X射线检测器部件、x射线检测模块、成像设备和用于制造x射线检测器部件的方法

文档序号:1926601 发布日期:2021-12-03 浏览:17次 >En<

阅读说明:本技术 X射线检测器部件、x射线检测模块、成像设备和用于制造x射线检测器部件的方法 (X-ray detector component, X-ray detection module, imaging device and method for manufacturing an X-ray detector component ) 是由 延斯·霍弗里希特 于 2020-01-24 设计创作,主要内容包括:本发明涉及一种X射线检测器部件(1),其包括由硅衬底(21)制成的X射线检测器芯片(22)并包括电荷收集电极(10)。X射线检测器芯片(22)适用于在电荷收集电极(10)处提供依赖于X射线的电流。X射线检测器部件(1)还包括CMOS读出电路芯片(24),所述CMOS读出电路芯片包括连接电极(20)。X射线检测器芯片(22)与CMOS读出电路芯片(24)机械连接和电连接,使得电荷收集电极(10)与连接电极(20)电连接。本发明还涉及一种X射线检测模块(60)、一种成像设备和一种用于制造X射线检测器部件(1)的方法。(The invention relates to an X-ray detector component (1) comprising an X-ray detector chip (22) made of a silicon substrate (21) and comprising charge collection electrodes (10). The X-ray detector chip (22) is adapted to provide an X-ray dependent current at the charge collection electrode (10). The X-ray detector assembly (1) further comprises a CMOS readout circuit chip (24) comprising the connection electrodes (20). The X-ray detector chip (22) is mechanically and electrically connected to the CMOS readout circuit chip (24) so that the charge collection electrode (10) is electrically connected to the connection electrode (20). The invention further relates to an X-ray detection module (60), an imaging device and a method for manufacturing an X-ray detector component (1).)

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