阅读说明：本技术 微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法 (Deformation degree measuring device and method of screen pressing die for preparing microchannel plate ) 是由 丛晓庆 刘建强 张正君 刘文伟 李婧雯 乔芳建 张珈玮 钱琳 徐伟 郭燕 于 2020-05-19 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法,包括底座；多个滑块,可滑动地设置在底座上,多个滑块环抱分布并在中心形成一正六边形空间,用于放置微通道板屏段或者标准块；压圈,套在多个滑块的斜面上,具有使得多个滑块具有朝向中心聚拢收紧的趋势。还包括多个不同尺寸的塞尺,在检测时在所述中心以标准块替换屏段,通过压圈对滑块进行压紧后,以多个塞尺其中任意之一塞入标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三类接触界面,根据能塞进的塞尺的最大尺寸测量出缝隙的大小。本发明可直接通过组合精度的测量值表征压屏模具的变形程度,解决压屏模具的变形程度的量化表征的问题。(The invention provides a device and a method for measuring the deformation degree of a screen pressing mould for preparing a microchannel plate, which comprises a base; the sliding blocks are arranged on the base in a sliding mode, distributed in an encircling mode, and form a regular hexagonal space in the center, and used for placing the microchannel plate screen section or the standard block; and the pressing ring is sleeved on the inclined surfaces of the sliding blocks and has a tendency that the sliding blocks are gathered and tightened towards the center. The clearance gauge comprises a plurality of clearance gauges, a screen section is replaced by a standard block at the center during detection, after a pressing ring presses a sliding block, any one of the plurality of clearance gauges is plugged into three contact interfaces of the standard block-sliding block, the sliding block-sliding block and the sliding block-pressing ring, and the size of a gap is measured according to the maximum size of the clearance gauge capable of being plugged in. The method can directly represent the deformation degree of the screen pressing die through the measured value of the combination precision, and solve the problem of quantitative representation of the deformation degree of the screen pressing die.)

微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法

技术领域

本发明涉及半导体光电技术领域，尤其是微通道板(MCP)制备技术领域，具体而言涉及一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法。

背景技术

在电子倍增领域，微通道板是一种常用的真空电子器件。电子在微通道板中可呈指数型增长到阈值。在微通道板的制备过程中，需要将由一根根光学玻璃排列而成的微通道板屏段，在高压、高温的作用下进行熔压，目的是将分散的光学玻璃纤维组成一个微通道板屏段整体。在熔压的过程中需要使用压屏模具将微通道板屏段进行固定。在固定的过程中，压屏模具由于长期的高压、高温作用会产生应变，进而可能对微通道板的性能产生影响。

现有技术中对于微通道板的工装夹具的设计，关注了微通道板的排板模具的结构设计，例如方孔微通道板的排板模具，可以适用于排方形复丝。另外，在排丝模具中还有一些正六棱柱形的排丝模具，但是由于排屏、压屏的方丝、复丝均为非常细的玻璃纤维丝，现有的工装模具中无法对压屏模具变形程度的测量进行检测，从而影响排屏压屏的精度。

现有技术文献：

专利文献1：一种提高微通道板增益的方法，CN106847649B

专利文献2：方孔微通道板排版模具，CN202495411U

专利文献3：微通道板制造用排丝模具，CN201576647U

发明内容

本发明目的在于提供一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置与方法，用于测量微通道板生产过程中所使用的的压屏模具的变形程度，进而依靠测量结果维修或更换压屏模具提高微通道板屏段的熔压合格率。

为实现上述目的，本发明提出一种微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置，包括：

底座，被设置成放置在水平平台上；

多个滑块，可滑动地设置在所述底座上，其中多个滑块环抱分布并在中心形成一正六边形空间，用于放置微通道板屏段或者标准块，其中每个滑块朝向中心的方向为垂直平面，背离中心的方向为斜面；

压圈，套在所述多个滑块的斜面上，并且具有使得多个滑块具有朝向中心聚拢收紧的趋势；

其中，所述多个滑块的结构相同；所述压圈构造为外侧垂直、内侧倾斜的环形框架，套到滑块上之后其底面抵靠到底座的表面；

所述变形程度测量装置还包括多个不同尺寸的塞尺，在检测时在所述中心以标准块替换屏段，通过压圈对滑块进行压紧后，以多个塞尺其中任意之一塞入标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三类接触界面，根据能塞进的塞尺的最大尺寸测量出缝隙的大小。

优选地，所述底座、滑块和压圈均为钢制件。

优选地，所述多个塞尺的厚度尺寸在0-1mm之间。

优选地，所述标准块的尺寸大小与微通道板屏段的直径相匹配，其形状为正六边形。

优选地，所述底座上设置有用于指示底座水平状态的水准泡。

根据本发明的改进，还提出一种压屏模具的变形程度测量方法，包括：

步骤1、将底座放置在处于水平状态的平台上，使得底座整体处于水平状态，将压圈套在滑块，然后放置在底座上；

步骤2、将定制好的标准块代替微通道板屏段放置在滑块中间，使用压圈压在滑块上，依靠压圈的重力作用挤压滑块，进而挤压标准块，使滑块与标准块保持紧密贴合的趋势；

步骤3、使用不同厚度的塞尺按照顺序依次塞进标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三类接触界面，根据能塞进的塞尺最大尺寸测量出三处缝隙的大小，从而得到压屏模具的变形程度；

步骤4、使用水平尺测量底座的变形程度，即将水平尺紧密贴合在底座放置面处，然后使用塞尺测量出水平尺和底座放置面的缝隙大小。

优选地，在使用不同的塞尺测量标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三处缝隙时，测量顺序不变。

应当理解，前述构思以及在下面更加详细地描述的额外构思的所有组合只要在这样的构思不相互矛盾的情况下都可以被视为本公开的发明主题的一部分。另外，所要求保护的主题的所有组合都被视为本公开的发明主题的一部分。

结合附图从下面的描述中可以更加全面地理解本发明教导的前述和其他方面、实施例和特征。本发明的其他附加方面例如示例性实施方式的特征和/或有益效果将在下面的描述中显见，或通过根据本发明教导的

具体实施方式

的实践中得知。

附图说明

附图不意在按比例绘制。在附图中，在各个图中示出的每个相同或近似相同的组成部分可以用相同的标号表示。为了清晰起见，在每个图中，并非每个组成部分均被标记。现在，将通过例子并参考附图来描述本发明的各个方面的实施例，其中：

图1是本发明的压屏模具的变形程度测量装置的示意图。

图2是图1的压屏模具的变形程度测量装置的侧面剖视图。

具体实施方式

为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

在本公开中参照附图来描述本发明的各方面，附图中示出了许多说明的实施例。本公开的实施例不必定意在包括本发明的所有方面。应当理解，上面介绍的多种构思和实施例，以及下面更加详细地描述的那些构思和实施方式可以以很多方式中任意一种来实施，这是因为本发明所公开的构思和实施例并不限于任何实施方式。另外，本发明公开的一些方面可以单独使用，或者与本发明公开的其他方面的任何适当组合来使用。

结合图1、2所示示例性实施例的微通道板制备用的压屏模具的变形程度测量装置，包括底座1、压圈2、滑块3以及标准块4。

底座1，被设置成放置在水平平台上。

多个滑块3，可滑动地设置在所述底座上，构成压屏模具。其中多个滑块环抱分布并在中心形成一正六边形空间，用于放置微通道板屏段或者标准块，其中每个滑块朝向中心的方向为垂直平面，背离中心的方向为斜面。

压圈2，套在多个滑块的斜面上，并且具有使得多个滑块具有朝向中心聚拢收紧的趋势。

其中，所述多个滑块的结构相同；所述压圈2构造为外侧垂直、内侧倾斜的环形框架，套到滑块上之后其底面抵靠到底座的表面。

所述变形程度测量装置还包括多个不同尺寸的塞尺，塞尺的厚度尺寸在0-1mm之间。如此，在检测时在所述中心以标准块替换屏段，通过压圈对滑块进行压紧后，以多个塞尺其中任意之一塞入标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三类接触界面，根据能塞进的塞尺的最大尺寸测量出缝隙的大小。

优选地，底座、滑块和压圈均为钢制件。

标准块4可采用定制制作，其尺寸大小与微通道板屏段的直径相匹配，其形状为正六边形。

优选地，所述底座上设置有用于指示底座的水平状态的水准泡。

结合图1、2所示，在利用所示的变形程度测量装置进行压屏模具的变形程度检测过程中，包括以下过程和操作：

步骤1、将底座放置在处于水平状态的平台上，使得底座整体处于水平状态，将压圈套在滑块，然后放置在底座上；

步骤2、将定制好的标准块代替微通道板屏段放置在滑块中间，使用压圈压在滑块上，依靠压圈的重力作用挤压滑块，进而挤压标准块，使滑块与标准块保持紧密贴合的趋势；

步骤3、使用不同厚度的塞尺按照顺序依次塞进标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三类接触界面，根据能塞进的塞尺最大尺寸测量出三处缝隙的大小，从而得到压屏模具的变形程度；

步骤4、使用水平尺测量底座的变形程度，即将水平尺紧密贴合在底座放置面处，然后使用塞尺测量出水平尺和底座放置面的缝隙大小。

其中，在使用不同的塞尺测量标准块-滑块、滑块-滑块、滑块-压圈三处缝隙时，测量顺序不变。

如此，在测量时，根据塞尺能塞进压屏模具的最大尺寸、水平尺测量压屏模具底座的缝隙对组合精度进行测量，进而使用组合精度对压屏模具的变形程度进行表征。该测量方法可直接通过组合精度的测量值表征压屏模具的变形程度，解决压屏模具的变形程度的量化表征的问题。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。