具体实施方式

将参照附图描述蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器的优选实施例。

<第一实施例>

如图1所示，本实施例的用于蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1(下文简称为“压力传感器1”)用于蒸发燃料处理装置6，蒸发燃料处理装置6包括燃料箱61和被配置成吸附从燃料箱61排放的蒸发燃料的滤罐62。蒸发燃料泄漏检测器通过泄漏检查来检测包括燃料箱61和滤罐62的装置中的蒸发燃料泄漏。换言之，蒸发燃料泄漏检测器被配置成通过使用泄漏检查来确定是否存在蒸发燃料泄漏的可能性。

如图2至4所示，压力传感器1包括传感器单元2、外壳3和密封树脂4。传感器单元2包括：压力接收部21，其用于检测被施加到压力接收表面210的流体R的压力；和成型树脂部(mold resin portion)22，其覆盖压力接收部21的除了压力接收表面210之外的表面。外壳3包括用于将流体R引到压力接收表面210的流体流动路径31、以及连接到流体流动路径31的壳体凹部32。传感器单元2容纳在外壳3的壳体凹部32中。密封树脂4被布置在壳体凹部32中，并且被配置成至少覆盖成型树脂部22的位于压力接收表面210的相反侧上的后表面223。

下面将详细描述该实施例的压力传感器1。现在将描述降压泄漏检查模块10。

如图1所示，压力传感器1被附接到具有燃料箱61和滤罐62的车辆蒸发燃料处理装置6，并且是降压泄漏检查模块(ELCM)10的一部分，降压泄漏检查模块(ELCM)10被配置成蒸发燃料泄漏检测器以检查燃料箱61和滤罐62中的泄漏。降压泄漏检查模块10设有：降压泵51，其用于将燃料箱61的内部和滤罐62的内部减压到一减压状态；螺线管阀52，其被配置成将滤罐62的连接切换为连接到对大气敞开的大气管道55或连接到降压泵51；以及压力传感器1，其设置成检测第一管道53A内的压力。第一管道53A的内部通过降压泵51降压。

降压泵51、螺线管阀52、压力传感器1等电连接到控制器8。压力传感器1布置在连接降压泵51和螺线管阀52的第一管道53A中。滤罐62和螺线管阀52通过第二管道53B连接。绕过螺线管阀52的旁通管54连接到第一管道53A和第二管道53B。在旁通管54中设置孔口541。

燃料箱61和滤罐62通过蒸汽管63连接，蒸发的燃料通过蒸汽管63排出。蒸汽管63可以设置有密封阀631，当燃料箱61中的蒸发的燃料向滤罐62排放时，密封阀631打开蒸汽管63。滤罐62和发动机(内燃发动机)7的进气管71通过放泄管(purge pipe)64连接。放泄阀641设置在放泄管64中。当燃料组分从滤罐62向进气管71排放时，放泄阀641打开放泄管64。

降压泵51也被称为真空泵，并且可以对滤罐62、燃料箱61、第一管道53A、第二管道53B和旁通管54抽气。当燃料箱61、滤罐62等被降压泵51抽气时，放泄管64的放泄阀641被关闭。

螺线管阀52由电磁阀(electromagnetic valve)制成。螺线管阀52能在将滤罐62的内部向大气打开的打开位置521和将滤罐62的内部连接到降压泵51的降压位置522之间切换。当螺线管阀52切换到降压位置522时，第一管道53A和第二管道53B经由螺线管阀52彼此连通，使得第一管道53A、第二管道53B和旁通管54彼此连通。

设置在旁通管54中的孔口541被用于模拟预定泄漏状态，该预定泄漏状态指示由降压泵51抽气的路径中的泄漏可容许范围的上限值。本实施例的孔口541模拟在抽气的路径中形成直径为0.5mm的孔的状态。当通过孔口541形成伪泄漏状态时，螺线管阀52处于打开位置521，并且从降压泵51通过第一管道53A、螺线管阀52和穿过孔口541的旁通管54循环的路径被抽真空。因此，压力由压力传感器1检测到。在该状态下，由压力传感器1检测到的压力变成泄漏可容许参考值(leakage allowable reference value)的压力。

另一方面，当执行泄漏检测时，螺线管阀52位于降压位置522，使得降压泵51对燃料箱61、滤罐62等的内部抽气。此时，如果压力传感器1检测到的压力等于或小于泄漏可容许参考值，则确定不存在泄漏，并且如果压力传感器1检测到的压力超过泄漏可容许参考值，则确定存在泄漏。

螺线管阀52通常位于打开位置521，并且滤罐62的内部在正常状态下能被保持处于大气压。

接下来，将描述蒸发燃料处理装置6。

如图1所示，在车辆中，使用蒸发燃料处理装置6，使得作为燃料箱61中的气体的一部分的蒸发燃料不被释放到大气中。燃料箱61中的蒸发的燃料被存储在滤罐62中，然后排放到发动机7的进气管71，或者绕过滤罐62并排放到发动机7的进气管71。然后，蒸发燃料的燃料组分被用于发动机7中的燃烧。

通过操作被布置在进气管71中的节流阀72来调节从进气管71供应到发动机7的燃烧空气A的流速。发动机7设置有喷射从燃料箱61供应的燃料F的燃料喷射装置(未示出)。

接下来，将描述燃料箱61。

如图1所示，燃料箱61存储用于发动机7的燃烧操作的燃料F。燃料箱61包括燃料供应端口611、蒸汽端口612和燃料泵(未示出)。燃料供应端口611用于接收从外部填充到燃料箱61的燃料F。蒸汽端口612连接到蒸汽管63。在向发动机7的燃料喷射装置供应燃料F时使用燃料泵。燃料泵将燃料箱61的液相燃料F供应到燃料喷射装置。

燃料盖613设置在燃料箱61的燃料供应端口611处，并且在正常操作期间关闭燃料供应端口611。在补给燃料期间移除燃料盖613以打开燃料供应端口611。此外，车辆设置有在正常操作期间覆盖燃料盖613的燃料罩(fuel lid)(未示出)。燃料罩使得能够在补给燃料期间移除/附接燃料盖613的操作。

将描述滤罐62。

如图1所示，滤罐62包括滤罐外壳621和诸如活性炭的吸附剂622。吸附剂622设置在滤罐外壳621中并且吸附蒸发的燃料(即，燃料蒸汽)。滤罐62的滤罐外壳621包括入口623、出口624和压力释放口625。入口623连接到蒸汽管63并允许气体进入。出口624连接到放泄管64并允许燃料组分离开。压力释放口625连接到第二管道53B和螺线管阀52，以便向大气打开。当蒸发的燃料(即气体燃料)从燃料箱61的气相向滤罐62排放时，并且当螺线管阀52处于打开位置521时，压力释放口625通过大气管55向大气打开。在滤罐62中，蒸发的燃料中的燃料组分被吸附剂622吸附，同时滤罐62中的压力变得等于大气压力。

由滤罐62的吸附剂622吸附的燃料组分穿过放泄管64并且排放到发动机7的进气管71。此时，螺线管阀52处于打开位置521，滤罐62的压力释放口625向大气打开，并且放泄管64被放泄阀641打开。由吸附剂622吸附的燃料组分通过因穿过压力释放口625进入滤罐62的大气的压力与进气管71中的负压之间的压力差所引起的气流而被排放到发动机7的进气管71。

接下来，将描述压力传感器1的传感器单元2。

如图2和图3所示，传感器单元2的压力接收部21通过使用压阻半导体构造。压阻半导体利用压阻效应，其中压阻效应是当物质受到应力时电阻变化的现象。压力接收部21包括电路部分211和围绕电路部分211的绝缘凝胶(insulating gel)212，在电路部分211中形成诸如惠斯通电桥(Wheatstone bridge)的检测电路。传感器端子从电路部分211引出到凝胶212和成型树脂的外部。

在本实施例中，在外壳3的轴向方向L上，压力接收部21的压力接收表面210所在的侧被称为压力接收侧L1，而与压力接收表面210相反的侧被称为后侧L2。换句话说，壳体凹部32的布置压力接收部21的压力接收表面210的侧被称为压力接收侧L1，壳体凹部32的与压力接收侧L1相反的侧被称为后侧L2。

传感器单元2的成型树脂部22由具有优异耐热性的热塑性树脂等制成。压力接收部21的压力接收表面210形成为压力接收部21的前表面，其未被成型树脂部22覆盖。压力接收表面210位于从成型树脂部22的表面向后侧L2凹陷的一位置处。成型树脂部22覆盖压力接收部21的除了压力接收表面210所位于的前表面之外的部分。

如图2和3所示，本实施例的成型树脂部22包含噪声去除电容器23，噪声去除电容器23配置成去除影响传感器单元2的压力检测的噪声(电磁噪声)。电容器23由单块陶瓷电容器等制成，其中层压多个电极和电介质。电容器23具有阻断直流电流同时使交流电流通过的特性。电容器23被配置成通过将压力接收部21的电路部分211等接地来去除叠加在电路单元211上的交流分量。电路单元211、电容器23等的布线电连接到多个导电端子213。

接下来，将详细地描述压力传感器1的外壳3。

如图2和图3所示，压力传感器1的外壳3容纳传感器单元2并且被构造成将流体R引入到传感器单元2的压力接收部21中。外壳3设置在降压泄漏检查模块10中，如图1所示，降压泄漏检查模块10包括降压泵51、螺线管阀52等。外壳3的流体流动路径31沿外壳3的轴向方向L形成。外壳3的轴向方向L是垂直于传感器单元2的压力接收部21的压力接收表面210的方向。流过流体流动路径31的流体R的压力从流体流动路径31竖直地施加到压力接收部21的压力接收表面210。

外壳3的壳体凹部32形成为容纳传感器单元2的尺寸。壳体凹部32具有装配部321和填充部322，其中传感器单元2的成型树脂部22的压力接收部222A装配到装配部321中，填充部322连接到装配部321以填充密封树脂4。此外，在装配部321与流体流动路径31之间形成扩大的流动路径部分311，在扩大的流动路径部分311中，从流体流动路径31流向压力接收部21的压力接收表面210的流体R的流动被扩大。

定位在成型树脂部22的侧表面222上、更靠近压力接收表面210所处的侧的压力接收部222A装配到壳体凹部32的装配部321中。因为传感器单元2的成型树脂部22装配到装配部321中，因此当密封树脂4被填充在壳体凹部32的填充部322中时，防止密封树脂4进入流体流动路径31。

如图3和图4所示，限定壳体凹部32的填充部322的内壁表面323由导电端子侧上的内壁表面323A和除了导电端子侧上的内壁表面323A之外的剩余内壁表面323B制成。导电端子侧上的内壁表面323A布置在壳体凹部32的在平行于压力接收部21的压力接收表面210的平面中的一个方向上，并且剩余内壁表面323B布置在该平面中的剩余三个方向上。在导电端子侧上的内壁表面323A的压力接收侧L1的端部处，在沿着垂直于压力接收表面210的轴向方向L的横截面中形成平行于压力接收表面210的底表面324。如图3所示，底表面324位于传感器单元2的成型树脂部22的侧表面222与导电端子侧的内壁表面323A之间。

外壳3设置有多个外壳侧端子33，所述多个外壳侧端子33与多个导电端子213接触并且导电。传感器单元2的压力接收部21的多个导电端子213经由所述多个外壳侧端子33电连接到布置在降压泄漏检查模块10外部的电源、控制器8等。

如图4中所示，在传感器单元2的成型树脂部22中，在平行于压力接收部21的压力接收表面210的平面中的四个拐角部分处形成倒角部225或曲面部226。外壳3的壳体凹部32的内壁表面323在与压力接收表面210平行的平面中形成为与传感器单元2的形状相对应的形状。在平行于压力接收表面210的平面中，在内壁表面323上的三个剩余内壁表面323B的拐角部分处形成倒角部323C或曲面部323D。剩余内壁表面323B设置有倒角部323C和曲面部323D。

将描述密封树脂4。

如图2和3所示，密封树脂4由例如环氧树脂的热固性树脂制成。密封树脂4用于将传感器单元2固定至外壳3，并用于密封传感器单元2的外周。在传感器单元2装配在外壳3的壳体凹部32的装配部321中之后，密封树脂4被填充在壳体凹部32的填充部322中。传感器单元2被填充在壳体凹部32的填充部322中的密封树脂4完全覆盖。换句话说，当传感器单元2布置在壳体凹部32中时，传感器单元2的成型树脂部22暴露在壳体凹部32的填充部322中，然后成型树脂部22的表面被密封树脂4覆盖和密封。

密封树脂4填充在壳体凹部32的填充部322中，以覆盖传感器单元2的成型树脂部22的侧表面222中的除压力接收侧部分222A之外的后侧部分222B和整个后表面223。通过这种构造，从布置在压力传感器1周围的设备产生的电磁噪声、热量等难以到达传感器单元2的压力接收部21。

将描述压力传感器1的材料。

在一个比较压力传感器中，传感器单元的后表面暴露于外部而不被密封树脂覆盖。在该比较压力传感器中，可能存在两个因素使得难以确保气密性：在传感器单元的成型树脂部与密封树脂之间的界面处剥离(peeling)，以及在外壳与密封树脂之间的界面处剥离。此外，由于这两种类型的界面，可以容易地产生剥离。

如图2和图3所示，在本实施例的压力传感器1的传感器单元2附近，因为密封树脂4覆盖和密封整个成型树脂部22，因此成型树脂部22与密封树脂4之间的界面不暴露于传感器单元2周围的外部。在这种情况下，仅是位于外壳3与密封树脂4之间的界面暴露于传感器单元2周围的外部。因此，用于确保由于剥离而引起的压力传感器1的气密性的因素仅是外壳3与密封树脂4之间的界面。

在本实施例中，因为电容器23被结合到成型树脂部22中，因此有意地使用具有小的线性膨胀系数的树脂材料以便接近电容器23的线性膨胀系数。此外，通过将作为无机材料的填料添加到可固化树脂材料中来制备本实施例的密封树脂4，从而有意地降低线性膨胀系数。换句话说，本实施例的密封树脂4含有可固化树脂材料和作为无机材料被添加到树脂材料中的填料。密封树脂4中的填料含量在40％至90％的范围内。

当密封树脂4中填料的含量比率增加时，线性膨胀系数变低。例如，当密封树脂4中填料的质量含量为40％或以上时，可有效降低线性膨胀系数。另一方面，如果密封树脂4中填料的质量含量超过90％，则填料的含量变得过大，并且密封树脂4的粘合性可能劣化。

(功能和效果)

本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1用于降压泄漏检查模块10。在压力传感器1中，布置在壳体凹部32中的密封树脂4覆盖传感器单元2的成型树脂部22的侧表面222中的后侧部分222B和成型树脂部22的所有后表面223。通过这种构造，从降压泵51的马达产生的电磁噪声和布置在降压泄漏检查模块10的压力传感器1周围的螺线管阀52的螺线管噪声难以从传感器单元2的后侧L2到达传感器单元2。此外，可能防止从降压泵51的马达、螺线管阀52的螺线管等产生的热量从传感器单元2的后侧L2到达传感器单元2。因此，压力传感器1不太容易受到电磁噪声和热量的影响，并且可以有效地减小引起压力传感器1中的检测误差的因素。

因此，根据本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1，能够提高压力检测精度。

<第二实施例>

本实施例的压力传感器1不同于第一实施例的压力传感器1，特别是外壳3的形状。如图5至图7所示，第二实施例的压力传感器1也包括传感器单元2、外壳3和密封树脂4。传感器单元2包括被配置成检测施加到压力接收表面210的流体R的压力的压力接收部21、被设置在压力接收部21处并由导电材料制成的多个导电端子213、以及覆盖压力接收部21的除压力接收表面210之外的外表面的成型树脂部22。外壳3和密封树脂4的基本配置与第一实施例的基本配置相似，并且部分或全部省略对相同部分的解释。

围绕成型树脂部22的侧表面222并且限定壳体凹部32的环形内壁表面323由导电端子侧内壁表面323A和剩余内壁表面323B制成，类似于第一实施例的结构。当在沿着垂直于压力接收表面210的轴向方向L的横截面中观察剩余内壁表面323B时，剩余内壁表面323B设置有平行于压力接收表面210的平行阶梯表面326，如图8所示。

如图8所示，平行阶梯表面326被配置成防止在壳体凹部32的剩余内壁表面323B与密封树脂4之间的界面的后侧L2的暴露位置处所发生的剥离进一步延伸到压力接收侧L1。如图7和图8所示，平行阶梯表面326形成于在壳体凹部32的内壁表面323中的布置在平行于压力接收表面210的平面中的三个方向上的剩余内壁表面323B上。每个剩余内壁表面323B的平行阶梯表面326形成为平行于压力接收表面210。

如图5和图6所示，每个剩余内壁表面323B的所有平行阶梯表面326定位在与定位在成型树脂部22中的后侧L2上的后表面223的梢端相比的后侧L2上。此外，密封树脂4填充达到后侧L2的超过壳体凹部32中每个剩余内壁表面323B的平行阶梯表面326的位置。换句话说，密封树脂4的后侧L2的表面41在后侧L2上超过每个剩余内壁表面323B的平行阶梯表面326。

通过将密封树脂4填充到后侧L2的超过平行阶梯表面326的位置，可以使布置在成型树脂部22的后侧L2上的密封树脂4的厚度等于或大于特定厚度。如果平行阶梯表面326用作密封树脂4的填充位置的标记，并且整个平行阶梯表面326被掩埋在密封树脂4中，则密封树脂4的厚度可以被设置为特定厚度或更大。

如图8所示，在沿着垂直于压力接收表面210的轴向方向L的横截面中，本实施例的剩余内壁表面323B从壳体凹部32的开口侧依次设置有第一竖直表面325、平行阶梯表面326、倾斜表面327和第二竖直表面328。壳体凹部32的开口侧对应于轴向方向L的后侧L2。第一竖直表面325位于每个剩余内壁表面323B的最后侧L2上并且形成为垂直于压力接收表面210。平行阶梯表面326形成为与每个剩余内壁表面323B中的第一竖直表面325的压力接收侧L1的端部相邻。

倾斜表面327形成为与每个剩余内壁表面323B的平行阶梯表面326的端部相邻并且朝向压力接收侧L1向内定位，如图8所示。向内意味着壳体凹部32在压力接收表面210的平面中的中心侧。当传感器单元2装配到壳体凹部32的装配部321中时，倾斜表面327用作引导表面。倾斜表面327可以形成在短范围内，如图8所示，或者可以形成为适当地引导传感器单元2的装配的尺寸，如图9所示。

如图8和图9所示，在每个剩余内壁表面323B中，第二竖直表面328形成为垂直于压力接收表面210，与倾斜表面327的压力接收侧L1的端部相邻。第二竖直表面328被设置为限定在第二竖直表面328与成型树脂部22的侧表面222之间填充有密封树脂4的填充间隙34。换句话说，填充有密封树脂4的填充间隙34形成在第二竖直表面328与成型树脂部22的侧表面222之间。此外，如图6所示，导电端子侧的内壁表面323A例如形成为垂直于压力接收表面210而没有阶梯部分。

(功能和效果)

在本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1中，填充在壳体凹部32中的密封树脂4覆盖被布置在壳体凹部32中的成型树脂部22的表面部分。即，密封树脂4完全覆盖成型树脂部22的侧表面222的后侧部分222B和成型树脂部22的后表面223。通过这种构造，在传感器单元2的外周中，传感器单元2的成型树脂部22与密封树脂4之间的界面不暴露于外部，并且只有位于外壳3与密封树脂4之间的界面暴露于外部。

平行阶梯表面326形成在除了导电端子侧上的内壁表面323A之外的三个剩余内壁表面323B上，剩余内壁表面323B形成壳体凹部32以围绕传感器单元2的成型树脂部22的侧表面222。通过这种构造，即使在外壳3的剩余内壁表面323B的第一竖直表面325与面向第一竖直表面325的密封树脂4之间的界面处发生剥离，平行阶梯表面326也可以防止这种剥离被延伸。

在图8中，在第一竖直表面325与密封树脂4之间的界面处发生剥离的情况由交替的长和短虚线X示出。在这种情况下，尽管通过剥离将密封树脂4与第一竖直表面325分离，但是从第一竖直表面325分离的密封树脂4的量随着朝向压力接收侧L1变小。当密封树脂4试图沿平行于压力接收部21的压力接收表面210的方向(即，垂直于轴向方向L的方向)与第一竖直表面325分离时，面向平行阶梯表面326的密封树脂4处于难以与平行阶梯表面326分离的状态。因此，即使在第一竖直表面325与密封树脂4之间发生剥离，也可以通过平行阶梯表面326防止该剥离的延伸。

因此，根据本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1能够防止在第一竖直表面325与密封树脂4之间的界面处的剥落的扩展，并且可以充分地改善压力传感器1的气密性。

接下来，将描述图10中所示的倾斜阶梯表面326X。

在图10所示的示例中，代替图8的每个剩余内壁表面323B上的平行阶梯表面326，可以形成具有相对于压力接收表面210倾斜小于90度的内角θ的倾斜阶梯表面326X。内角θ是第一竖直表面325与倾斜阶梯表面326X之间的角度。因为在第一竖直表面325与倾斜的阶梯表面326X之间形成锐角的内角θ，因此可以防止在第一竖直表面325与密封树脂4之间产生的剥落朝向压力接收侧L1行进，如在平行的阶梯表面326中那样。

在壳体凹部32的每个剩余内壁表面323B中，在第一竖直表面325与平行阶梯表面326之间可以不形成倾斜表面327。例如，第一竖直表面325、平行阶梯表面326和第二竖直表面328可以以这种顺序从壳体凹部32的后侧L2形成。即使在这种情况下，也可以获得防止由于平行阶梯表面326引起的剥落延伸的效果。此外，可使用倾斜阶梯表面326X来代替平行阶梯表面326。

此外，平行阶梯表面326或倾斜阶梯表面326X可形成在导电端子侧上的内壁表面323A中。因此，即使当在导电端子侧的内壁表面323A与密封树脂4之间的界面处发生剥离时，剥离的延伸也可被平行阶梯表面326或倾斜阶梯表面326X阻止。平行阶梯表面326或倾斜阶梯表面326X可以仅形成在剩余内壁表面323B的一部分中。

本实施例的蒸发燃料处理装置1的其它配置、功能和效果与第一实施例的功能和效果相同。在此实施例中，由与第一实施例中的组件相同的附图标记指示的组件与第一实施例中的组件相同。

<第三实施例>

第三实施例的压力传感器1与第一实施例或第二实施例的压力传感器不同，特别是外壳3的形状。如图11至图13所示，第三实施例的压力传感器1也包括传感器单元2、外壳3和密封树脂4。本实施例的壳体凹部32的每个剩余内壁表面323B在沿着垂直于压力接收表面210的轴向方向L的横截面中依次设置有第一竖直表面325、倾斜表面327和第二竖直表面328。倾斜表面327随着朝向压力接收侧L1而向内倾斜。第二竖直表面328从倾斜表面327的压力接收侧L1的端部延伸以限定填充间隙34，在填充间隙34中密封树脂4被填充在成型树脂部22的侧表面222与第二竖直表面328之间。倾斜表面327和第二垂直表面328形成在彼此相交的多个剩余内壁表面323B上。

填充间隙34可以形成为在压力接收侧L1与后侧L2之间的轴向方向L的距离内具有规则厚度，使得厚度的变化量在例如0.5mm的范围内。此外，填充间隙34可以形成在例如0.5至2mm的厚度范围内。

在本实施例中，如图14中所示，在沿着垂直于压力接收表面210的轴向方向L的横截面中，倾斜表面327在压力接收侧L1上的端部327A被定位于在轴向方向L上平行于成型树脂部22的压力接收表面210的外边缘部分224的后侧L2处。在轴向方向L上端部327A与外边缘部分224的位置之间的差由附图标记S指示。结果，当传感器单元2的成型树脂部22装配到壳体凹部32的装配部321中时，成型树脂部22在被倾斜表面327引导到标准装配位置之后被装配到装配部321中。

密封树脂4被填充达到在后侧L2上超过每个剩余内壁表面323B的倾斜表面327的后侧L2上的端部327B。换句话说，密封树脂4的外表面位于后侧L2上超过倾斜表面327的后侧L2上的端部327B。每个剩余内壁表面323B的整个倾斜表面327嵌入在密封树脂4中。

此外，如图11和12所示，除了成型树脂部22的侧表面222中的压力接收侧部分222A之外，密封树脂4覆盖成型树脂部22的整个后表面223和成型树脂部22的侧表面222的整个后侧部分222B。通过将密封树脂4填充到后侧L2的超过倾斜表面的位置，可以使布置在成型树脂部22的后侧L2上的密封树脂4的厚度等于或大于特定厚度。

如图14所示，在沿着垂直于压力接收表面210的轴向方向L的横截面中，本实施例的接收凹部32的剩余内壁表面323B从接收凹部32的后侧L2依次设置有第一竖直表面325、倾斜表面327和第二竖直表面328。第一竖直表面325、倾斜表面327和第二垂直表面328的配置类似于第二实施例的配置。但是，平行阶梯表面326或倾斜阶梯表面326X可形成在第一竖直表面325与倾斜表面327之间，如在图8到10中所展示的示例中。

(功能和效果)

在本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1中，填充在壳体凹部32中的密封树脂4覆盖被布置在壳体凹部32中的成型树脂部22的表面部分。即，密封树脂4完全覆盖成型树脂部22的侧表面222的后侧部分222B和成型树脂部22的后表面223。通过这种构造，从降压泵51的马达产生的电磁噪声或热量和被布置在降压泄漏检查模块10的压力传感器1周围的螺线管阀52的螺线管噪声难以从传感器单元2的后侧L2到达传感器单元2。

本实施例的壳体凹部32的每个剩余内壁表面323B在沿垂直于压力接收表面210的轴向方向L的横截面中依次设置有第一竖直表面325、倾斜表面327和第二竖直表面328。倾斜表面327随着朝向压力接收侧L1而向内倾斜。第二竖直表面328从倾斜表面327的压力接收侧L1的端部延伸以限定填充间隙34，在填充间隙34中，密封树脂4被填充在成型树脂部22的侧表面222与第二竖直表面328之间。通过这种构造，填充在成型树脂部22的侧表面222与第二竖直表面328之间的填充间隙34中的密封树脂4的厚度在轴向方向L上在压力接收侧L1与后侧L2之间基本均匀。

在图14中，由于成型树脂部22的侧表面222的后侧部分222B的锥形形状，在填充间隙34中填充的密封树脂4的厚度在轴向方向L上略微改变。但是，在这种情况下，由于倾斜表面327的倾斜角度，在填充间隙34中填充的密封树脂4的厚度的变化量小于密封树脂4的宽度的变化量。

由于填充间隙34中填充的密封树脂4的厚度基本均匀的构造，当压力传感器1被加热或冷却时，从密封树脂4到传感器单元2施加到垂直于轴向方向L的方向上的热应力在轴向方向L上的每个部分处是基本均匀的。

在本实施例中，使密封树脂4的线性膨胀系数大于传感器单元2的成型树脂部22的线性膨胀系数。当压力传感器1被加热时，密封树脂4的膨胀量变得大于成型树脂部22的膨胀量，使得热应力从填充间隙34中填充的密封树脂4施加到包括压力接收部21和成型树脂部22的传感器单元2。此时，热应力与密封树脂4的厚度成比例。但是，在本实施例中，通过使填充间隙34中填充的密封树脂4的厚度基本均匀，可以使从密封树脂4作用在传感器单元2上的热应力基本均匀。以这种方式，因为施加到传感器单元2的热应力变得基本均匀，因此可以防止在传感器单元2中产生不均匀的变形。

因此，根据本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1，能够减小由于传感器单元2的变形而作用在压力接收单元21上的应力，并且能够准确地执行压力接收单元21处的压力检测。

此外，倾斜表面327和竖直表面328可以至少形成在彼此垂直的两个剩余内壁表面323B上，以便使用倾斜表面327将传感器单元2有效地引导到壳体凹部32的装配部321中。如果两个倾斜表面327设置在彼此垂直的剩余内壁表面323B中，则可以调整传感器单元2相对于装配部321的位置以定位在平行于压力接收表面210的平面中。

本实施例的压力传感器1的其它配置、功能和效果与第一实施例或第二实施例的功能和效果类似。在上面的第三实施例中，由与第一实施例或第二实施例中的组件相同的附图标记指示的组件可以具有与第一实施例或第二实施例中的组件相同的结构。

<第四实施例>

第四实施例的压力传感器1与第一实施例与第三实施例的压力传感器不同，特别是外壳3的形状。如图15至图18所示，第四实施例的压力传感器1也包括传感器单元2、外壳3和密封树脂4。在本实施例的壳体凹部32的底部的压力接收侧L1处形成具有比压力接收表面210的外部形状更大的外部形状的缓冲凹部35。缓冲凹部35连续地形成在壳体凹部32的压力接收侧L1处，并且在传感器单元2装配在壳体凹部32的装配部321中的状态下布置在压力接收侧L1而不是传感器单元2上。

如图15、16和18所示，在后侧L2上流体流动路径31的开口端部的外边缘处形成朝向后侧L2突出到缓冲凹部35中的突出圆筒部36。缓冲凹部35形成为围绕突出圆筒部36的环形形状。壳体凹部32可以被深度地形成为更深地凹陷在压力接收侧L1上以具有缓冲凹部35，从而在后侧L2上流体流动路径31的开口端部的外边缘上形成突出圆筒部36。突出圆筒部36具有管状形状，并且流体流动路径31在后侧L2上藉由所形成的突出圆筒部36的量而形成得更长。

如图15和图18所示，在壳体凹部32的压力接收侧L1的未形成缓冲凹部35的底部位置处形成面向传感器单元2的成型树脂部22的底表面351。缓冲凹部35可以形成为围绕突出圆筒部36的各种形状。

如图15和16中所示，传感器单元2的压力接收部21的压力接收表面210定位在从成型树脂部22的压力接收侧L1的端面221的后侧L2上。然后，压力接收部21的压力接收表面210处于被朝向后侧L2牵拉并凹入到成型树脂部22中的状态。此外，压力接收部21被成型树脂部22包围并保护。

在突出圆筒部36的后侧L2的端部与传感器单元2的压力接收侧L1的端面221之间形成流体“R”穿过的流体通路间隙37。由于突出圆筒部36的形成，流体通路间隙37在轴向方向L上的尺寸(即，宽度)小于从成型树脂部22的压力接收侧L1的端面221到缓冲凹部35的压力接收侧L1的底表面的深度。

如本实施例的图15至图17所示，在成型树脂部22的压力接收侧L1的端部的周边与壳体凹部32在三个方向上的剩余内壁表面323B之间设置装配间隙39。成型树脂部22的压力接收侧部分222A由形成在壳体凹部32的装配部321中的凸出部分38引导，并且装配到壳体凹部32的装配部321中。通过调整用于成型所述外壳3的成型模具的形状，容易改变凸出部分38的形状。因此，装配间隙39的尺寸可以容易地调节。

(功能和效果)

在本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1中，缓冲凹部35形成在壳体凹部32的底部的压力接收侧L1处，并且定位在壳体凹部32与流体流动路径31之间。此外，朝向后侧L2突出到缓冲凹部35中的突出圆筒部36形成在流体流动路径31在后侧L2上的开口端部的外边缘处。

当密封树脂4填充在传感器单元2被布置在其中的壳体凹部32中时，密封树脂4的一部分可能通过装配间隙39从壳体凹部32朝向流体流动路径31流动。即使在这种情况下，密封树脂4的一部分被突出圆筒部36阻挡，并且密封树脂4的一部分能被储存在缓冲凹部35中。因此，可以防止密封树脂4的一部分流出到流体流动路径31。

如果密封树脂4的一部分流入流体流动路径31中，则流体流动路径31的空气流动阻力增加，并且由压力传感器1检测的响应性可能降低。此外，在这种情况下，孔口541可能被密封树脂4的一部分堵塞。因此，降压泄漏检查模块10的泄漏检查的检测精度可能降低。

在本实施例中，由于密封树脂4能被储存在缓冲凹部35中，因此可以有效地提高降压泄漏检查模块10的泄漏检查的检测精度。可以防止孔口541被从接收凹部32朝向流体流动路径31流动的密封树脂4堵塞，并且可以防止密封树脂粘附到压力接收部21的压力接收表面210。结果，能够提高压力传感器1的响应能力，并能有效地防止压力传感器1的检测误差。因此，能够提高降压泄漏检查模块10的泄漏检查的检测精度。此外，因为密封树脂4能被存储在缓冲凹部35中，因此能允许一定量的密封树脂4从壳体凹部32流出到流体流动路径31的一侧。

在本实施例中，由于成型树脂部22的侧表面222中的压力接收侧部分222A装配到壳体凹部32中，因此不必在成型树脂部22与壳体凹部32之间使用凹凸配合结构。因此，能够有效地防止成型树脂部22的损坏。

因此，根据本实施例的蒸发燃料泄漏检测器的压力传感器1，传感器单元2的成型树脂部22能够得到保护，并且即使当密封树脂4从壳体凹部32流出时也能够精确地检测压力。

本实施例的压力传感器1的其它配置、功能和效果与第一实施例至第三实施例的类似。在上面的第四实施例中，由与第一实施例至第三实施例中的组件相同的附图标记指示的组件可具有与第一实施例至第三实施例中的组件相同的结构。

在第一实施例至第四实施例中，压力传感器1应用于降压泄漏检查模块10。除此之外，压力传感器1可应用于在加压状态下执行泄漏检查的正压泄漏检查模块。

以上参照具体示例描述了本实施例。但是，本公开不限于这些具体示例。本领域技术人员对这些具体示例作出的修改或改变若合适也被包括在本公开的范围内，只要它们具有本公开的特征。在上述相应具体示例中包含的每个元件、以及这些元件的布置、条件、形状等不限于所例示的那些，并且可以视情况而改变。在上述具体示例中包含的相应元件可以适当地组合在一起，只要它们之间没有技术矛盾即可。