智能压力平衡控制系统
阅读说明：本技术 智能压力平衡控制系统 (Intelligent pressure balance control system ) 是由 陈奇志 钟晓宏 何永文 肖岳意 于 2021-05-18 设计创作，主要内容包括：本发明公开了智能压力平衡控制系统,包括反应炉,所述反应炉的内壁固定连接有多个压强检测器,所述反应炉的两侧分别固定连接有进气端和出气端,所述反应炉的一侧设有用于增加反应炉内压强的加压组件,所述反应炉的另一侧设有用于降低反应炉内压强的降压组件,所述反应炉的一侧固定连接有控制面板,本发明结构简单,使用方便,通过启动驱动电机和第一电动推杆可以分别打开进气端与出气端,方便平衡反应炉内的压强,且通过启动转动电机和第二电动推杆可以使反应炉内的气体分布均匀,方便在反应炉内不同位置的压强检测器检测到准确的压强,进而方便控制面板控制驱动电机、第一电动推杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。(The invention discloses an intelligent pressure balance control system, which comprises a reaction furnace, wherein a plurality of pressure detectors are fixedly connected to the inner wall of the reaction furnace, a gas inlet end and a gas outlet end are respectively and fixedly connected to two sides of the reaction furnace, a pressurizing assembly used for increasing the pressure in the reaction furnace is arranged on one side of the reaction furnace, a pressure reducing assembly used for reducing the pressure in the reaction furnace is arranged on the other side of the reaction furnace, and a control panel is fixedly connected to one side of the reaction furnace The first electric push rod, the air suction pump and the air suction pump are used for balancing the pressure in the reaction furnace.)
技术领域
本发明涉及压力平衡控制
技术领域
，尤其涉及智能压力平衡控制系统。背景技术
半导体或太阳能扩散炉设备中，传统的扩散炉生产工艺中采用非闭管方式，此种方式由于对炉内的压力没有约束和控制，不能达到相应的炉内压力平衡，所以传统设备在工艺水平上想要实现扩散工艺中炉内压力平衡的标准具有一定的难度，随着半导体工业的飞速发展，对扩散工艺均匀性及工艺扩展性的要求越来越高，同时对于扩散设备的炉内压力控制提出了相应的全新标准，因此，扩散炉炉内压力平衡的实现是半导体工业发展的一个关键环节。
现有技术中，无法有效、精准的对炉内压力进行平衡控制，因此导致无法提高工艺水平，且在控制炉内压力平衡时，由于炉内气体分布不均匀，因此无法对炉内的压强进行准确的检测。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的智能压力平衡控制系统。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
智能压力平衡控制系统，包括反应炉，所述反应炉的内壁固定连接有多个压强检测器，所述反应炉的两侧分别固定连接有进气端和出气端，所述反应炉的一侧设有用于增加反应炉内压强的加压组件，所述反应炉的另一侧设有用于降低反应炉内压强的降压组件，所述反应炉的一侧固定连接有控制面板，所述反应炉内设有用于使反应炉内气体分布均匀的搅拌组件。
优选地，所述加压组件包括设置在反应炉一侧的抽气泵，所述抽气泵的出气管延伸至进气端内，所述进气端内滑动连接有挡板，且挡板的顶部滑动贯穿进气端的顶部，所述进气端的顶部转动连接有转轮，所述转轮的外壁设有滑槽，所述挡板的一侧顶部固定连接有与滑槽滑动连接的连接块，所述进气端的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴与转轮通过齿轮传动。
优选地，所述降压组件包括设置在反应炉另一侧的吸气泵，所述吸气泵的吸气管延伸至出气端内，所述出气端内呈横向转动连接有转轴，所述转轴的外壁固定套设有转动板，且转动板的顶部与底部分别与出气端的顶部内壁与底部内壁相碰触，所述转轴的一端转动贯穿出气端的一侧并固定连接有第一齿轮，所述出气端的一侧固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的活塞杆固定连接有与第一齿轮相啮合的第一齿条。
优选地，所述搅拌组件包括设置在反应炉一侧的转动电机，所述反应炉内呈横向转动连接有两个相对称的转动杆，所述转动杆的外壁固定套设有圆套，所述圆套的外壁等距固定连接有多个搅拌叶，两个所述转动杆靠近转动电机的一端均延伸至反应炉的一侧并均固定连接有第一同步轮，所述转动电机的输出轴与其中一个转动杆的一端固定连接，所述反应炉靠近转动电机的一侧转动连接有第二同步轮和第三同步轮，所述第二同步轮、第三同步轮和两个第一同步轮上传动连接有同一个同步带。
优选地，所述反应炉内转动连接有与转动杆呈垂直方向的转动轴，所述转动轴的外壁固定套设有位于两个圆套之间的滑动套，所述滑动套内滑动连接有两个相对称的滑动杆，所述滑动杆远离转动轴的一端均转动连接有与圆套的外壁滑动连接的滑块，所述转动轴的一端延伸至反应炉的一侧并固定连接有第二齿轮，所述反应炉的一侧固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的活塞杆固定连接有与第二齿轮相啮合的第二齿条。
优选地，所述进气端的顶部设有密封圈，且挡板的一侧滑动贯穿密封圈，通过密封圈可以增加进气端的密封性。
优选地，所述转动杆的外壁固定套设有挡块，通过挡块可以对圆套起到限位作用。
优选地，所述反应炉靠近吸气泵的一侧设有集气箱，所述吸气泵的出气管延伸至集气箱中，通过集气箱将反应炉内的气体进行收集，防止反应炉内的气体溢散，污染环境。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明中，启动驱动电机，驱动电机的输出轴通过齿轮带动转轮转动，随着转轮的转动，连接块带动挡板沿着滑槽的轨迹滑动，使挡板向上移动，此时启动抽气泵，通过抽气泵对反应炉内补充气体，增加反应炉内的压强；
2、本发明中，启动第一电动推杆，第一电动推杆的活塞杆推动第一齿条向一侧移动，且第一齿条和第一齿轮相啮合，因此随着第一齿轮的转动，可以带动转动板转动，进而可以通过吸气泵将反应炉内的气体抽入集气箱中，降低反应炉内的压强；
3、本发明中，启动转动电机，转动电机通过第一同步轮、第二同步轮、第三同步轮和同步带带动两个转动杆转动，进而可以通过搅拌叶的转动，使反应炉内的气体分布均匀，接着启动第二电动推杆、第二电动推杆的活塞杆推动第二齿条来回移动，带动第二齿轮和转动轴往复进行小幅度转动，进而可以通过滑动套带动上下两个圆套交错移动，能够更有效率的使反应炉内的气体分布均匀。
本发明结构简单，使用方便，通过启动驱动电机和第一电动推杆可以分别打开进气端与出气端，方便平衡反应炉内的压强，且通过启动转动电机和第二电动推杆可以使反应炉内的气体分布均匀，方便在反应炉内不同位置的压强检测器检测到准确的压强，进而方便控制面板控制驱动电机、第一电动推杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。
附图说明
图1为本发明提出的智能压力平衡控制系统的主视剖视结构示意图；
图2为本发明提出的智能压力平衡控制系统的反应炉的左视结构示意图；
图3为本发明提出的智能压力平衡控制系统的反应炉的右视剖视结构示意图；
图4为本发明提出的智能压力平衡控制系统的出气端的主视结构示意图；
图5为本发明提出的智能压力平衡控制系统的进气端的俯视结构示意图；
图6为本发明提出的智能压力平衡控制系统的进气端的俯视剖视结构示意图；
图7为本发明提出的智能压力平衡控制系统的系统框图图。
图中：1、反应炉；2、压强检测器；3、进气端；4、抽气泵；5、挡板；6、连接块；7、转轮；8、滑槽；9、驱动电机；10、出气端； 11、吸气泵；12、转轴；13、转动板；14、第一齿轮；15、第一电动推杆；16、第一齿条；17、转动杆；18、圆套；19、搅拌叶；20、第一同步轮；21、第二同步轮；22、第三同步轮；23、同步带；24、转动电机；25、转动轴；26、滑动套；27、滑动杆；28、滑块；29、第二齿轮；30、第二电动推杆；31、第二齿条；32、控制面板；33、密封圈；34、挡块；35、集气箱。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
参照图1-7，智能压力平衡控制系统，包括反应炉1，反应炉1 的内壁固定连接有多个压强检测器2，反应炉1的两侧分别固定连接有进气端3和出气端10，反应炉1的一侧设有用于增加反应炉1内压强的加压组件，反应炉1的另一侧设有用于降低反应炉1内压强的降压组件，反应炉1的一侧固定连接有控制面板32，反应炉1内设有用于使反应炉1内气体分布均匀的搅拌组件。
实施例二
本实施例在实施例一的基础上进行改进：加压组件包括设置在反应炉1一侧的抽气泵4，抽气泵4的出气管延伸至进气端3内，进气端3内滑动连接有挡板5，且挡板5的顶部滑动贯穿进气端3的顶部，进气端3的顶部转动连接有转轮7，转轮7的外壁设有滑槽8，挡板 5的一侧顶部固定连接有与滑槽8滑动连接的连接块6，进气端3的顶部固定连接有驱动电机9，驱动电机9的输出轴与转轮7通过齿轮传动，降压组件包括设置在反应炉1另一侧的吸气泵11，吸气泵11 的吸气管延伸至出气端10内，出气端10内呈横向转动连接有转轴 12，转轴12的外壁固定套设有转动板13，且转动板13的顶部与底部分别与出气端10的顶部内壁与底部内壁相碰触，转轴12的一端转动贯穿出气端10的一侧并固定连接有第一齿轮14，出气端10的一侧固定连接有第一电动推杆15，第一电动推杆15的活塞杆固定连接有与第一齿轮14相啮合的第一齿条16，搅拌组件包括设置在反应炉 1一侧的转动电机24，反应炉1内呈横向转动连接有两个相对称的转动杆17，转动杆17的外壁固定套设有圆套18，圆套18的外壁等距固定连接有多个搅拌叶19，两个转动杆17靠近转动电机24的一端均延伸至反应炉1的一侧并均固定连接有第一同步轮20，转动电机24的输出轴与其中一个转动杆17的一端固定连接，反应炉1靠近转动电机24的一侧转动连接有第二同步轮21和第三同步轮22，第二同步轮21、第三同步轮22和两个第一同步轮20上传动连接有同一个同步带23，反应炉1内转动连接有与转动杆17呈垂直方向的转动轴25，转动轴25的外壁固定套设有位于两个圆套18之间的滑动套 26，滑动套26内滑动连接有两个相对称的滑动杆27，滑动杆27远离转动轴25的一端均转动连接有与圆套18的外壁滑动连接的滑块 28，转动轴25的一端延伸至反应炉1的一侧并固定连接有第二齿轮 29，反应炉1的一侧固定连接有第二电动推杆30，第二电动推杆30的活塞杆固定连接有与第二齿轮29相啮合的第二齿条31，进气端3 的顶部设有密封圈33，且挡板5的一侧滑动贯穿密封圈33，通过密封圈33可以增加进气端3的密封性，转动杆17的外壁固定套设有挡块34，通过挡块34可以对圆套18起到限位作用。
实施例三
本实施例在实施例一的基础上进行改进：反应炉1靠近吸气泵 11的一侧设有集气箱35，吸气泵11的出气管延伸至集气箱35中，通过集气箱35将反应炉1内的气体进行收集，防止反应炉1内的气体溢散，污染环境。
工作原理：启动转动电机24，转动电机24通过第一同步轮20、第二同步轮21、第三同步轮22和同步带23带动两个转动杆17转动，进而可以通过搅拌叶19的转动，使反应炉1内的气体分布均匀，接着启动第二电动推杆30，第二电动推杆30的活塞杆推动第二齿条31 来回移动，带动第二齿轮29和转动轴25往复进行小幅度转动，进而可以通过滑动套26带动上下两个圆套18交错移动，能够更有效率的使反应炉1内的气体分布均匀，通过在反应炉1内不同位置的压强检测器2检测到反应炉1内准确的压强，如果检测到压强低时，启动驱动电机9，驱动电机9的输出轴通过齿轮带动转轮7转动，随着转轮 7的转动，连接块6带动挡板5沿着滑槽8的轨迹滑动，使挡板5向上移动，此时启动抽气泵4，通过抽气泵4对反应炉1内补充气体，增加反应炉1内的压强，通过圆套18和搅拌叶19来回往复搅拌，可以通过压强检测器2快速检测到反应炉1内的压强，进而能够对反应炉1内的压强进行细微调控，如果检测到压强高时，启动第一电动推杆15，第一电动推杆15的活塞杆推动第一齿条16向一侧移动，且第一齿条16和第一齿轮14相啮合，因此随着第一齿轮14的转动，可以带动转动板13转动，进而可以通过吸气泵11将反应炉1内的气体抽入集气箱35中，降低反应炉1内的压强，再次通过圆套18和搅拌叶19来回往复搅拌，可以通过压强检测器2快速检测到反应炉1 内的压强，进而能够对反应炉1内的压强进行细微调控，从而可以达到准确控制反应炉1内的压强平衡。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。