阅读说明：本技术 一种刻蚀设备约束环的制造工艺 (Manufacturing process of etching equipment restraint ring ) 是由 李文明 郑广文 张少杰 于 2020-07-24 设计创作，主要内容包括：本发明是一种刻蚀设备约束环的制造工艺,其特征在于,集精密加工,精密清洗,硬质阳极,氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺；其中在零件的机械加工过程,精密加工采用精车环槽；环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆,环槽宽度2.5±0.01mm,共有10组环槽,层层相连,形成约束环；环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。本发明工艺的成功研发,使精密机械零部件的加工工艺,巧妙的车铣配合,精密的特殊刀具的设计,使本发明效率和加工质量得到提高。(The invention relates to a manufacturing process of a restraint ring of etching equipment, which is characterized by integrating various advanced processes of precision machining, precision cleaning, a hard anode and an yttrium oxide coating into a whole; in the mechanical processing process of the part, the precision processing adopts finish turning of a ring groove; the outer diameter of the ring groove is phi 500mm circle, the width of the ring groove is 2.5 +/-0.01 mm, and 10 groups of ring grooves are formed in total and connected layer by layer to form a binding ring; the cutter used for precisely machining the ring groove is a famous ancient house cutter. The successful research and development of the process of the invention leads the processing process of the precision mechanical parts, the ingenious turning and milling cooperation and the design of the precise special cutter to improve the efficiency and the processing quality of the invention.)

一种刻蚀设备约束环的制造工艺

技术领域

本发明涉及一种刻蚀设备精密零部件，是干法刻蚀设备中用于控制等离子体的均匀性和压强水平的关键核心零部件。

背景技术

气体与射频功率相互作用形成的等离子体通过约束环控制进而形成约束腔区域。本发明重点结介绍了一款约束环零件的机械加工，精密清洗，硬质阳极，氧化钇喷涂等多种制造工艺。

发明内容

本发明的目的是提供一种刻蚀设备约束环的制造工艺。

本发明采用的技术方案是：

一种刻蚀设备约束环的制造工艺，集精密加工，精密清洗，硬质阳极，氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺；

其中在零件的机械加工过程，精密加工采用精车环槽；环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆，环槽宽度2.5±0.01mm，共有10组环槽，层层相连，形成约束环；环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。

精密清洗具体要求为：

高压清洗40-60'，950-1050psi，保湿转入百级无尘室2-20'，超声波清洗，震荡15-20'，浸泡90-95'，8-12W/in2；

重复高压清洗40-60'，950-1050psi，超声波清洗，震荡15-20'，浸泡60-75'，8-12W/in2循环两次，备注：水温小于50℃。

硬质阳极工艺：

电流密度2.5A/dm2，升流20min，温度-1～1℃；

脱脂10-30'，70-75℃，水洗60-90"，碱咬10-80"，32-38℃；碱水洗60-90"，酸洗5-20"，酸水洗60-90"，硬阳，水洗60-90"，纯水封孔300’-360’，92-99℃，水洗60-90"，CDA吹干。

氧化钇涂层喷涂工艺：

喷砂：使用20#白刚玉，喷砂压力20-100PSI，角度25°，喷嘴距离工件5-10cm，移动速度3-7cm/秒，要求Ra为200-250μin3；

氧化钇喷涂转盘转速40-64r/min，进行喷涂，保证整体在150-250um。

本发明的有益效果是：

1、本发明工艺的成功研发，使精密机械零部件的加工工艺，巧妙的车铣配合，精密的特殊刀具的设计，使本发明效率和加工质量得到提高。

2、本发明工艺的成功研发，将精密清洗，硬质阳极，氧化钇喷涂等多种技术应用于同一款精密加工零件，实现精密零部件复杂表面处理。

具体实施方式

本发明涉及一种刻蚀设备精密零部件，集精密加工，精密清洗，硬质阳极，氧化钇涂层等多种先进工艺于一体的关键零部件，其中在零件的机械加工过程，主要加工工序为粗车加工，铣加工，精车环槽。环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆，环槽宽度2.5±0.01mm，共有10组环槽，层层相连，形成约束环。环槽的精密加工使用刀具为特殊订制的名古屋刀具。

精密清洗，其具体要求为：高压清洗(40',40-60'，950-1050psi)-保湿转入百级无尘室(10',2-20'，)；超声波清洗(震荡15-20'，浸泡90-95'，8-12W/in2)-E2高压清洗(40',40-60'，950-1050psi)；超声波清洗(震荡15-20'，浸泡60-75'，8-12W/in2循环两次)备注：水温不得超过50℃

硬质阳极工艺：电流密度2.5A/dm2；升流20min；温度0℃(-1～1℃)；脱脂(20',10-30'，70℃，70-75℃)；水洗(60",60-90")；碱咬(50",10-80"，35℃，32-38℃)；碱水洗(60",60-90")；酸洗(5",5-20")；酸水洗(60",60-90")；硬阳(时间以实际膜厚为准)-A18水洗(60",60-90")；纯水封孔(300’，300’-360’，92-99℃)；水洗(60",60-90")-CDA吹干

氧化钇喷涂工艺：喷砂：使用20#白刚玉(AL2O3)，喷砂压力20-100PSI，角度25°，喷嘴距离工件5-10cm，移动速度3-7cm/秒，要求Ra为200-250μin3。

氧化钇喷涂转盘转速40-64r/min，选用对应编程路线，进行喷涂。保证整体在150-250um。

遮蔽采用的是硅胶进行遮蔽，避免遮蔽胶带或铝箔遮蔽，引起渗漏。ICPMS测试和PC测试，零件经过测试，满足客户图纸要求，无荧光。