用于确定转速传感器的探测灵敏度的方法

文档序号:47674 发布日期:2021-09-28 浏览:38次 >En<

阅读说明:本技术 用于确定转速传感器的探测灵敏度的方法 (Method for determining the detection sensitivity of a rotational speed sensor ) 是由 C·尤尔格沙特 于 2021-03-25 设计创作,主要内容包括:提出一种用于确定转速传感器的探测灵敏度的方法,其中,所述转速传感器具有振荡系统(1),其特征在于,在第一步骤中,确定所述振荡系统(1)的第一正交信号,在第二步骤中,进行所述振荡系统(1)的传递函数的受控变化,在第三步骤中,确定所述振荡系统(1)的第二正交信号,并且在第四步骤中,基于所述第一和第二正交信号确定探测灵敏度。此外,提出一种用于确定转速传感器的探测灵敏度的方法,其中,所述转速传感器具有第一振荡系统(1)和第二振荡系统。(A method for determining the detection sensitivity of a rotation speed sensor is proposed, wherein the rotation speed sensor has an oscillating system (1), characterized in that in a first step a first quadrature signal of the oscillating system (1) is determined, in a second step a controlled change of the transfer function of the oscillating system (1) is carried out, in a third step a second quadrature signal of the oscillating system (1) is determined, and in a fourth step the detection sensitivity is determined on the basis of the first and second quadrature signals. Furthermore, a method for determining the detection sensitivity of a rotational speed sensor is proposed, wherein the rotational speed sensor has a first oscillation system (1) and a second oscillation system.)

用于确定转速传感器的探测灵敏度的方法

技术领域

本发明从一种用于确定转速传感器的探测灵敏度的方法出发,其中, 所述转速传感器具有振荡系统。

背景技术

由现有技术已知的转速传感器在其性能方面受到诸如探测灵敏度的漂 移之类的不利影响的限制,因为在缺少补偿或校正的情况下,这些不利影 响可能导致对测量结果的错误解释。因此,转速传感器通常具有抵消测量 结果的漂移的补偿机制。

灵敏度的这种漂移取决于许多因素,例如,取决于诸如温度或空气湿 度之类的环境影响,或者也取决于机械应力、老化等等。漂移的实际物理 原因通常基于对传感器的弹簧质量系统(FMS)的机械影响。这种机械影 响又引起幅度响应(增益特性曲线)和/或相位响应(相位特性曲线)的变 化。幅度响应和相位响应由弹簧质量系统的传递函数(也可以是传输函数 或系统函数)确定,该传递函数表征系统的与频率相关的响应,其方式为: 该传递函数说明输入信号(例如驱动信号)与输出信号(例如驱动模式的 或探测模式的幅度,或者说所属的电信号)之间的关系。对于振荡系统的 不同模型,呈分析形式的传递函数是已知的。特别地,对于由质量和线性 弹簧组成的系统的阻尼振荡,得出与输入信号的频率ω的以下相关性(在 此,省略增益G(ω)的尺寸因子):

在此,ω0表示固有频率(由质量和弹簧常数确定)并且Q表示振荡系 统的品质因子。在系统的例如弹簧常数(并且因此固有频率)发生变化的 情况下,增益特性曲线和相位特性曲线在其斜率和相对于频率轴的位置方 面受到上面所提及的效应的影响。另一方面,由于温度变化,特性曲线的 走向也可能受到系统的品质的变化的影响。增益的或相位的变化又影响测 量信号(参见下面的等式3),而这并非基于转速的实际变化,从而在此出 现测量误差并降低探测灵敏度。为了在此在不求助于参考激励(即已知的 外部转速)的情况下识别漂移,可以充分利用在每个实际的微机械系统中 所存在的正交(在公式中以Quad表示)。正交产生与转速Ω无关的力效应 或者说对探测信号的附加量值,该附加量值相对于由转速产生的有用信号 相移90°。然而,两个信号量值均与灵敏度G成比例。由于相移,可以通过 解调将正交信号sQuad与探测信号sΩ分离。

sΩ=G*Ω+C*Quad*φ (3)

sQuad=C*Quad (4)

在从现有技术中已知的方法中充分利用该情况来确定灵敏度变化。这 通过以下方法实现:通过附加地集成在传感器中的电极以静电的方式暂时 地人工地增强振荡探测装置的正交。然后,在运行中将由此改变的输出信 号与通过先前的校准而确定的参考值进行比较。然后,可以由输出信号与 参考值的比率推导出有关灵敏度变化的结论。然而,这种方法的缺点是与 此相关的附加设计开销以及传感器上的附加电极的空间需求。因此,期望的是在没有附加的机械上的额外开销的情况下实现灵敏度漂移的测量。此 外,借助现有技术中的上述方法只能确定振荡系统的增益特性曲线和相位 特性曲线的与温度相关的变化。相反,由于附加的干扰效应(例如形成传 感器的微机械结构中的机械应力)而导致的特性曲线的偏移只能在一定条 件下求取。

发明内容

在此背景下,本发明的任务是提出一种获得关于探测灵敏度的可能漂 移的信息的可能性,而在此不出现上述缺点。

根据本发明的技术方案的方法相对于现有技术具有以下优点:可以省 去对振荡系统的正交的人工影响,并且尤其是省去为此所需的附加电极。 该方法实现一种确定振荡系统(在下文中也称为弹簧质量系统或简称为 FMS)的灵敏度变化的高效方式。FMS尤其可以涉及转速传感器的探测装 置。在此,该变化的探测与正交的可能变化无关,并且还几乎与温度无关。 该方法使得能够确定传递函数(TF)的位置或由传递函数所确定的增益特 性曲线或相位特性曲线上的工作点的位置。以这种方式,不仅可以确定探 测灵敏度,而且可以确定相位变化(不考虑温度影响)。由此尤其得出建立 校正因子或者说校正因子函数或校正因子表格的可能性,该校正因子函数 或校正因子表格在传感器的运行中可以用于补偿灵敏度的漂移和相位的漂 移。基于在该方法中所确定的测量结果,可以确定与温度相关的绝对相位 差和与温度无关的相对相位差,该相对相位差可以用作用于附加影响因子 的其他指标。

上面所提及的可能性中的每种都可以在没有现有技术中所使用的附加 电极的情况下实现,尤其是在探测装置的情况下。此外,这些可能性与所 施加的转速无关,并且因此在传感器的运行期间可以在没有其他限制的情 况下应用。也可以想到,使用附加的电极来影响FMS,并且以与根据本发 明的方法互补的方式使用这些附加的电极,以便改善可能的补偿的准确度, 并且因此有助于与转速无关地绝对地确定灵敏度。

本发明的概念基于以下基本思想:引起传递函数(即幅度响应和/或相 位响应)的受控变化,并在固定的驱动频率下求取增益的或相移的相对变 化以确定传递函数相对于频率轴的位置。在预给定的驱动频率下,只有在 已知施加的转速的情况下,探测信号才允许得出有关实际增益的结论。根 据等式3(除了能够通过解调确定的正交分量之外),探测信号还包含呈乘 积形式的增益G和转速Ω,从而仅仅基于探测信号不能实现这两种影响的分离。相反,在根据本发明的方法中,针对(由传递函数的受控变化引起 的)至少两个不同的增益确定正交分量sQuad,因此足够的信息可供用于确 定真实的增益。

借助等式4得出属于变化后的传递函数的正交信号sQuad,i,Δ=sQuad,i +ΔsQuad(属于变化后的传递函数的变量在下文中以附加的索引Δ标记,差 由置于变量前面的Δ标记)与属于未变化的传递函数的正交信号sQuad,i的比 率vi

如从等式中可以看出的那样,如此建立的比率与正交无关。在改变传 递函数之后,以下适用于转速的输出信号:

sΩ,i,Δ=(Gi+ΔGi)Ω(φi+Δφi) (6)

基于比率vi确定增益可以以通过等式1和2给定的增益特性曲线和相 位特性曲线的受控的水平偏移(尤其是通过固有频率的相应偏移)为例进 行描述(参见图3):由于根据等式1增益在低于固有频率的频率下严格单 调增长,而在高于固有频率的频率下严格单调下降,因此可以确定一个区 域,在该区域中,比率vi允许关于工作点的位置的唯一明确的结论。可以 基于相位特性曲线来执行类似的方案,即,其方式为:由机械上的相位变 化推断出特性曲线的位置。如果现在未知的外部影响(例如机械应力)作 用在驱动器或探测单元的FMS上并引起固有频率的变化ω0→ωi,则比率也 改变v0→vi。图4以更一般的形式图形地示出此过程。

上述实施方案(这些实施方案以受控的水平偏移为例详细地描述本发 明构思)可以转移到一般情况上,在该情况下,振荡弹簧质量系统的传递 函数的在很大程度上任意的、可再现且受控的影响可以用于求取由传递函 数给定的增益特性曲线和相位特性曲线上的工作点,并且因此最终确定由 外部影响引起的灵敏度变化。

除了应用固有频率的偏移作为补偿方法(无论以机械变型方案还是电 感应变型方案)之外,该方法还可以用于其他功能或其他应用替代方案。

根据一种优选的实施方式,在第二步骤中进行振荡系统的固有频率的 受控变化和/或进行振荡系统的品质因子的受控变化。根据等式1和2,固 有频率ω0和品质Q确定增益特性曲线和相位特性曲线的形状和位置。在此, 品质基本上确定曲线的宽度,即在最大值左侧和右侧边沿的下降,而固有 频率确定特性曲线相对于频率轴的位置。因此,这两个变量在本发明的方 法中均可以用于以受控且可逆的方式改变传递函数,并且使得能够通过正 交信号的上述测量实现灵敏度漂移的确定。

根据一种特别优选的实施方式,固有频率的变化通过振荡系统的弹簧 常数的受控变化而进行。弹簧常数与振荡物体的质量一起确定振荡系统的 固有频率,从而弹性常数的提高或降低直接导致固有频率的偏移,如上所 述,该偏移可以用于灵敏度漂移的确定。

根据一种优选的实施方式,在第三步骤之后且在第四步骤之前的第五 步骤中,进行传递函数的其他受控变化,并且确定转速传感器的其他正交 信号,其中,在第四步骤中,基于第一、第二和其他正交信号确定探测灵 敏度。以这种方式,通过一次重复或多次重复根据本发明的方法的第二和 第三步骤,可以有利地改善所求取的灵敏度漂移的准确度。在最简单的情 况下,例如可以在每次重复中求取灵敏度漂移,并且从如此求取的值中针 对漂移做出合适的选择或形成平均值。

根据一种优选的实施方式,在第四步骤之后的第五步骤中,基于在第 四步骤中确定的探测灵敏度来确定用于探测信号的补偿参量。为了能够将 比率vi用于补偿,可以预先(在初始条件下)建立矩阵或函数,该矩阵或 函数将变化后的比率vi与补偿因子CF相结合。这可以例如通过以下方法实 现:在确定的区域上测量比率vi,并且针对这些值中的每个确定所属的校正 因子。在最简单的情况下,可以通过以下方式建立校正因子:将属于已偏 移的固有频率的正交信号与参考信号相比:

图4以更一般的形式图形地示出该过程。因为该测量在初始条件下进 行,因此正交不受到任何变化的影响,由此校正因子与正交的可能变化无 关。然后,可以在另一步骤中将计算出的校正因子应用于经解调的探测通 道的(已经正交补偿的)输出信号:

由此得到如在初始条件下已经测量的结果,而无需测量正交或正交变 化。图5以更一般的形式图形地示出该过程。以相同的方式,可以计算和 应用用于机械上的相位变化的校正因子。

本发明的另一主题是根据本发明的另一技术方案的方法。根据本发明 的一个技术方案的方法基于一个振荡系统的传递函数的受控变化,而该变 型方案中使用同一传感器的两个振荡系统,这两个振荡系统在其传递函数 方面以定义的方式有所区别。比率vi相应地由两个系统的正交信号给定, 即在等式5中,变量sQuad,i由第一振荡系统的正交信号给定,并且变量sQuad,i,Δ 由第二振荡系统的正交信号给定。然而,上述考虑因素直接适用。

根据一种优选的实施方式,第一振荡系统的品质因子等于第二振荡系 统的品质因子,其中,第一振荡系统的质量与第二振荡系统的质量不同, 和/或,第一振荡系统的弹簧常数与第二振荡系统的弹簧常数不同。在该实 施方式中,两个系统的传递函数的不同由质量、弹簧常数和/或品质因子产 生。在此,质量与弹簧常数一起确定固有频率,从而通过增大或减小质量 得出使两个系统的固有频率彼此相对偏移的另一可能性。

根据一种优选的实施方式,在第四步骤之后的第五步骤中,基于在第 四步骤中确定的探测灵敏度来进行用于探测信号的补偿参量。以类似于上 面针对唯一的振荡系统的情况已经描述的那样的方式进行补偿参量的确定。

下述实施方式可以理解为根据本发明的一种技术方案的方法(改变一 个振荡系统的传递函数)和根据本发明的另一技术方案的方法(具有不同 传递函数的两个振荡系统)的变型方案。

根据一种优选的实施方式,转速传感器具有寄存器,该寄存器具有探 测灵敏度和补偿参量的多个值对,其中,通过从寄存器中选择一个值来进 行补偿参量,或者通过探测灵敏度与补偿参量之间的解析关系、尤其是线 性关系来确定补偿参量。因此,根据工作点的选择,尤其是也可以近似地 假设探测信号比v与补偿因子CF之间的线性关系。由此可以替换于表格等 而求取因子,从而可以通过v与该因子的相乘来计算CF。

根据该方法的一种优选的实施方式,在第一步骤中确定第一探测信号 并且在第二步骤中确定第二探测信号,其中,在第四步骤之后的第六步骤 中,基于第一探测信号和第二探测信号以及第一探测信号和第二探测信号 来求取对振荡系统的机械相位的温度影响。基于等式3和4以及探测模式 的偏移,可以针对绝对相位变化计算出以下关系:

由于在固有频率偏移的情况下研究同一FMS并形成比率,因此借助根 据本发明的方法确定增益特性曲线上的水平位置几乎与温度影响无关。但 是,以这种方式,也无法识别或补偿热干扰影响。然而,由固有频率的偏 移引起的相位变化的计算是绝对值,并且因此是温度的函数。因此,在本 发明方法的一种变型方案中,绝对的相位变化可以用作用于温度影响的指 标。

本发明的另一主题是一种转速传感器,该转速传感器具有振荡系统和 控制单元,其中,该转速传感器、尤其是该控制单元配置为用于实施根据 本发明的一种技术方案的方法。另一主题是一种转速传感器,该转速传感 器具有第一和第二振荡系统以及控制单元,其中,该转速传感器、尤其该 控制单元配置为用于执行根据本发明的另一技术方案的方法,或配置为用 于执行根据本发明的一种技术方案的方法和根据本发明的另一技术方案的 方法。根据本发明的方法的上述实施方式分别直接转移到根据本发明的转 速传感器的实施方式上。

附图说明

图1是振荡系统的示意图,该振荡系统由弹性支承的质量形成并且可 以通过电极装置被激发至振荡。

图2通过示出驱动振荡和探测振荡的增益特性曲线以及探测振荡的相 位特性曲线来说明振荡系统的传递函数。

图3示出初始化过程的流程图,在该初始化过程中,确定补偿参量的 多个值。

图4示出补偿过程的流程图,在该补偿过程中,确定用于探测信号的 补偿参量。

图5示出用于确定比率vi的流程图。

具体实施方式

图1是在转速传感器中所使用的振荡系统1的示意图。在此,振荡系 统1包括震动质量2,该震动质量通过弹簧装置3弹性地耦合至传感器基板 处,并且可以通过静电交变场被激发至振荡(驱动振荡或驱动模式)。用于 转速确定的一种常见的可能性在于,除了驱动模式之外,振荡质量2还具 有另一振荡模式,该另一振荡模式例如沿垂直于驱动振荡的方向延伸并用 作探测模式。施加在传感器处的转速导致驱动模式和探测模式的耦合,从 而探测模式的幅度(该探测模式的幅度取决于耦合的强度并且因此取决于 所施加的转速)可以用于测量转速。除了这种耦合之外,实际的传感器附 加地具有两种模式的(在大多数情况下非期望的)耦合,这些耦合一般称 为正交效应,并导致探测模式的与转速无关的激发。测量信号包含两个分 量,其中,然而,可以通过解调将正交信号与有用信号分离。如在图中所 表明的那样,可以通过电容的与探测振荡相关联的变化来探测测量信号, 该电容由质量2和基板固定的测量电极4形成。此外,可以通过测量电极 的偏压5来匹配系统的弹簧常数,并且因此实现固有频率的偏移。这表示 导致传递函数的根据本发明的受控变化的一种简单的可能性,因为在提高 或降低固有频率时,将传递函数朝更高或更低的频率偏移。

图2是在驱动频率下通过固有频率的偏移而产生的增益曲线和相位曲 线的图示,该驱动频率以锁相环((phase-locked loop,PPL)在全局最大值 处工作。示出的是驱动模式的增益特性曲线10(上部),探测模式的两个相 互偏移的增益特性曲线11、12(中部)和探测模式的两个相互偏移的相位 特性曲线13、14(下部)。在水平轴6上分别绘制频率。上部图形的竖直轴 7对应于增益Gdrive,中部图形的竖直轴8对应于增益Gsense,下部图形的竖 直轴9对应于相位φsense。竖直数量分别是对数的。

根据本发明的方法的一种实施方式基于以下方案:将振荡系统1在不 同固有频率下的增益或相位进行比较。图2通过增益特性曲线或相位特性 曲线10、11、12、13、14以图形方式示出通过等式1和2给定的、用于由 驱动FMS(上部)和探测FMS(中部和下部)组成的传感器的传递函数。 在该示例中,探测FMS受弹簧常数的增加的影响,由此系统的固有频率ω0并且因此特性曲线11、13整体朝更高的频率偏移(由箭头15表明)。曲线 的差能够通过分析处理所属的正交信号以简单的方式实现。如从等式5中 可以看出的那样,正交信号的比率直接对应于增益(即,在驱动频率下这 些增益对应于增益特性曲线11和12的值16和16‘)的比率vi。在图中, 驱动频率由竖直线35标记,并且对应于驱动模式得到最大增益Gdrive时的 频率。特性曲线11(及其偏移的对应部分12)的边沿具有在最大值左侧严 格单调增加的走向和在最大值右侧严格单调减小的走向。由比率vi的值, 在两个特性曲线均为单调的区域中,在已知固有频率的偏移的情况下,可 以唯一明确地推断出工作点。根据本发明的方法利用这种情况,以便由比 率确定真实的增益。

图3示出传感器的初始化的流程,其中,针对比率vi的不同值收集补 偿参量的所属值CFi(vi)。在此和在下文中,为了简单起见,基于具体的实 现方式借助固有频率的偏移来描述该流程,其中,然而,能够容易地将传 递函数的受控变化转移到一般情况上。该过程尤其是由传感器的控制单元 自动化地实施。

在方框17中开始初始化,并且在方框18中首先确定是否已经达到期 望数量的测量点。最初还不存在任何测量值,从而在方框20中将FMS的 固有频率偏移,并且随后在方框21中测量正交信号,并且由所测量的值和 属于未偏移的固有频率的正交信号的值来确定比率vi。在方框22中确定校 正因子CFi=vi/v,并在23中将其作为分配CFi(vi)保存在例如寄存器中。 一直重复序列18、20、21、22、23,直到在18中确定已经达到期望数量的 测量点,并且在19中结束该过程。

图4示出对由于干扰影响而引起的灵敏度变化或相位变化的补偿的流 程。在24中开始该过程之后,在25中确定比率vi,并且在26中从28中调 用所属的校正因子CFi(vi)(CFi(vi)在此例如可以作为表格或也可以作为函 数存在)。在27中结束该过程。

图5示出比率vi的确定的流程。在开始29之后,在30中测量正交信 号sQuad,i。在步骤31中将FMS的固有频率偏移,并且在随后的步骤32中测 量所属的正交信号sQuad,i,Δ。然后,在33中计算比率vi=sQuad,i,Δ/sQuad,i并且在 34中结束该过程。

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