具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

图1示出了用于对硅片W进行清洗的清洗设备CA。如图1所示该清洗设备CA可以包括：用于承载硅片W的卡盘CH，如在图1中出于清楚的目的特意通过斜线阴影区域示出的；用于将硅片W固定至卡盘CH的多个卡盘销CP，其中在图1中示例性地示出了六个卡盘销；用于向硅片W输送清洗液的清洗液输送管路CL；设置在卡盘CH的外围以约束清洗液的流动的筒状的清洗罩CS；以及用于在硅片W被清洗完成后向硅片W的中心吹送氮气以对硅片W进行干燥的氮气吹送管路L。

如在图1中示出的，对于氮气吹送管路L而言，可以在固定点LP处固定至清洗罩CS的上缘，而从固定点LP开始至氮气吹送管路L的末端的部分则是悬置的，这样，该悬置的部分在被触碰的情况下会产生变形，由于氮气吹送管路L是挠性，悬置的部分产生变形后无法恢复，导致氮气无法被吹送至硅片W的中心，在硅片W随卡盘CH一起旋转的情况下无法实现对整个硅片W进行干燥。

基于此，本发明实施例提供了一种用于调准如图1中示出的硅片W的清洗设备CA中的氮气吹送管路L的装置1，参见图2，所述装置1可以包括：

盘体10，所述盘体10具有与如图1中示出的所述硅片W相同的形状，使得所述盘体10能够以与所述硅片W相同的方式被卡夹在所述清洗设备CA中，例如结合图1可以理解的并且在图2中示出的，盘体10可以承载在清洗设备CA的卡盘CH上，并且通过六个卡盘销CP固定至卡盘CH；

倾斜地设置在所述盘体10上的定位杆20，所述定位杆20形成有沿着所述定位杆20的纵向方向延伸并且适于所述氮气吹送管路L(在图2中，出于清楚的目的通过网格阴影区域示出)插入的直线型的孔道21，如在图2中通过定位杆20内部的虚线示意性地示出的，所述孔道21的纵向轴线21X沿着所述氮气吹送管路L的插入方向D延伸经过所述盘体10的上表面11的中心11C，如在图2中通过叉号示意性地示出的，这里，对于定位杆20的设置方式，例如定位杆20可以与盘体10一体地形成，也可通过如在下文中详细描述的其他方式设置在盘体10上；

如在图2中示意性地示出的固定件30，所述固定件30用于在所述氮气吹送管路L的未插入到所述孔道21中的固定点LP处将所述氮气吹送管路L固定至所述清洗设备CA，如在图2中示出的，固定点LP可以是氮气吹送管路L的与圆筒状的清洗罩CS的上缘接触的点，如在图2中通过氮气吹送管路L中的黑色阴影区域示意性地示出的，而氮气吹送管路L也通过固定件30具体地被固定至清洗设备CA的清洗罩CS的上缘。

由于孔道21是直线型的，因此在将氮气吹送管路L插入到定位杆20的孔道21中后，被插入的部分即氮气吹送管路L的末端部分被定型为直线型，有利于对输送的氮气的流动方向进行准确的控制，另外由于孔道21的纵向轴线21X经过盘体10的上表面11的中心11C，因此经由末端部分插入到孔道21中的氮气吹送管路L所输送的氮气可以在惯性的作用下直接到达盘体10的上表面11的中心11C，在将硅片W卡夹在清洗设备CA中的情况下，则会直接到达硅片W的上表面的中心。

盘体10和定位杆20可以如上所述一体地形成，但是在这种情况下，由于盘体10和定位杆20一起构成了不规则的结构，因此对于装置1的制造成言是困难的。基于此，在本发明的优选实施例中，参见图3，所述装置1还包括设置在所述盘体10上的固定块40，所述固定块40形成有通孔41，所述定位杆20装配在所述通孔41中。在固定块40中形成通孔41是容易的，例如可以简单地通过钻孔而形成，此外将杆状件装配于通孔中也是容易实现的，由此便于装置1的生产和制造。

在将定位杆20装配至固定块40的通孔41中的一种具体实现方式中，参见图4，所述固定块40在垂直于所述通孔41的方向上形成有螺纹孔42，并且所述定位杆20的外周表面20S形成有凹口22，使得所述定位杆20能够通过将螺钉S沿着图4中直线箭头示出的方向旋拧至所述螺纹孔42中并且与所述凹口22配合而被固定至所述固定块40。

参见图2可以理解的是，在利用根据本发明的装置1将氮气吹送管路L调准之后，还需要将盘体10和设置在盘体10上的定位杆20从清洗设备CA移除，才能够将硅片W卡夹在清洗设备CA中来对硅片W进行清洗和干燥。而在移除盘体10和定位杆20的过程中，需要保证不会对氮气吹送管路L的从固定点LP至末端的部分产生任何干涉以避免该部分产生变形，导致氮气无法被直接喷射至硅片W的中心。在图2中示出的情况下，需要盘体10、定位杆20、卡盘CH和卡盘销CP一起沿着孔道21的纵向轴线21X的方向相对于清洗罩CS向右下方移动，才能够保证不对氮气吹送管路L产生干涉，很明显的是，实现这样的移动是困难的。基于此，在本发明的优选实施例中，参见图5，在装置1包括固定块40的情况下，所述固定块40在所述盘体10中设置在比插入至所述孔道21中的氮气吹送管路L的末端LT更靠近所述盘体10的径向中心或者说更靠近如图5中示出的盘体10的上表面11的中心11C的位置处，所述定位杆20能够在所述通孔41中沿着所述孔道21的纵向轴线21X的方向朝向所述盘体10移动，如在图5中通过黑色箭头示出的，并且所述定位杆20的可移动距离MD(如在图5中示出的定位杆20的端部与盘体10的上表面11的中心11C之间的距离)大于所述氮气吹送管路L插入到所述孔道21中的长度L1。由此，通过移动定位杆20，可以使氮气吹送管路L处于未插入至孔道21中的状态，并且仅需要使盘体10相对于卡盘CH例如沿着水平方向远离氮气吹送管路L移动，便可以将盘体10、固定块40和定位杆20从清洗设备CA移除。

为了便于检验氮气吹送管路L是否被调准，所希望的是如参见图5可以理解的，装置1的盘体10仍然被卡夹在清洗设备CA中，而固定块40以及定位杆20都从清洗设备CA移除，因此，在本发明的优选实施例中，所述固定块40可拆卸地设置在所述盘体10上。这样，便能够实现对氮气吹送管路L是否被调准进行检验，具体地，比如可以将液体喷洒在盘体10的上表面11上，然后通过氮气吹送管路L正常地供应氮气并且使盘体10随卡盘CH一起旋转，在例如10秒钟后停止供应氮气并且使卡盘CH的旋转停止，如果喷洒在盘体10的上表面11上的液体能够被吹干，则表明氮气吹送管路L已经被调准。

对于将固定块40可拆卸地设置在所述盘体10上的实现方式，在本发明的优选实施例中，参见图6，所述装置1还包括与所述固定块40一体地形成的卡扣件50，所述卡扣件50包括与所述盘体10的周缘配合以使所述固定块40相对于所述盘体10定位的卡扣部51。这样设置固定块40的方式不会对盘体10的上表面11产生任何影响，也不会对上述的检测结果造成影响。

为了实现对氮气吹送管路L更准确的定位，在本发明的优选实施例中，参见图5，所述氮气吹送管路L插入到所述孔道21中的长度L1不小于所述盘体10的半径的三分之一。

由于如前所述，在氮气吹送管路L吹送氮气以对硅片W进行干燥的过程中，盘体10、定位杆20以及可能的固定块40和卡扣件50都需要从清洗设备CA移除，由此使得如参见图2可以理解的，氮气吹送管路L的从固定点LP开始到末端LT之间的部分处于悬置状态，为了使该部分不会因重力而产生变形，在本发明的优选实施例中，参见图2，所述氮气吹送管路L从所述固定点LP到末端LT之间的长度L2不大于所述盘体10的半径的二分之一。

优选地，所述盘体10由PEEK材料制成。

参见图7，本发明实施例还提供了一种用于调准硅片W的清洗设备CA中的氮气吹送管路L的方法，所述方法应用于如图5中示出的装置1，所述方法可以包括：

S701：利用所述盘体10将所述装置1卡夹在所述清洗设备CA上；

S702：将所述氮气管路插入到所述定位杆20的所述孔道21中；

S703：在所述氮气吹送管路L的未插入到所述孔道21中的固定点LP处将所述氮气吹送管路L固定至所述清洗设备CA；

S704：使所述定位杆20在所述通孔41中朝向所述盘体10移动比所述氮气吹送管路L插入到所述孔道21中的长度大的距离；

S705：将所述盘体10和所述固定块40以及所述定位杆20从所述清洗设备CA移除。

需要说明的是：本发明实施例所记载的技术方案之间，在不冲突的情况下，可以任意组合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。