阅读说明：本技术 一种第三代半导体干冰降温系统 (Third-generation semiconductor dry ice cooling system ) 是由 王永成 于 2020-08-15 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种第三代半导体干冰降温系统,其结构包括研磨机主体和推送装置,本发明通过在干冰箱左侧设置了推送装置,在电动推杆运行下,将导杆推动并在连接杆作用下,实现推杆的右移活动,然后随着推杆的右移,就可带动推动板来将储存箱内部储存的干冰,推动到干冰箱内部,从而实现干冰自动推送的优点,通过在干冰箱左侧下端设置了密封机构,在推动板进行推送活动时,进料口处会将密封板推动到收取槽内部,而当完成推送活动后,扭簧回弹,使密封板重新复位,来将进料口密封,从而达到了对未使用干冰保温的优点,通过压缩泵运行,压缩空气,出来的冷却气体驱动虹吸喷雾喷头,并于内部抛光液接触实现冷却,进而实现半导体的快速降温。(The invention discloses a third generation semiconductor dry ice cooling system, the structure of which comprises a grinder main body and a pushing device, the pushing device is arranged on the left side of a dry refrigerator, a guide rod is pushed under the action of an electric push rod, the right movement of the push rod is realized under the action of a connecting rod, then a pushing plate can be driven along with the right movement of the push rod to push dry ice stored in a storage box into the dry refrigerator, thereby realizing the advantage of automatic pushing of the dry ice, a sealing mechanism is arranged at the lower end of the left side of the dry refrigerator, when the pushing movement of the pushing plate is carried out, a sealing plate is pushed into a collecting groove at a feed inlet, after the pushing movement is finished, a torsion spring rebounds to restore the sealing plate, thereby sealing the feed inlet, thereby achieving the advantage of heat preservation of the unused dry ice, a siphon spray nozzle is driven by cooling gas which is discharged through the operation of a compression pump, and the polishing solution inside the polishing pad is contacted with the polishing pad to realize cooling, so that the semiconductor can be rapidly cooled.)

一种第三代半导体干冰降温系统

技术领域

本发明涉及半导体干冰降温系统技术领域，具体涉及一种第三代半导体干冰降温系统。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，而为了更好的进行半导体的使用，通常需要采用研磨机来进行半导体表面的研磨，并且为了防止半导体研磨过程中过热影响精度，还通过设置了干冰降温系统，来使抛光液不仅具有加强研磨效果，还具有降温效果，大大提高了半导体研磨的效率。

目前在进行半导体干冰降温系统的使用时，需要不断的进行干冰的使用，而干冰属于消耗品，因此当干冰使用完后，需要使用者再一次进行干冰的添加，而不断的反复添加，不仅加大了使用者的工作量，也导致使用者无法很好的进行其他工作。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种第三代半导体干冰降温系统，解决了在进行半导体干冰降温系统的使用时，需要不断的进行干冰的使用，而干冰属于消耗品，因此当干冰使用完后，需要使用者再一次进行干冰的添加，而不断的反复添加，不仅加大了使用者的工作量，也导致使用者无法很好的进行其他工作的问题，达到对干冰自动推送效果。

(二)技术方案

本发明通过如下技术方案实现：本发明提出了一种第三代半导体干冰降温系统，包括研磨机主体和推送装置，所述研磨机主体下端均与支撑垫固定连接，所述推送装置设置于干冰箱左侧，所述推送装置由电动推杆、导杆、连接杆、连接块、推杆、推动板、磁铁、伸缩杆、密封机构、储存箱和进料口组成，所述电动推杆设置于研磨机主体左侧，并且电动推杆左侧与导杆转动连接，所述导杆左侧上端中部与连接杆转动连接，所述连接杆右侧上端与连接块转动连接，所述连接块与储存箱左侧下端焊接固定，所述推杆左侧与导杆转动连接，并且推杆右侧与推动板焊接固定，所述推动板上端内部设置有磁铁，并且推动板与储存箱内部下端滑动连接，所述磁铁与伸缩杆右侧吸附固定，所述伸缩杆左侧与储存箱插接固定，所述密封机构设置于进料口内部，所述储存箱焊接固定于干冰箱左侧，所述进料口开设于干冰箱左侧下端。

进一步的，所述推送装置由密封板、转轴、扭簧和收取槽组成，所述密封板下端通过转轴与收取槽转动连接，所述转轴中部外表面环绕连接有扭簧，所述扭簧下端与收取槽相贴合，所述收取槽开设于干冰箱左侧下端。

进一步的，所述研磨机主体上端设置有防溅环，并且防溅环内部转动连接有研磨盘，所述研磨机主体左侧上端焊接固定有干冰箱，所述干冰箱上端开设有压缩泵，并且干冰箱右侧上端设置有真空泵，所述真空泵左侧下端与干冰箱插接固定，并且真空泵右侧下端与虹吸喷雾喷头相插接，所述虹吸喷雾喷头设置于喷洒管内部左侧，并且虹吸喷雾喷头下端与抛光液箱插接固定，所述抛光液箱开设于干冰箱右侧下端，并且抛光液箱右侧上端开设有进液口，所述干冰箱右侧与喷洒管插接固定，所述研磨机主体前侧上端右侧设置有控制面板，并且控制面板左侧设置有电源线，所述研磨盘、压缩泵与真空泵均与控制面板电连接。

进一步的，所述导杆转动角度为80°，并且导杆整体厚度为2.5CM。

进一步的，所述推杆可推动最大距离为20CM，并且推杆外表面呈光滑状。

进一步的，所述推动板与储存箱内部下端开设凹槽滑动连接，并且推动板右侧设置有延长块。

进一步的，所述储存箱上端设置有顶盖，并且储存箱内壁均黏贴固定有密封层。

进一步的，所述扭簧上端与密封板相贴合，并且扭簧最大弹力为8N。

进一步的，所述转轴采用锌合金材质制成。

进一步的，所述扭簧采用碳素钢材质制成。

(三)有益效果

本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：

优点1：本发明的一种第三代半导体干冰降温系统，通过在干冰箱左侧设置了推送装置，在电动推杆运行下，将导杆推动并在连接杆作用下，实现推杆的右移活动，然后随着推杆的右移，就可带动推动板来将储存箱内部储存的干冰，推动到干冰箱内部，从而实现干冰自动推送的优点。

优点2：本发明的一种第三代半导体干冰降温系统，通过在干冰箱左侧下端设置了密封机构，在推动板进行推送活动时，进料口处会将密封板推动到收取槽内部，而当完成推送活动后，扭簧回弹，使密封板重新复位，来将进料口密封，从而达到了对未使用干冰保温的优点。

优点3：本发明的一种第三代半导体干冰降温系统，通过压缩泵运行，压缩空气，出来的冷却气体驱动虹吸喷雾喷头，并于内部抛光液接触实现冷却，进而实现半导体的快速降温。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的正视剖面结构示意图；

图3为本发明的推送装置正视剖面结构示意图；

图4为本发明的推送装置A处放大结构示意图；

图5为本发明的密封机构B处放大结构示意图。

图中：研磨机主体-1、支撑垫-2、防溅环-3、研磨盘-4、干冰箱-5、压缩泵-6、真空泵-7、虹吸喷雾喷头-8、抛光液箱-9、进液口-10、喷洒管-11、控制面板-12、电源线-13、推送装置-14、电动推杆-141、导杆-142、连接杆-143、连接块-144、推杆-145、推动板-146、磁铁-147、伸缩杆-148、密封机构-149、储存箱-1410、进料口-1411、密封板-1491、转轴-1492、扭簧-1493、收取槽-1494。

具体实施方式

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本发明提供一种第三代半导体干冰降温系统：包括研磨机主体1和推送装置14，研磨机主体1下端均与支撑垫2固定连接，推送装置14设置于干冰箱5左侧，推送装置14由电动推杆141、导杆142、连接杆143、连接块144、推杆145、推动板146、磁铁147、伸缩杆148、密封机构149、储存箱1410和进料口1411组成，电动推杆141设置于研磨机主体1左侧，并且电动推杆141左侧与导杆142转动连接，导杆142左侧上端中部与连接杆143转动连接，连接杆143右侧上端与连接块144转动连接，连接块144与储存箱1410左侧下端焊接固定，推杆145左侧与导杆142转动连接，并且推杆145右侧与推动板146焊接固定，推动板146上端内部设置有磁铁147，并且推动板146与储存箱1410内部下端滑动连接，磁铁147与伸缩杆148右侧吸附固定，并且有利于带动实现伸缩杆148的伸缩活动，伸缩杆148左侧与储存箱1410插接固定，并且有利于在推送时，上端放置干冰不会掉落下来，密封机构149设置于进料口1411内部，并且有利于对储存箱1410内部未使用的干冰密封保温，储存箱1410焊接固定于干冰箱5左侧，进料口1411开设于干冰箱5左侧下端。

其中，所述推送装置14由密封板1491、转轴1492、扭簧1493和收取槽1494组成，所述密封板1491下端通过转轴1492与收取槽1494转动连接，所述转轴1492中部外表面环绕连接有扭簧1493，所述扭簧1493下端与收取槽1494相贴合，所述收取槽1494开设于干冰箱5左侧下端。

其中，所述研磨机主体1上端设置有防溅环3，并且防溅环3内部转动连接有研磨盘4，所述研磨机主体1左侧上端焊接固定有干冰箱5，所述干冰箱5上端开设有压缩泵6，并且干冰箱5右侧上端设置有真空泵7，所述真空泵7左侧下端与干冰箱5插接固定，并且真空泵7右侧下端与虹吸喷雾喷头8相插接，所述虹吸喷雾喷头8设置于喷洒管11内部左侧，并且虹吸喷雾喷头8下端与抛光液箱9插接固定，所述抛光液箱9开设于干冰箱5右侧下端，并且抛光液箱9右侧上端开设有进液口10，所述干冰箱5右侧与喷洒管11插接固定，所述研磨机主体1前侧上端右侧设置有控制面板12，并且控制面板12左侧设置有电源线13，所述研磨盘4、压缩泵6与真空泵7均与控制面板12电连接。

其中，所述导杆142转动角度为80°，并且导杆142整体厚度为2.5CM，使得可以通过导杆142转动来实现推杆145的往复推送活动。

其中，所述推杆145可推动最大距离为20CM，并且推杆145外表面呈光滑状，使得进行往复推动时更加的流畅。

其中，所述推动板146与储存箱1410内部下端开设凹槽滑动连接，并且推动板146右侧设置有延长块，使得可以进一步加强推动板146的移动与推送效果。

其中，所述储存箱1410上端设置有顶盖，并且储存箱1410内壁均黏贴固定有密封层，使得可以很好的对未使用的干冰进行储存保温。

其中，所述扭簧1493上端与密封板1491相贴合，并且扭簧1493最大弹力为8N，使得可以带动密封板1491自动转动，来实现进料口1411的自动闭合密封。

其中，所述转轴1492采用锌合金材质制成。

其中，所述扭簧1493采用碳素钢材质制成。

本专利所述的转轴1492：即是连接产品零部主件必须用到的、用于转动工作中既承受弯矩又承受扭矩的轴；所述扭簧1493：扭转弹簧属于螺旋弹簧，扭转弹簧的端部被固定到其他组件，当其他组件绕着弹簧中心旋转时，该弹簧将它们拉回初始位置，产生扭矩或旋转力，扭转弹簧可以存储和释放角能量或者通过绕簧体中轴旋转力臂以静态固定某一装置，这类弹簧通常是密身的，但是，簧圈之间有节距以减少摩擦。

本发明的一种第三代半导体干冰降温系统，其工作工作原理如下；

第一，首先使用者将控制面板12电连接，接着就可分别在干冰箱5与抛光液箱9内部分别加入干冰与抛光液，接着在将所要进行研磨的半导体放置到研磨盘4上端，接着将研磨盘4运行，来对半导体外表面进行研磨活动，然后使用者将干冰箱5左侧上端的压缩泵6运行，来使外部压缩空气，进入到干冰箱5内部，来使压缩空气温度降低，接着使用者就可分别将真空泵7运行，来使干冰箱5内部的冷却压缩空气传输到虹吸喷雾喷头8处，使虹吸喷雾喷头8进行虹吸雾化活动将抛光液箱9内部设置的抛光液上吸从左侧喷出，并且在此过程中，抛光液与冷却压缩空气接触，实现冷却活动，然后完成冷却活动的抛光液，从喷洒管11管口处，传输到研磨盘4上端，然后在冷却的抛光液作用下，就可降低半导体研磨的温度，就可保证半导体研磨的质量；

第二，在进行半导体干冰降温系统的使用时，需要不断的进行干冰的使用，而干冰属于消耗品，因此当干冰使用完后，需要使用者再一次进行干冰的添加，而不断的反复添加，不仅加大了使用者的工作量，也导致使用者无法很好的进行其他工作；

第三，因此，通过在干冰箱5左侧设置了推送装置14，当干冰箱5内部放置的干冰使用完成后，使用者将电动推杆141运行，来使电动推动141将左侧转动连接的导杆142推动，然后在导杆142的转动与连接杆143的配合下，就可将伸出储存箱1410外部的推杆145右移，然后在推杆145右移下，就可将储存箱1410内部下端设置的推动板146推动，然后随着推动板146的推动下，就可将储存箱1410内部储存的干冰推动到干冰箱5内部，从而对干冰自动推送的优点；

第四，为了使得在推动板146进行干冰的推送时，上端的另一块干冰不会掉落下来，还在推动板146左侧上端设置了伸缩杆148，来对上端的干冰进行承接，当推动板146移动时，伸缩杆148会在推动板146左侧上端内部磁铁147的吸附左右下，伸缩到最大距离，然后当上端的干冰就会与伸缩杆148接触，从而就可防止上端干冰掉落，避免推动板146无法复位；

第五，为了未进行干冰的推送时，既保证储存箱1410内部干冰的保温，还保证干冰箱5内部干冰的使用，还通过在干冰箱5左侧下端设置了密封机构149，当推动板146进行推送活动时，推送的干冰会将竖直的密封板1491右推到收取槽1494内部，来保证使用的干冰可以很好的进入到干冰箱5内部，然后当完成推送活动后，密封板1491会在扭簧1493回弹的作用下，重新转动呈竖直状态，来将进料口1411密封，保证保温效果，从而达到了对未使用干冰保温的优点。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。