具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。但是，本发明不限定于以下说明的实施方式。此外，在附图中为了说明实施方式，将一部分放大或者强调地记载等、适当地变更比例尺而表现。在以下的各图中，使用XYZ坐标系来说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将上下方向(铅垂方向)设为Z方向，将水平方向设为X方向、Y方向。Y方向是水平方向内的一个方向，且是后述的容器的插入方向。X方向是与Y方向正交的方向。此外，关于X、Y、Z方向的各方向，适当地将箭头所指的方向表现为+方向(例如，+X方向)，将箭头所指的方向的相反方向表现为-方向(例如，-X方向)。

[第一实施方式]

图1是表示第一实施方式所涉及的盖开闭装置100的一个例子的立体图。图2是从-X侧观察盖开闭装置100的图。图3是从-Y侧观察盖开闭装置100的图。图1至图3所示的盖开闭装置100具有容器主体1以及上盖2，对收容中间掩膜等物品的容器3的上盖2进行开闭。

容器3具备卡止机构4，在对容器主体1安装了上盖2的状态下该卡止机构4使上盖2相对于容器主体1卡止。容器3是对作为物品的中间掩膜R进行收容的中间掩膜盒。卡止机构4应用如下构成：在使设置于上盖2的水平方向的板部5a相对于容器主体1超过规定值地向上方转动时，卡止被解除。此外，关于容器3的详细情况将后述。本实施方式的盖开闭装置100为了从具有这种卡止机构4的容器3取出所收容的物品，将上述卡止机构4解除而使上盖2相对于容器主体1开闭。

盖开闭装置100具备载放台10、下侧引导部(引导部)20、上侧引导部30、以及升降机构40。图1至图3所示的盖开闭装置100示出将容器3配置为上下2段的方式，但不限定于该方式，也可以是载放一个容器3的方式，还可以是将3个以上容器3上下配置的方式。载放台10为，载放容器3的规定位置P被确定。载放台10是沿着Y方向延伸的2根棒状部件，在Z方向上排列多个且平行地配置。载放台10对容器3的+X侧的凸缘部1d以及-X侧的凸缘部1d进行支承，以与水平面平行的方式载放容器3。

载放台10的-Y侧端部相当于用于插入容器3的入口部分。容器3从该入口部分向+Y方向插入而配置于载放台10上。在载放台10的-Y侧的端部(入口部分)处设置有倾斜部11。倾斜部11形成为，从-Y侧的端部朝向+Y侧而向上侧(+Z侧)倾斜。通过设置倾斜部11，在插入容器3时容器3的凸缘部1d被从倾斜部11引导至载放台10，能够将容器3配置于适当的高度。此外，在各载放台10的内侧的面(-X侧的载放台10的+X侧的面，+X侧的载放台10的-X侧的面)上，分别设置有第二倾斜部11a。在插入容器3时，第二倾斜部11a与容器主体1中为了形成凸缘部1d而立设于底部的侧部(参照图4)相接触，将容器3(容器主体1)引导至X方向的适当位置并定位。此外，在各载放台10中，从-Y侧的端部起设置有第二倾斜部11a。

此外，盖开闭装置100在用于插入容器3的入口侧，设置有使2个载放台10之间的部分向下方侧凹陷而成的凹部12。通过设置该凹部12，例如在作业者等将容器3向载放台10上插入时或者将载放台10上的容器3取出时，不会妨碍作业者的手，作为其结果，容易把持容器3，而提高容器3的取出放入的便利性。在载放台10的+Y侧的上方设置有按压部13。按压部13配置于从载放台10的上表面向上方为容器主体1的凸缘部1d的厚度量的位置。按压部13为，在容器3被配置于规定位置P的情况下，配置于载放台10上的凸缘部1d的上表面侧，防止容器主体1向上方移动。

此外，也可以设置在容器3被配置于规定位置P的情况下、与容器主体1的+Y侧接触的未图示的限位器。该限位器也可以为，在容器3被配置于规定位置P时，限制容器主体1从容器3所配置的位置向+Y方向移动，将容器主体1在Y方向上进行定位。此外，盖开闭装置100具备保持部件14，该保持部件14用于限制配置于规定位置P的容器3脱离(向-Y方向移动)。保持部件14以使前端侧朝向盖开闭装置100的内侧的状态设置。保持部件14例如具备未图示的突起部，该突起部由未图示的弹性部件朝向内侧地弹性支承。该突起部为，在容器3被配置于规定位置P时，通过弹性部件向设置于凸缘部1d的台阶部1f(参照图4)的-Y侧突出，限制配置于规定位置P的容器3向-Y方向移动。此外，在图6、图7以及图9中省略保持部件14。

下侧引导部20相对于+X侧以及-X侧的各载放台10而设置在上方。下侧引导部20沿着载放台10所延伸的方向配置。下侧引导部20为，在容器3被沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P时，与设置于容器3的卡止机构4的板部5a的下表面抵接，使该板部5a相对于容器主体1超过规定值地向上方转动。下侧引导部20的上表面20a与板部5a的下表面抵接。下侧引导部20在入口侧(-Y侧)的前端部分设置有倾斜面或者曲面。在本实施方式中，在下侧引导部20的-Y侧的前端部分设置有曲面21。通过设置曲面21，在插入容器3时板部5a与曲面21接触，由此能够将板部5a适当地引导到下侧引导部20上。

下侧引导部20的里侧(+Y侧)的端部向上方弯曲，并安装于后述的上侧引导部30。下侧引导部20的上表面20a的+Y侧朝向上方弯曲，而形成限位器22。限位器22供配置于规定位置P的容器3的突出片2c的+Y侧的端部接触，由此进行限制以免容器3从规定位置P进一步向+Y方向移动。

上侧引导部30为，在两个下侧引导部20各自的上方，沿着下侧引导部20在Y方向上延伸设置。上侧引导部30与下侧引导部20被设置为平行。此外，上侧引导部30的Y方向的长度比下侧引导部20长。上侧引导部30为，在容器3被沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P为止时，在板部5a的上方与对置的上盖2的侧部2a的上表面抵接。通过设置上侧引导部30，在通过下侧引导部20使板部5a向上方转动时，能够从上方按压上盖2。即，通过由上侧引导部30和下侧引导部20将侧部2a以及板部5a夹住，由此能够在通过上侧引导部30限制侧部2a(上盖2)向上方移动的同时，通过下侧引导部20使板部5a向上方转动。

上侧引导部30相对于下侧引导部20在上下方向(Z方向)上隔开规定距离L地配置(参照图8)。该规定距离L例如是如下距离：能够在下侧引导部20与上侧引导部30之间夹着上盖2的侧部2a以及板部5a，而抑制上盖2的上升的同时使板部5a相对于容器主体1超过规定值地向上方转动(使板部5a的端部向上方移动)，而解除卡止机构4的卡止。此外，由于通过上侧引导部30的下表面30a按压上盖2的侧部2a的上表面，因此在通过下侧引导部20使板部5a向上方转动时，对上盖2向上方的移动进行限制，能够使卡止机构4的卡止可靠地解除。此外，通过在下侧引导部20与上侧引导部30之间夹着上盖2的侧部2a和板部5a来保持上盖2。即，下侧引导部20以及上侧引导部30作为上盖2的保持部起作用。此外，下侧引导部20的前端部分与上侧引导部30经由托架23而连结。下侧引导部20从限位器22附近向-Y方向延伸而以悬臂方式设置。通过托架23来连结下侧引导部20的前端部分与上侧引导部30，由此能够提高下侧引导部20的刚性，防止下侧引导部20的前端部分下垂。此外，托架23在图1中示出，在其他图中省略。

上侧引导部30例如安装于板状的升降部件31，通过升降部件31的升降而升降。此外，安装于上侧引导部30的下侧引导部20通过上侧引导部30以及升降部件31的升降而升降。即，下侧引导部20以及上侧引导部30与升降部件31一体地升降。升降部件31通过升降机构40而被升降。升降机构40的驱动，可以是通过传感器等对容器3被配置于规定位置P的情况进行检测而通过未图示的控制装置等自动地进行的构成，也可以是作业者对未图示的操作盘进行操作(手动操作)来进行的构成。

升降机构40使上盖2相对于卡止机构4的卡止被解除的容器主体1上升。此外，升降机构40不限定于使上盖2相对于容器主体1上升的构成，也可以是使容器主体1相对于上盖2下降的构成，还可以是使上盖2上升并且使容器主体1下降的构成。升降机构40具有升降驱动部41。升降驱动部41使升降部件31升降。作为升降驱动部41，例如使用气缸装置等。通过使升降部件31升降，由此如上述那样，能够使保持了上盖2的下侧引导部20以及上侧引导部30相对于容器主体1而升降。

此外，在升降部件31的+Y侧的端部设置有罩部32。罩部32从升降部件31的+Y侧的端部朝向下方弯曲地设置，并从升降部件31的端部下垂地配置。罩部32例如设置为格栅状，在作业者将手伸入壳体70内时进行限制，以免手伸入到配置在比壳体70靠里侧的位置的各种装置(例如，中间掩膜R的搬运装置)工作的区域。此外，罩部32与升降部件31一体地升降，在升降部件31的下降时配置在载放台10的+Y侧(设置在壳体70的背面部73的未图示的开口部)，在升降部件31的上升时与升降部件31一起上升，而使容器主体1的+Y侧开放。因此，在使上盖2上升了时，能够从盖开闭装置100的+Y侧(未图示的开口部)取出放入载放于容器主体1的中间掩膜R。

图4是表示容器3的一个例子的分解立体图。图5的(A)是将容器3的卡止机构4的卡止解除后的图，(B)是使上盖相对于容器主体向上方移动了的图。如图4以及图5所示那样，容器主体1例如为矩形板状。容器主体1具有对矩形板状的中间掩膜R进行支承的多个支承部1a。多个支承部1a分别配置在与中间掩膜R的角部对应的4处。在各支承部1a设置有定位部1b。定位部1b对中间掩膜R的+Y侧以及-Y侧进行支承，防止中间掩膜R的Y方向的位置偏移。此外，在容器主体1设置有定位部1c。定位部1c对中间掩膜R的+X侧以及-X侧进行支承，防止中间掩膜R的X方向的位置偏移。此外，容器主体1中的中间掩膜R的支承方法是任意的，不限定于上述构成。

在容器主体1的+X侧以及-X侧分别具有凸缘部1d。凸缘部1d沿着容器主体1的对置的2条边而形成。凸缘部1d沿着Y方向延伸，且与容器主体1的底部平行。凸缘部1d具有相对于底部沿着Z方向立设的侧部，从该侧部起沿着X方向设置为凸缘状。该凸缘部1d通过台阶部而配置于比容器主体1的底部靠上方的位置。在凸缘部1d的一部分具有卡止部1e。卡止部1e在凸缘部1d中设置于长边方向即Y方向的大致中央部。此外，在凸缘部1d的边缘部，在+Y侧以及-Y侧设置有台阶部1f。该台阶部1f(+Y侧的台阶部1f)为，在容器3被配置于规定位置P时，与上述保持部件14(参照图1等)的未图示的突出部卡止，限制容器3向-Y方向移动。

上盖2具有侧部2a、侧壁部2b、以及突出片2c。侧部2a例如在俯视时分别突出地设置于矩形状的顶板部分的+X侧以及-X侧。侧壁部2b在俯视时为矩形框状，且沿着顶板部的外周而设置。侧壁部2b被设置为在容器主体1中能够插入到两个凸缘部1d(立设于底部的一对侧部)之间的大小。突出片2c被设置为，在侧部2a的+Y侧分别从侧壁部2b向外侧突出。突出片2c的厚度尺寸被设定为，突出片2c能够插入到上述下侧引导部20与上侧引导部30之间。突出片2c通过+Y侧端部与下侧引导部20的限位器22接触，由此对载放台10上的容器3的插入方向的位置进行规定。

此外，容器3具有卡止机构4。卡止机构4具有卡止部件5、轴6、以及弹性部件7。这些卡止部件5、轴6以及弹性部件7设置于上盖2。卡止部件5配置在侧部2a的下方。卡止部件5具有板部5a、下垂部5b、以及爪部5c。板部5a沿着侧部2a在水平方向上延伸，且相对于侧部2a隔开规定间隔地配置在下方。下垂部5b是从板部5a的侧壁部2b侧向下方折曲的部分。爪部5c设置于下垂部5b的下端，且卡止于容器主体1的卡止部1e。

轴6配置于板部5a的侧壁部2b侧，且以轴心方向成为Y轴方向的方式设置于上盖2(侧部2a)。轴6能够旋转地支承卡止部件5。即，卡止部件5能够以轴6为中心旋转。换言之，板部5a被设置为能够围绕轴6转动，随着板部5a的转动而下垂部5b以及爪部5c相对于容器主体1(卡止部1e)的位置变化。当板部5a围绕轴6向上方(+Z轴方向)转动时，下垂部5b以及爪部5c从容器主体1分离。当板部5a围绕轴6向下方(-Z轴方向)转动时，下垂部5b以及爪部5c与容器主体1接近。弹性部件7配置在板部5a与侧部2a之间。弹性部件7例如使用螺旋弹簧等，对板部5a施加向下的弹力。

如图5的(A)所示那样，在对板部5a朝上地施加了比弹性部件7的弹力大的力的情况下，板部5a的端部向接近侧部2a的方向转动，作为其结果，卡止部件5以轴6为中心转动。在板部5a相对于容器主体1超过规定值地向上方转动了的情况下，或者侧部2a的上表面与板部5a的端部的下表面之间的距离变得小于规定的距离L(参照图8)的情况下，成为爪部5c从容器主体1分离且从卡止部1e脱离的状态。通过爪部5c从卡止部1e脱离，由此卡止机构4对上盖2的卡止被解除。在卡止机构4对上盖2的卡止被解除了的状态下，在俯视时爪部5c与卡止部1e不重叠。

如图5的(B)所示那样，在卡止机构4的卡止被解除了的状态下，通过使上盖2向上方移动，由此上盖2从容器主体1远离。其结果，成为上盖2被从容器主体1取下而容器3打开了的状态(能够取出或者载放中间掩膜R的状态)。此外，在卡止机构4的卡止被解除了的状态下，即便使容器主体1下降，也可以成为容器3相对于容器主体1向上方移动了的状态。此外，通过上盖2被安装于容器主体1且该容器3被从载放台10取出(即板部5a从下侧引导部20远离)，由此通过弹性部件7将板部5a按压而向下方转动，通过使卡止部件5转动而使爪部5c向容器主体1接近，由此返回到爪部5c卡止于卡止部1e的状态。

接下来，使用图6至图9对在上述盖开闭装置100中配置容器3并将上盖2打开的动作的一个例子进行说明。此外，在图6至图9中，将一个容器3作为例子进行说明。图6是表示将容器3配置于载放台10之前的状态的图。如图6所示那样，容器3配置在一个载放台10的入口部分的近前侧(-Y侧)。该容器3例如也可以是被作业者手持的状态，也可以是由机械手等保持的状态。

容器3例如被配置为，容器3的凸缘部1d成为载放台10的高度。从该状态起，将容器3向+Y方向插入而使容器3配置于规定位置P。此外，在插入容器3时，即使在凸缘部1d的高度低于载放台10的情况下，通过凸缘部1d与倾斜部11接触而被引导，也能够在将凸缘部1d载放于载放台10的状态下插入容器3。当容器3被插入时，卡止机构4的板部5a到达下侧引导部20的曲面21。该板部5a通过与曲面21接触，由此被适当地引导到下侧引导部20上。当板部5a被引导到下侧引导部20上时，板部5a成为通过下侧引导部20而被向上方转动了的状态。即，在将容器3插入到规定位置P的中途，板部5a成为通过下侧引导部20而向上方被转动了的状态。

此外，当容器3被插入时，上盖2的侧部2a与上侧引导部30接触而被引导。此外，在插入容器3时，侧部2a开始与上侧引导部30接触的定时，比板部5a开始被下侧引导部20引导的定时靠前。容器3为，从插入的中途起，在侧部2a被上侧引导部30引导并且板部5a被下侧引导部20引导的状态下被插入到规定位置P。此外，在板部5a通过下侧引导部20而向上方被转动了的状态下，卡止机构4解除卡止。此外，容器3被插入到突出片2c与限位器22接触为止。作业者通过将容器3插入到停止(无法进一步压入的状态)为止，由此能够容易地使容器3配置于规定位置P。

图7是表示将容器3配置于规定位置P了的状态的图。图8的(A)是将图7的主要部分放大表示的图。图8的(B)是示意地表示图7所示的状态下的上盖2的卡止机构4的一个例子的图。如图7所示那样，在容器3被配置于载放台10的规定位置P的状态下，侧部2a以及板部5a被下侧引导部20与上侧引导部30夹持，上盖2由下侧引导部20以及上侧引导部30所保持。

如图8的(A)以及(B)所示那样，上盖2两侧的板部5a被下侧引导部20引导，板部5a克服弹性部件7的弹力，而成为相对于容器主体1(容器3)向上方转动了的状态。此外，上盖2的侧部2a的上表面与上侧引导部30的下表面30a抵接。此外，在板部5a被向上方转动了时，对上盖2作用朝向上方的力。该力由上侧引导部30承接，由此上盖2的上下方向的位置被维持。如图8的(B)所示那样，下侧引导部20的上表面20a与上侧引导部30的下表面30a之间被设定为规定的距离L。该规定的距离L是使板部5a向上方转动而使卡止机构4的卡止解除所需要的距离。即，板部5a通过下侧引导部20而被向上方转动到成为规定的距离L为止，由此能够使卡止机构4的卡止可靠地解除。

此外，侧部2a通过上侧引导部30而向上方的移动被按压。因此，能够防止板部5a被向上方转动时上盖2向上方移动，使板部5a相对于容器主体1可靠地向上方转动。通过该板部5a向上方转动，卡止部件5以轴6为中心转动，爪部5c从容器主体1的卡止部1e脱离。作为其结果，卡止机构4的卡止被解除，能够使上盖2相对于容器主体1向上方移动。此外，容器3在被配置于规定位置P的期间，卡止机构4的卡止被解除的状态得到维持。

图9是表示将上盖2打开的动作的一个例子的图。如图9所示那样，通过升降机构40的升降驱动部41使升降部件31上升，由此与升降部件31一体的下侧引导部20以及上侧引导部30上升。上盖2两侧的侧部2a以及板部5a被夹在下侧引导部20与上侧引导部30之间而被保持，因此通过下侧引导部20以及上侧引导部30的上升而上盖2也相对于容器主体1上升。通过上盖2上升，由此成为容器主体1的上面侧被开放的状态，能够相对于容器主体1取出或者载放中间掩膜R。

此外，下侧引导部20的上表面20a供板部5a的下表面滑动，上侧引导部30的下表面30a供上盖2的侧部2a的上表面滑动。因此，下侧引导部20的上表面20a以及上侧引导部30的下表面30a的一方或者双方，可以施加降低摩擦的加工，也可以形成用于降低摩擦的被膜。通过应用这样的降低摩擦的构成，能够在容器3的插入或者取出时降低颗粒的产生。此外，下侧引导部20的上表面20a也可以形成为内侧向下方倾斜的状态，以便在卡止机构4的卡止被解除的状态、即板部5a向上方转动了的状态下，该上表面20a与板部5a的下表面彼此进行接触。通过该构成，板部5a由下侧引导部20稳定地支承。

如此，根据本实施方式所涉及的盖开闭装置100，在容器3被沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P时，下侧引导部20与板部5a的下表面抵接而使板部5a相对于容器主体1超过规定值地向上方转动，由此解除卡止机构4。即，仅通过将容器3沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P，就能够解除容器3的卡止机构4，因此不需要用于解除卡止机构4的促动器，能够抑制装置的大型化，此外，由于不存在促动器等可动部，因此能够降低颗粒的产生。

[第二实施方式]

图10是表示第二实施方式所涉及的盖开闭装置200的一个例子的立体图。如图10所示那样，盖开闭装置200在第一实施方式所涉及的盖开闭装置100的构成的基础上，具有：能够对用于插入容器3的入口部分进行开闭的闸门50；对闸门50进行开闭的闸门驱动机构60；以及包围上述盖开闭装置100的壳体70。闸门50以及闸门驱动机构60针对插入容器3的每个入口部分(每个载放台10)而设置。壳体70具有两个侧壁部71以及背面部73。侧壁部71分别配置在盖开闭装置200的+X侧以及-X侧。此外，在图10所示的盖开闭装置200中省略升降机构40的记载。在壳体70的背面部73设置有未图示的开口部。该开口部与载放于载放台10的容器3对应地设置。容器3所收容的中间掩膜R的取出或者中间掩膜R向容器3的载放，经由未图示的开口部来进行。

闸门50例如为板状，配置在壳体70的两个侧壁部71的相互之间。在闸门50上分别设置有能够视觉观察壳体70内的窗部50a。闸门50能够移动为将插入容器3的入口部分封闭的关闭状态以及使入口部分开放的打开状态。闸门50在关闭状态下沿着平面的方向为上下方向，在打开状态下沿着平面的方向为水平方向或者大致水平方向。在闸门50上，在X方向的两端侧且是关闭状态下的上端侧分别设置有连结部51。在两个侧壁部71分别设置有与连结部51移动的轨迹对应的槽部72。闸门50从连结部51悬吊(悬臂支承于连结部51的状态)设置。沿着X方向观察，槽部72设置为向上凸出的圆弧状。槽部72的长边方向的长度被设定为使闸门50成为打开状态所需要的长度。槽部72的宽度(与长边方向正交的长度)被设定为连结部51移动所需要的宽度。

此外，闸门50在关闭状态下的下方且是内面侧具有磁铁52(参照图11、图12等)。盖开闭装置200在载放台10的下方具有供上述磁铁52吸附的被吸附部53。此外，也可以在闸门50上设置被吸附部53，在载放台10的下方设置磁铁52。

闸门驱动机构60具有驱动部61、连杆部件62、以及闸门支承辊63(参照图12)。驱动部61例如使用气缸装置，但不限定于该构成，例如也可以使用电动马达以及滚珠丝杠机构等其他构成。本实施方式所涉及的驱动部61具有缸体61a以及轴61b。缸体61a通过沿着X方向设置的轴部件61d而支承于侧壁部71。缸体61a能够以轴部件61d为中心围绕X轴旋转。轴61b能够在从缸体61a突出的方向以及收容于缸体61a的方向上往复移动。在轴61b的前端设置有轴承部61c。

连杆部件62将闸门驱动机构60的驱动部61与闸门50的连结部51进行连结，将驱动部61的驱动力经由连结部51传递到闸门50。连杆部件62例如为三角形状的板状体。连杆部件62的3个角部中的一个角部由轴部件62a支承于侧壁部71。连杆部件62能够以轴部件62a为中心围绕X轴旋转。此外，连杆部件62的3个角部中的与上述角部不同的一个角部与轴61b的前端的轴承部61c连结。连杆部件62能够相对于轴承部61c围绕X轴相对旋转。此外，连杆部件62的3个角部中的与上述2个角部不同的一个角部连结于连结部51。连杆部件62能够相对于连结部51围绕X轴相对旋转。

图11的(A)至(C)以及图12的(A)至(C)是表示对闸门50进行开闭的动作的一个例子的图。图11表示侧壁部71外侧的状态，图12表示侧壁部71内侧的状态。此外，闸门50的开闭可以由未图示的控制装置来自动地进行，也可以通过作业者的手动操作来进行。此外，在图11以及图12中，使上下两个闸门50同时驱动，但也能够使其分别独立地驱动。

如图11的(A)所示那样，通过使驱动部61的轴61b成为从缸体61a突出规定长度的状态，由此连杆部件62以轴部件62a为中心而配置在顺时针方向的端部。在该情况下，如图12的(A)所示那样，闸门50的连结部51配置在槽部72的近前侧(-Y侧)的端部。在该连结部51的位置上，闸门50向闸门支承辊63的近前侧下垂，闸门50成为关闭状态。此外，在闸门50在关闭状态下成为配置于下端的磁铁52吸附于被吸附部53的状态。因此，闸门50的关闭状态被维持。

通过闸门50成为关闭状态，由此能够抑制来自外部的颗粒的侵入。此外，如图12的(A)所示那样，成为在升降部件31(下侧引导部20以及上侧引导部30)的上方不存在闸门50的状态。因此，在闸门50的关闭状态下，下侧引导部20以及上侧引导部30能够不与闸门50干涉地升降。另一方面，插入容器3的入口部分被闸门50封闭，因此无法插入容器3。

接下来，如图11的(B)所示那样，通过使轴61b在向缸体61a收容的方向(收缩的方向)移动，由此连杆部件62以轴部件62a为中心逆时针旋转。通过连杆部件62的旋转，如图12的(B)所示那样，连结部51被朝里侧(+Y侧)拉动，闸门50以闸门支承辊63为支点旋转，由此成为磁铁52从被吸附部53脱离而闸门50逐渐打开的状态。然后，在闸门50的内面侧支承于闸门支承辊63的状态下，闸门50向里侧(+Y方向)移动。

如图11的(C)所示那样，通过使轴61b进一步收容于缸体61a，由此连杆部件62以轴部件62a为中心进一步逆时针旋转。通过连杆部件62的旋转，如图12(C)所示那样，连结部51移动到槽部72的里侧(+Y侧)的端部为止。通过连结部51的移动，在闸门50的内面侧由闸门支承辊63支承的状态下，闸门50向里侧(+Y方向)移动。其结果，闸门50成为大致与水平方向平行的姿势，在关闭状态下闸门50的上侧部分被收容于壳体70，而闸门50成为打开状态。

在闸门50的打开状态下，插入容器3的入口部分成为被开放的状态。因此，容器3能够不与闸门50干涉地插入到载放台10上。另一方面，在闸门50的打开状态下，在升降部件31(下侧引导部20以及上侧引导部30)的上方配置有闸门50。因此，升降部件31(下侧引导部20以及上侧引导部30)由于与闸门50干涉而无法升降。作为其结果，在闸门50的打开状态下，能够防止上盖2从容器主体1上升、从而中间掩膜R露出。

此外，在使闸门50从打开状态成为关闭状态时，通过与上述相反的动作，使连结部51位于槽部72的近前侧(-Y侧)的位置。作为其结果，闸门50从连结部51下垂，如图11的(A)以及图12的(A)所示那样，成为将插入容器3的入口部分封闭的状态。

如此这般，根据第二实施方式所涉及的盖开闭装置200，与第一实施方式同样，仅通过将容器3沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P为止，就能够解除容器3的卡止机构4，因此能够抑制装置的大型化。并且，根据盖开闭装置200，由于具备能够对容器3的入口侧进行开闭的闸门50，因此能够抑制外部空气向盖开闭装置200内流入。

以上，对实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述的说明，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。例如，在上述实施方式中，以在载放台10的入口侧的端部设置有倾斜部11的构成为例进行了说明，但不限定于该构成，也可以是不设置倾斜部11的构成。此外，也可以代替倾斜部11而设置曲面。

此外，在上述实施方式中，以在下侧引导部20的入口侧的前端部分设置有曲面21的构成为例进行了说明，但不限定于该构成，也可以是代替曲面21而设置倾斜面的构成。此外，也可以是不设置倾斜面以及曲面21的双方的构成。

此外，在上述实施方式中，以在容器3被沿着水平方向插入到载放台10的规定位置P时，具备在板部5a的上方与对置的上盖2的侧部2a的上表面抵接的上侧引导部30的构成为例进行了说明，但不限定于该构成。上侧引导部30也可以是代替与侧部2a的上表面抵接而与上盖2的上表面的一部分抵接的构成。此外，也可以不设置上侧引导部30。例如，在容器3较重的情况下，即使通过下侧引导部20使板部5a向上方转动，容器3(上盖2)也不会同时向上方移动。因此，在这种容器3的情况下，也可以不设置上侧引导部30。

此外，在上述实施方式中，以下侧引导部20以及上侧引导部30在解除了卡止机构4的卡止的状态下保持上盖2的构成为例进行了说明，但不限定于该构成。例如，也可以是在通过下侧引导部20以及上侧引导部30解除卡止机构4的卡止的同时通过其他保持部对上盖2进行保持并使其上升的构成。

此外，在上述实施方式等中说明过的要件的一个以上有时被省略。此外，在上述实施方式等中说明过的要件能够适当地组合。此外，只要法律允许，则将日本专利申请特愿2019-030400以及在上述实施方式等中引用的全部文献的公开内容援用作为本文的记载的一部分。

符号的说明

G：槽

L：规定的距离

P：规定位置

R：中间掩膜

1：容器主体

2：上盖

2a：侧部

2c：突出片

3：容器

4：卡止机构

5：卡止部件

5a：板部

5c：爪部

10：载放台

11：倾斜部

20：下侧引导部(引导部)

20a：上表面

21：曲面

30：上侧引导部

30a：下表面

40：升降机构

41：升降驱动部

50：闸门

52：磁铁

53：被吸附部

60：闸门驱动机构

61：驱动部

62：连杆部件

71：槽部

100、200：盖开闭装置。