阅读说明：本技术 一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法 (Monocrystalline silicon corrosion cleaning device and corrosion cleaning method ) 是由 王全文 衡志勇 李鹭 杨蛟 于 2019-09-10 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法,其结构包括清洗箱,所述清洗箱的外部设置有驱动电机、固定箱、密封门体、液体放置箱和排液阀,驱动电机通过铆钉与清洗箱的右端,固定箱通过铆钉与清洗箱的左端相连接,密封门体活动连接在清洗箱的正前方,液体放置箱通过铆钉与清洗箱的上端相连接,排液阀通过铆钉与清洗箱底部的中间处相连接,清洗箱的内部设置有联轴器、固定架和坡板,联轴器对称设置在清洗箱内部的左右两侧,固定架通过铆钉与清洗箱内部的上方相连接。本发明加快了单晶硅体固定时的便捷性,增强了单晶硅体在清洗时的稳定性,避免了使用拆装工具对单晶硅体进行固定,降低了单晶硅体在固定时操作人员的劳动强度。(The invention discloses a monocrystalline silicon corrosion cleaning device and a corrosion cleaning method, and the structure of the monocrystalline silicon corrosion cleaning device comprises a cleaning box, wherein a driving motor, a fixed box, a sealing door body, a liquid placing box and a liquid discharging valve are arranged outside the cleaning box, the driving motor is connected with the right end of the cleaning box through a rivet, the fixed box is connected with the left end of the cleaning box through a rivet, the sealing door body is movably connected right in front of the cleaning box, the liquid placing box is connected with the upper end of the cleaning box through a rivet, the liquid discharging valve is connected with the middle of the bottom of the cleaning box through a rivet, a coupler, a fixed frame and a slope plate are arranged inside the cleaning box, the coupler is symmetrically arranged on the left side and the right side inside the cleaning box, and the fixed frame is. The invention accelerates the convenience of the monocrystalline silicon body during the fixing, enhances the stability of the monocrystalline silicon body during the cleaning, avoids using a dismounting tool to fix the monocrystalline silicon body, and reduces the labor intensity of operators during the fixing of the monocrystalline silicon body.)

一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法

技术领域

本发明涉及腐蚀清洗装置技术领域，具体为一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法。

背景技术

目前，现有的单晶硅腐蚀清洗装置还存在着一些不足的地方，例如；现有的单晶硅腐蚀清洗装置对单晶硅体固定时比较麻烦，减弱了单晶硅体在清洗时的稳定性，需要使用拆装工具对单晶硅体进行固定，提高了单晶硅体在固定时操作人员的劳动强度，而且现有的单晶硅腐蚀清洗装置对单晶硅体在腐蚀清洗时的喷洗面积比较局限，单晶硅体在腐蚀清洗时容易出现清洗不彻底的现象，降低了单晶硅体腐蚀清洗时的效率，增加了单晶硅体在腐蚀和干燥的时间，降低了腐蚀清洗装置对单晶硅体腐蚀清洗的效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法，包括清洗箱，所述清洗箱的外部设置有驱动电机、固定箱、密封门体、液体放置箱和排液阀，驱动电机通过铆钉与清洗箱的右端，固定箱通过铆钉与清洗箱的左端相连接，密封门体活动连接在清洗箱的正前方，液体放置箱通过铆钉与清洗箱的上端相连接，排液阀通过铆钉与清洗箱底部的中间处相连接，清洗箱的内部设置有联轴器、固定架和坡板，联轴器对称设置在清洗箱内部的左右两侧，固定架通过铆钉与清洗箱内部的上方相连接，坡板通过焊接于清洗箱内部的底部相连接；

所述固定箱上设置有控制器、抽气机和热风机，控制器通过铆钉与固定箱外表面的正前方相连接，抽气机通过铆钉与固定箱内部的上方相连接，热风机通过铆钉与固定箱内部的下方相连接，抽气机上设置有出气管和吸气管，出气管的左端位于固定箱的外部，出气管的另一端通过铆钉与抽气机相连接，吸气管的一端通过铆钉与抽气机相连接，吸气管的另一端通过铆钉与清洗箱的右上方相连接，并且与清洗箱的内部相通，热风机上设置有输风管；

所述液体放置箱上设置有清洗液添加斗、腐蚀液添加斗、清洗液放置槽、腐蚀液放置槽和增压泵，清洗液添加斗的下端通过焊接于液体放置箱上表面的左侧相连接，并且与清洗液放置槽的内部相通，腐蚀液添加斗的下端通过焊接于液体放置箱上表面的右侧相连接，并且与腐蚀液放置槽的内部相通，增压泵通过铆钉与液体放置箱内部的下方相连接，增压泵上设置有吸液管和输液管，吸液管的一端通过铆钉分别与清洗液放置槽和腐蚀液放置槽的底部相连接，吸液管的另一端通过铆钉与增压泵相连接，输液管的下端设置有喷头，吸液管上分别设置有电磁阀I和电磁阀II；

所述联轴器的内部设置有连接轴，连接轴上设置有单晶硅固定架，单晶硅固定架上设置有滑槽和内置槽，滑槽位于单晶硅固定架内部的左右两侧，内置槽位于单晶硅固定架的上下两侧，滑槽的内部设置有挡板，内置槽的内部设置有复位弹簧、放置板和单晶硅体，复位弹簧的一端通过铆钉与内置槽的内部相连接，复位弹簧的另一端通过铆钉放置板相连接，单晶硅体放置在放置板的上表面；

所述控制器上设置有显示屏和控制按钮，显示屏通过铆钉与控制器内部的上方相连接，控制按钮通过铆钉与控制器的下方相连接，控制器通过导线分别与热风机、抽气机、控制按钮、驱动电机、增压泵、电磁阀I和电磁阀II相连接。

作为本发明的一种优选实施方式，所述坡板采用合金钢的材质制作，并且与清洗箱内部的底部呈30度角。

作为本发明的一种优选实施方式，所述出气管和吸气管均采用铝合金的材质制作。

作为本发明的一种优选实施方式，所述输风管采用PVC的材质制作，输风管的一端通过铆钉与热风机相连接，输风管的另一端通过铆钉与清洗箱相连接，并且与清洗箱的内部相通。

作为本发明的一种优选实施方式，所述吸液管和输液管均采用钛合金的材质制作，输液管呈倒T字型。

作为本发明的一种优选实施方式，所述驱动电机通过联轴器与连接轴相连接，连接轴的一端嵌合在联轴器的内部，连接轴的另一端通过铆钉与单晶硅固定架相连接。

作为本发明的一种优选实施方式，所述滑槽呈凸字型，挡板嵌合在滑槽的内部，并且与滑槽的内部相吻合。

作为本发明的一种优选实施方式，所述放置板采用钛合金的材质制作，并且呈网状。

作为本发明的一种优选实施方式，所述显示屏的正前方与控制器的正前方在同一水平面上.

作为本发明的一种优选实施方式，所述的单晶硅腐蚀清洗装置的腐蚀清洗方法，腐蚀清洗步骤如下：

a.首先将单晶硅体放置在放置板上，接着再对放置板进行挤压，这时复位弹簧会进行压缩，再将挡板的一半部位从滑槽的内部抽出，然后再将压制放置板的手松开，复位弹簧会放置板产生反弹力，至于让单晶硅体的上表面抵制在挡板上进行固定；

b.待步骤a完成后，再将密封门体闭合，再由控制器上的控制按钮控制驱动电机进行运作，这时驱动电机通过联轴器带动连接轴进行转动，同时单晶硅固定架会跟随连接轴进行一起转动；

c.待步骤b完成后，再由控制按钮控制电磁阀I处理打开状态，电磁阀II处理闭合状态，同时控制增压泵进行运作，增压泵通过吸液管将腐蚀液放置槽内部的腐蚀液吸出，然后再通过输液管将腐蚀液输送到喷头对单晶硅体进行喷射，以至于达到对单晶硅体进行腐蚀，在单晶硅体腐蚀的过程中控制按钮会控制热风机进行运作，以至于让热风机产生的热量通过输风管输送到清洗箱的内部对单晶硅体腐蚀时进行加热；

d.待步骤c完成后，待单晶硅体腐蚀结束后由控制按钮控制热风机停止运作，并且控制抽气机进行运作，抽气机会通过吸气管将清洗箱内部的热空气抽出，然后再由出气管排出，同时再由控制按钮控制电磁阀I闭合，电磁阀II打开，增压泵通过吸液管将清洗液放置槽内部的清洗液吸出，然后再通过输液管将清洗液输送到喷头对单晶硅体进行喷射，以至于达到对单晶硅体进行清洗；

e.待步骤d完成后，再由控制按钮会控制热风机进行运作，以至于让热风机产生的热量通过输风管输送到清洗箱的内部对单晶硅体腐蚀时进行加热烘干，同时控制抽气机进行运作，抽气机会通过吸气管将清洗箱内部的热空气抽出，然后再由出气管排出。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本发明通过滑槽、内置槽、挡板、复位弹簧和放置板的结合，先将单晶硅体放置在放置板上，接着再对放置板进行挤压，这时复位弹簧会进行压缩，再将挡板的一半部位从滑槽的内部抽出，然后再将压制放置板的手松开，复位弹簧会放置板产生反弹力，至于让单晶硅体的上表面抵制在挡板上进行固定，有效的加快了单晶硅体固定时的便捷性，增强了单晶硅体在清洗时的稳定性，避免了使用拆装工具对单晶硅体进行固定，降低了单晶硅体在固定时操作人员的劳动强度。

2、本发明通过驱动电机、联轴器和连接轴的结合，在单晶硅体腐蚀清洗时驱动电机通过联轴器带动连接轴进行转动，同时单晶硅固定架会跟随连接轴进行一起转动，有效的增加了单晶硅体在腐蚀清洗时的喷洗面积，避免了单晶硅体在腐蚀清洗时出现清洗不彻底的现象，提高了单晶硅体腐蚀清洗时的效率。

3、本发明通过抽气机和热风机的增加，在单晶硅体腐蚀的过程中控制按钮会控制热风机进行运作，以至于让热风机产生的热量通过输风管输送到清洗箱的内部对单晶硅体腐蚀时进行加热，待单晶硅体腐蚀结束后由控制按钮控制热风机停止运作，并且控制抽气机进行运作，抽气机会通过吸气管将清洗箱内部的热空气抽出，当单晶硅体清洗结束后，再由控制按钮会控制热风机进行运作，以至于让热风机产生的热量通过输风管输送到清洗箱的内部对单晶硅体腐蚀时进行加热烘干，同时控制抽气机进行运作，抽气机会通过吸气管将清洗箱内部的热空气抽出，然后再由出气管排出，有效的节省了单晶硅体在腐蚀和干燥的时间，提高了腐蚀清洗装置对单晶硅体腐蚀清洗的效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法的清洗箱剖视图；

图2为本发明一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法的单晶硅固定架主视图；

图3为本发明一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法的主视图；

图4为本发明一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法的控制流程图。

图中：清洗箱1、驱动电机2、固定箱3、密封门体4、液体放置箱5、排液阀6、联轴器7、固定架8、坡板9、控制器10、抽气机11、热风机12、出气管13、吸气管14、输风管15、清洗液添加斗16、腐蚀液添加斗17、清洗液放置槽19、腐蚀液放置槽20、增压泵21、吸液管22、输液管23、喷头24、单晶硅固定架25、电磁阀I30、电磁阀II31、连接轴32、滑槽33、内置槽34、挡板35、复位弹簧36、放置板37、单晶硅体38、显示屏39、控制按钮40、导线41。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图1-图4，本发明提供一种技术方案：一种单晶硅腐蚀清洗装置及腐蚀清洗方法，包括清洗箱1，所述清洗箱1的外部设置有驱动电机2、固定箱3、密封门体4、液体放置箱5和排液阀6，驱动电机2通过铆钉与清洗箱1的右端，固定箱3通过铆钉与清洗箱1的左端相连接，密封门体4活动连接在清洗箱1的正前方，液体放置箱5通过铆钉与清洗箱1的上端相连接，排液阀6通过铆钉与清洗箱1底部的中间处相连接，清洗箱1的内部设置有联轴器7、固定架8和坡板9，联轴器7对称设置在清洗箱1内部的左右两侧，固定架8通过铆钉与清洗箱1内部的上方相连接，坡板9通过焊接于清洗箱1内部的底部相连接；

所述固定箱3上设置有控制器10、抽气机11和热风机12，控制器10通过铆钉与固定箱3外表面的正前方相连接，抽气机11通过铆钉与固定箱3内部的上方相连接，热风机12通过铆钉与固定箱3内部的下方相连接，抽气机11上设置有出气管13和吸气管14，出气管13的左端位于固定箱3的外部，出气管13的另一端通过铆钉与抽气机11相连接，吸气管14的一端通过铆钉与抽气机11相连接，吸气管14的另一端通过铆钉与清洗箱1的右上方相连接，并且与清洗箱1的内部相通，热风机12上设置有输风管15；

所述液体放置箱5上设置有清洗液添加斗16、腐蚀液添加斗17、清洗液放置槽19、腐蚀液放置槽20和增压泵21，清洗液添加斗16的下端通过焊接于液体放置箱5上表面的左侧相连接，并且与清洗液放置槽19的内部相通，腐蚀液添加斗17的下端通过焊接于液体放置箱5上表面的右侧相连接，并且与腐蚀液放置槽20的内部相通，增压泵21通过铆钉与液体放置箱5内部的下方相连接，增压泵21上设置有吸液管22和输液管23，吸液管22的一端通过铆钉分别与清洗液放置槽19和腐蚀液放置槽20的底部相连接，吸液管22的另一端通过铆钉与增压泵21相连接，输液管23的下端设置有喷头24，吸液管22上分别设置有电磁阀I30和电磁阀II31；

所述联轴器7的内部设置有连接轴32，连接轴32上设置有单晶硅固定架25，单晶硅固定架25上设置有滑槽33和内置槽34，滑槽33位于单晶硅固定架25内部的左右两侧，内置槽34位于单晶硅固定架25的上下两侧，滑槽33的内部设置有挡板35，内置槽34的内部设置有复位弹簧36、放置板37和单晶硅体38，复位弹簧36的一端通过铆钉与内置槽34的内部相连接，复位弹簧36的另一端通过铆钉放置板37相连接，单晶硅体38放置在放置板37的上表面；

所述控制器10上设置有显示屏39和控制按钮40，显示屏39通过铆钉与控制器10内部的上方相连接，控制按钮40通过铆钉与控制器10的下方相连接，控制器10通过导线41分别与热风机12、抽气机11、控制按钮40、驱动电机2、增压泵21、电磁阀I30和电磁阀II31相连接。

进一步，所述坡板9采用合金钢的材质制作，并且与清洗箱1内部的底部呈30度角。

进一步，所述出气管13和吸气管14均采用铝合金的材质制作。

进一步，所述输风管15采用PVC的材质制作，输风管15的一端通过铆钉与热风机12相连接，输风管15的另一端通过铆钉与清洗箱1相连接，并且与清洗箱1的内部相通。

进一步，所述吸液管22和输液管23均采用钛合金的材质制作，输液管23呈倒T字型。

进一步，所述驱动电机2通过联轴器7与连接轴32相连接，连接轴32的一端嵌合在联轴器7的内部，连接轴32的另一端通过铆钉与单晶硅固定架25相连接。

进一步，所述滑槽33呈凸字型，挡板35嵌合在滑槽33的内部，并且与滑槽33的内部相吻合。

进一步，所述放置板37采用钛合金的材质制作，并且呈网状。

进一步，所述显示屏39的正前方与控制器10的正前方在同一水平面上。

进一步，所述的单晶硅腐蚀清洗装置的腐蚀清洗方法，腐蚀清洗步骤如下：

a.首先将单晶硅体38放置在放置板37上，接着再对放置板37进行挤压，这时复位弹簧36会进行压缩，再将挡板35的一半部位从滑槽33的内部抽出，然后再将压制放置板37的手松开，复位弹簧36会放置板37产生反弹力，至于让单晶硅体38的上表面抵制在挡板35上进行固定；

b.待步骤a完成后，再将密封门体4闭合，再由控制器10上的控制按钮40控制驱动电机2进行运作，这时驱动电机2通过联轴器7带动连接轴32进行转动，同时单晶硅固定架25会跟随连接轴32进行一起转动；

c.待步骤b完成后，再由控制按钮40控制电磁阀I30处理打开状态，电磁阀II31处理闭合状态，同时控制增压泵21进行运作，增压泵21通过吸液管22将腐蚀液放置槽20内部的腐蚀液吸出，然后再通过输液管23将腐蚀液输送到喷头24对单晶硅体38进行喷射，以至于达到对单晶硅体38进行腐蚀，在单晶硅体38腐蚀的过程中控制按钮40会控制热风机12进行运作，以至于让热风机12产生的热量通过输风管15输送到清洗箱1的内部对单晶硅体38腐蚀时进行加热；

d.待步骤c完成后，待单晶硅体38腐蚀结束后由控制按钮40控制热风机12停止运作，并且控制抽气机11进行运作，抽气机11会通过吸气管14将清洗箱1内部的热空气抽出，然后再由出气管13排出，同时再由控制按钮40控制电磁阀I30闭合，电磁阀II31打开，增压泵21通过吸液管22将清洗液放置槽19内部的清洗液吸出，然后再通过输液管23将清洗液输送到喷头24对单晶硅体38进行喷射，以至于达到对单晶硅体38进行清洗；

e.待步骤d完成后，再由控制按钮40会控制热风机12进行运作，以至于让热风机12产生的热量通过输风管15输送到清洗箱1的内部对单晶硅体38腐蚀时进行加热烘干，同时控制抽气机11进行运作，抽气机11会通过吸气管14将清洗箱1内部的热空气抽出，然后再由出气管13排出。

本发明的清洗箱1、驱动电机2、固定箱3、密封门体4、液体放置箱5、排液阀6、联轴器7、固定架8、坡板9、控制器10、抽气机11、热风机12、出气管13、吸气管14、输风管15、清洗液添加斗16、腐蚀液添加斗17、清洗液放置槽19、腐蚀液放置槽20、增压泵21、吸液管22、输液管23、喷头24、单晶硅固定架25、电磁阀I30、电磁阀II31、连接轴32、滑槽33、内置槽34、挡板35、复位弹簧36、放置板37、单晶硅体38、显示屏39、控制按钮40、导线41等部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，通过滑槽33、内置槽34、挡板35、复位弹簧36和放置板37的结合，先将单晶硅体38放置在放置板37上，接着再对放置板37进行挤压，这时复位弹簧36会进行压缩，再将挡板35的一半部位从滑槽33的内部抽出，然后再将压制放置板37的手松开，复位弹簧36会放置板37产生反弹力，至于让单晶硅体38的上表面抵制在挡板35上进行固定，有效的加快了单晶硅体38固定时的便捷性，增强了单晶硅体38在清洗时的稳定性，避免了使用拆装工具对单晶硅体38进行固定，降低了单晶硅体38在固定时操作人员的劳动强度，通过驱动电机2、联轴器7和连接轴32的结合，在单晶硅体38腐蚀清洗时驱动电机2通过联轴器7带动连接轴32进行转动，同时单晶硅固定架25会跟随连接轴32进行一起转动，有效的增加了单晶硅体38在腐蚀清洗时的喷洗面积，避免了单晶硅体38在腐蚀清洗时出现清洗不彻底的现象，提高了单晶硅体38腐蚀清洗时的效率，通过抽气机11和热风机12的增加，在单晶硅体38腐蚀的过程中控制按钮40会控制热风机12进行运作，以至于让热风机12产生的热量通过输风管15输送到清洗箱1的内部对单晶硅体38腐蚀时进行加热，待单晶硅体38腐蚀结束后由控制按钮40控制热风机12停止运作，并且控制抽气机11进行运作，抽气机11会通过吸气管14将清洗箱1内部的热空气抽出，当单晶硅体38清洗结束后，再由控制按钮40会控制热风机12进行运作，以至于让热风机12产生的热量通过输风管15输送到清洗箱1的内部对单晶硅体38腐蚀时进行加热烘干，同时控制抽气机11进行运作，抽气机11会通过吸气管14将清洗箱1内部的热空气抽出，然后再由出气管13排出，有效的节省了单晶硅体38在腐蚀和干燥的时间，提高了腐蚀清洗装置对单晶硅体38腐蚀清洗的效率。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。