阅读说明：本技术 一种蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备 (Etching equipment for double treatment of etching liquid and steam ) 是由 秦小燕 于 2020-07-27 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备,刻蚀室的左右侧壁上部之间固定有上阻挡板；上阻挡板的上端面上成型有上收纳槽；上阻挡板的前后端面与刻蚀室的前后侧壁之间分别设置有间隙；刻蚀室的上侧壁中心设置有排气孔；刻蚀室的上端面设置有风机；排气孔与风机的进风孔连通；刻蚀室的左右侧壁上部分别成型有开口朝上设置的“凵”字形的左右贯穿的左右移动槽；上阻挡板位于左右移动槽开口内；左右移动槽内移动设置有与其配合的“凵”字形的左右平移架；左右平移架的外侧端设置有外封口板、内侧端竖直升降设置有刮拭封板。(The invention discloses etching equipment for double treatment of etching liquid and steam.A top barrier plate is fixed between the upper parts of the left side wall and the right side wall of an etching chamber; an upper accommodating groove is formed on the upper end surface of the upper barrier plate; gaps are respectively arranged between the front end surface and the rear end surface of the upper barrier plate and the front side wall and the rear side wall of the etching chamber; the center of the upper side wall of the etching chamber is provided with an exhaust hole; a fan is arranged on the upper end face of the etching chamber; the exhaust hole is communicated with an air inlet hole of the fan; left and right through left and right moving grooves with upward openings are respectively formed at the upper parts of the left and right side walls of the etching chamber; the upper blocking plate is positioned in the opening of the left-right moving groove; a left and right translation frame in a shape of a Chinese character 'ji' is arranged in the left and right moving groove in a moving way; the outer side end of the left translation frame and the outer side end of the right translation frame are provided with outer sealing plates, and the inner side end of the left translation frame and the right translation frame is vertically lifted and arranged with scraping sealing plates.)

一种蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备

技术领域

本发明涉及刻蚀设备的技术领域，具体涉及一种蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备。

背景技术

阵列基板制造过程，主要分为清洗、成膜、曝光显影、刻蚀、剥离五大工艺。其中刻蚀工艺分为干法刻蚀和湿法刻蚀，湿法刻蚀被广泛用于金属薄膜及氧化物薄膜的刻蚀。湿法刻蚀工艺主要是指采用化学药液对刻蚀物进行去除的一种技术。对待刻蚀的基板进行湿法刻蚀时，通过化学药液与刻蚀物发生化学反应，把未被光刻胶覆盖的薄膜进行去除，从而实现电极图案化。

湿法刻蚀设备通常是利用酸性刻蚀液体通过喷嘴把刻蚀液喷淋到待刻蚀基板表面，与基板表面的膜层发生化学反应，从而达到刻蚀的目的。然而，实际生产过程当中，喷淋和挥发出的刻蚀液液滴会附着在刻蚀设备的盖板上，附着在刻蚀设备盖板上的刻蚀液液滴逐渐累积，形成越来越大的刻蚀液液滴，最终滴落在待刻蚀基板上，导致刻蚀不均，严重影响产品的良率。

发明内容

本发明的目的是现在的刻蚀蒸汽容易凝结形成刻蚀液意外损伤基板的技术问题，提供了一种蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：一种蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备，包括刻蚀室；刻蚀室的中部设置有刻蚀液喷淋装置；刻蚀液喷淋装置的底部设置有若干喷头；基板设置在刻蚀室的下部并且位于刻蚀液喷淋装置的正下方；刻蚀室的上部设置有蚀液蒸汽处理装置；蚀液蒸汽处理装置包括固定在刻蚀室的左右侧壁上部之间的上阻挡板；上阻挡板的上端面上成型有矩形槽状的上收纳槽；上阻挡板的前后端面与刻蚀室的前后侧壁之间分别设置有间隙；刻蚀室的上侧壁中心设置有排气孔；刻蚀室的上端面设置有风机；排气孔与风机的进风孔连通；刻蚀室的左右侧壁上部分别成型有开口朝上设置的“凵”字形的左右贯穿的左右移动槽；上阻挡板位于左右移动槽的开口内；左右移动槽内移动设置有与其配合的“凵”字形的左右平移架；左右平移架的水平部的上端面与左右移动槽的水平部的上侧壁之间设置有间隙；左右平移架的外侧端设置有外封口板、内侧端竖直升降设置有刮拭封板。

作为上述技术方案的优选，刻蚀室的上侧壁上成型有上导流板；上导流板的横截面呈等腰梯形；上导流板的倾斜面位于上阻挡板与刻蚀室的前后侧壁的间隙的正上方并且上导流板的下端面小于上收纳槽的开口范围内；排气孔向下延伸贯穿上导流板。

作为上述技术方案的优选，左右平移架的水平部的上端面自内向外倾斜向下设置。

作为上述技术方案的优选，左右平移架的水平部的外侧端成型有向下贯穿的下回流孔；下回流孔通过软管与外部的回收装置连接；刻蚀室的上侧壁上穿设有一对上回收导管；上回收导管的下端位于上收纳槽内并且上回收导管的下端面高于上收纳槽的底面；上回收导管的上端与外部的回收装置连接；风机的出风口与设置有排风管道；排风管道与外部的回收装置连接。

作为上述技术方案的优选，刻蚀室的上端面上固定有一对左右对称设置的左右驱动气缸；外封口板的上端面高于刻蚀室的上端面；外封口板的上端与左右驱动气缸的活塞杆固定连接。

作为上述技术方案的优选，刮拭封板呈L型；刮拭封板的水平部前后两端延伸有竖直驱动板；左右平移架的一对竖直部的内侧端分别固定有竖直驱动气缸；竖直驱动板固定在相应侧的竖直驱动气缸的活塞杆下端；当刮拭封板处于最上端时，刮拭封板的上端抵靠住上阻挡板的底面。

作为上述技术方案的优选，上收纳槽的四个侧壁自上而下倾斜向内设置。

本发明的有益效果在于：通过外排和冷凝刮拭双重方式处理蚀液蒸汽，这样蚀液蒸汽处理彻底。

附图说明

图1为本发明的剖面的结构示意图；

图2为本发明的图1中A-A的剖面的结构示意图。

图中，10、刻蚀室；100、左右移动槽；101、排气孔；11、上导流板；12、上阻挡板；120、上收纳槽；20、刻蚀液喷淋装置；21、喷头；30、蚀液蒸汽处理装置；31、风机；311、排风管道；32、左右驱动气缸；33、左右平移架；330、下回流孔；331、外封口板；332、刮拭封板；3321、竖直驱动板；333、竖直驱动气缸；34、上回收导管。

具体实施方式

如图1、图2所示，一种蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备，包括刻蚀室10；刻蚀室10的中部设置有刻蚀液喷淋装置20；刻蚀液喷淋装置20的底部设置有若干喷头21；基板40设置在刻蚀室10的下部并且位于刻蚀液喷淋装置20的正下方；刻蚀室10的上部设置有蚀液蒸汽处理装置30；蚀液蒸汽处理装置30包括固定在刻蚀室10的左右侧壁上部之间的上阻挡板12；上阻挡板12的上端面上成型有矩形槽状的上收纳槽120；上阻挡板12的前后端面与刻蚀室10的前后侧壁之间分别设置有间隙；刻蚀室10的上侧壁中心设置有排气孔101；刻蚀室10的上端面设置有风机31；排气孔101与风机31的进风孔连通；刻蚀室10的左右侧壁上部分别成型有开口朝上设置的“凵”字形的左右贯穿的左右移动槽100；上阻挡板12位于左右移动槽100的开口内；左右移动槽100内移动设置有与其配合的“凵”字形的左右平移架33；左右平移架33的水平部的上端面与左右移动槽100的水平部的上侧壁之间设置有间隙；左右平移架33的外侧端设置有外封口板331、内侧端竖直升降设置有刮拭封板332。

如图1、图2所示，刻蚀室10的上侧壁上成型有上导流板11；上导流板11的横截面呈等腰梯形；上导流板11的倾斜面位于上阻挡板12与刻蚀室10的前后侧壁的间隙的正上方并且上导流板11的下端面小于上收纳槽120的开口范围内；排气孔101向下延伸贯穿上导流板11。

作如图1、图2所示，左右平移架33的水平部的上端面自内向外倾斜向下设置。

如图1、图2所示，左右平移架33的水平部的外侧端成型有向下贯穿的下回流孔330；下回流孔330通过软管与外部的回收装置连接；刻蚀室10的上侧壁上穿设有一对上回收导管34；上回收导管34的下端位于上收纳槽120内并且上回收导管34的下端面高于上收纳槽120的底面；上回收导管34的上端与外部的回收装置连接；风机31的出风口与设置有排风管道311；排风管道311与外部的回收装置连接。

如图1、图2所示，刻蚀室10的上端面上固定有一对左右对称设置的左右驱动气缸32；外封口板331的上端面高于刻蚀室10的上端面；外封口板331的上端与左右驱动气缸32的活塞杆固定连接。

如图1、图2所示，刮拭封板332呈L型；刮拭封板332的水平部前后两端延伸有竖直驱动板3321；左右平移架33的一对竖直部的内侧端分别固定有竖直驱动气缸333；竖直驱动板3321固定在相应侧的竖直驱动气缸333的活塞杆下端；当刮拭封板332处于最上端时，刮拭封板332的上端抵靠住上阻挡板12的底面。

如图1、图2所示，上收纳槽120的四个侧壁自上而下倾斜向内设置。

蚀液蒸汽双重处理的刻蚀设备的工作原理；

工作时，左右平移架33处于最外端，刮拭封板332处于最上端，此时风机工作，蚀液蒸汽从上阻挡板12的前后端面与刻蚀室10的前后侧壁之间的间隙、上阻挡板12和上导流板11之间的间距和排气孔101被风机31排出；然后刮拭封板332下降，一对左右平移架33向内移动直到两者接触，接着刮拭封板332上升到最上端，此时刮拭封板332的上端抵靠住上阻挡板12的底面；然后一对左右平移架33向外移动回位，在此过程中刮拭上阻挡板12的底面的凝结的蚀液小液滴，这样风机一直工作配合一对左右平移架33间歇左右往复运动双重方式处理蚀液蒸汽，使得蚀液蒸汽处理彻底；

同时通过与下回流孔330、上回收导管34和排风管道311连接的外部的回收装置对蚀液进行回收，防止污染环境，同时回收后可再利用，解决成本。

以上内容仅为本发明的较佳实施方式，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。