用于硅片的插片装置

文档序号:1615823 发布日期:2020-01-10 浏览:7次 >En<

阅读说明:本技术 用于硅片的插片装置 (A inserted sheet device for silicon chip ) 是由 陈宏� 于 2019-10-26 设计创作,主要内容包括:本申请公开了一种用于硅片的插片装置,包括支架和水箱,水箱的端口处设有朝向水箱内倾斜的导流板,导流板上等间设有贯穿导流板两端的多个第一凹槽,多个第一凹槽朝向水箱内设置,导流板远离水箱的端口处设有与第一凹槽垂直的第二凹槽,第二凹槽同时连通多个第一凹槽,第二凹槽底部设有进水口,水箱上方的机架上设有与导流板垂直的电缸,电缸通过滑块连接有摆臂,摆臂可延伸至水箱内,摆臂底部垂直设有与导流板衔接的底板,底板上托举有硅片料框。该插片装置通过进水口进水,水均匀流入各个第一凹槽内形成保护水膜,硅片放置在倾斜导流板上会随着水流方向插入底板上的料框内,通过电缸配合实现自动插片,插片效率高,且碎片率低。(The application discloses inserted sheet device for silicon chip, which comprises a bracket and a water tank, the port department of water tank is equipped with the guide plate of slope in the water tank, be equipped with a plurality of first recesses that run through the guide plate both ends on the guide plate, a plurality of first recesses set up towards the water tank, the port department that the water tank was kept away from to the guide plate is equipped with the second recess with first recess vertically, the second recess communicates a plurality of first recesses simultaneously, second recess bottom is equipped with the water inlet, be equipped with in the frame of water tank top with guide plate vertically electric jar, electric jar is connected with the swing arm through the slider, swing arm extensible to the water tank in, the swing arm bottom is equipped with the bottom plate that links up with the guide plate perpendicularly, it has silicon chip material frame. This inserted sheet device is intake through the water inlet, and water evenly flows into and forms the protection water film in each first recess, and the silicon chip is placed and can be along with the rivers direction insert the material frame on the bottom plate on the guide plate that inclines in, realizes automatic inserted sheet through the cooperation of electric jar, and the inserted sheet is efficient, and the piece rate is low.)

用于硅片的插片装置

技术领域

本申请涉及硅片领域,特别是一种用于硅片的插片装置。

背景技术

在光伏或半导体领域,12寸的大型硅片在插片过程中,通常由人工进行操作,效率低且碎片率高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于硅片的插片装置,以克服现有技术中的不足。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

本申请实施例公开了一种用于硅片的插片装置,其特征在于:包括支架以及设置在支架上的水箱,所述水箱的端口处设有朝向水箱内倾斜的导流板,所述导流板上等间设有贯穿导流板两端的多个第一凹槽,多个所述第一凹槽朝向水箱内设置,所述导流板远离水箱的端口处设有与第一凹槽垂直的第二凹槽,所述第二凹槽同时连通多个第一凹槽,所述第二凹槽底部设有进水口,所述水箱上方的机架上设有与导流板垂直的电缸,所述电缸通过滑块连接有可上下移动的摆臂,所述摆臂可延伸至水箱内,所述摆臂底部垂直设有与导流板衔接的底板,所述底板上托举有硅片料框。

优选的,在上述的一种用于硅片的插片装置中,所述支架上水平延伸有凸台,所述凸台设置在导流板下方,所述凸台上设有支撑导流板底部的支撑块。

优选的,在上述的一种用于硅片的插片装置中,所述底板与摆臂一体成型。

优选的,在上述的一种用于硅片的插片装置中,所述水箱的底面倾斜设置,所述水箱内设有均流盘,所述水箱底部侧壁上开设有出水口。

优选的,在上述的一种用于硅片的插片装置中,所述机架底部设有滚轮。

与现有技术相比,本发明的优点在于:

该插片装置通过进水口进水,水均匀流入各个第一凹槽内形成保护水膜,硅片放置在倾斜导流板上会随着水流方向***底板上的料框内,通过电缸配合实现自动插片,插片效率高,且碎片率低。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本发明具体实施例中用于硅片的插片装置的结构示意图;

图2所示为本发明具体实施例中导流板的俯视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

参图1~2示,本实施例中的用于硅片的插片装置,包括支架1以及设置在支架上的水箱2,水箱2的端口处设有朝向水箱2内倾斜的导流板3,导流板3上等间设有贯穿导流板3两端的多个第一凹槽4,多个第一凹槽4朝向水箱2内设置,导流板3远离水箱2的端口处设有与第一凹槽4垂直的第二凹槽5,第二凹槽5同时连通多个第一凹槽4,第二凹槽5底部设有进水口501,水箱2上方的机架1上设有与导流板3垂直的电缸6,电缸6通过滑块601连接有可上下移动的摆臂7,摆臂7可延伸至水箱2内,摆臂7底部垂直设有与导流板3衔接的底板8,底板8上托举有硅片料框9。

进一步的,底板8与摆臂7一体成型。

进一步的,水箱2的底面倾斜设置,水箱2内设有均流盘201,水箱2底部侧壁上开设有出水口202。

在该技术方案中,该插片装置通过水泵或者其他现有技术将水从进水口进入导流盘内,水均匀流入各个第一凹槽内形成保护水膜,硅片放置在倾斜导流板上会随着水流方向***底板上的料框内,通过电缸配合实现自动插片,插片效率高,且碎片率低。

在一实施例中,支架1上水平延伸有凸台101,凸台101设置在导流板3下方,凸台101上设有支撑导流板3底部的支撑块102。

在该技术方案中,通过土台和支撑块对导流板进行限位,防止其变形或移位。

在一实施例中,机架1底部设有滚轮103。

在该技术方案中,方便装置移动。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上仅是本申请的具体实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

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