阅读说明：本技术 载体玻璃及其制造方法 (Carrier glass and method for producing same ) 是由 齐藤敦己 于 2018-04-24 设计创作，主要内容包括：本发明的载体玻璃为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃,其特征在于,为板厚0.1～1.2mm的平板形状,玻璃中的铁含量以Fe<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>换算计为45～130质量ppm,且波长308nm下的板厚方向的透射率为71～81％。(The carrier glass of the present invention is a carrier glass for carrying an organic resin substrate, and is characterized in that the carrier glass is in the form of a flat plate having a thickness of 0.1 to 1.2mm, and the iron content in the glass is Fe 2 O 3 The transmittance in the thickness direction at a wavelength of 308nm is 71-81% in terms of 45-130 mass ppm.)

载体玻璃及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种载体玻璃及其制造方法，具体而言，涉及一种用于搬送有机树脂基板的载体玻璃及其制造方法。

背景技术

有机EL显示器等电子器件为薄型且影像显示优异、并且耗电也少，因此被用于移动电话的显示器等用途。目前，有机EL显示器的基板广泛使用玻璃板。

近年来，使用有机树脂基板作为基板来制作具有可挠性的有机EL显示器受到关注。然而，有机树脂基板具有可挠性，因此难以将半导体膜直接成膜。因此，需要在使有机树脂基板层叠于载体玻璃上的状态下将半导体膜成膜于有机树脂基板上的工序。

对该用途的载体玻璃要求下述的特性(1)、(2)。

(1)为了防止碱离子在利用热处理工序成膜而成的半导体膜中扩散的情况，碱金属氧化物的含量少；

(2)生产率优异，例如熔融性、澄清性、耐失透性优异。

另外，使用有机树脂基板的有机EL显示器主要在智能电话等移动终端中使用，因此要求高分辨率。因此，显示器驱动用的薄膜晶体管中使用LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅)或氧化物半导体。

通常，有机树脂基板的耐热性低，因此在制作LTPS的高温的热处理工序等中无法维持其功能。但是，若利用载体玻璃进行保持，则在一部分树脂(例如聚酰亚胺等耐热性树脂)中，可以不损害其功能地进行热处理。

根据这种情况，对该用途的载体玻璃还要求(3)耐热性高。具体而言，要求在600℃左右的热处理中难以产生尺寸变化。需要说明的是，若在制作LTPS的高温的热处理工序等中载体玻璃发生尺寸变化，则难以在有机树脂基板上制作高精细的晶体管结构。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2016-530195号公报

发明内容

发明所要解决的课题

另外，在将半导体膜成膜于有机树脂基板上后，在将载体玻璃与有机树脂基板分离时，使用波长308nm的激光。因此，对载体玻璃除了要求所述要求特性(1)～(3)以外，还要求(4)为了提高激光的利用效率，波长308nm下的透射率高。

波长308nm下的透射率大大受到作为玻璃中的杂质的铁的影响。即，玻璃中存在的Fe³⁺在波长308nm附近示出吸收，因此若其含量多，则波长308nm下的透射率会降低。因此，为了满足要求特性(4)，重要的是尽量减少玻璃中存在的Fe³⁺的含量。

但是，Fe₂O₃是作为澄清剂发挥作用的成分。若极度减少Fe₂O₃的含量，则澄清效果变得不充分，因此容易产生泡不良，载体玻璃的生产率降低。尤其是，若为了提高耐热性而使载体玻璃高应变点化，则熔融温度变高，该问题容易显著化。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其技术课题是发明出波长308nm下的透射率高、而且生产率(尤其是澄清性)优异的载体玻璃。

用于解决课题的手段

本发明人反复进行了多种实验，结果发现，通过严格限制玻璃中的铁含量、并且严格限制紫外区域中的透射率，可解决上述技术课题，从而作为本发明提出。即，本发明的载体玻璃为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃，并且所述载体玻璃的特征在于，为板厚0.1～1.2mm的平板形状，玻璃中的铁含量以Fe₂O₃换算计为45～130质量ppm，且波长308nm下的板厚方向的透射率为71～81％。在此，“波长308nm下的板厚方向的透射率”是指利用数学公式1算出的内部透射率，例如可利用岛津制作所公司制造的UV-3100PC进行测定。所谓“～换算”，是指即使是价数与表述的氧化物不同的氧化物，也换算为表述的氧化物来进行处理。

(数学公式1)

logT_in＝log(I₁/I₀)-logR

logT_in：内部透射率(％)

I₀：入射光的强度(％)

I₁：透射特定的光程长度后的光的强度(％)

R：反射引起的光的衰减率(％)

另外，本发明的载体玻璃优选玻璃组成中的Li₂O+Na₂O+K₂O的含量小于0.20质量％。在此，“Li₂O+Na₂O+K₂O”是指Li₂O、Na₂O和K₂O的合计量。

另外，本发明的载体玻璃优选β-OH值为0.20/mm以下。在此，“β-OH值”是使用FT-IR并利用下述数学公式2而算出的值。

(数学公式2)

β-OH值＝(1/X)log(T₁/T₂)

X：板厚(mm)

T₁：参照波长3846cm^-1下的透射率(％)

T₂：羟基吸收波长3600cm^-1附近的最小透射率(％)

另外，本发明的载体玻璃优选作为玻璃组成以下述氧化物换算的质量％计含有SiO₂ 55～65％、Al₂O₃ 15～23％、B₂O₃ 0～7％、Li₂O+Na₂O+K₂O0％以上且小于0.20％、MgO 0～6％、CaO 0.1～10％、SrO 0～10％、BaO0～13％、Fe₂O₃ 60～130ppm、As₂O₃ 0％以上且小于0.010％、5b₂O₃ 0％以上且小于0.010％。

另外，本发明的载体玻璃优选自常温以5℃/分钟的速度升温并在500℃下保持1小时进而以5℃/分钟的速度降温时的热收缩率为20ppm以下。在此，“热收缩率”按照如下方式算出。首先，在试样的规定部位标入直线状的标记后，将该试样相对于标记垂直折叠，并分割为2个玻璃片。然后，仅对其中一个玻璃片进行规定的热处理(自常温以5℃/分钟的速度升温并在500℃下保持1小时进而以5℃/分钟的速度降温)。其后，将实施了热处理的玻璃片与未热处理的玻璃片并列，利用胶带T将两者固定后，测定标记的偏差。在将标记的偏差设为ΔL且将热处理前的试样的长度设为L₀时，利用ΔL/L₀(单位：ppm)的式子算出热收缩率。

另外，本发明的载体玻璃优选液相温度为1300℃以下。在此，“液相温度”可通过以下方法算出：将通过标准筛30目(500μm)而残留于50目(300μm)的玻璃粉末装入铂舟后，在温度梯度炉中保持24小时，并测定结晶析出的温度而算出。

另外，本发明的载体玻璃优选高温粘度10^2.5dPa.s的粘度下的温度为1700℃以下。在此，“高温粘度10^2.5dPa.s下的温度”可利用铂球提拉法测定。

本发明的玻璃树脂层叠体优选为将载体玻璃与有机树脂基板层叠而成的玻璃树脂层叠体，并且载体玻璃为上述载体玻璃。

本发明的载体玻璃的制造方法为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃的制造方法，并且所述载体玻璃的制造方法的特征在于，包括以下工序：以得到以下玻璃的方式对玻璃配合料进行配制的配制工序，所述玻璃中，作为玻璃组成以下述氧化物换算的质量％计含有SiO₂ 55～65％、Al₂O₃15～23％、B₂O₃ 0～7％、Li₂O+Na₂O+K₂O 0％以上且小于0.20％、MgO0～6％、CaO 0.1～10％、SrO 0～10％、BaO 0～13％、Fe₂O₃ 45～130质量ppm、As₂O₃ 0％以上且小于0.010％、Sb₂O₃ 0％以上且小于0.010％，且波长308nm下的板厚方向的透射率为71～81％；对经配制的玻璃配合料进行利用加热电极的通电加热，由此得到熔融玻璃的熔融工序；以及利用溢流下拉法将所得到的熔融玻璃成形为板厚0.1～1.2mm的平板形状的成形工序。在此，“溢流下拉法”为如下方法：使熔融玻璃从耐热性的流槽状结构物的两侧溢出，一边使溢出的熔融玻璃在流槽状结构物的下端合流，一边向下方延伸成形而成形玻璃板。

另外，本发明的载体玻璃的制造方法优选以源自MgO导入原料和CaO导入原料的铁含量(合计量)以Fe₂O₃换算计为30～70质量ppm的方式配制玻璃配合料。

具体实施方式

本发明的载体玻璃中，板厚为0.1～1.2mm，优选为0.2～1.0mm、0.3～0.7mm、特别是0.4～0.6mm。若板厚过小，则可挠性提高，因此难以发挥作为载体玻璃的功能。另一方面，若板厚过大，则波长308nm下的板厚方向的透射率容易降低。需要说明的是，板厚可利用玻璃制造时的流量或板拉引速度等调整。

Fe₂O₃是在1600℃附近的高温区域中发挥澄清效果的成分，但是使紫外区域中的透射率降低的成分。本发明的载体玻璃中，玻璃中的铁含量以Fe₂O₃换算计为45～130质量ppm，优选为60～125质量ppm、80～120质量ppm、特别是90～110质量ppm、特别是95～105质量ppm。若玻璃中的铁含量过少，则容易产生泡不良，载体玻璃的生产率会降低。另一方面，若玻璃中的铁含量过多，则波长308nm下的透射率降低，因此难以利用波长308nm的激光将载体玻璃与有机树脂基板分离。

本发明的载体玻璃中，波长308nm下的板厚方向的透射率为71～81％，优选为71～79％、72～78％、73～77％、特别是74～76％。若波长308nm下的板厚方向的透射率低，则难以利用波长308nm的激光将载体玻璃与有机树脂基板分离。另一方面，若波长308nm下的板厚方向的透射率高，则难以享有Fe₂O₃带来的澄清效果。

本发明的载体玻璃中，β-OH值优选为0.20/mm以下、0.16/mm以下、0.13/mm以下、0.12/mm以下、0.10/mm以下、特别是小于0.10/mm。若β-OH值过大，则耐热性容易降低。另一方面，若β-OH值过小，则熔融性容易降低。因此，β-OH值优选为0.01/mm以上、特别是0.02/mm以上。

作为使β-OH值降低的方法，有以下的(1)～(7)的方法，其中(1)～(4)的方法有效。(1)选择低水分量的原料。(2)在玻璃配合料中添加Cl、SO₃等干燥剂。(3)进行利用加热电极的通电加热。(4)采用小型熔融炉。(5)使炉内环境中的水分量降低。(6)在熔融玻璃中进行N₂起泡。(7)增多熔融玻璃的流量。

本发明的载体玻璃中，玻璃组成中的Li₂O+Na₂O+K₂O的含量优选为小于0.20质量％、小于0.10质量％、小于0.08质量％、特别是小于0.06质量％。另一方面，若少量导入Li₂O、Na₂O和K₂O，则熔融玻璃的电阻率降低，容易通过利用加热电极的通电加热而使玻璃熔融。因此，Li₂O、Na₂O和K₂O的合计量及各自含量优选为0.01质量％以上、0.02质量％以上、0.03质量％以上、0.04质量％以上、特别是0.05质量％以上。需要说明的是，若综合考虑对半导体膜的影响和电阻率的降低，则优选Li₂O、Na₂O和K₂O中，优先导入Na₂O。

本发明的载体玻璃优选为作为玻璃组成以下述氧化物换算的质量％计含有SiO₂55～65％、Al₂O₃ 15～23％、B₂O₃ 0～7％、Li₂O+Na₂O+K₂O 0％以上且小于0.20％、MgO 0～6％、CaO 0.1～10％、SrO 0～10％、BaO 0～13％、Fe₂O₃ 60～130ppm、As₂O₃ 0％以上且小于0.010％、Sb₂O₃ 0％以上且小于0.010％。

SiO₂为形成玻璃骨架并且提高应变点的成分。SiO₂的含量优选为55～65％、58～65％、特别是59～62％。若SiO₂的含量少，则应变点或耐酸性容易降低，且密度容易变高。另一方面，若SiO₂的含量多，则高温粘度变高，熔融性容易降低，除此以外，玻璃成分的失衡，方英石等失透结晶析出，液相温度容易变高。

Al₂O₃是提高应变点的成分，还是提高杨氏模量的成分。Al₂O₃的含量优选为15～23％、16～22％、17～22％、18～22％、18.6～21％、特别是19.2～21％。若Al₂O₃的含量少，则应变点或比杨氏模量容易降低。另一方面，若Al₂O₃的含量多，则莫来石或长石系的失透结晶析出，液相温度容易变高。

B₂O₃为提高熔融性和耐失透性的成分。B₂O₃的含量优选为0～7％、0～6％、0.1％以上且小于3.0％、0.3～2％、特别是0.5～0.75％。若B₂O₃的含量少，则熔融性容易降低，且液相温度容易变高。此外，耐缓冲氢氟酸性(耐BHF性)容易降低。另一方面，若B₂O₃的含量多，则应变点、比杨氏模量容易降低。再者，在尽可能提高应变点的情况下，B₂O₃的含量优选为0％以上且小于1.0％、特别是0％以上且小于0.50％。

Li₂O、Na₂O和K₂O的优选的含有范围如以上所述。

MgO为提高熔融性或杨氏模量的成分。MgO的含量优选为0～6％、0.01～6％、1～6％、2～5％、2.5～4.5％、特别是3～4％。若MgO的含量少，则杨氏模量与熔融性容易降低。另一方面，若MgO的含量多，则莫来石等由Mg、Ba导致的失透结晶及方英石的失透结晶容易析出，并且应变点容易降低。

CaO是降低高温粘性且显著提高熔融性而不会使应变点降低的成分。另外，CaO是碱土类金属氧化物中因导入原料比较廉价而使原料成本低廉化的成分。还是提高杨氏模量的成分。而且，CaO具有抑制上述包含Mg的失透结晶的析出的效果。CaO的含量优选为0.1～10％、1～9％、2～8％、3～7％、3.5～6％、特别是3.5～5.5％。若CaO的含量少，则难以享有上述效果。另一方面，若CaO的含量多，则钙长石的失透结晶容易析出，并且密度容易上升。

SrO是抑制分相且提高耐失透性的成分。还是降低高温粘性且提高熔融性而不会使应变点降低的成分。另一方面，若SrO的含量多，则长石系的失透结晶容易析出，耐失透性反而容易降低。此外，存在密度变高、或杨氏模量降低的倾向。因此，SrO的含量优选为0～10％、0～8％、0～3％、0.1～2％、特别是0.5％以上且小于1.0％。

BaO是碱土类金属氧化物中抑制莫来石系或钙长石系的失透结晶的析出的效果高的成分。BaO的含量优选为0～13％、0.1～12％、1～11％、5～10.7％、特别是8～10.5％。若BaO的含量少，则莫来石系或钙长石系的失透结晶容易析出。另一方面，若BaO的含量多，则密度容易增加或杨氏模量容易降低，并且高温粘度变得过高，熔融性容易降低。

碱土类金属氧化物是为了实现高应变点、提高耐失透性、熔融性而非常重要的成分。若碱土类金属氧化物少，则应变点上升，但难以抑制Al₂O₃系的失透结晶的析出，且高温粘性变高，熔融性容易降低。另一方面，若碱土类金属氧化物多，则熔融性得到改善，但应变点容易降低，且有可能因高温粘性的降低而导致液相粘度的降低。因此，MgO+CaO+SrO+BaO的含量(MgO、CaO、SrO和BaO的合计量)优选为16～22％、17～20％、17.5～19.5％、特别是18～19.3％。

质量％比(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃是为了抑制各种失透结晶的析出并使液相粘度降低而重要的成分比率。若质量％比(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃变小，则莫来石的液相温度容易变高。另一方面，若质量％比(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃变大，则碱土类金属氧化物相对变多，长石系或包含碱土类金属的失透结晶容易析出。因此，质量％比(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al₂O₃优选为0.75～1.40、0.80～1.20、0.84～1.15、0.94～1.13、特别是0.94～1.05。

Fe₂O₃的适宜含有范围如以上所述。

As₂O₃、Sb₂O₃是在不进行利用燃烧器的燃烧火焰的加热而通过利用加热电极的通电加热使玻璃熔融的情况下，使玻璃着色的成分，它们的含量分别优选为小于0.010％、特别是小于0.0050％。

除了上述成分以外，例如还可在玻璃组成中添加以下的成分。另外，从确实享有本发明的效果的观点而言，上述成分以外的其他成分的含量优选为以合计量计为5％以下、特别是3％以下。

ZnO为提高熔融性的成分，但若大量含有ZnO，则玻璃容易失透，且应变点容易降低。ZnO的含量优选为0～5％、0～3％、0～0.5％、特别是0～0.2％。

P₂O₅为提高应变点的成分，但若大量含有P₂O₅，则玻璃容易分相。P₂O₅的含量优选为0～1.5％、0～1.2％、特别是0～1％。

TiO₂为降低高温粘性、提高熔融性的成分，并且为抑制曝晒的成分，但若大量含有TiO₂，则玻璃着色，透射率容易降低。因此，TiO₂的含量优选为0～3％、0～1％、0～0.1％、特别是0～0.02％。

Y₂O₃、Nb₂O₅、La₂O₃有提高应变点、杨氏模量等的作用。然而，若这些成分的含量过多，则密度、原料成本容易增加。因此，Y₂O₃、Nb₂O₅、La₂O₃的含量分别优选为0～3％、0～1％、0％以上且小于0.10％、特别是0％以上且小于0.05％。

Cl是作为干燥剂发挥作用且使β-OH值降低的成分。因此，在导入Cl的情况下，优选的下限含量为0.001％以上、0.003％以上、特别是0.005％以上。然而，若Cl的含量过多，则应变点容易降低。因此，Cl的优选的下限含量为0.5％以下、0.2％以下、特别是0.08％以下。需要说明的是，作为Cl的导入原料，可使用氯化锶等碱土类金属氧化物的氯化物或氯化铝等。

SO₃是作为干燥剂发挥作用且使β-OH值降低的成分。因此，在导入SO₃的情况下，优选的下限含量为0.0001％以上、特别是0.0005％以上。然而，若SO₃的含量过多，则容易产生再沸泡。因此，SO₃的优选的上限含量为0.05％以下、0.01％以下、0.005％以下、特别是0.001％以下。

SnO₂是在高温区域中具有良好的澄清作用的成分，并且是提高应变点的成分，而且是使高温粘性降低的成分。SnO₂的含量优选为0～1％、0.001～1％、0.05～0.5％、特别是0.1～0.3％。若SnO₂的含量过多，则SnO₂的失透结晶容易析出。需要说明的是，若SnO₂的含量少于0.001％，则难以享有上述效果。

只要不会显著地损坏玻璃特性，也可使用SnO₂以外的澄清剂。具体而言，可按照合计量计添加CeO₂、F、C直至例如1％为止，也可按照合计量计添加Al、Si等金属粉末直至例如1％为止。

本发明的载体玻璃优选具有以下的特性。

应变点优选为超过720℃、730℃以上、740℃以上、特别是750～850℃。若应变点低，则在半导体膜的成膜工序中，载体玻璃容易热收缩，因此难以使有机EL显示器高精细化。

自常温以5℃/分钟的速度升温并在500℃下保持1小时进而以5℃/分钟的速度降温时的热收缩率优选为20ppm以下、18ppm以下、15ppm以下、12ppm以下、特别是1～10ppm。若热收缩率大，则在半导体膜的成膜工序中，载体玻璃容易热收缩，因此难以使有机EL显示器高精细化。

30～380℃的温度范围中的平均热膨胀系数优选为35×10^-7/℃以上、特别是38×10^-7～41×10^-7/℃。若30～380℃的温度范围中的平均热膨胀系数过低，则与有机树脂基板的热膨胀系数不匹配，容易发生有机树脂基板的剥离或载体玻璃的翘曲。在此，“30～380℃的温度范围中的平均热膨胀系数”是指利用膨胀计进行测定而得的值。

液相温度优选为1300℃以下、1280℃以下、1260℃以下、特别是1100～1240℃。若液相温度高，则在利用溢流下拉法等的成形时产生失透结晶，载体玻璃的生产率容易降低。

液相温度下的粘度优选为10^4.4dPa.s以上、10^4.8dPa.s以上、10^5.0dPa.s以上、10^5.2dPa·s以上、特别是10^5.5～10^7.0dPa·s。若液相温度下的粘度低，则在利用溢流下拉法等的成形时产生失透结晶，载体玻璃的生产率容易降低。

高温粘度10^2.5dPa·s下的温度优选为1700℃以下、1680℃以下、1660℃以下、1640℃以下、1630℃以下、特别是1540～1620℃。若高温粘度10^2.5dPa.s下的温度高，则玻璃配合料的熔解困难，载体玻璃的制造成本高涨。

比杨氏模量优选为超过29.5GPa/g·cm^-3、30GPa/g·cm^-3以上、30.5GPa/g·cm^-3以上、31GPa/g·cm^-3以上、31.5GPa/g·cm^-3以上、特别是32GPa/g·cm^-3以上。若比杨氏模量高，则载体玻璃容易因自重而挠曲。

本发明的载体玻璃优选为在板厚中央部具有成形合流面，即利用溢流下拉法来成形而成。溢流下拉法中，应成为玻璃表面的面不会接触到流槽状耐火物，而是以自由表面的状态成形。因此，可廉价地制造未研磨且表面品质良好的玻璃板。另外，溢流下拉法还具有容易成形薄的玻璃板的优点。

本发明的玻璃树脂层叠体优选为将载体玻璃与有机树脂基板层叠而成的玻璃树脂层叠体，并且载体玻璃为上述载体玻璃。另外，优选载体玻璃与有机树脂基板利用粘接剂而一体化。本发明的玻璃树脂层叠体的技术性特征与本发明的载体玻璃的技术性特征重复。本说明书中，为了方便起见，对于该重复部分省略详细说明。

本发明的载体玻璃的制造方法为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃的制造方法，并且所述载体玻璃的制造方法的特征在于，包括以下工序：以得到如下玻璃的方式对玻璃配合料进行配制的配制工序，所述玻璃中，作为玻璃组成以下述氧化物换算的质量％计含有SiO₂ 55～65％、Al₂O₃15～23％、B₂O₃ 0～7％、Li₂O+Na₂O+K₂O 0％以上且小于0.20％、MgO0～6％、CaO 0.1～10％、SrO 0～10％、BaO 0～13％、Fe₂O₃ 45～130质量ppm、As₂O₃ 0％以上且小于0.010％、Sb₂O₃ 0％以上且小于0.010％，且波长308nm下的板厚方向的透射率为71～81％；对经配制的玻璃配合料进行利用加热电极的通电加热，由此得到熔融玻璃的熔融工序；以及利用溢流下拉法将所得到的熔融玻璃成形为板厚0.1～1.2mm的平板形状的成形工序。本发明的载体玻璃的制造方法的技术性特征的一部分与本发明的载体玻璃的技术性特征重复。本说明书中，为了方便起见，对于该重复部分省略详细说明。

载体玻璃的制造工序通常包括熔融工序、澄清工序、供给工序、搅拌工序、成形工序。熔融工序是将配制有玻璃原料的玻璃配合料进行熔融而得到熔融玻璃的工序。澄清工序是利用澄清剂等的作用而对熔融工序中得到的熔融玻璃进行澄清的工序。供给工序是在各工序间移送熔融玻璃的工序。搅拌工序是将熔融玻璃搅拌、均质化的工序。成形工序是将熔融玻璃成形为平板形状的玻璃的工序。需要说明的是，还可以根据需要将上述以外的工序、例如将熔融玻璃调节为适于成形的状态的状态调节工序并入至搅拌工序之后。

如上所述，为了将波长308nm下的板厚方向的透射率限制为71～79％，重要的是控制玻璃中的铁含量。因此，本发明的载体玻璃的制造方法中，优选以源自MgO导入原料和CaO导入原料的铁含量以Fe₂O₃换算计为30～70质量ppm、40～60质量ppm、45～55质量ppm、特别是50～55质量ppm的方式配制玻璃配合料。其理由如下所述。

玻璃中的Fe₂O₃的主要的导入源(混入源)为MgO导入原料、CaO导入原料、Al₂O₃导入原料、特别是MgO导入原料和CaO导入原料这两种。而且，MgO导入原料通常使用氧化镁或氢氧化镁。CaO导入原料通常使用碳酸钙。Al₂O₃导入原料通常使用氧化铝或氢氧化铝。

MgO导入原料和CaO导入原料为源自天然的原料，因此因制造批次而铁含量的变动大，在载体玻璃的连续生产中成为铁含量发生变动的一个原因。因此，若按照上述那样严格控制由MgO导入原料和CaO导入原料混入的铁含量，则容易将波长308nm下的板厚方向的透射率限定为规定范围内。另一方面，若由MgO导入原料和CaO导入原料混入的铁含量过少，则如后所述，难以发挥澄清效果。需要说明的是，MgO导入原料和CaO导入原料为源自天然的原料，因此即使是铁含量少的原料也为低价格。因此，在减少玻璃中的铁含量的方面，从成本的观点，也优选对这些导入原料进行分选。

在制作低碱玻璃的情况下，Al₂O₃导入原料通常使用经低钠处理的原料。而且，在低钠处理时，原料中不可避免地混入铁。因此，在制作低碱玻璃的情况下，Al₂O₃导入原料中不可避免地混入铁。作为Al₂O₃导入原料，也可将经低钠处理的原料与未经低Na₂O处理的原料组合，但该情况下，玻璃中的碱混入量发生变动，因此产生对加热电极的通电加热条件或半导体膜的特性造成不良影响的风险，并不现实。若考虑以上方面，则可以说难以控制Al₂O₃导入原料中的铁量。

此外，Al₂O₃导入原料为难熔性，因此在熔融初期阶段并未怎么熔解，Al₂O₃导入原料中的Fe₂O₃在熔融终期阶段导入至熔融玻璃中，因此无法作为澄清剂有效地发挥功能。而且，关于Fe₂O₃等多价氧化物，熔融玻璃的光学碱度越高，高价数离子的比例变得越多，从而越容易发挥澄清效果。若综合考虑以上方面，则可以说由MgO导入原料和CaO导入原料导入的Fe₂O₃比由Al₂O₃导入原料混入的Fe₂O₃更容易发挥澄清效果。需要说明的是，若在熔融玻璃中导入MgO、CaO，则熔融玻璃的光学碱性度变高。

低碱玻璃通常利用燃烧器的燃烧加热而熔融。燃烧器通常配置于熔融窑的上方，作为燃料，使用化石燃料，具体而言，使用重油等液体燃料或LPG等气体燃料等。燃烧火焰可通过将化石燃料与氧气混合而得到。

但是，在燃烧器的燃烧加热中，在熔融玻璃中混入大量的水分，因此载体玻璃的β-OH值容易上升。因此，在本发明的载体玻璃的制造方法中，优选对玻璃配合料进行利用加热电极的通电加热。若按照这样，则通过利用设置于熔融窑的壁面上的加热电极的通电加热，熔融玻璃的温度自熔融窑的底面朝向熔融窑的上面而降低，因此在熔融窑内的熔融玻璃的液表面上存在大量的固体状态的玻璃配合料。结果，附着于固体状态的玻璃配合料的水分蒸发而可抑制原料引起的水分量的增加。此外，若进行利用加热电极的通电加热，则用于得到熔融玻璃的每单位质量的能量降低，并且熔融挥发物变少，因此可减少环境负荷。

本发明的载体玻璃的制造方法中，更优选不进行燃烧器的燃烧加热而进行利用加热电极的通电加热。若进行利用燃烧器的燃烧加热，则化石燃料燃烧时产生的水分容易混入至熔融玻璃中。因此，在不进行利用燃烧器的燃烧加热的情况下，容易降低熔融玻璃的β-OH值。需要说明的是，所谓“不进行燃烧器的燃烧加热而进行利用加热电极的通电加热”，是指仅通过利用加热电极的通电加热使玻璃配合料连续熔融，但如下情况除外：例如，在熔融窑的启动时进行燃烧器的燃烧加热的情况下，对熔融窑的特定部位局部性且辅助性地进行燃烧器的燃烧加热。

利用加热电极的通电加热优选通过以与熔融窑内的熔融玻璃接触的方式，对设置于熔融窑的底部或侧部的加热电极施加交流电压来进行。用于加热电极的材料优选为具备耐热性和对熔融玻璃的耐蚀性的材料，例如可使用氧化锡、钼、铂、铑等。特别是，钼的耐热性高且在熔融窑内的设置自由度高，因此优选。

低碱玻璃因碱金属氧化物的含量少而电阻率高。因此，在对低碱玻璃应用利用加热电极的通电加热的情况下，不仅是熔融玻璃，在构成熔融窑的耐火物中也流通电流，有可能该耐火物提前受损。为了防止该情况，炉内耐火物优选使用电阻率高的氧化锆系耐火物、特别是氧化锆电铸耐火砖，另外，如上所述，还优选在熔融玻璃中导入少量使电阻率降低的成分(Li₂O、Na₂O、K₂O等)。需要说明的是，氧化锆系耐火物中的ZrO₂的含量优选为85质量％以上、特别是90质量％以上。

实施例

以下，基于实施例对本发明进行说明。

表1、2中示出本发明的实施例(试样No.1～17)。需要说明的是，表中，“N.A.”是指未测定。

[表1]

[表2]

首先，以成为表中的玻璃组成、β-OH值的方式，将配制的玻璃配合料投入至由氧化锆电铸耐火砖构筑的小型试验熔融炉中，之后并不进行利用燃烧器的燃烧火焰的加热而进行利用钼电极的通电加热，由此以1600～1650℃进行熔融，得到熔融玻璃。继而，使用Pt-Rh制容器对熔融玻璃进行澄清、搅拌后，供给至锆石成形体，并利用溢流下拉法成形为0.5mm厚的平板形状。对所得到的玻璃板，评价30～380℃的温度范围中的平均热膨胀系数α、β-OH值、热收缩率(Compaction rate)、波长308nm下的板厚方向的内部透射率(Transmittanceat 308nm)、应变点Ps、退火点Ta、软化点Ts、10^4.5泊的粘度下的温度、10^4.0泊的粘度下的温度、10^3.0泊的粘度下的温度、10^2.5泊的粘度下的温度、液相温度TL及液相温度下的粘度logηTL。需要说明的是，源自MgO导入原料和CaO导入原料的铁含量是用适当的酸溶解该原料后，利用ICP发光光谱分析装置对该原料中的铁量进行测定，并根据玻璃组成进行计算而得的。

30～380℃的温度范围下的平均热膨胀系数α是利用膨胀计进行测定而得的值。

β-OH值是利用上述方法进行测定而得的值。

热收缩率是按照以下方式算出的值。首先，在试样的规定部位标入直线状的标记后，将该试样相对于标记垂直折叠，分割为2个玻璃片。然后，仅对其中一个玻璃片进行规定的热处理(自常温以5℃/分钟的速度升温并于保持温度500℃下保持1小时进而以5℃/分钟的速度降温)。其后，将实施了热处理的玻璃片与未热处理的玻璃片并列，利用胶带T将两者固定后，测定标记的偏差。在将标记的偏差设为ΔL且将热处理前的试样的长度设为L₀时，利用ΔL/L₀(单位：ppm)的式子算出热收缩率。

波长308nm下的板厚方向的内部透射率是利用岛津制作所公司制造的UV-3100PC进行测定而得的值。

应变点Ps、退火点Ta、软化点Ts为基于ASTM C336和C338的方法进行测定而得的值。

高温粘度10^4.5dpa·s、10^4.0dPa·s、10^3.0dPa·s及10^2.5dpa·s下的温度是利用铂球提拉法进行测定而得的值。

液相温度TL是将通过标准筛30目(筛孔500μm)而残留于50目(筛孔300μm)的玻璃粉末装入铂舟，并且在温度梯度炉中保持24小时，进而测定结晶(初相)析出的温度所得的值。

液相粘度log₁₀ηTL是利用铂球提拉法来测定液相温度TL下的玻璃的粘度而得的值。

由表1、2可以明确，试样No.1～17的β-OH值为0.15/mm以下，玻璃中的铁含量以Fe₂O₃换算计为85～110质量ppm，且波长308nm下的板厚方向的内部透射率为73～78％。因此认为，试样No.1～17适宜作为用于搬送有机树脂基板的载体玻璃。