温度传感器的安装构造体
阅读说明：本技术 温度传感器的安装构造体 (Temperature sensor mounting structure ) 是由 堂屋英宏 铃木贵之 柴田祐介 于 2020-03-23 设计创作，主要内容包括：本发明提供能够可靠地固定温度传感器并能够后安装于标准零部件的温度传感器的安装构造体。温度传感器(S)的安装构造体(1)安装于流体控制装置(X)的流路块(2)或流体控制设备(3),其中,该流体控制装置(X)包括：多个流路块,其在内部具备流体流路,并在至少一个面上具备所述流路的开口部；以及流体控制设备,其载置在该流路块上,该安装构造体(1)包括：矩形状的温度传感器安装片(10)；以及成对的夹持片(11、11),其从安装片(10)的相对的对边延伸设置。(The invention provides a mounting structure of a temperature sensor, which can reliably fix the temperature sensor and can be mounted on a standard component. A mounting structure (1) for a temperature sensor (S) is mounted on a flow path block (2) or a fluid control device (3) of a fluid control device (X), wherein the fluid control device (X) comprises: a plurality of flow path blocks each having a fluid flow path therein and having an opening of the flow path on at least one surface; and a fluid control device mounted on the flow path block, wherein the mounting structure (1) includes: a rectangular temperature sensor mounting piece (10); and a pair of holding pieces (11, 11) extending from opposite sides of the mounting piece (10).)
技术领域
本发明涉及半导体制造装置等中使用的流体控制装置，特别涉及安装于带加热装置的流体控制装置的温度传感器的安装构造体。
背景技术
半导体制造装置中使用的流体控制装置构成为，多种流体控制设备配置为多列，并且，相邻的列的流体控制设备的流路彼此在规定部位处通过设备连接机构连接，近年来，这种流体控制装置向质量流量控制器、开闭阀等不用管连接的集成化发展。
在这种集成型流体控制装置中，存在为了防止结露及防止使常温下为液体的流体气体化并流动时的再液化等而需要加热装置的情况。关于这样的带加热装置的流体控制装置，公开了下述技术：在至少1条生产线的两侧配置有带状的面状加热器，这些面状加热器利用多个金属制卡夹保持于对应的连接器部件(专利文献1)。
并且，在配置有加热装置的流体控制装置中安装有温度调节用的温度传感器(例如热电偶等)，以对加热不足、过度加热进行调节。
并且，以往，温度调节用的温度传感器通过用胶带贴附于载置流体控制设备的流路块、特别是对流量进行控制的质量流量控制器的下游侧的流路块来使用。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-267100号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，在使用胶带安装的情况下，温度传感器并未成为完全固定的状态，存在由于外部应力而脱离，无法进行温度控制的问题。另外，为了牢固地安装温度传感器，也考虑在流路块设置温度传感器安装固定用的螺纹孔等，但成为特殊措施而成本上升，并且，通用化降低，在标准化方面存在问题。
本发明是鉴于上述问题提出的，其目的在于提供能够可靠地固定温度传感器并能够后安装于标准零部件的温度传感器的安装构造体。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题而提出的本发明的温度传感器的安装构造体安装于集成型流体控制装置的流路块，其中，该集成型流体控制装置包括：多个所述流路块，其在内部具备流体流路，并在至少一个面上具备所述流路的开口部；以及流体控制设备，其载置在所述流路块上，所述温度传感器的安装构造体的特征在于，包括：矩形状的温度传感器安装片；以及成对的夹持片，其从安装片的相对的对边延伸设置。
对于该温度传感器的安装构造体而言，从安装温度传感器的安装片延伸设置的成对的对边将流路块夹入，在作用有朝向上方的提升力的情况下，夹持片与载置于流路块的流体控制设备抵接，有效防止向上方脱出。
在该情况下，能够从温度传感器安装片及夹持片的至少一个部位的下边朝向内侧延伸设有止挡片。由此，在将温度传感器安装到载置于流路块(下部块)的上部块(流体控制设备(流量控制器、自动开闭阀等))时也能够应对。
另外，在以上情况下，夹持片的与温度传感器安装片相反侧的端缘能够设置向内侧弯曲的弯曲部。防止弯曲部钩挂于流路块的与温度传感器相反侧的安装面，以及即使安装构造体被施加水平方向的应力也防止脱落。
此外，在以上情况下，温度传感器安装片的表面能够由带状的加热机构覆盖。通过将温度传感器的安装位置设为加热机构的安装位置，从而更加牢固地防止水平方向的脱落。
发明的效果
根据本发明，能够提供能够将温度传感器可靠地固定于流量控制装置、特别是集成型流量控制装置，并且，能够后安装于标准零部件的温度传感器的安装构造。
附图说明
图1是示出安装本发明实施方式的温度传感器的安装构造体前的集成型流量控制装置的立体图。
图2是示出安装该温度传感器的安装构造体后的集成型流量控制装置的立体图。
图3是示出该温度传感器的安装构造体的立体图，(a)示出第1实施方式，(b)示出将弯曲部简单地弯曲为直角的例子，(c)示出第2实施方式。
图4是示出将该温度传感器的安装构造体的第2实施方式安装于上部块的状态的立体图。
图5示出该温度传感器的安装构造体的第3实施方式，(a)是立体图，(b)是俯视图，(c)是说明向块安装的过程的俯视图，(d)是示出安装于块后的状态的俯视图。
具体实施方式
以下，基于附图详细说明本发明的实施方式。需要说明的是，以下的实施方式本质上为优选的例示，本发明并非意在限制其应用物体或其用途的范围。
＜实施方式1＞
图1～图3示出本发明的温度传感器的安装构造体的实施方式1。
[流体控制装置]
图1所示的流体控制装置100包括：多个流体控制设备3A～3G，其位于上段；多个流路块2，其位于下段，载置多个流体控制设备3A～3G，并在内部具备流体流路；支承部件4，其支承多个流路块2；加热机构H，其对流路块2及流体控制设备3A～3G的表面进行加热；温度传感器S，其测定流路块2或流体控制设备3A～3G的表面的温度；以及温度传感器的安装构造体1，其用于将该温度传感器S安装于流路块2或流体控制设备3A～3G。
将流路块2及流体控制设备3A～3G设为1条生产线，在图示例子中示出2条线，但线数量并非仅限于此，能够根据设备从1条到多条自由地决定线数量。
[加热机构]
加热机构H与流路块2的侧面抵接，将流路内的温度加热至规定的温度，使经由入口配管流入的气体(例如氟化氢)升温，防止常温下液化的气体的液化。
与流路块2的侧面抵接的加热机构H利用卡夹5夹持固定。在图示例子中，示出由面状加热器构成的加热机构H的高度尺寸与流路块2(下部块)的高度尺寸一致的例子，但也可以具有覆盖流体控制设备3A～3G(上部块)的下侧的高度。
就卡夹5而言，通过对薄板材料进行弯曲加工，从而夹压部5A沿上下方向延伸，与流路块2及流体控制设备3A～3G的侧面平行。连结部5B沿着气体管线的宽度方向延伸，将一对夹压部5A连结。
如图1～图2所示，卡夹5将温度传感器的安装构造体1、加热机构H安装于流路块2及流体控制设备3A～3G，将该安装构造体1、加热机构H以夹入的方式固定。另外，也可以构成为，以覆盖加热机构H的表面、流体控制器3A～3G的块部上表面的方式配置例如硅酮海绵隔热材料，将这些材料也用卡夹5固定。
[温度传感器]
安装于温度传感器的安装构造体1的温度传感器S将计测到的流路块2或流体控制设备3A～3G的温度向对流体控制设备3A～3G进行控制的控制设备(图示省略)发送，控制设备根据所计测的温度对流体控制设备3A～3G进行控制，并且，在偏离规定温度的阈值的情况下，还能够发出指令使设备紧急停止。温度传感器S没有特别限定，在本实施方式中使用热电偶。另外，温度传感器S也能够使用恒温器。
温度传感器的安装构造体1安装于上述流路块2或流体控制设备3，包括矩形状的温度传感器安装片10和从该安装片10的相对的对边10a、10a延伸设置的成对的夹持片11。
在本实施方式中，温度传感器安装片10及夹持片11、11通过对1张金属板进行弯曲加工来制作。通过对金属板进行弯曲加工，从而夹持片11、11具有即使扩开也向原始位置返回的弹性。夹持片11、11的间隔L(温度传感器安装片10的宽度尺寸)与安装的流路块2或流体控制设备3的宽度尺寸大致相同。通常，该宽度尺寸、特别是流路块2的宽度尺寸在集成型的流体控制装置中标准化，不需要准备多种。
另外，也可以将安装片10的相对的对边10a部弯曲为直角，按照图3的(b)所示的方式形成夹持片11、11，但在本实施方式中，如图3的(a)所示，使安装片10的宽度尺寸比夹持片11、11的间隔L稍长，通过使对边10a部的内侧弯曲为锐角，进一步弯曲为与安装片10正交来构成夹持片11、11。由此，能够提高基于弯曲加工的弹性，并利用夹持片11、11可靠地夹持流路块2。另外，即使在温度传感器S被施加朝向上方的应力(拉拔力)的情况下，也能够使得夹持片11、11的上边与载置在相邻的流路块2上的流体控制设备3的底面抵接，防止温度传感器S从流路块脱出。
另外，安装片10及夹持片11、11的高度方向的尺寸也可以如图3的(b)所示，设为相同的高度尺寸，但也可以如图3的(a)所示，使安装片10的高度方向的尺寸比夹持片11、11的高度方向的尺寸短。
＜实施方式2＞
此外，如图3的(c)所示，温度传感器的安装构造体1能够构成为，从温度传感器安装片10及夹持片11、11的至少一个部位的下边朝向内侧延伸设有止挡片12、13。优选止挡片12、13也从1张金属板裁切并通过弯曲加工形成。
在图示例子中，示出从温度传感器安装片10延伸设有止挡片12、从夹持片11、11延伸设有止挡片13的例子，但止挡片从某一部位形成即可。特别是，在作为上部块的流体控制设备3与作为下部块的流路块2的上表面之间没有间隙或层差的情况下，从夹持片11延伸设置而形成的止挡片13无法使用。因此，优选仅形成从温度传感器安装片10延伸设置的止挡片12。通过形成该止挡片12，从而如图4所示，在将温度传感器S安装于流体控制设备3(上部块)时，即使在温度传感器S被施加朝向上方的应力(拉拔力)的情况下，止挡片12也与上部块的下表面抵接，能够防止温度传感器S从流路块脱出。
＜实施方式3＞
另外，如图5的(a)所示，温度传感器的安装构造体1能够使夹持片11、11的与温度传感器安装片相反侧的端缘朝向内侧突出。突出的部分的形状没有特别限定，在本实施方式中，通过使端缘以圆弧状向内侧卷绕而成为突出部11a。
只要构成为突出部11a、11a的间隔M比夹持片11、11的间隔L短，则突出部11a的形状也可以是仅使端缘弯折。
在向流路块2(下部块)或流体控制设备3(上部块)安装时，使(通常为夹持片11、11的间隔L)夹持片11、11扩开至使突出部11a、11a的间隔M与块的宽度尺寸相同，使突出部11a、11a一边与块的侧面滑动接触一边滑动(参照图5的(c))，在越过块的侧面后，利用夹持片11、11的弹性使得突出部11a、11a钩挂于块的相对面，不仅是产生向上方的应力(拉拔力)时能够将温度传感器S的位置牢固地固定为不变，即使产生水平方向的应力也能够牢固地固定。
在本实施方式中，当然能够使实施方式1中说明的对边10a部的内侧弯曲为锐角，或形成实施方式2中说明的止挡片12、13。
产业上的可利用性
如以上说明，本发明的温度传感器的安装构造体能够有效防止安装于集成型流体控制装置的温度传感器向上方脱出，因此能够广泛适用于集成型流体控制装置，而且能够适用于温度传感器向现有集成型流体控制装置的安装。
附图标记说明
1 温度传感器的安装构造体
10 温度传感器安装片
11 夹持片
12 止挡片
13 止挡片
2 流路块(下部块)
3 流体控制设备(上部块)
4 支承部件
5 卡夹
100 流体控制装置
S 温度传感器
H 加热机构