玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置及制造方法
阅读说明：本技术 玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置及制造方法 (Glass substrate conveying device, laminated glass manufacturing device and manufacturing method ) 是由 西森才将 梨木智刚 于 2020-03-27 设计创作，主要内容包括：玻璃基材(1)的输送装置(11)具有：送出辊(21),其将具有玻璃基材(1)和第1保护材料(5)的输送基材(4)送出；保护材料卷取辊(23),其从玻璃基材(1)卷取第1保护材料(5)；卷取辊(41),其配置于送出辊(21)的输送方向下游侧,卷取玻璃基材(1)；以及除电部(15),其配置于送出辊(21)与卷取辊(41)之间。(A glass substrate (1) conveying device (11) comprises: a delivery roller (21) that delivers a transport substrate (4) having a glass substrate (1) and a first protective material (5); a protective material take-up roll (23) that takes up the 1 st protective material (5) from the glass substrate (1); a winding roller (41) which is disposed on the downstream side in the conveyance direction of the delivery roller (21) and which winds the glass substrate (1); and a static elimination unit (15) disposed between the delivery roller (21) and the take-up roller (41).)
技术领域
本发明涉及玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及层叠玻璃的制造方法。
背景技术
近年来，作为在液晶显示器、有机EL显示器等图像显示装置中具有的光学膜的柔性基材，从耐热性等的观点来看，逐渐使用薄玻璃基材。具体而言，在薄玻璃基材形成有铟锡氧化物(ITO)等的透明导电层的透明导电性玻璃被用作触摸面板膜。
为了大量生产这样的光学膜，采用卷对卷方式。即，利用驱动辊、引导辊等辊输送呈长条且柔性的薄玻璃基材，利用溅射法等使透明导电层等功能层成膜，最后，将层叠有功能层的层叠玻璃卷绕为辊状(参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2014-109073号公报
发明内容
发明要解决的问题
另外，在专利文献1中，在功能层成膜时，有时以400℃以上的高温进行加热，因此，输送中的薄玻璃基材在未层叠保护材料等的状态下被输送并成膜。即，薄玻璃基材以单体被输送并成膜。
因此，薄玻璃基材与辊直接接触。与以往的塑料基材相比较，薄玻璃基材的表面平滑，因此，容易发生与辊紧贴的粘连(blocking)现象。其结果是，在薄玻璃基材和辊分开时，薄玻璃基材有可能破损。
本发明提供抑制玻璃基材的破损的玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及层叠玻璃的制造方法。
用于解决问题的方案
本发明[1]包括一种玻璃基材的输送装置，其为用于输送具有挠性的玻璃基材的输送装置，其中，该玻璃基材的输送装置具有：第1辊，其将具有所述玻璃基材和保护材料的输送基材送出；第2辊，其从所述玻璃基材卷取所述保护材料；第3辊，其配置于所述第1辊的输送方向下游侧，卷取所述玻璃基材；以及除电部，其配置于所述第1辊与所述第3辊之间。
根据该玻璃基材的输送装置，由于在第1辊与第3辊之间具有除电部，因此，能够去除在玻璃基材带的电。因此，在玻璃基材与引导辊等辊相接触时，能够抑制因带电导致的玻璃基材与辊的紧贴(粘连)。因而，在玻璃基材与辊分开时，能够减少玻璃基材的负荷，能够抑制玻璃基材的破损。
本发明[2]包括[1]所述的玻璃基材的输送装置，其中，该玻璃基材的输送装置还具有驱动辊，所述除电部配置于所述驱动辊的输送方向下游侧。
根据该玻璃基材的输送装置，由于具有驱动辊，因此，能够可靠且连续地输送玻璃基材。另外，由于除电部配置于驱动辊的下游侧，因此，能够对因玻璃基材与驱动辊相接触而导致在该玻璃基材带的电进行除电，其结果是，能够抑制因驱动辊导致的玻璃基材的破损。
本发明[3]包括一种层叠玻璃的制造装置，其中，该层叠玻璃的制造装置具有：[1]或[2]所述的输送装置；以及成膜装置，其配置于所述第1辊与所述第3辊之间，将功能层在真空下设于所述玻璃基材。
根据该层叠玻璃基材的输送装置，由于具有上述输送装置和成膜装置，因此，能够在抑制玻璃基材破损的同时，在玻璃基材设置功能层。因此，能够可靠地制造层叠玻璃。
本发明[4]包括[3]所述的层叠玻璃的制造装置，其中，所述除电部具有第1除电部和第2除电部，所述第1除电部设于所述成膜装置的输送方向上游侧，所述第2除电部设于所述成膜装置的输送方向下游侧。
根据该层叠玻璃的输送装置，由于在成膜装置的上游侧和下游侧具有除电部(第1除电部或第2除电部)，因此，能够抑制成膜前后的玻璃基材的带电。因此，能够更可靠地抑制玻璃基材的破损。
本发明[5]包括层叠玻璃的制造方法，其中，该层叠玻璃的制造方法依次具有：准备工序，在该工序中准备输送基材，该输送基材具备保护材料和有挠性的玻璃基材；剥离工序，在该工序中，从所述玻璃基材剥离所述保护材料；以及成膜工序，在该工序中，将功能层在真空下设于所述玻璃基材，该层叠玻璃的制造方法在所述成膜工序之前和/或之后具有对所述玻璃基材进行除电的除电工序。
根据该层叠玻璃的制造方法，由于对玻璃基材进行除电，因此，能够去除在玻璃基材带的电。因此，能够抑制玻璃基材和辊相接触时的粘连，能够减少该玻璃基材和辊分开时的负荷。因而，能够在抑制玻璃基材破损的同时，在玻璃基材设置功能层。其结果是，能够可靠地制造层叠玻璃。
本发明[6]包括[5]所述的层叠玻璃的制造方法，其中，所述除电工序至少在所述成膜工序之前实施。
根据该层叠玻璃的制造方法，由于在成膜前对玻璃基材进行除电，因此，能够抑制成膜前的玻璃基材的破损。
本发明[7]包括[5]或[6]所述的层叠玻璃的制造方法，其中，所述除电工序在所述成膜工序之前和之后实施。
根据该层叠玻璃的制造方法，由于在成膜工序之前和之后都实施除电工序，因此，能够抑制成膜前后的玻璃基材的带电。因此，能够更可靠地抑制玻璃基材的破损。
发明的效果
根据本发明的玻璃基材的输送装置，能够在抑制玻璃基材破损的同时输送玻璃基材。另外，根据本发明的层叠玻璃的制造装置和使用该层叠玻璃的制造装置的制造方法，能够在抑制玻璃基材破损的同时制造层叠玻璃。
附图说明
图1表示本发明的输送成膜装置的一实施方式。
图2A-图2D表示利用图1的输送成膜装置输送的输送物的剖视图，图2A表示卷绕于送出辊的阶段的输送物(即输送基材)，图2B表示从送出辊向第1驱动辊输送的阶段的输送物(即玻璃基材单体)，图2C表示从成膜区域向冷却装置输送的阶段的输送物(即透明导电性玻璃)，图2D表示从第5引导辊卷绕于卷取辊的阶段的输送物(即透明导电性玻璃和第2保护材料的层叠体)。
附图标记说明
1、玻璃基材；2、透明导电层；3、透明导电性玻璃；4、输送基材；5、第1保护材料；10、输送成膜装置；11、输送装置；12、溅射装置；15、除电部；16、卷取部；17、第1除电部；18、第2除电部；21、送出辊；22、第1驱动辊；23、保护材料卷取辊；41、卷取辊。
具体实施方式
1.输送成膜装置
参照图1，说明本发明的制造装置的一实施方式的输送成膜装置10。
图1所示的输送成膜装置10一边输送玻璃基材1，一边在其厚度方向一面设置透明导电层(功能层的一个例子)2，制造透明导电性玻璃(层叠玻璃的一个例子)3。具体而言，输送成膜装置10从辊状的输送基材4剥离第1保护材料5(保护材料的一个例子)，输送玻璃基材1单体，接着，在玻璃基材1设置透明导电层2来制造透明导电性玻璃3，接着，在透明导电性玻璃3层叠第2保护材料6并卷绕为辊状。
输送成膜装置10具有输送装置11、溅射装置(成膜装置的一个例子)12以及冷却装置13。输送装置11具有送出部14、除电部15以及卷取部16。除电部15具有第1除电部17和第2除电部18。具体而言，输送成膜装置10从输送方向上游侧(以下省略为“上游侧”)向输送方向下游侧(以下省略为“下游侧”)依次具有送出部14、第1除电部17、溅射装置12、冷却装置13、第2除电部18以及卷取部16。下面对它们进行详细说明。
送出部14在输送装置11中配置于最上游侧，送出长条的输送基材4。
送出部14具有送出辊(第1辊的一个例子)21、第1驱动辊(驱动辊的一个例子)22、保护材料卷取辊(第2辊的一个例子)23以及送出壳体24。
在送出辊21中，放置有辊状的输送基材4。即，在送出辊21的周面卷绕有在输送方向上呈长条的输送基材4。送出辊21是具有在输送方向上旋转的旋转轴并在宽度方向上延伸的圆柱构件。此外，在本说明书中，后述的各种辊(送出辊21、第1驱动辊～第2驱动辊(22、40)、保护材料卷取辊23、第1引导辊～第5引导辊(26、28、31、38、43)、第1冷却辊～第2冷却辊(34、35)、卷取辊41、保护材料送出辊42、夹压辊44)均为具有在输送方向上旋转的旋转轴并在宽度方向上延伸的圆柱构件。
另外，送出辊21构成为，利用外部动力等进行驱动，能够向图1所示的箭头方向旋转。即，送出辊21也是驱动辊，关于其结构，以第1驱动辊22进行详细说明。
第1驱动辊22对放置于送出辊21的输送基材4的玻璃基材1赋予用于将其朝向下游侧送出的动力。即，将玻璃基材1从送出辊21送出，并向第1除电部17输送。
第1驱动辊22构成为，利用外部动力等进行驱动，能够向图1所示的箭头方向旋转。具体而言，在第1驱动辊22的旋转轴的端部设有齿轮(未图示)，在齿轮连接有用于使第1驱动辊22向箭头方向旋转的马达(未图示)。第1驱动辊22利用马达的驱动力进行旋转。
保护材料卷取辊23从输送基材4剥离第1保护材料5，并且卷取第1保护材料5。保护材料卷取辊23配置于送出辊21的附近。保护材料卷取辊23为驱动辊，其构成为，利用外部动力等进行驱动，能够向图1所示的箭头方向旋转。
送出壳体24在其内部收纳有送出辊21、第1驱动辊22以及保护材料卷取辊23。
送出壳体24构成为，能够将其内部调节为真空状态。具体而言，在送出壳体24连接有能够将其内部的空气向外部排出的真空泵(未图示)。此外，在本说明书中，真空状态是指，例如气压为0.1Pa以下的状态，优选为1×10-3Pa以下的状态。
第1除电部17配置为，在送出部14的下游侧与送出部14相邻。第1除电部17对玻璃基材1进行除电。
第1除电部17具有第1除电机25、第1引导辊26以及第1除电壳体27。
第1除电机25能够减少在玻璃基材1带的电。第1除电机25配置于第1驱动辊22的下游侧且是第1引导辊26的上游侧。
作为第1除电机25，能够举出例如电晕放电式除电机、电离放射线式除电机等。
电晕放电式除电机利用电晕放电使空气离子化，使离子化之后的空气与玻璃基材1相接触，从而进行除电。作为电晕放电式除电机，可以是例如电压施加式和自放电式中的任一者。
电离放射线式除电机使例如软X射线、阿尔法粒子、紫外线等电离放射线与玻璃基材1相接触，从而进行除电。
第1引导辊26将从第1驱动辊22经过第1除电机25输送的玻璃基材1向溅射装置12的第2引导辊28引导。第1引导辊26配置于第1除电机25的下游侧且是第2引导辊28的上游侧。
第1除电壳体27在其内部收纳有第1除电机25和第1引导辊26。第1除电壳体27构成为，能够将其内部调节为真空状态。
溅射装置12配置为，在第1除电部17的下游侧与第1除电部17相邻。溅射装置12在成膜区域33(成膜室)对玻璃基材1实施溅镀，形成透明导电层2。
溅射装置12具有第2引导辊28、溅射靶29、加热机30、第3引导辊31以及溅射壳体32。
第2引导辊28将从第1引导辊26输送来的玻璃基材1向成膜区域33引导。第2引导辊28配置于第1引导辊26的下游侧且是溅射靶29的上游侧。
溅射靶29为透明导电层2的原材料。溅射靶29在第2引导辊28的下游侧且是第3引导辊31的上游侧与玻璃基材1隔有间隔地相对配置。
作为溅射靶29的材料，能够举出金属氧化物，该金属氧化物包括从由例如In、Sn、Zn、Ga、Sb、Nb、Ti、Si、Zr、Mg、Al、Au、Ag、Cu、Pd、W构成的群中选择的至少1种金属。
具体而言，能够举出例如铟锡复合氧化物(ITO)等含铟氧化物、例如锑锡复合氧化物(ATO)等含锑氧化物等，优选地举出含铟氧化物，更优选地举出ITO。
加热机30对玻璃基材1、从该玻璃基材1制得的透明导电性玻璃3进行加热。加热机30在第2引导辊28的下游侧且是第3引导辊31的上游侧，与玻璃基材1隔有间隔地配置。另外，加热机30以玻璃基材1为基准，在与溅射靶29相反的一侧与溅射靶29相对地配置。
成膜区域33被划分在第2引导辊28与第3引导辊31之间的输送方向中途，在成膜区域33配置有溅射靶29和加热机30。
第3引导辊31将已成膜的玻璃基材1(即透明导电性玻璃3)向冷却装置13的第1冷却辊34引导。第3引导辊31配置于溅射靶29的下游侧且是第1冷却辊34(后述)的上游侧。
溅射壳体32收纳第2引导辊28、溅射靶29、加热机30以及第3引导辊31。溅射壳体32构成为，能够将其内部调节为真空状态。
此外，溅射装置12具有用于实施溅射的其他元件(阳极、阴极、Ar气体导入部件等)，对此未图示。
作为溅射装置12，具体而言，能够举出例如双极型溅射装置、电子回旋共振型溅射装置、磁控管型溅射装置、离子束型溅射装置等。
冷却装置13配置为，在溅射装置12的下游侧与溅射装置12相邻。冷却装置13对在溅射装置12中被加热的透明导电性玻璃3进行冷却。
冷却装置13具有第1冷却辊34、第2冷却辊35以及冷却壳体36。
第1冷却辊34在冷却装置13中配置于上游侧，第2冷却辊35配置于第1冷却辊34的下游侧。另外，第1冷却辊34和第2冷却辊35也分别是驱动辊。
第1冷却辊34和第2冷却辊35的表面温度例如为280℃以下，优选为150℃以下，另外，第1冷却辊34和第2冷却辊35的表面温度例如为40℃以上，优选地构成为，能够维持在100℃以上。
冷却壳体36在其内部收纳第1冷却辊34和第2冷却辊35。冷却壳体36构成为，能够将其内部调节为真空状态。
第2除电部18配置为，在冷却装置13的下游侧与冷却装置13相邻。第2除电部18对透明导电性玻璃3进行除电。
第2除电部18具有第2除电机37、第4引导辊38以及第2除电壳体39。
第2除电机37能够减少在玻璃基材1带的电。第2除电机37配置于第2冷却辊35的下游侧且是第4引导辊38的上游侧。作为第2除电机37的具体例子，能够举出与第1除电机25相同的除电机。
第4引导辊38将从第2冷却辊35经过第2除电机37输送来的透明导电性玻璃3向卷取部16的第2驱动辊40引导。第4引导辊38配置于第2除电机37的下游侧且是第2驱动辊40的上游侧。
第2除电壳体39在其内部收纳有第2除电机37和第4引导辊38。第2除电壳体39构成为，能够将其内部调节为真空状态。
卷取部16在输送装置11中配置于最下游侧，并配置为，在第2除电机37的下游侧与第2除电机37相邻。卷取部16将透明导电性玻璃3与第2保护材料6一起卷取。
卷取部16具有第2驱动辊40、卷取辊(第3辊的一个例子)41、保护材料送出辊42、第5引导辊43、夹压辊44以及卷取壳体45。
第2驱动辊40对从第2除电部18输送来的透明导电性玻璃3赋予用于将其朝向下游侧送出的动力。即，第2驱动辊40将透明导电性玻璃3向卷取辊41引导。
卷取辊41将从第2驱动辊40与夹压辊44之间输送的透明导电性玻璃3和第2保护材料6的层叠体7卷取。卷取辊41也是驱动辊。
在保护材料送出辊42中，放置有辊状的第2保护材料6。即，在保护材料送出辊42的周面卷绕有在输送方向上呈长条的第2保护材料6。保护材料送出辊42为驱动辊，能够将第2保护材料6向第5引导辊43送出。
第5引导辊43将从保护材料送出辊42送出的第2保护材料6向夹压辊44引导。第5引导辊43配置于保护材料送出辊42与夹压辊44之间的输送方向中途。
夹压辊44与第2驱动辊40一起将第2保护材料6层叠于透明导电性玻璃3。夹压辊44与第2驱动辊40隔有少许的间隔地相对配置。
卷取壳体45在其内部收纳有第2驱动辊40、卷取辊41、保护材料送出辊42、第5引导辊43以及夹压辊44。卷取壳体45构成为，能够将其内部调节为真空状态。
2.透明导电性玻璃的制造方法
参照图1和图2，说明使用输送成膜装置10来制造透明导电性玻璃3的方法。透明导电性玻璃3的制造方法依次具有准备输送基材4的准备工序、从玻璃基材1剥离第1保护材料5的剥离工序、对玻璃基材1进行除电的第1除电工序、在真空下在玻璃基材1上设置透明导电层2的成膜工序、冷却透明导电性玻璃3的冷却工序、对透明导电性玻璃3进行除电的第2除电工序以及将透明导电性玻璃3卷绕于卷取辊41的卷取工序。下面对各工序进行详细说明。
首先，对送出辊21准备输送基材4(准备工序)。具体而言，准备输送基材4，并将其放置于送出辊21。
输送基材4在厚度方向上具有玻璃基材1和第1保护材料5(参照图2A)。即，输送基材4为带有保护材料的玻璃基材。输送基材4在输送方向上呈长条，被卷绕为辊状。这样的辊状的输送基材4能够使用公知或市售的输送基材。
玻璃基材1具有膜形状(包含片形状)，由透明的玻璃形成。作为玻璃，能够举出例如无碱玻璃、苏打玻璃、硼硅酸盐玻璃、铝硅酸盐玻璃等。
玻璃基材1具有挠性，其厚度例如为250μm以下，优选为100μm以下，另外，其厚度例如为10μm以上，优选为40μm以上。
第1保护材料5在送出辊状的玻璃基材1时防止玻璃基材1彼此因接触导致的破损。第1保护材料5具有膜形状，配置于玻璃基材1的厚度方向一面。
作为第1保护材料5，能够举出例如带粘合剂的膜、衬纸等。
带粘合剂的膜在厚度方向上具有高分子膜和粘合剂层。
作为高分子膜，能够举出例如聚酯类膜(聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、聚对苯二甲酸丁二醇酯膜、聚萘二甲酸乙二醇酯膜等)、聚碳酸酯类膜、烯烃类膜(聚乙烯膜、聚丙烯膜、环烯烃膜等)、丙烯酸类膜、聚醚砜类膜、聚芳酯类膜、三聚氰胺类膜、聚酰胺类膜、聚酰亚胺类膜、纤维素类膜、聚苯乙烯类膜。
粘合剂层为压敏粘接剂层，能够举出例如丙烯酸类粘合剂层、橡胶类粘合剂层、有机硅类粘合剂层、聚酯类粘合剂层、聚氨酯类粘合剂层、聚酰胺类粘合剂层、环氧类粘合剂层、乙烯基烷基醚类粘合剂层、氟类粘合剂层等。
作为衬纸，能够举出例如高级纸、和纸、牛皮纸、格拉辛纸、合成纸、涂料纸(topcoat paper)等。
第1保护材料5的厚度例如为10μm以上，优选为30μm以上，另外，第1保护材料5的厚度例如为1000μm以下，优选为500μm以下。
接着，使输送成膜装置10进行工作。具体而言，将各种壳体(送出壳体24、第1除电壳体27、第2除电壳体39以及卷取壳体45)全部调整为真空，并且驱动全部的各种驱动辊(送出辊21、第1驱动辊～第2驱动辊(22、40)、保护材料卷取辊23、第1引导辊～第5引导辊(26、28、31、38、43)、第1冷却辊～第2冷却辊(34、35)、卷取辊41、保护材料送出辊42以及夹压辊44)使它们进行旋转。另外，也使除电部15(第1除电机25和第2除电机37)、冷却装置13以及溅射装置12等进行工作。由此，输送基材4被向下游侧输送，并且依次实施剥离工序、第1除电工序、成膜工序、冷却工序、第2除电工序以及卷取工序。
具体而言，在送出部14中，输送基材4被从送出辊21送出。这时，第1保护材料5被从输送基材4的玻璃基材1剥离。第1保护材料5被保护材料卷取辊23卷取，玻璃基材1单独地向第1驱动辊22输送(参照图2B)。
然后，玻璃基材1的厚度方向一面与第1驱动辊22直接接触，该玻璃基材1从送出部14向第1除电部17输送。此时，因第1驱动辊22的驱动力和摩擦力导致在玻璃基材1的厚度方向一面发生带电。
在第1除电部17中，玻璃基材1通过第1除电机25的工作被除电。即，玻璃基材1所带的电量减少。此时，为了对玻璃基材1的厚度方向一面进行除电，第1除电部17从玻璃基材1的厚度方向一侧进行除电。
然后，除电后的玻璃基材1被第1引导辊26引导，向溅射装置12输送。
在溅射装置12中，玻璃基材1被第2引导辊28引导，向成膜区域33输送。在成膜区域33中，对玻璃基材1实施溅镀。
溅镀是通过供给气体并且从电源施加电压，从而使气体离子加速并向溅射靶29照射，将靶材料从溅射靶29的表面撞击出，使该靶材料层叠于玻璃基材1的表面。
作为溅镀，具体而言，能够举出双极溅镀法、电子回旋共振溅镀法、磁控管溅镀法、离子束溅镀法等。
作为溅镀所使用的气体(即向成膜区域33导入的气体)，能够举出例如氩(Ar)等非活性气体。优选的是，能够同时使用氧气等反应性气体。
溅镀时的气压(即成膜区域33的气压)为真空，优选为小于1.0Pa，更优选为0.5Pa以下。
由此，在成膜区域33中，在玻璃基材1的厚度方向一面使透明导电层2成膜，制得透明导电性玻璃3(参照图2C)。
另外，在溅镀的同时，透明导电性玻璃3被加热机30加热。
加热温度例如为300℃以上，优选为400℃以上，另外，加热温度例如为800℃以下，优选为600℃以下。由此，例如在透明导电层2为ITO层的情况下，能够在成膜的同时使ITO层在高温下结晶化，能够提高导电性。
然后，透明导电性玻璃3被第3引导辊31引导，向冷却装置13输送。
在冷却装置13中，透明导电性玻璃3依次与第1冷却辊34和第2冷却辊35相接触而被冷却。
各冷却辊(34、35)的表面温度例如为280℃以下，优选为150℃以下，另外，各冷却辊(34、35)的表面温度例如为40℃以上。
此时，从透明导电性玻璃3与冷却辊34、35的接触面积的扩大(进而是冷却效率的提高)的观点来看，在第1冷却辊34与第2冷却辊35之间，以横穿它们的相对方向的方式，输送透明导电性玻璃3。即，以与第1冷却辊34的径向一方向端部和第2冷却辊35的径向另一端部相接触的方式，输送透明导电性玻璃3。
这时，透明导电性玻璃3的玻璃基材1的厚度方向另一面与第2冷却辊35直接接触，该透明导电性玻璃3的玻璃基材1从冷却装置13向第2除电部18输送。此时，因第2冷却辊35的驱动力和摩擦力导致在透明导电性玻璃3的厚度方向另一面(玻璃基材1侧的表面)发生带电。
然后，已冷却的透明导电性玻璃3被向第2除电部18输送。
在第2除电部18中，透明导电性玻璃3通过第2除电机37的工作被除电。即，透明导电性玻璃3的玻璃基材1所带的电量减少。此时，为了对透明导电性玻璃3的厚度方向另一面(靠玻璃基材1侧的表面)进行除电，第2除电部18从透明导电性玻璃3的厚度方向另一侧进行除电。
然后，除电后的透明导电性玻璃3被第4引导辊38引导，向卷取部16输送。
在卷取部16中，第2保护材料6被从保护材料送出辊42送出，被第5引导辊43引导，向夹压辊44输送。
另一方面，透明导电性玻璃3与第2保护材料6一起经过第2驱动辊40与夹压辊44之间，在透明导电性玻璃3的厚度方向另一面层叠第2保护材料6。
然后，透明导电性玻璃3与第2保护材料6一起被卷取辊41卷取。具体而言，层叠体7(参照图2D)被卷绕为辊状，该层叠体7具有透明导电性玻璃3和配置于该透明导电性玻璃3的厚度方向另一面(与透明导电层2相反的一侧的表面)的第2保护材料6。
3.透明导电性玻璃的用途
透明导电性玻璃3在例如图像显示装置等光学装置中使用。在将透明导电性玻璃3设于图像显示装置(具体而言，具有LCD模块、有机EL模块等图像显示元件的图像显示装置)的情况下，透明导电性玻璃3被用作例如触摸面板用基材、防反射基材等，优选地被用作触摸面板用基材。作为触摸面板的形式，能够举出光学方式、超声波方式、静电容方式、电阻膜方式等各种方式，尤其适合用于静电容方式的触摸面板。
并且，该输送成膜装置10中的输送装置11具有送出辊21、保护材料卷取辊23、卷取辊41以及除电部15。
因此，能够去除在玻璃基材1的表面带的电。因此，在玻璃基材1与第1引导辊26等其他辊相接触时，能够抑制因带电导致的玻璃基材1与其他辊的粘连。因而，在玻璃基材1与其他辊分开时，能够减少玻璃基材1的负荷，能够抑制玻璃基材1的破损。
另外，输送装置11还具有第1驱动辊22，因此，能够可靠且连续地输送玻璃基材1。另外，第1除电机25配置于第1驱动辊22的下游侧，因此，能够对因玻璃基材1与第1驱动辊22相接触而导致在该玻璃基材1带的电进行除电，其结果是，能够抑制因第1驱动辊22导致的玻璃基材1的破损。
尤其是当第1驱动辊22与玻璃基材1的平滑的表面直接接触时，因第1驱动辊22的旋转产生的摩擦的缘故，容易在玻璃基材1的表面产生静电。因而，通过在第1驱动辊22之后紧挨着第1驱动辊22地配置第1除电部17，能够立即且可靠地减少玻璃基材1的带电。另一方面，在透明导电性玻璃3中，在透明导电层2与第1冷却辊34(驱动辊)的接触中，透明导电层2不像玻璃表面那样平滑，不易产生静电，因此，不必在与透明导电层2相接触的第1冷却辊34(驱动辊)之后紧挨着第1冷却辊34地配置除电部。另一方面，当在与玻璃基材1相接触的第2冷却辊35(驱动辊)之后紧挨着第2冷却辊35地配置第2除电部18时，能够有效地抑制玻璃基材1因带电导致的破损。
另外，输送成膜装置10具有输送装置11和溅射装置12。
因此，能够在抑制玻璃基材1破损的同时，在玻璃基材1设置透明导电层2。因而，能够可靠地制造透明导电性玻璃3。
另外，除电部15具有第1除电部17和第2除电部18，第1除电部17设于溅射装置12的上游侧，第2除电部18设于溅射装置12的下游侧。
因此，在透明导电层2的成膜前后，能够抑制玻璃基材1、透明导电性玻璃3的带电。因而，能够更可靠地抑制玻璃基材1、透明导电性玻璃3的破损，能够可靠地制造透明导电性玻璃3。
在透明导电性玻璃3的制造方法中，依次具有准备具有玻璃基材1和第1保护材料5的输送基材4的准备工序、从玻璃基材1剥离第1保护材料5的剥离工序以及在真空下在玻璃基材1上设置透明导电层2的成膜工序，在成膜工序的前后，具有对玻璃基材1进行除电的除电工序。
因此，能够抑制在玻璃基材1与辊相接触时的粘连，能够减少该玻璃基材1与辊分开时的负荷。因而，能够在抑制玻璃基材1破损的同时，在玻璃基材1设置透明导电层2。其结果是，能够可靠地制造透明导电性玻璃3。
尤其是除电工序在成膜工序之前和之后实施。因此，在透明导电层2的成膜前后，能够抑制玻璃基材1、透明导电性玻璃3的带电。因而，能够更可靠地抑制玻璃基材1、透明导电性玻璃3的破损，能够可靠地制造透明导电性玻璃3。
4.变形例
下面说明图1所示的一实施方式的变形例。此外，关于这些变形例，也起到与上述的一实施方式相同的作用效果。
(1)在图1所示的实施方式中，两个除电部15配置于溅射装置12的前后。即，除电工序在成膜工序的前后实施。例如，除电部15既可以仅具有第1除电部17，另外，也可以仅具有第2除电部18，对此未图示。即，除电工序既可以仅在溅射成膜之前的工序实施，另外，也可以仅在溅射成膜之后的工序实施。
优选地举出图1所示的实施方式。在该实施方式中，每次对因与配置于溅射装置12的前后的驱动辊相接触而产生的电进行除电，能够可靠地抑制玻璃基材1因带电导致的破损。
(2)在图1和图2所示的实施方式中，作为层叠玻璃，例示了透明导电性玻璃3，即，作为功能层，例示了透明导电层2，但是，例如作为功能层，也能够设为例如硬敷层、光学调整层、金属层(例如铜层等非透明导电层)等，对此未图示。另外，作为功能层，既可以是1层，也可以是2层以上。
(3)在图1所示的实施方式中，作为成膜装置，例示了溅射装置12，但能够举出例如真空蒸镀装置、化学蒸镀装置等真空成膜装置等，对此未图示。
此外，上述发明是作为本发明的例示的实施方式而提供的，但这仅仅是例示，而不能进行限定性的解释。本领域技术人员所明确的本发明的变形例包含在权利要求书中。
产业上的可利用性
玻璃基材的输送装置和层叠玻璃的制造装置用于层叠玻璃的制造。