阅读说明：本技术 一种玻璃钝化新型石英舟 (novel quartz boat of glass passivation ) 是由 崔文荣 于 2019-10-08 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构,在石英舟机构上设有一级石英舟支架,石英舟槽,一级石英舟,主支架,二级石英舟,石英舟机构上的一级石英舟,一级石英舟的石英舟槽倾角为80度,进行玻璃烧结时需要通入较大流量的气体,调整硅片的角度后,降低气流对硅片的冲击,降低硅片的损伤,而且石英舟槽宽为10mm,定期清理舟槽中残留的玻璃粉,降低硅片边缘粘在石英舟上的几率,该技术方案有效降低硅片破碎的概率,提高良品率,大大降低了产品钝化的成本。(The invention discloses a novel glass passivation quartz boat, which comprises a quartz boat mechanism, wherein a first-stage quartz boat support, a quartz boat groove, a first-stage quartz boat, a main support, a second-stage quartz boat and a first-stage quartz boat on the quartz boat mechanism are arranged on the quartz boat mechanism, the inclination angle of the quartz boat groove of the first-stage quartz boat is 80 degrees, gas with a larger flow is required to be introduced during glass sintering, after the angle of a silicon wafer is adjusted, the impact of air flow on the silicon wafer is reduced, the damage of the silicon wafer is reduced, the width of the quartz boat groove is 10mm, residual glass powder in the boat groove is periodically cleaned, and the probability that the edge of the silicon wafer is stuck on the quartz boat is reduced.)

一种玻璃钝化新型石英舟

技术领域

本发明涉及半导体玻璃烧结技术领域，具体为一种玻璃钝化新型石英舟。

背景技术

石英又名石英玻璃，石英玻璃是以二氧化硅组成的矿物质。

石英玻璃主要用于电光源，半导体，光学新技术等方面。

新型光源方面：做高压水银灯、长弧氙灯、碘钨灯、碘化铊灯、红外线灯和杀菌灯等。

半导体方面：是半导体材料和器件生产过程中不可缺少的材料，如生长锗，硅单晶的坩埚、舟皿炉芯管和钟罩等。

在新技术领域中：用其声、光、电学的极佳性能、做雷达上的超声延迟线，红外跟踪测向，红外照相、通迅、摄谱仪、分光光度计的棱镜，透镜、大型天文望远镜的反射窗，高温作业窗、反应堆、放射性装置；火箭，导弹的鼻锥体，喷嘴和天线罩：人造卫星的无线电绝缘零件，辐射；热天秤，真空吸附装置，精密铸造等。

玻璃钝化芯片，是用融凝玻璃来保护PN结，用于生产高压大功率整流器件，玻璃起到减小漏电流、提高反向击穿电压的作用。常用的玻璃钝化保护工艺一般采用刮涂法、光阻法或电泳法进行玻璃涂覆，然后对玻璃进行高温烧结，旨在除去玻璃中的有机成分及碳元素，冷却后凝固形成结构致密、热稳定性好、机械性能强的玻璃体，而单张晶片经过光刻及蚀刻工艺往往有几千颗芯片，因此玻璃烧结的均匀性显得至关重要。

当前玻璃烧结使用的是75槽的石英舟，进行烧结时硅片垂直放置在石英舟上，由于玻璃烧结前是粉末状，烧结完成后变成固态钝化层，因此烧结完成后大量的玻璃粉残留在石英舟槽中，当站点的硅片碎片率达到1.12％。

发明内容

本发明的目的在于提供一种玻璃钝化新型石英舟，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构，所述石英舟机构上设有主支架，主支架的上方设有一级石英舟支架，所述一级石英舟支架与主支架之间焊接固定，所述一级石英舟支架的上方靠近两端的端头上设有一级石英舟，所述主支架的底部对称设有二级石英舟，二级石英舟的两端端头与主支架的内壁焊接连接，所述一级石英舟，二级石英舟的内部均设有石英舟槽。

优选的，所述石英舟槽宽为10mm，槽深15mm。

优选的，所述石英舟槽倾角为80度，所述石英舟槽的上方开口角度为60度。

优选的，所述主支架的底部对称设有两个半圆柱状凹槽，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.1mm。

优选的，所述石英舟机构的上方内部设有硅片放置槽。

优选的，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟，二级石英舟的石英舟槽内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

(1)定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率；

(2)该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本。

附图说明

图1为本发明石英舟机构主视图；

图2为本发明石英舟机构侧视图；

图3为本发明石英舟机构俯视图；

图4为本发明石英舟舟槽截面图。

图中：1、石英舟机构；2、一级石英舟支架；3、石英舟槽；4、一级石英舟；5、主支架；6、二级石英舟。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-4,本发明提供一种技术方案：一种玻璃钝化新型石英舟,包括石英舟机构1，石英舟机构1的上方内部设有硅片放置槽，石英舟机构1上设有主支架5，主支架5的底部对称设有两个半圆柱状凹槽，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.1mm。

主支架5的上方设有一级石英舟支架2，一级石英舟支架2与主支架5之间焊接固定，一级石英舟支架2的上方靠近两端的端头上设有一级石英舟4，主支架5的底部对称设有二级石英舟6，二级石英舟6的两端端头与主支架5的内壁焊接连接。

一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

实施例1，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，烘干；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

本实施例中，先将需要钝化的硅片表面进行清洗，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.1mm，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为10mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为80度，石英舟槽3的上方开口角度为60度，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

实施例2，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

本实施例中，先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，烘干，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.2mm，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为11mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为81度，石英舟槽3的上方开口角度为60度，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

实施例3，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

本实施例中，先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.3m，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为12mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为82度，石英舟槽3的上方开口角度为60度，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

实施例4，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

本实施例中，先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.4m，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为13mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为83度，石英舟槽3的上方开口角度为60度，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

实施例5，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

本实施例中，先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.5m，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为14mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为84度，石英舟槽3的上方开口角度为60度，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

实施例6，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

本实施例中，先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.6m，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为15mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为85度，石英舟槽3的上方开口角度为60度，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

实施例7，一种玻璃钝化新型石英舟，其钝化方法包括以下步骤：

A、先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗；

B、将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内；

C、将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化；

D、取出钝化完成的硅片。

本实施例中，先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.7m，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为16mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为86度，石英舟槽3的上方开口角度为60度，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

通过以上实施例，当石英舟槽3两个半圆柱状凹槽槽芯之间间距100mm±0.1m，一级石英舟4，二级石英舟6的内部均设有石英舟槽3，石英舟槽3宽为16mm，槽深15mm，石英舟槽3倾角为80度，石英舟槽3的上方开口角度为60度的时候能有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本。

钝化方法：先将需要玻璃钝化的硅片表面进行清洗，将清洗完成的硅片放置到一级石英舟4，二级石英舟6的石英舟槽3内，将安装好硅片的石英舟机构放入到烧结炉中进行钝化，取出钝化完成的硅片。

在采用石英舟机构1进行玻璃烧结时需要通入较大流量的气体，调整硅片的角度后，降低气流对硅片的冲击，降低硅片的损伤，而且石英舟槽宽为10mm，定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率，该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本。

本发明的有益效果是：

(1)定期清理舟槽中残留的玻璃粉，降低硅片边缘粘在石英舟上的几率；

(2)该技术方案有效降低硅片破碎的概率，提高良品率，大大降低了产品钝化的成本。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。