阅读说明：本技术 真空抽气系统 (Vacuum pumping system ) 是由 李想松 于 2021-09-28 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种真空抽气系统,包括罗茨真空泵、滑阀真空泵和变频器,所述罗茨真空泵具有进气口和出气口,所述滑阀真空泵借助第一真空管与所述罗茨真空泵的出气口连通,所述变频器与所述罗茨真空泵相连接,所述变频器用于控制所述罗茨真空泵中电机的转速由低转速向高转速转变且呈阶段性速率增加。通过变频器来控制罗茨真空泵中电机的转速,以给滑阀真空泵缓冲时间达到其预设压强,避免不稳定及负压过大的影响,且该真空抽气系统能增加抽速,缩短抽气时间,提高抽真空的速率及稳定性。(The invention discloses a vacuum pumping system which comprises a roots vacuum pump, a slide valve vacuum pump and a frequency converter, wherein the roots vacuum pump is provided with an air inlet and an air outlet, the slide valve vacuum pump is communicated with the air outlet of the roots vacuum pump by virtue of a first vacuum tube, the frequency converter is connected with the roots vacuum pump, and the frequency converter is used for controlling the rotation speed of a motor in the roots vacuum pump to be converted from low rotation speed to high rotation speed and to be increased in a staged rate. The rotating speed of the motor in the Roots vacuum pump is controlled through the frequency converter, so that the buffering time of the slide valve vacuum pump reaches the preset pressure, the unstable and overlarge negative pressure influence is avoided, the vacuum pumping system can increase the pumping speed, shorten the pumping time and improve the speed and stability of the pumping.)

真空抽气系统

技术领域

本发明涉及真空抽气领域，更具体地涉及一种真空抽气系统。

背景技术

镀膜玻璃一般采用磁控溅射镀膜生产线进行，磁控溅射镀膜技术需要在真空条件下进行，在该过程中，需要利用真空抽气系统对磁控溅射镀膜设备中的真空镀腔进行抽真空处理，一般采用滑阀真空泵和罗茨真空泵对真空镀腔进行抽真空处理，但是为了避免罗茨真空泵较快的真空抽取速度使得滑阀真空泵受负压大及电机过载的影响，一般先启动滑阀真空泵工作一段时间达到预设压强，再启动罗茨真空泵工作，这样一来耽误了抽真空的时间，效率较低，且不稳定。

因此，有必要提供一种真空抽气系统以解决上述缺陷。

发明内容

本发明的目的是提供一种能提高抽真空的速率及稳定性的真空抽气系统。

为了实现上述目的，本发明公开了一种真空抽气系统，包括：

罗茨真空泵，罗茨真空泵具有进气口和出气口；

滑阀真空泵，滑阀真空泵借助第一真空管与罗茨真空泵的出气口连通；

变频器，变频器与罗茨真空泵相连接，变频器用于控制罗茨真空泵中电机的转速由低转速向高转速转变且呈阶段性增加。

与现有技术相比，本申请的真空抽气系统中，将罗茨真空泵的进气口与磁控溅射镀膜设备中的真空镀腔连通，当需要进行真空抽气时，启动滑阀真空泵和罗茨真空泵，变频器控制罗茨真空泵处于低转速阶段，从而避免罗茨真空泵较快的真空抽取速度使得滑阀真空泵受负压大及电机过载的影响，随着工作的进行，变频器控制罗茨真空泵中电机的转速由低转速向高转速转变且呈阶段性增加，而滑阀真空泵达到预设的压强，不会受负压大及电机过载的影响，从而正常工作，避免先启动滑阀真空泵工作一段时间，再启动罗茨真空泵工作，提高抽真空的速率及稳定性。

较佳地，真空抽气系统还包括设于罗茨真空泵的旁通阀。旁通阀的设置可避免罗茨真空泵空载启动，打开旁通阀后，罗茨真空泵启动一定时间后，关闭旁通阀，罗茨真空泵的压力逐渐上升。

较佳地，低转速为500-1000rpm。

较佳地，高转速为2000-3000rpm。

较佳地，增加速率为100rpm。

较佳地，真空抽气系统还包括与所述罗茨真空泵的进气口连通的第二真空管，所述第二真空管设有第一阀门。

较佳地，所述第一真空管设有第二阀门。

附图说明

图1为本发明真空抽气系统的结构示意图。

符号说明：

真空抽气系统100，罗茨真空泵10，滑阀真空泵20，第一真空管30，变频器40，旁通阀50，第二真空管60，第一阀门70，第二阀门80

具体实施方式

为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。

请参考图1，本申请公开一种真空抽气系统100，包括罗茨真空泵10、滑阀真空泵20和变频器40，所述罗茨真空泵10具有进气口和出气口，所述滑阀真空泵20借助第一真空管30与所述罗茨真空泵10的出气口连通，所述变频器40与所述罗茨真空泵10相连接，所述变频器40用于控制所述罗茨真空泵10中电机的转速由低转速向高转速转变且呈阶段性速率增加。通过变频器40来控制罗茨真空泵10中电机的转速，以给滑阀真空泵20缓冲时间达到其预设压强，避免不稳定及负压过大的影响。

请参考图1，真空抽气系统100还包括设于所述罗茨真空泵10的旁通阀50，旁通阀50的设置可避免罗茨真空泵10空载启动，打开旁通阀50后，罗茨真空泵10启动一定时间后，关闭旁通阀50，罗茨真空泵10的压力逐渐上升。

请参考图1，低转速为500-1000rpm，如500rpm、600rpm、700rpm、800rpm、900rpm、1000rpm；高转速为2000-3000rpm，如2000rpm、2100rpm、2200rpm、2300rpm、2400rpm、2500rpm、2600rpm、2700rpm、2800rpm、2900rpm、3000rpm。低转速向高转速的增加速率为100rpm，以保证抽气的稳定性。需要说明的是，低转速和高转速的范围并不限于以上，先通过变频器40控制罗茨真空泵10处于低转速阶段或较低的工作频率阶段，当滑阀真空泵20达到其压强时，变频器40也将罗茨真空泵10控制为高转速阶段或较高的工作频率阶段，以正常进行真空抽气，实现快速抽气。

请参考图1，真空抽气系统100还包括与所述罗茨真空泵10的进气口连通的第二真空管60，所述第二真空管60设有第一阀门70。第二真空管60与磁控溅射镀膜设备中的真空镀腔连通，且通过第一阀门70进行开关，方便检修和维护。进一步，所述第一真空管30设有第二阀门80，通过第二阀门80进行开关，进一步方便检修和维护。

下面结合图1详细阐述本申请的真空抽气系统100的工作原理：

将第二真空管60与磁控溅射镀膜设备中的真空镀腔连通，当需要对真空镀腔进行真空抽气时，打开第一阀门70、第二阀门80和旁通阀50，启动罗茨真空泵10、滑阀真空泵20和变频器40，滑阀真空泵20进行抽气，罗茨真空泵10启动一定时间后，关闭旁通阀50，变频器40控制罗茨真空泵10处于低转速阶段，从而避免罗茨真空泵10较快的真空抽取速度使得滑阀真空泵20受负压大及电机过载的影响，随着工作的进行，变频器40控制罗茨真空泵10中电机的转速由低转速向高转速转变且呈阶段性速率增加，而此时滑阀真空泵20达到预设的压强，不会受负压大及电机过载的影响，从而正常工作，也就是当滑阀真空泵20达到预设的压强时，变频器40控制罗茨真空泵10处于高转速阶段，两者组合正常工作，增加抽速，缩短抽气时间，提高抽真空的速率及稳定性。

以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。