发明内容

为解决上述技术问题，本发明设计了一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺。

本发明采用如下技术方案：

一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺，其工艺步骤为：

S1:激光切割：选取2mm-20mm厚度的光学玻璃基板，依据产品的外形尺寸找到光学玻璃基板中心,依据实际加工产品的图形化镀膜的尺寸大小选择无效区，采用激光切割做多个长宽为3mm 的十字对位确认标记，用于片状下正反两面图形化印刷相对位置的准确对位标记；

S2:超声波清洗：对光学玻璃基板表面进行超声波清洗；

S3:第一面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第一面丝印保护油墨；

S4:烘烤：第一面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；

S5:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；

S6: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；

S7：第一面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第一面蒸发镀膜；

S8: 超声波清洗：将完成第一面蒸发镀膜的产品进行超声波清洗，同时翻转产品后清洗表面；

S9:第二面丝印保护油墨：将保护油墨覆盖至网板整个图形化区域,下降网板高度使网板与产品表面接触，然后倾斜30°刮板均匀刮过丝印图形化区域，对光学玻璃基板表面进行第二面丝印保护油墨；

S10:烘烤：第二面丝印保护油墨后，将产品放置在烤箱中使用80℃-100℃ 烘烤30mins，进行保护油墨完全固化；

S11:Plasma清洗：固化后，将产品通过Plasma清洗；

S12: 超声波清洗：将产品Plasma清洗后通过超声波纯水清洗；

S13：第二面蒸发镀膜：将清洗后产品进行第二面蒸发镀膜；

S14: 超声波清洗：将完成第二面蒸发镀膜的产品表面进行超声波清洗；

S15:粘合：将双面高温发泡胶带分别粘合在两侧镀膜表面，将TTV (TTV是硅单晶片在厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值，称作硅片的总厚度变化)在5um 以内的保护玻璃贴合在双面高温发泡胶带表面，然后使用0.2Mpa-0.4Mpa压力的压合机，压合机上部压板加热至85℃±5℃，下部平台同样加热至85℃±5℃，压合15分钟，完成保护玻璃的贴合；

S16:多刀分割：采用多刀分割机按照十字标记位置进行切割，将片状产品切割成条形；

S17: 抛光面加工：对切割后表面经超声波清洗、研磨、超声波清洗、抛光、超声波清洗工艺完成条形另外两面的抛光面加工；

S18: 条形产品另外两面的镀膜：针对条形产品另外两面，重复步骤S1-S14，完成条形产品另外两面的丝印保护油墨和蒸发镀膜；

S19：烘烤、去胶: 将条形镀膜品放至195℃烤箱中进行烘烤15分钟，此时双面高温发泡胶带发泡且粘性消失，将两侧贴合的保护玻璃移除；

S20：NMP浸泡: 将条形镀膜品浸泡至NMP常温溶液中12h；

S21：二甲基亚砜冲洗：将浸泡后条形镀膜品进行二甲基亚砜溶液冲洗；去除膜层边缘残留的保护油墨；

S22：超声波清洗：将条形镀膜品通过超声波纯水清洗，确保产品整个外观洁净，完成整个工艺。

作为优选，步骤S3和S9中，保护油墨选择容大热固化保护油墨THW-5B205，网板选择500目的钢丝网板。保护油墨选择条件：①考量到保护油墨粘稠度太低导致图案印刷边缘会出现毛边,粘稠度太高会导致图形化边缘因出墨量太少呈现边缘锯齿状，经验证粘稠度选择在50-100 dpa.s。②考量到镀膜制程为真空高温条件，镀膜最高温度为160℃，所以油墨固化后需可承受镀膜温度180℃3h且不能有气体挥发。③固化后硬度需＞1H，固化后避免因后工序剐蹭导致保护油墨被破坏掉。④镀膜后采用弱碱性溶液或者NMP、去胶液可较容易去除保护油墨。此钢丝网板相对树脂网板在印刷较大尺寸的片状图案因网板印刷张力产生的尺寸变化量更低。

作为优选，步骤S3和S9中，印刷后，丝印十字图案与激光图案十字位置偏差小于±20um。丝印图案无缺损，毛边或锯齿状。

作为优选，所述Plasma清洗的Plasma工艺参数为：气体-O₂，流量：150sccm-300sccm，时间: 300s-400s，功率:450w。考量到因油墨为有机类材料其油墨中有掺入易于挥发有机试剂，经过烘烤固化制程，有机试剂将会挥发出来，此有挥发物会污染至未丝印油墨区域，若处理不净镀膜膜层将镀膜至此被污染区域，此会导致膜层牢固度出现异常-膜层脱落异常。需要有针对性的Plasma清洗工艺。

作为优选，步骤S15中，双面高温发泡胶带选用Nitto RDS-500F高温热发泡胶带。双面高温发泡胶带的选择：要求①此粘合胶必须具备粘性强，耐碱性洗剂，另粘合后进行外形尺寸加工，若粘合胶厚度的均一性不好将导致产品外形尺寸加工后产品的粘合面与切割面直角度差；要求②此粘合胶厚度容易控制，外形尺寸加工后此两面同样需经过保护油墨烘烤及镀膜等高温工序；要求③此粘合胶带粘合后必须可承受160℃ 高温条件。综上所述本制程工艺选用 Nitto RDS-500F 高温热发泡胶带,此胶带具有粘性强（高达380N/cm2）,厚度一致性好（56um±5um），耐高温（最高耐受温度160℃）粘合后耐酸、耐碱且易于脱胶（高温180℃ 烘烤15分钟 即可分离）。

本发明的有益效果是：本发明工艺选用保护油墨采用丝印方式搭配镀膜工艺完成片状图形化镀膜加工，结合高温发泡胶带粘合工艺对片状镀膜品进行粘合从而完成外形尺寸的条形加工，再同样经丝印保护油墨镀膜完成单条另外两面图形化镀膜加工，针对图形对位精度可通过激光切割十字标记进行丝印保护油墨对位确认。最终经脱胶工艺完成最终产品加工。解决现有工艺因片尺寸厚度太厚(超过10mm)无法进行光刻，且因片形状为条形无法进行涂胶、显影等工序作业的问题。