本发明公开了一种气浮轴承装置及光刻设备,其属于光刻技术领域,气浮轴承装置包括轴承本体和预载磁铁,轴承本体具有多个气浮面和中部区域,多个所述气浮面关于所述中部区域对称分布且与所述中部区域之间间隔设置形成缝隙；预载磁铁设于所述中部区域上。预载磁铁与气浮面之间的连接断开,在磁预载时,预载磁铁受到预载力,使得预载力不会直接传递至气浮面上,减少磁预载对气浮面的变形影响。光刻设备包括上述气浮轴承装置。由于预载力不会直接传递至气浮面上,减少磁预载对气浮面的变形影响,使得光刻设备的可靠性提高,加工精度较高。

本申请提供一种磁悬浮轴承、电机、压缩机和空调器。该磁悬浮轴承包括轴向磁场控制部、径向磁场控制部和转子组件,转子组件包括转子铁芯,轴向磁场控制部包括与转子铁芯的端面相对设置的轴向控制端,轴向控制端设置有轴向控制绕组,径向磁场控制部包括与转子铁芯的外周面相对设置的径向控制端,径向控制端设置有径向控制绕组,两端的轴向磁场控制部与径向磁场控制部之间分别设置有永磁体,永磁体为该永磁体所在端的轴向磁场控制部提供偏置磁场,两端的永磁体共同为径向磁场控制部提供偏置磁场。根据本申请的磁悬浮轴承,能够使得前后轴向控制磁场相互独立,互不干扰,实现前后轴向控制系统独立,简化控制逻辑,提高系统稳定性。

提供具有机器学习装置且能够适当地进行被支承体的位置的控制的磁轴承装置。机器学习装置学习磁轴承装置(10)的控制条件。磁轴承装置具有磁轴承(21、22),该磁轴承具有对轴(115)赋予电磁力的多个电磁体(51～54)。机器学习装置具有学习部(45)、状态变量取得部(43)、评价数据取得部(44)和更新部(47)。状态变量取得部取得包含与轴的位置相关的至少1个参数的状态变量。评价数据取得部取得评价数据,该评价数据包含轴的位置的测定值、轴的位置的目标值以及与相对于目标值的偏差相关的参数中的至少1个参数。更新部使用评价数据对学习部的学习状态进行更新。学习部按照更新部的输出来学习控制条件。

本申请提供一种同极式径向磁悬浮轴承、压缩机和空调器。该同极式径向磁悬浮轴承包括定子铁芯、转子和径向导磁环,定子铁芯包括轭部和定子齿,部分定子齿上设置有径向控制绕组,部分定子齿上设置有安装槽,安装槽内安装有永磁体,径向控制绕组和定子齿沿周向交替排布,永磁体的径向外侧设置有隔磁槽,永磁体产生的偏置磁场经轭部、定子齿和转子形成偏置磁回路,径向控制绕组产生的控制磁场经定子齿、转子和径向导磁环形成控制磁回路。根据本申请的同极式径向磁悬浮轴承,能够简化轴承结构,降低功耗,提高轴承可靠性。

本发明公开了一种基于变步长最小均方差的磁悬浮传感器干扰抑制方法,该方法包括：对转子进行受力分析和建模,并识别转子磁悬浮轴承系统的参数；引入变步长最小均方差算法并设定步长因子抑制干扰。通过使用本发明,能够实现磁悬浮飞轮的传感器干扰振动抑制。本发明作为一种基于变步长最小均方差的磁悬浮传感器干扰抑制方法,可广泛应用于磁悬浮转子振动控制领域。

副定子磁极面(64)包括交替设置的、第一定子面(65)和第二定子面(66)。副转子磁极面(53)包括交替设置的、第一转子面(54)和第二转子面(55)。将在转子径向上彼此相对的第一定子面(65)和第一转子面(54)的对数设为Nr,且将在转子轴向上彼此相对的第二定子面(66)和第二转子面(55)的对数设为Nt,则Nr≥1且Nt≥2成立、或者Nr≥2且Nt≥1成立。

一种通过磁性力非接触地支承转子的磁性轴承,具备：设置在所述转子上且由磁性材料形成的轴承转子部件；配置在所述轴承转子部件的周围的轴承定子部件,轴承定子部件具有由磁性材料形成的磁芯和卷绕在磁芯上的线圈,磁芯的纵剖面形状,包括：第1部分,其在与面对轴承转子部件的方向正交的第1方向上延伸,并且线圈卷绕在所述第1部分上；一对第2部分,其从第1部分的第1方向上的两个端部开始朝向轴承转子部件一侧延伸,之后沿第1方向朝向彼此接近的方向延伸；一对第3部分,其从一对第2部分的各个顶端部开始朝向轴承转子部件一侧延伸,轴承转子部件,包括：给轴承转子部件以及磁芯形成的磁性回路提供偏置磁通的永磁铁。

一种动磁钢式自驱动磁浮导轨装置及其控制方法,属于高端装备技术领域。四个导套支撑框架组合构成方形套,四个导套支撑框架的中部分别封装有I型电磁铁,永磁体封装在位于上方的导套支撑框架内；导轴支撑框架为长方体框架,导轴支撑框架的四个侧面沿长度方向均封装有多个E形组件；封装于导轴支撑框架上下两侧面的多个E形组件对称设置,封装于导轴支撑框架左右两侧面的多个E形组件对称设置,封装于导轴支撑框架的四个侧面的多个E形组件与封装于四个导套支撑框架中部的I型电磁铁分别相对设置,线圈绕组封装在导轴支撑框架上侧并位于E型组件的一侧,线圈绕组与永磁体相对设置。本发明用于超精密系统中。

一种用于旋转机械的改进的被动磁性轴承(PMB)和集成该轴承的旋转机械被配置成当处于具有外力的运行环境中时来抵消施加在其上的三个状态维度的力。改进的PMB包括具有海尔贝克阵列的第一环元件。第二环元件具有在第二环的相应区域上成角度延伸的第一海尔贝克阵列和第二海尔贝克阵列。当环相对于彼此定位在轴向运行范围内时,来自第一环的海尔贝克阵列与第二环的第一海尔贝克阵列和第二海尔贝克阵列的磁性相互作用限定了组合力曲线。该曲线可以具有与预定的目标轴向力曲线匹配的轴向分量,以及与预定的目标径向力匹配的径向分量。在一个应用中,一个或多个被动磁性轴承可以被集成在能量生产涡轮中,从而力的轴向分量抵消扭矩产生方向上的流动力,径向分量抵消重力。

本发明提供了一种五轴磁悬浮结构,该五轴磁悬浮结构能够避免转子轴与支撑结构的接触,避免出现摩擦损耗比较大的情况；包括壳体及转子组件,转子组件穿设在壳体内,且转子组件的两端置于壳体两端的外侧；第一支撑组件,与壳体一端连接,且转子组件的一端设置在第一支撑组件内；第二支撑组件,与壳体另一端连接,且转子组件的另一端穿设在第二支撑组件内；第三支撑组件,设置在第二支撑组件上,且转子组件的另一端设置在第三支撑组件上；本发明提出的五轴磁悬浮结构避免了摩擦的产生,进而能够有效的降低摩擦所带来的损耗,并能够使得本发明的技术方案输出效率得到提高。