具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需要说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本发明的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本发明某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本发明的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。

实施例一

本实施例提供了一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，参见附图2，附图2为本发明一实施例提供的晶圆背面减薄设备排液管过滤装置示意图，从图中可以明显看出，本实施例提供的晶圆背面减薄设备排液管过滤装置包括：液位感应器500，过滤网300，设有至少一个进液口700和至少一个排液口800的过滤容器400；其中，所述进液口700高于所述排液口800设置；所述过滤网300放置在所述过滤容器400内，且所述过滤网300位于所述进液口700和所述排液口800之间；所述进液口700连接用于排出未经过滤废液的第一排液管100，所述排液口800连接用于接收过滤后废液的第二排液管200；所述过滤容器400径向截面宽度大于所述第一排液管100和/或所述第二排液管200径向截面宽度；所述液位感应器500设置在所述过滤容器400侧壁外侧，且位于所述过滤网300与所述进液口700之间。

本发明提供的用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置通过在所述过滤容器400中装备所述过滤网300、以及所述液位感应器500，当排液管使用过程中，污液中的固体碎屑会被所述过滤网300阻拦，废液则可顺利通过所述过滤网300排出。当固体碎屑堆积到一定程度后废液在过滤容器400中液位会不断升高，当所述液位感应器500触发时即需要清理过滤装置，以此来避免堵塞管路导致宕机，且该过滤装置可重复使用，降低了使用成本。尤其是在排液管拐角处设置所述过滤装置，能够防止废液中的固体碎屑堆积在所述排液管拐角处，从而避免设备发生宕机的风险。

继续参见附图2，优选地，所述进液口700位于所述过滤容器400侧壁，所述排液口800位于所述过滤容器400底部。由此，机台内部产生的大量的晶渣及含硅污液在经过所述过滤网300后，能够很好的从底部的排液口800中排出。需要进一步说明的是，所述排液口800也可以位于所述过滤容器400侧壁底部上，所述第二排液管200与所述排液口800横向连接。本领域的技术人员可以理解的，所述排液口800的位置满足低于所述过滤网300的位置即可，具体位置可以根据使用者自身需求以及安装环境决定，本发明不做特殊限定。

优选的，所述过滤容器400的顶部密封。如此设置，本发明提供的所述过滤装置可以防止污液从所述第一排液管100进入所述过滤容器400时溅出，污染四周环境。

在其中一种优选实施方式中，所述过滤容器400的壳体为双层空心结构。由此，本发明提供的过滤装置的质量更可靠，更耐用，且当所述过滤容器400的内层破裂后，所述过滤容器400的外层仍能容纳污液，防止污液流出，破坏环境卫生。需要进一步说明的是，无论所述过滤容器400为单层或是双层空心结构，所述过滤容器400的形状都不做限定，所述过滤容器400可以为包括但不限于圆柱形或柱形等一切满足条件的形状。本领域的技术人员可以理解的，具体选择什么形状的所述过滤容器400，根据使用者自身要求决定，本发明不做特殊限定。

在其中一种优选实施方式中，当所述过滤容器400的壳体为双层空心结构时，还包括漏液感应器600，所述漏液感应器600位于所述过滤容器400的外层底部内。如此设置，所述漏液感应器600可以及时发现所述第一排液管100突发的泄露问题。

继续参见附图2，当所述过滤容器400为双层空心结构时，所述第一排液管100管口伸出所述过滤容器400内层的内壁一段距离为r，满足r≥0，和/或所述第二排液管200管口伸出所述过滤容器400内层的内壁一段距离为h，满足h≥0。如此设置，所述第一排液管100在排出未经过滤的污液时，不会将污液排出到双层空心的所述过滤容器400的内层与外层的夹层中。同时，污液在经过所述过滤网300过滤排出时，也不会通过所述排液口800泄漏到所述过滤容器400的内层与外层的夹层中。从而保障了污液能够正常的通过所述进液口700经过过滤网300过滤，随后从排液口800排出。

优选的，所述进液口700大小与所述第一排液管100管口大小相同，所述进液口700与所述第一排液管100密封连接，和/或所述排液口大小与所述第二排液管200管口大小相同，所述排液口与所述第二排液管200密封连接。由此，所述进液口700与所述第一排液管100之间，以及所述排液口800与所述第二排液管200之间过盈连接，避免了污液从所述进液口700与所述第一排液管100的连接处，以及所述排液口800与所述第二排液管200的连接处泄漏，污染四周环境。

优选地，所述过滤网300的周向边缘与所述过滤容器400的内壁周向边缘贴合。由此，本发明提供的过滤装置在进行污液过滤时，污液中含有的固体碎屑不会从所述过滤网300与所述过滤容器400的缝隙处穿过，从而避免了后续固体碎屑对管路造成堵塞导致设备发生宕机的问题。

在其中一种优选实施方式中，还包括若干支架(图中未标识)，所述支架放置在所述过滤容器400内，所述过滤网300放置在所述支架上。如此设置，本发明提供的过滤装置中所述过滤网300通过所述支架可以稳定放置在所述过滤容器400内，且当固体碎屑堆积到一定程度废液液位升高触发液位感应器500后，所述过滤网300可拆卸，从所述过滤容器400中取出，并清除固体碎屑。同时当所述过滤网300发生破损后，也可以及时方便的更换新的所述过滤网300。由此，本发明提供的所述过滤装置可重复循环使用，降低了生产成本。

实施例二

本发明还提供了一种用于晶圆背面减薄设备的排液管，所述排液管通过在所述第一排液管100和所述第二排液管200之间设置过滤装置，所述过滤装置将废液中的固体碎屑通过所述过滤网300过滤，避免了因固体碎屑在排液管中堆积，导致设备宕机的问题。

另外，在本文各个实施方式中的各功能模块可以集成在一起形成一个独立的部分，也可以是各个模块单独存在，也可以两个或两个以上模块集成形成一个独立的部分。此外，需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明说中的各个组件。元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征液平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征液平高度小于第二特征。

综上，在本发明提供的一种用于晶圆背面减薄设备排液管的过滤装置，包括：液位感应器500，过滤网300，设有至少一个进液口700和至少一个排液口800的过滤容器400；其中，所述进液口700高于所述排液口800设置；所述过滤网300放置在所述过滤容器400内，且所述过滤网300位于所述进液口700和所述排液口800之间；所述进液口700连接用于排出未经过滤废液的第一排液管100，所述排液口800连接用于接收过滤后废液的第二排液管200；所述过滤容器400径向截面宽度大于所述第一排液管100和所述第二排液管200径向截面宽度；所述液位感应器500设置在所述过滤容器400侧壁外侧，且位于所述过滤网300与所述进液口700之间。本发明提供的晶圆背面减薄设备排液管过滤装置通过在所述过滤容器400中装备所述过滤网300、以及所述液位感应器500，当排液管使用过程中，污液中的固体碎屑会被所述过滤网300阻拦，废液则可顺利通过所述过滤网300排出。当固体碎屑堆积到一定程度后废液在所述过滤容器400中液位会不断升高，当所述液位感应器500触发时即需要清理过滤装置，以此来避免堵塞管路导致宕机，且该过滤装置可重复使用，降低了使用成本。

本发明提供的用于晶圆背面减薄设备的排液管，所述排液管通过在所述第一排液管100和所述第二排液管200之间设置过滤装置，所述过滤装置将废液中的固体碎屑通过所述过滤网300过滤，避免了因固体碎屑在排液管中堆积，导致设备宕机的问题。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。