阅读说明：本技术 一种晶圆旋转涂覆废液收集装置 (Wafer spin coating waste liquid collection device ) 是由 许志雄 于 2020-06-23 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种晶圆旋转涂覆废液收集装置,其结构包括顶板、收集箱、辅助压紧装置、放置座、放置槽和风道,本发明通过将辅助压紧装置设置于顶板顶部左右两端,便可通过旋钮带动转动盘进行转动,使得转动盘前端通过卡柱与连接板上的横槽进行卡位滑动,转动盘后端通过拨动件与压紧件上的弧形槽进行卡位滑动,并且压紧件通过限位件进行固定滑动,从而通过压紧件沿着安装板上的滑槽进行伸缩滑动,实现对晶圆进行调节压紧固定,保证废液收集操作的稳定性。同时,通过将压紧件下端内中部贯穿有竖槽,并且竖槽内径表面与限位件卡位滑动,便于进行正常的滑动,保证滑动的稳定性。(The invention discloses a wafer rotating coating waste liquid collecting device which structurally comprises a top plate, a collecting box, an auxiliary pressing device, a placing seat, a placing groove and an air channel. Simultaneously, it has perpendicular groove to run through the middle part in will compressing tightly a lower extreme to perpendicular inslot footpath surface slides with the locating part screens, is convenient for carry out normal slip, guarantees gliding stability.)

一种晶圆旋转涂覆废液收集装置

技术领域

本发明涉及晶圆旋转涂覆的工艺技术领域，具体涉及一种晶圆旋转涂覆废液收集装置。

背景技术

新的技术和市场对设备的产能要求不断提高，在同样占地面积下，要实现更多的产能就要配置更多的工艺模块，工艺模块的集成度不断提高，出现一个工艺腔内配置多个旋涂单元的新型旋转涂覆模块，因此加工时需要废液收集装置进行废液收集。

当需要对晶圆旋转涂覆废液收集装置进行使用的情况下，由于现有废液收集装置结构较为简单，均为嵌入放置进行废液收集，容易出现旋转涂覆晃动偏移，并且力度过重进行压紧固定时容易造成晶圆变形损坏，影响涂覆的均匀性和废液收集效果。

发明内容

(一)解决的技术问题

为了克服现有技术不足，现提出一种晶圆旋转涂覆废液收集装置，解决了当需要对晶圆旋转涂覆废液收集装置进行使用的情况下，由于现有废液收集装置结构较为简单，均为嵌入放置进行废液收集，容易出现旋转涂覆晃动偏移，并且力度过重进行压紧固定时容易造成晶圆变形损坏，影响涂覆的均匀性和废液收集效果的问题。

(二)技术方案

本发明通过如下技术方案实现：本发明提出了一种晶圆旋转涂覆废液收集装置，包括顶板、收集箱、辅助压紧装置和放置座，所述顶板底端中部与收集箱紧密固定，所述辅助压紧装置设置于顶板顶部左右两端，所述辅助压紧装置包括箱体、旋钮和滑动机构，所述箱体右侧中部固定安装有旋钮，所述箱体内中部设置有滑动机构，所述箱体固定安装于顶板顶部左右两端。

进一步的，所述顶板顶端中部固定安装有放置座，所述放置座顶端中部嵌入有放置槽，所述放置槽内侧底部贯穿有风道。

进一步的，所述滑动机构包括转动盘、横槽、连接板、拨动件、弧形槽、压紧件、限位件、滑槽和安装板，所述转动盘前端面外缘通过卡柱与横槽卡位滑动，所述横槽穿设于连接板内中部，所述转动盘后端中部与拨动件相互固定，所述拨动件与弧形槽内径表面卡位滑动，所述弧形槽贯穿于压紧件内中部，并且压紧件与连接板后端面四角锁紧固定，所述压紧件下端内中部与限位件卡位滑动，所述压紧件沿着滑槽滑动配合，所述滑槽穿设于安装板内中部，所述转动盘后端中部通过连接轴与旋钮相连接。

进一步的，所述旋钮外部设置有橡胶套，并且橡胶套表面设置有防滑纹。

进一步的，所述箱体外侧下端设置有四个螺孔，并且螺孔直径为8MM。

进一步的，所述转动盘前端面外缘设置有卡柱，并且卡柱与横槽内径表面卡位滑动。

进一步的，所述压紧件下端内中部贯穿有竖槽，并且竖槽内径表面与限位件卡位滑动。

进一步的，所述压紧件内侧上端设置有下压杆，并且下压杆沿着滑槽内径表面滑动配合。

进一步的，所述安装板材质为PVC塑料。

进一步的，所述拨动件采用不锈钢材质。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆旋转涂覆废液收集装置，具备以下有益效果：

优点一：通过将辅助压紧装置设置于顶板顶部左右两端，便可通过旋钮带动转动盘进行转动，使得转动盘前端通过卡柱与连接板上的横槽进行卡位滑动，转动盘后端通过拨动件与压紧件上的弧形槽进行卡位滑动，并且压紧件通过限位件进行固定滑动，从而通过压紧件沿着安装板上的滑槽进行伸缩滑动，实现对晶圆进行调节压紧固定，防止压损晶圆，保证废液收集操作的稳定性。

优点二：通过将压紧件下端内中部贯穿有竖槽，并且竖槽内径表面与限位件卡位滑动，便于进行正常的滑动，保证滑动的稳定性。

附图说明

图1为本发明提供的晶圆旋转涂覆废液收集装置结构示意图；

图2为本发明辅助压紧装置的结构示意图；

图3为本发明滑动机构的结构示意图；

图4为本发明拨动件的结构示意图；

图5为本发明转动盘的结构示意图。

图中：顶板-1、收集箱-2、辅助压紧装置-3、放置座-4、放置槽-5、风道-6、箱体-31、旋钮-32、滑动机构-33、转动盘-331、横槽-332、连接板-333、拨动件-334、弧形槽-335、压紧件-336、限位件-337、滑槽-338、安装板-339。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1，本发明提供一种晶圆旋转涂覆废液收集装置：包括顶板1、收集箱2、辅助压紧装置3、放置座4、放置槽5和风道6。顶板1底端中部与收集箱2紧密固定，顶板1顶端中部固定安装有放置座4，放置座4顶端中部嵌入有放置槽5，便于进行辅助放置，放置槽5内侧底部贯穿有风道6，辅助压紧装置3设置于顶板1顶部左右两端。

放置座4整体呈圆柱状，侧面为圆柱侧面，上部分分为多层结构。这种圆柱状侧面使得辅助压紧装置3在设置时，设置在圆柱圆形切面的一条直径上，以便能够在压紧过程中，防止放置座4上的晶圆从侧面脱出。

请参考图2，显示了辅助压紧装置3的其中一部分(辅助压紧装置3包括基本对称的两个部分)。辅助压紧装置3包括箱体31、旋钮32和滑动机构33，箱体31右侧中部固定安装有旋钮32，便于进行受力转动，从而利用旋钮32实现相应的压紧和松放动作。箱体31内中部设置有滑动机构33，箱体31固定安装于顶板1顶部左右两端，结合参考图1。

请参考图3，其中，所述滑动机构33包括转动盘331、横槽332、连接板333、拨动件334、弧形槽335、压紧件336、限位件337、滑槽338和安装板339，所述转动盘331前端面外缘通过卡柱与横槽332卡位滑动，便于进行卡位传动。

请继续参考图3，所述横槽332穿设于连接板333内中部，所述转动盘331后端中部与拨动件334相互固定，所述拨动件334与弧形槽335内径表面卡位滑动，所述弧形槽335贯穿于压紧件336内中部，并且压紧件336与连接板333后端面四角锁紧固定。

请继续参考图3，所述压紧件336下端内中部与限位件337卡位滑动，便于进行固定滑动，所述压紧件336沿着滑槽338滑动配合，所述滑槽338穿设于安装板339内中部，便于进行连接固定，所述转动盘331后端中部通过连接轴与旋钮32相连接。

其中，如图2，所述旋钮32外部设置有橡胶套，并且橡胶套表面设置有防滑纹，避免使用时造成手滑，从而更好地实现对放置座4的压紧操作。

其中，所述箱体31外侧下端设置有四个螺孔(未示出)，并且螺孔直径为8MM，便于进行锁紧固定。

请参考图4和图5，其中，所述转动盘331前端面外缘设置有卡柱(未标注，如图5中所示，位于横槽332内左侧)，并且卡柱与横槽332内径表面卡位滑动，保证进行正常的卡位传动。

请继续参考图3、图4和图5，其中，所述压紧件336下端内中部贯穿有竖槽(未标注，如图5所示最底部的槽体)，并且竖槽内径表面与限位件337卡位滑动，便于进行正常的滑动。

请继续参考图3、图4和图5，其中，所述压紧件336内侧上端设置有下压杆(未标注，如图3中一部分伸入滑槽338内)，并且下压杆沿着滑槽338内径表面滑动配合，便于进行辅助固定。

其中，所述拨动件334可以采用不锈钢材质，其耐腐蚀性强，成本低，性价比高。

本发明中，安装板339材质为PVC塑料，，牢固耐用，性价比高，耐腐蚀，质量好。PVC塑料化工领域指化合物聚氯乙烯，PVC材料具有不易燃性，高强度，耐气侯变化性以及优良的几何稳定性，PVC对氧化剂，还原剂和强酸都有很强的抵抗力，然而它能够被浓氧化酸如浓硫酸，浓硝酸所腐蚀并且也不适用与芳香烃，氯化烃接触的场合。

本发明提供的晶圆旋转涂覆废液收集装置的工作原理如下：

第一，先将晶圆旋转涂覆废液收集装置安装于合适的位置，并且放置座4设置在辅助压紧装置3中间，再将风道6(如图1)与外界排风口相连接；

第二，当需要对晶圆进行圆旋转涂覆废液收集时，接着将所需加工的晶圆放置于放置座4内的放置槽5内，此时晶圆已经通过外界旋转涂覆设备进行了加工操作；

第三，对旋转涂覆后产生的加工废液进行收集时(现有废液收集装置结构较为简单，均为嵌入放置进行废液收集，容易出现旋转涂覆晃动偏移，并且力度过重进行压紧固定时容易造成晶圆变形损坏，影响涂覆的均匀性和废液收集效果)，通过将辅助压紧装置3设置于顶板1顶部左右两端，接着对旋钮32(如图2)施力，以进行例如顺时针转动，便可通过旋钮32带动转动盘331(图3至图5)进行转动，使得转动盘331前端通过卡柱与连接板333上的横槽332进行卡位滑动，并且转动盘331后端通过拨动件334与压紧件336上的弧形槽335进行卡位滑动，然后压紧件336通过限位件337进行固定滑动，从而通过压紧件336沿着安装板339上的滑槽338进行伸缩滑动，压紧件336内侧上端设置有下压杆，并且下压杆沿着滑槽338内径表面滑动配合，便于进行辅助固定，实现对晶圆进行适度的调节压紧固定，并且相应的压紧固定能够调节到适合的程度，防止压损晶圆，保证操作的稳定性，然后可以进行旋转涂覆废液的稳定收集。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。