具体实施方式

下面，对本发明的实施方式进行具体说明，但是本发明并不限定于此。在图的一部分或全部中，省略了说明中不需要的部分，并且，存在为了使得容易说明而以扩大或缩小等方式进行图示的部分。在本说明书中，使用“～”表示的数值范围是指包含在“～”的前后记载的数值作为下限值和上限值的范围。在本说明书中，“工序”这一用语不仅包含独立的工序，即使在无法与其它工序明确地区别的情况下，只要能实现工序的期望的目的，就也包含在本用语中。

图1表示本发明一个实施方式的Fe基软磁性非晶合金薄板的侧面的放大立体图。本发明一个实施方式的薄板例如可以是与图5相同的形态。薄板1的侧面25是从正面背面20侧分别相对于薄板1的厚度方向(在图面中为z方向)倾斜的倾斜面30的加工截面。图2是将薄板1沿着厚度方向切断而得到的截面图。在薄板1的厚度方向的截面(xz面)上，薄板1的侧面25为向端部去逐渐变细的V字形状。倾斜面30中，从V字形状的端部向正面背面20去的距离L的范围为由韧性断裂产生的断裂面85。在此，韧性断裂是指与塑性变形相伴的断裂，利用电子显微镜进行断裂面的组织观察时，在该断裂面可观察到微细的变形的痕迹，呈现出与脆性断裂和疲劳断裂的模式不同的断面。倾斜面从相对的正面背面20起分别连续，因此，不需要为了制成层叠铁芯而将薄板1的正面背面20区别地重叠，处理容易。

倾斜面30的大部分为断裂面85。断裂面85微观上是由倾斜不同的面构成的不连续的面，但只要宏观上是随着从平坦的正面背面20向薄板的边缘去而远离正面背面20那样的面即可。侧面25不仅包含在观察薄板1的厚度方向的截面时如图示那样的直线性地倾斜的倾斜面，还包含曲线性地倾斜的倾斜面和波动(波状起伏)的形态。另外，可以是，在与正面背面中的一个面连续的倾斜面和与正面背面中的另一个面连续的倾斜面中，倾斜面的形态和/或从V字形状的端部起的距离L的范围的断裂面85的区域不同。另外，也有断裂面为脉状组织的情况。已知脉状组织是非晶合金的特征性组织，也可在由拉伸产生的断裂面中观察到。脉状组织是由于产生由隔热引起的局部温度上升、粘性流动性地变形的结果而产生的。

在如上所述通过冲裁形成的薄板1中，由于毛刺120，正面背面20与侧面25(断裂面138)所成的角为锐角而向正面背面20侧突出。而在本发明的薄板1中，没有向正面背面20侧突出那样的毛刺，正面背面20与侧面25(倾斜面30)所成的角为钝角。图7表示将这样的薄板1堆叠而构成的层叠铁芯5的截面。如图示的那样，在层叠铁芯5中不会产生由毛刺引起的薄板1间的接触等干扰，能够制成由短路引起的涡流损耗的增加被抑制的层叠铁芯5。此外，在薄板1的侧面25中，成为V字形状的部分可以是一部分，但是优选成为V字形状的部分相对于侧面的周长为50％以上，更优选为80％以上。

在冲裁加工中难以消除在薄板的边缘产生的在厚度方向上突出的毛刺的产生。因此，本发明的发明人对由薄带得到规定形状的薄板的加工技术进行了各种研究。其中，得到了下述见解：通过使用汤姆森刀或旋转模切机将薄带切断，能够防止在薄板的厚度方向上突出的毛刺的产生。通过利用汤姆森刀与后述的底座(承受台)的组合、或模切辊与砧辊的组合，利用刀尖将薄带压溃而使其塑性变形并断裂，在得到的薄板上不会产生在剪切加工中会产生的在厚度方向上突出的毛刺，另外，该侧面25由具有断裂面85的倾斜面30构成，为如图1所示的前端变细的V字形状。

在层叠铁芯中，为了降低涡流损耗，优选薄板的板厚较薄。另一方面，存在薄板的板厚越薄，占空系数越受到表面的粗糙度、凹凸等的影响而降低的趋势。因此，Fe基软磁性非晶合金薄板(薄带)的厚度优选为10μm以上50μm以下。更优选为12μm以上，进一步优选为15μm以上。另外，更优选为45μm以下，进一步优选为40μm以下。Fe基软磁性非晶合金的薄带可以适当使用可市售获得的上述的METGLAS(注册商标)2605SA1等。

下面，参照附图对本发明的Fe基软磁性非晶合金薄板的制造方法进行具体说明。图3是包含旋转模切机的薄带的加工装置的结构图。旋转模切机由圆柱状的模切辊(diecut roll)350和砧辊(anvil roll)355构成，在使模切辊350和砧辊355旋转的同时，在它们之间插入片状的被加工物。被加工物是将Fe基软磁性非晶合金的薄带和非金属的薄带重叠而得到的，在从卷轴(spool)300卷出的Fe基软磁性非晶合金的薄带301的正面背面分别重叠从卷轴305卷出的非金属的薄带306，将Fe基软磁性非晶合金的薄带301在由非金属的薄带306夹着的状态下供给至旋转模切机。图4表示模切辊的外观立体图。在模切辊350的表面具有多个切割刀351。切割刀351的刀尖具有几μm～几十μm的宽度并且是平坦的，利用切割刀351将被供给至旋转模切机的被加工物按压在砧辊355的表面，从而将Fe基软磁性非晶合金的薄带301压溃而使其断裂。从被加工物裁切出的薄板1与从被加工物裁切出的非金属的端材一起被回收在容器370中。通过旋转模切机的被加工物被卷取在卷轴360上。

非金属的薄带306作为缓冲材料发挥作用，例如可以是厚度为10～150μm的膜状的树脂、日本纸或西洋纸。树脂优选聚乙烯、聚氯乙烯、丙烯酸树脂、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯。

即使模切辊的切割刀磨损，也不会产生在薄板的厚度方向上突出的毛刺，因此，能够稳定地制作具有V字形状的侧面的薄板。而且，当切割刀的磨损发展时，无法进行薄板的裁切，端部的一部分容易成为与Fe基软磁性非晶合金的薄带连接的状态。观察这样的分离的状态，作为切割刀的磨损程度的指标，能够进行切割刀的修正，因此，薄带的加工装置的维护管理变得容易。本发明并不限定于此，也可以是使用汤姆森刀的切断方法。

经由对Fe基软磁性非晶合金的薄带赋予某种形状的工序而得到的薄板，能够堆叠并由粘接剂等进行层叠一体化。在层叠工序中，优选下述方法：准备与薄板的形状相应的对齐治具和压板，在对齐治具内重叠期望的层叠块数的薄板，在其上下重叠压板进行层叠一体化。在Fe基非晶合金薄板间的粘接中，优选均匀地形成树脂层，但是在能得到需要的粘接强度的情况下，也可以是局部地形成树脂层。树脂向Fe基非晶合金薄板的赋予(供给)可以使用将液态树脂滴下或喷出到薄板上、或者将薄板浸渍在液态树脂中等方法。另外，也可以是采取了在对Fe基软磁性非晶合金薄板进行加工前使用涂敷器(涂敷装置)赋予树脂，或将薄带浸渍在液态树脂中等方法之后，经由赋予形状的工序进行层叠一体化。

薄板间的粘接所使用的树脂优选环氧类树脂、丙烯酸类树脂。这些树脂中，更优选耐热性高的树脂。

薄板间的树脂层的厚度越薄，越能够提高层叠铁芯的占空系数，因此优选。为了在得到期望的粘接力的同时得到高的占空系数(80％～98％)，薄板间的树脂层的厚度优选为1μm～5μm左右，更优选为1μm～3μm的范围内。不会在薄板的边缘产生在厚度方向上突出的毛刺，因此，能够使树脂层的厚度变薄，而且，即使使树脂层的厚度变薄，也能够抑制层叠铁芯的边缘部的体积变大。

图8表示Fe基软磁性非晶合金薄板的另一个实施方式的立体图。图示的薄板1用于旋转电机的层叠铁芯，具有圆环部7，沿着其内周具有旋转对称地设置的多个凸部6。图9是薄板的局部放大立体图。图示的薄板1为在内径侧具有多个侧面25的形状。这样的薄板1也利用与图5所示的薄板同样的方法制作，由此，不会在薄板1的边缘产生在厚度方向上突出的毛刺，能够使薄板1的侧面25为如图1所示的从正面背面20侧起分别相对于薄板1的厚度方向倾斜的倾斜面，并且为向端部去逐渐变细的V字形状。本发明中的薄板的形状没有特别限制，可以为各种形态。

图10表示将Fe基软磁性非晶合金薄板堆叠而构成的层叠铁芯的立体图。图示的层叠铁芯10被用作旋转电机的定子，重叠有几百块～几千块的薄板1。圆环部7被用作定子的后轭，凸部6成为极齿。得到的层叠铁芯10也能够成为由薄板1间的短路引起的涡流损耗的增加被抑制的层叠铁芯。

图11是表示使用本发明的层叠铁芯10的旋转电机的一个例子的示意图。如图11所示，本发明的旋转电机280在定子(层叠铁芯)10的内径侧隔着空隙设置有转子。在转子的外周配置有多个永磁体290。永磁体290以与定子10相对的一侧成为N极或S极的方式被磁化，并且以相邻的永磁体290的极性交替相反的方式等角度地配置。在图11所示的方式中，转子为8个极，但是磁极数并不限定于此。

在定子10的极齿6上设置有定子绕阻260，将基于转子的磁极的位置的三相交流电流供给至定子绕阻260，定子产生旋转磁场。旋转电机利用转子的永磁体260和旋转磁场，作为旋转电动机进行动作。在本发明中，通过将使用厚度薄至10～50μm、在厚度方向上没有毛刺的Fe基软磁性非晶合金薄板的层叠铁芯作为定子，能够实现能够以高效率动作的旋转电机。

[实施例]

作为Fe基软磁性非晶合金的薄带，准备了日立金属株式会社制造的Metglas(注册商标)2605SA1。薄带为长条形，其厚度为25μm和32μm，宽度为30mm。使用汤姆森刀或模切辊使Fe基软磁性非晶合金的薄带断裂，制作出图8所示的形状的薄板。薄板的外形尺寸为外径22mm、内径10mm。

(实施例1)

利用上述的旋转模切机，将Fe基软磁性非晶合金的薄带制成薄板。将厚度为25μm的Fe基软磁性非晶合金的薄带利用作为缓冲材料的厚度13μm的聚乙烯膜夹着作为被加工物，使砧辊和模切辊靠近，使被加工物通过，制作出薄板。模切辊的切割刀的刀尖具有15～30μm的宽度并且是平坦的，刀尖角度为30°。

(实施例2)

除了使用厚度为32μm的Fe基软磁性非晶合金的薄带以外，与实施例1同样地制作出薄板。

(实施例3)

将厚度25μm的Fe基软磁性非晶合金的薄带利用汤姆森刀切断，制作出薄板。安装汤姆森刀的裁断装置具有：使汤姆森刀向上下进行往复运动的驱动机构；和具有配置薄带的平坦的裁断面的底座，能够通过将汤姆森刀向裁断面移动而使薄板断裂。将Fe基软磁性非晶合金的薄带利用作为缓冲材料的厚度100μm的聚乙烯膜夹着作为被加工物，利用汤姆森刀施加150N的压力，使薄带断裂，制作出薄板。汤姆森刀也是刀尖具有20μm的宽度并且是平坦的，刀尖角度为45°。

对于实施例1～3中得到的薄板，利用基恩士(KEYENCE)制造的激光显微镜VK-X1000从正面背面侧观察薄板的侧面。图12表示观察实施例1的薄板的正面背面的侧面侧而得到的激光显微镜照片。另外，将各个薄板切断，通过研磨使埋入树脂中的切断面的侧面侧露出并观察。图13表示观察实施例1的薄板的断面(截面)的侧面侧而得到的激光显微镜照片。从得到的观察照片来看，其侧面均具有从正面背面起连续的倾斜面，整个倾斜面由因韧性断裂产生的断裂面构成，截面形状成为逐渐变细的V字形状。另外，均没有确认到在剪切加工中会产生的在厚度方向上突出的毛刺。通过薄板的正面背面侧的观察，对断裂面测量从侧面的V字形状的端部起的距离L，将成为最小最大的距离作为断裂面距离L表示在表1中。

[表1]

本发明的Fe基软磁性非晶合金薄板，其侧面在大致10～100μm的区域为断裂面，其截面向端部去变细。对于实施例1的薄板，将包含正面背面和倾斜面的270μm×202μm的区域作为评价区域，使用基恩士制造的激光显微镜VK-X1000，以50倍的倍率进行观察。图14表示薄板的表面轮廓。在正面背面20与倾斜面30所成的角部没有确认到在厚度方向上突出的毛刺，由此可知，在将本发明的薄板层叠而得到的层叠铁芯中，难以发生层间的电短路，能够容易地降低层叠铁芯的损耗。