定于更换彩色抗蚀剂供给源时，也可以在需要洗净彩色抗蚀剂的运输路径等的情况下，进行洗净作业以及冲洗作业。

(5)在上述第二实施方式中，示出了替换第二洗净液供给源与彩色抗蚀剂供给源的情况，但是也可以采用彩色抗蚀剂供给源、洗净液供给源、第二洗净液供给源并列而与彩色抗蚀剂供给装置连接的结构。进一步，也可以将三个以上洗净液供给源并列而与彩色抗蚀剂供给装置连接。

(6)在上述第三实施方式中，示出了第一氮气压送通道经由第三切换部与彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道和洗净液供给源侧氮气压送通道连接的情况，但是也可以是将第一氮气压送通道作为双系统，一方与彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道连接，另一方与洗净液供给源侧氮气压送通道连接。此时，可以去除第三切换部。

(7)在上述各实施方式中，示出了彩色抗蚀剂供给源和洗净液供给源并列而与彩色抗蚀剂供给装置连接的构成，但是也可以是彩色抗蚀剂供给源和洗净液供给源与彩色抗蚀剂供给装置选择性地连接的构成。在进行洗净作业时，只要进行替换彩色抗蚀剂供给装置与洗净液供给源的作业即可。此时，能够去除第二切换部。

(8)在上述各实施方式中，示出了压送氮气的情况，但是也可以是压送除了氮气之外的气体。

(9)在上述各实施方式中，例示了在CF基板上为了形成呈红色、绿色以及蓝色的三色的彩色滤光片，使用呈相同三色的彩色抗蚀剂的情况，但是在形成呈除了上述三色之外的颜色的彩色滤光片时，显然能够使用呈除了三色之外的颜色的彩色抗蚀剂。此时，彩色抗蚀剂的颜色数量也可以是四色以上，也可以是二色以下。

(10)在上述各实施方式中，示出了作为处理液使用彩色抗蚀剂的情况，但是显然也可以使用其他类型的处理液。例如，在构成液晶面板的阵列基板中，可以将形成用于使导电膜之间绝缘，或者平坦化表面的该绝缘膜所使用的感光性树脂溶液设为处理液。另外，在构成液晶面板的CF基板中，可以将形成用于平坦化表面的绝缘膜所使用的感光性树脂溶液设为处理液。

(11)在上述各实施方式中，示出了洗净液设为稀释剂等的溶剂的情况，但是显然除了稀释剂之外的溶剂也能作为洗净液使用。

附图标记说明

10、110…彩色抗蚀剂(处理液)；11、111…洗净液；12…第二洗净液；23、123…彩色抗蚀剂供给装置(处理液供给装置)；24、124、224…液体运输通道；24A、124A…共通运输通道；24B、124B、224B…洗净液体运输通道；25、225…氮气压送通道(气体压送通道)；25A…主氮气压送通道(主气体压送通道)；25A1、125A1…第一主氮气压送通道(第一主气体压送通道)；25A2、125A2…第二主氮气压送通道(第二主气体压送通道)；25A3…第三主氮气压送通道(第三主气体压送通道)；27、127…彩色抗蚀剂供给源(彩色抗蚀剂10的供给源)；28、128…洗净液供给源(洗净液11的供给源)；29、129…液体供给通道；30…供给源侧氮气压送通道(供给源侧气体压送通道)；31、131…彩色抗蚀剂供给通道；32、132…洗净液体供给通道；33、133、233…彩色抗蚀剂供给源侧氮气压送通道(处理液供给源侧气体压送通道)；34、234…洗净液供给源侧氮气压送通道(洗净液供给源侧气体压送通道)；35、135、235…切换部；36、136…第二切换部；37、137、237…第三切换部；38、138…第四切换部；40…第二洗净液供给源；41…第二洗净液体供给通道。