一种检测仪的载物台及操作方法

文档序号:1859094 发布日期:2021-11-19 浏览:11次 >En<

阅读说明:本技术 一种检测仪的载物台及操作方法 (Object stage of detector and operation method ) 是由 阳诚贵 冯小杰 于 2021-08-06 设计创作,主要内容包括:本发明公开了一种检测仪的载物台,其包括:拼装箱,所述拼装箱内依次设置有活动室和气密室,所述活动室上设置有活动槽,所述活动槽的下方设置有伸缩装置;密封板,所述密封板安装在所述气密室上;活动筒,所述活动筒的侧壁上设置有侧槽,所述活动筒安装在所述连接槽上;顶针,所述顶针上设置有吸附通孔,所述顶针的下端部侧壁上设置有前凸缘,所述顶针滑动安装在所述活动筒内;抽气装置,所述抽气装置安装在所述拼装箱外侧或所述气密室内,所述抽气装置通过导管与所述吸附通孔连接;复位板,所述复位板上设置有活动耳,所述复位板与所述伸缩装置连接,所述伸缩装置驱动所述复位板作上下往复运动;实现了方便快捷、稳定地承载待测物件。(The invention discloses an object stage of a detector, which comprises: the assembling box is internally provided with a movable chamber and an airtight chamber in sequence, the movable chamber is provided with a movable groove, and a telescopic device is arranged below the movable groove; a sealing plate mounted on the hermetic chamber; the side wall of the movable cylinder is provided with a side groove, and the movable cylinder is arranged on the connecting groove; the ejector pin is provided with an adsorption through hole, the side wall of the lower end part of the ejector pin is provided with a front flange, and the ejector pin is slidably installed in the movable cylinder; the air exhaust device is arranged on the outer side of the assembling box or in the airtight chamber and is connected with the adsorption through hole through a guide pipe; the reset plate is provided with a movable lug and is connected with the telescopic device, and the telescopic device drives the reset plate to reciprocate up and down; the bearing device can conveniently, quickly and stably bear the object to be tested.)

一种检测仪的载物台及操作方法

技术领域

本发明涉及到检测设备领域,尤其涉及到一种检测仪的载物台及操作方法。

背景技术

一些部件在电镀或是喷涂金属颗粒涂层后,出于科研需要或是标准检测需要,会进行对电镀层、涂层的检测。其中较为常规的是利用X射线、机械波进行厚度检测。

在检测时,需要将待测元件放置在载物台上,然后关闭防护罩,打开检查设备,调整探头位置进行检测。由于部分仪器的载台或探头视线较差,操作人员需要进行多次调整,并且对于多个元件检测时,需要反复进行多次操作,繁琐枯燥。

在检查过程中或放置过程中,表面光滑、形状不规则的元件容易发生漂移、晃动,导致检测程序无法正确定位到元件,进而影响效率甚至是检测结果。

因此,亟需一种能够解决以上一种或多种问题的检测仪载物台及操作方法。

发明内容

为解决现有技术中存在的一种或多种问题,本发明提供了一种检查仪的载物台。本发明为解决上述问题采用的技术方案是:一种检测仪的载物台,其包括:拼装箱,所述拼装箱内设置有气密室和活动室,所述气密室设置在所述活动室下方,所述活动室的侧壁上设置有活动槽,所述活动槽的下方设置有伸缩装置;

密封板,所述密封板固定安装在所述气密室上并将所述气密室与所述活动室隔离,所述密封板上设置有连接槽;

活动筒,所述活动筒的侧壁上设置有侧槽,所述活动筒的下端部设置有通气孔,所述活动筒的下端部固定安装在所述连接槽上;

顶针,所述顶针上设置有上下贯穿的吸附通孔,所述顶针的下端部侧壁上设置有前凸缘,所述前凸缘与所述侧槽配合,所述顶针滑动安装在所述活动筒内;

硅胶圈,所述硅胶圈安装在所述前凸缘的下侧,所述硅胶圈使得所述顶针的滑动带阻尼;

抽气装置,所述抽气装置安装在所述拼装箱外侧或所述气密室内,所述抽气装置通过一导管与所述吸附通孔连接,所述抽气装置与外界连通;

复位板,所述复位板上设置有活动耳,所述活动耳与所述活动槽配合,所述复位板上设置有配合通槽,所述配合通槽与所述活动筒配合,所述前凸缘与所述配合通槽卡接,所述复位板安装在所述拼装箱内,所述复位板与所述伸缩装置连接,所述伸缩装置驱动所述复位板作上下往复运动;所述顶针和所述活动筒成组设置并且至少设置有九组。此为基础。

进一步地,所述活动筒上侧固定安装有前密封盖,所述前密封盖与所述前凸缘卡接。

进一步地,所述气密室与所述活动室的连接处设置有台阶,所述密封板安装在所述台阶上。

进一步地,还包括:盖板,所述盖板固定安装在所述活动室顶部,所述盖板上设置有与所述顶针数量一致的通孔。

进一步地,还包括:前盖,所述前盖呈喇叭状,所述前盖固定安装在所述拼装箱顶部并与所述活动室配合。

进一步地,所述抽气装置与所述伸缩装置气动连接,所述抽气装置通过对所述伸缩装置进行抽气、打气的方式,通过气压驱动所述复位板进行上下移动。

进一步地,所述顶针和所述活动筒成组设置,并呈圆周整列或线性整列设置;

每个所述顶针的所述吸附通孔单独通过一个导管与所述抽气装置连接,每个导管上均安装有气压传感器,气压传感器与外部控制IC电连接。

以及一种操作方法:包括以下步骤:

S010,在载物台进行载物检测前,启动抽气装置通过导管对吸附通孔进行吹气,当外部控制IC检测到一个或多个气压传感器的测量值不在预设范围内时,进行报警和指出当前气压传感器的位置,反之外部控制IC输出设备正常的信号;

S011,当外部控制IC报警时,对外部控制IC报警的气压传感器对应的导管、顶针进行清理,清理完成后回到步骤S010;

S020,将待测物体放置在顶针上方并往下压,直至待测物体不发生明显晃动;

S030,启动抽气装置,通过导管抽取吸附通孔上的空气,对待测物体进行吸附;

S031,气压传感器上报实时数据到外部控制IC并且至少持续3秒,外部控制IC在数据上报结束前后,通过数学模型判断哪一个顶针不需进行吸附或加强吸附,进而将对应的导管关闭或是加大气压;

S040,待测物体检测完毕,抽气装置停止对顶针进行工作,并通过对伸缩装置做功,使得安装在伸缩装置上的复位板往上顶,在所有的顶针均往上侧运动复位后,抽气装置对伸缩装置做功,使得复位板往下运动复位。

本发明取得的有益价值是,本发明通过将所述拼装箱、所述密封板、所述活动筒、所述顶针以及其他部件通过巧妙的结构连接在一起,实现了稳定、牢固地将待测物体托住,避免不规则物体在进行测试时出现晃动或是刮花待测物体表面,同时在抽气装置外置的情况下,其余部件能够全部使用非金属材料制作,避免对检查的干扰;再配合对应的操作方法,能够保障设备长久的使用寿命和降低功耗,节能环保;结构稳定、紧凑。以上极大地提高了本发明的实用价值。

附图说明

图1为本发明一种检测仪的载物台的立体图;

图2为本发明一种检测仪的载物台的侧视图;

图3为本发明一种检测仪的载物台的侧视图A-A处的剖视图;

图4为本发明一种检测仪的载物台的局部剖视图;

图5为本发明一种检测仪的载物台的局部视图。

【附图标记】

101···拼装箱

102···气密室

103···活动室

104···活动槽

110···伸缩装置

120···抽气装置

130···前盖

201···密封板

301···复位板

302···活动耳

401···盖板

501···活动筒

502···侧槽

510···前密封盖

520···通气孔

601···顶针

602···吸附通孔

603···前凸缘

604···硅胶圈

701···导管。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加浅显易懂,下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于此描述的其他方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进,因此本发明不受下面公开的具体实施例限制。

如图1-图5所示,本发明公开了一种检测仪的载物台,其包括:拼装箱101,所述拼装箱101内设置有气密室102和活动室103,所述气密室102设置在所述活动室103下方,所述活动室103的侧壁上设置有活动槽104,所述活动槽104的下方设置有伸缩装置110;

密封板201,所述密封板201固定安装在所述气密室102上并将所述气密室102与所述活动室103隔离,所述密封板201上设置有连接槽;

活动筒501,所述活动筒501的侧壁上设置有侧槽502,所述活动筒501的下端部设置有通气孔520,所述活动筒501的下端部固定安装在所述连接槽上;

顶针601,所述顶针601上设置有上下贯穿的吸附通孔602,所述顶针601的下端部侧壁上设置有前凸缘603,所述前凸缘603与所述侧槽502配合,所述顶针601滑动安装在所述活动筒501内;

硅胶圈604,所述硅胶圈604安装在所述前凸缘603的下侧,所述硅胶圈604使得所述顶针601的滑动带阻尼;

抽气装置120,所述抽气装置120安装在所述拼装箱101外侧或所述气密室102内,所述抽气装置120通过一导管701与所述吸附通孔602连接,导管701一般是透明塑料管,所述抽气装置120与外界连通;

复位板301,所述复位板301上设置有活动耳302,所述活动耳302与所述活动槽104配合,所述复位板301上设置有配合通槽,所述配合通槽与所述活动筒501配合,所述前凸缘603与所述配合通槽卡接,所述复位板301安装在所述拼装箱101内,所述复位板301与所述伸缩装置110连接,所述伸缩装置110驱动所述复位板301作上下往复运动;

所述顶针601和所述活动筒501成组设置并且至少设置有九组。

需要指出的是,所述抽气装置120为现有一般常用技术,一般是外置的常用多阀门气泵。所述顶针601设置的数量和密度一般是越高越好,能紧贴待测物体,同时承载能力也更强。在承载质量较大的待测物件时,所述顶针601和所述活动筒501间一般会设置有弹簧或缓冲用的塑性件,不直接使用弹簧的原因是,待测物体在直接放置在所述顶针601上时,压缩弹簧的过程中可能会出现滚动、滑动,而弹簧会将所述顶针601顶住待测物体,导致待测物体的外表面涂层被刮花。

具体地,如图3、图4所示,所述活动筒501上侧固定安装有前密封盖510,所述前密封盖510与所述前凸缘603卡接,进而限位所述顶针601的滑动行程。一般来说,所述气密室102与所述活动室103的连接处设置有台阶,所述密封板201安装在所述台阶上。以及还包括:盖板401,所述盖板401固定安装在所述活动室103顶部,所述盖板401上设置有与所述顶针601数量一致的通孔,所述盖板401主要用于防尘和防夹伤。

具体地,如图2、图3所示,还包括:前盖130,所述前盖130呈喇叭状,所述前盖130固定安装在所述拼装箱101顶部并与所述活动室103配合,安装时喇叭口朝上,作用是托住不规则物体的外沿和防止球体滚动时滚出载物台。进一步地,所述抽气装置120与所述伸缩装置110气动连接,所述抽气装置120通过对所述伸缩装置110进行抽气、打气的方式,通过气压驱动所述复位板301进行上下移动,此时所述伸缩装置110为气缸,所述复位板301设置有与气缸配合的活动轴。此外,所述伸缩装置110还可以是直线电机、电磁阀等。在安装、使用时,所述气密室102内一般只是用于放置导管701,这样一来在本设备的俯视图方向上,探头的视野上便没有金属部件。

需要说明的是,所述顶针601和所述活动筒501成组设置,并呈圆周整列或线性整列设置;每个所述顶针601的所述吸附通孔602单独通过一个导管701与所述抽气装置120连接,每个导管701上均安装有气压传感器,气压传感器与外部控制IC电连接。气压传感器的设置所述气密室102外侧。所述抽气装置120通过一个总阀门将气压分流到各个导管701上,而总阀门上设置有气压传感器和湿度传感器,所述抽气装置120的进或出风口处设置有干燥装置,作用是避免环境湿度过高时,使得内部气路被打湿,影响后续使用。

以及一种检测仪的载物台的操作方法,其包括以下步骤:

S010,在载物台进行载物检测前,启动抽气装置120通过导管701对吸附通孔602进行吹气,当外部控制IC检测到一个或多个气压传感器的测量值不在预设范围内时,进行报警和指出当前气压传感器的位置,反之外部控制IC输出设备正常的信号;作用是检测气路是否正常,能够对待测物体进行吸附;

S011,当外部控制IC报警时,对外部控制IC报警的气压传感器对应的导管701、顶针601进行清理,清理完成后回到步骤S010;

S020,将待测物体放置在顶针601上方并往下压,直至待测物体不发生明显晃动;

S021,在放置待测物体后,启动抽气装置120前,外部控制IC通过抽气装置120上的湿度传感器检查环境湿度是否在阈值范围内,在则进行下一步,反之启动抽气装置120时,一并将抽气装置120的进风或排风口处设置在干燥装置启动;

S022,在待测物体从放置到离开的过程中,外部控制IC通过抽气装置120上的湿度传感器实时检测环境湿度,判断是否需要关闭或启动干燥装置,抽气装置120掉电时干燥装置一并掉电;

S030,启动抽气装置120,通过导管701抽取吸附通孔602上的空气,对待测物体进行吸附;

S031,气压传感器上报实时数据到外部控制IC并且至少持续3秒,外部控制IC在数据上报结束前后,通过数学模型判断哪一个顶针601不需进行吸附或加强吸附,进而将对应的导管701关闭或是加大气压;

S040,待测物体检测完毕,抽气装置120停止对顶针601进行工作,并通过对伸缩装置110做功,使得安装在伸缩装置110上的复位板301往上顶,在所有的顶针601均往上侧运动复位后,抽气装置120对伸缩装置110做功,使得复位板301往下运动复位。

需要说明的是,外部控制IC上设置的数学模型为现有气动常用技术,在这里不作过多赘述。而外部控制IC一般是指电脑或是PLC加电脑。在所述顶针601设置的数量越多的情况下,所述气密室102内的导管701就越多,导管701发生缠绕和弯折的情况很容易出现,因此不仅需要做好导管701的布设固定工作,还需要在使用前通过步骤S010检测导管701是否发生弯折。此外,在本设备采取拼装模式时,即是通过将多个所述拼装箱101组合在一起时,使用的总的操作方法与上述一致,但是每个拼装箱可以是单独配置抽气装置,或是由一个大功率的总的抽气装置驱动。

综上所述,本发明通过将所述拼装箱101、所述密封板201、所述活动筒501、所述顶针60以及其他部件通过巧妙的结构连接在一起,实现了稳定、牢固地将待测物体托住,避免不规则物体在进行测试时出现晃动或是刮花待测物体表面,同时在抽气装置外置的情况下,其余部件能够全部使用非金属材料制作,避免对检查的干扰;再配合对应的操作方法,能够保障设备长久的使用寿命和降低功耗,节能环保;结构稳定、紧凑。以上极大地提高了本发明的实用价值。

以上所述的实施例仅表达了本发明的一种或多种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此理解为对本发明专利的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明的构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

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