阅读说明：本技术 图形化结构的soi衬底的制备方法 (Preparation method of SOI substrate with graphical structure ) 是由 刘强 俞文杰 任青华 陈治西 刘晨鹤 赵兰天 陈玲丽 王曦 于 2019-01-11 设计创作，主要内容包括：本发明提供一种图形化结构的SOI衬底的制备方法,包括：在第二半导体衬底中进行离子注入形成剥离界面；于第一绝缘层中形成凹槽,所述凹槽未贯穿所述第一绝缘层；键合第二半导体衬底及第一绝缘层,以形成空腔；进行退火工艺加强键合强度,并使第二半导体衬底从剥离界面处剥离。本发明的SOI衬底的绝缘层中具有图形化空腔,可以有效改善绝缘层局部的介电常数,扩大SOI衬底的应用范围。(The invention provides a preparation method of an SOI substrate with a graphical structure, which comprises the following steps: performing ion implantation in the second semiconductor substrate to form a stripping interface; forming a groove in the first insulating layer, wherein the groove does not penetrate through the first insulating layer; bonding the second semiconductor substrate and the first insulating layer to form a cavity; and carrying out an annealing process to strengthen the bonding strength and peel the second semiconductor substrate from the peeling interface. The insulating layer of the SOI substrate is provided with the graphical cavity, so that the local dielectric constant of the insulating layer can be effectively improved, and the application range of the SOI substrate is expanded.)

图形化结构的SOI衬底的制备方法

技术领域

本发明属于半导体集成电路设计及制造领域，特别是涉及一种图形化结构的SOI衬底的制备方法。

背景技术

随着微电子器件继续微缩，预计现有的FinFET技术在5nm、3nm节点将面临着较大的技术瓶颈，器件性能不再随着器件尺寸的继续减小而获得大幅提升。这就需要我们采用新的器件技术，例如采用新的器件材料(如应变硅、硅锗、锗、三五族半导体等)，以及采用新的器件结构(如纳米线环栅晶体管等)。

纳米线环栅晶体管可以将导电沟道限制在纳米线中心，而不是纳米线与栅氧层界面，这大大减小了载流子受到的散射，预计纳米线环栅晶体管将是未来的重要发展方向，它将进一步延续摩尔定律的发展。

纳米线环栅晶体管具有多种制备方案，其中一种较为简便的制备方法是基于SOI衬底刻蚀出镂空的纳米线结构，并制备相应的环栅晶体管。一种代表性的纳米线环栅晶体管的制备方法如图1～图12所示，其中，图2显示为图1在A-A’处的截面结构示意图，图3显示为图1在B-B’处的截面结构示意图，图4～图12有同样的对应关系。该方法主要包括步骤：

如图1～图3所示，进行步骤1)，提供SOI衬底，该SOI衬底包括硅衬底101、氧化层102以及顶硅层103，通过光刻工艺及刻蚀工艺在顶硅层103及氧化层102中刻蚀出硅纳米线104；

如图4～图6所示，进行步骤2)，湿法腐蚀去除硅纳米线下方的氧化层102形成镂空孔105；

如图7～图9所示，进行步骤3)，对硅纳米线进行减薄处理；

如图10～图12所示，进行步骤4)，依次沉积栅介质层106以及栅电极107，以形成环栅晶体管。

上述方案具有如下缺点：

第一，在上述步骤1)的刻蚀纳米线结构时，需要将纳米线相邻区域的顶层硅以及顶层硅下方的部分氧化硅刻蚀掉。如图2所示，在刻蚀过程中，需要保持氧化层102不被刻蚀穿，且剩余的氧化硅层仍能保持一定厚度，以防止图11所示栅电极与衬底电极之间(如图11中的108所示)具有较大寄生电容或击穿，这给刻蚀工艺的精确度带来了一定要求。

第二，为了制备具有悬空结构的硅纳米线，需要将纳米线下方的氧化层也刻蚀掉，通常需要采用湿法腐蚀，但由于湿法腐蚀是各向同性腐蚀，因而除了硅纳米线下方以外，其余暴露区域的氧化硅也会被腐蚀掉一部分，并形成不必要的内凹性空腔109，如图8所示。

该内凹性空腔会带来以下不利影响：

如图13及图14所示，其中，图13显示为图11中的C-C’处截面的俯视图，图14显示为图13中虚线框处的放大结构示意图，该内凹性空腔最终会被栅介质层106及栅电极107结构填充。为了保证良好的台阶覆盖性，一般采用ALD工艺制备栅介质层106及栅电极107。但即便是ALD工艺，在填充具有内凹性的半封闭结构时，也容易在填充镀膜的过程中出现膜与膜的提前接触互联，并最终在内凹性结构中形成栅金属内的封闭性空腔，而不是完全填充的。

如图8、13及图14所示，图8中对应的内凹性空腔109中也会填充栅介质层106及栅电极107，使得纳米线下方的栅电极比纳米线上方栅电极更长。这会导致：底层栅与源漏之间有一段不必要的交叠区，该区域的硅沟道受到不对称的栅极电势影响，硅沟道中的载流子将受到一定散射；栅电极与源漏电极之间的电阻变大；源漏寄生电容变大，器件高频特性变差；当交叠区的硅沟道重掺杂时，底层栅与交叠区的硅沟道之间容易产生热电子，增加栅极漏电流，进而导致栅氧被击穿。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种图形化结构的SOI衬底的制备方法，用于解决现有技术中传统工艺制备的图形化结构的SOI衬底性能较为单一的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种图形化结构的SOI衬底的制备方法，所述制备方法包括：步骤1)，提供第一半导体衬底及第二半导体衬底，于所述第一半导体衬底表面形成第一绝缘层，于所述第二半导体衬底表面形成第二绝缘层；步骤2)，基于所述第一绝缘层对所述第一半导体衬底进行剥离离子注入，于所述第一半导体衬底中定义剥离界面；步骤3)，图形化刻蚀所述第一绝缘层，形成贯穿至所述第一半导体衬底的凹槽；步骤4)，键合所述第一绝缘层及所述第二绝缘层，所述第二绝缘层封闭所述凹槽，以形成空腔；步骤5)，进行退火工艺加强所述第一绝缘层与所述第二绝缘层的键合强度，并使所述第一半导体衬底从剥离界面处剥离，与所述第一绝缘层结合的部分作为SOI衬底的顶半导体层。

可选地，所述剥离离子包括H离子及He离子中的一种。

可选地，所述退火工艺包括在第一温度下进行退火以使所述第一半导体衬底从剥离界面处剥离，以及在第二温度下进行退火以加强所述第一绝缘层与所述第二绝缘层的键合强度，所述第一温度的范围介于200～900℃之间，所述第二温度的范围介于400～1200℃之间。

可选地，所述第一半导体衬底为硅，其氢离子注入剂量为4～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为400～600℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为900～1200℃；或所述所述第一半导体衬底为锗硅或锗，其氢离子注入剂量为4～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为300～600℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为700～850℃；或所述第一半导体衬底为氮化镓、氮化铝、氧化镓或氧化锌，其氢离子注入剂量为2～4×10¹⁷/cm²，剥离退火温度为300～500℃，剥离时间长度为2～5小时，加强键合的退火温度为900～1200℃；或所述第一半导体衬底为碳化硅，其氢离子注入剂量为6～15×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为700～900℃，剥离时间长度为2～5小时，加强键合的退火温度为900～1200℃；或所述第一半导体衬底为砷化镓，其氢离子注入剂量为5～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为200～300℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为400～550℃；或所述第一半导体衬底为磷化铟，其氢离子注入剂量为7～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为300～400℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为600～850℃。

可选地，步骤5)还包括对所述顶层半导体表面进行CMP抛光的步骤。

可选地，所述顶半导体层的厚度不大于50nm。

本发明还提供一种图形化结构的SOI衬底的制备方法，所述制备方法包括：步骤1)，提供第一半导体衬底及第二半导体衬底，于所述第一半导体衬底表面形成第一绝缘层；步骤2)，对所述第二半导体衬底进行剥离离子注入，于所述第二半导体衬底中定义剥离界面；步骤3)，图形化刻蚀所述第一绝缘层，以于所述第一绝缘层中形成凹槽，所述凹槽未贯穿所述第一绝缘层；步骤4)，键合所述第二半导体衬底及所述第一绝缘层，所述第二半导体衬底封闭所述凹槽，以形成空腔；步骤5)，进行退火工艺加强所述第一绝缘层与所述第二半导体衬底的键合强度，并使所述第二半导体衬底从剥离界面处剥离，与所述第一绝缘层结合的部分作为SOI衬底的顶半导体层。

可选地，所述第二半导体衬衬底为硅，其氢离子注入剂量为4～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为400～600℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为900～1200℃；或所述所述第二半导体衬衬底为锗硅或锗，其氢离子注入剂量为4～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为300～600℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为700～850℃；或所述第二半导体衬衬底为氮化镓、氮化铝、氧化镓或氧化锌，其氢离子注入剂量为2～4×10¹⁷/cm²，剥离退火温度为300～500℃，剥离时间长度为2～5小时，加强键合的退火温度为900～1200℃；或所述第二半导体衬衬底为碳化硅，其氢离子注入剂量为6～15×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为700～900℃，剥离时间长度为2～5小时，加强键合的退火温度为900～1200℃；或所述第二半导体衬衬底为砷化镓，其氢离子注入剂量为5～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为200～300℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为400～550℃；或所述第二半导体衬衬底为磷化铟，其氢离子注入剂量为7～10×10¹⁶/cm²，剥离退火温度为300～400℃，剥离时间长度为30～60min，加强键合的退火温度为600～850℃。

可选地，所述剥离离子包括H离子及He离子中的一种。

可选地，所述退火工艺包括在第一温度下进行退火以使所述第二半导体衬底从剥离界面处剥离，以及在第二温度下进行退火以加强所述第一绝缘层与所述第二半导体衬底的键合强度，所述第一温度的范围介于200～900℃之间，所述第二温度的范围介于400～1200℃之间。

可选地，步骤5)还包括对所述顶层半导体表面进行CMP抛光的步骤。

可选地，所述顶半导体层的厚度不大于50nm。

如上所述，本发明的图形化结构的SOI衬底的制备方法，具有以下有益效果：

1)本发明提供了一种工艺稳定性良好的SOI衬底的制备方法，该SOI衬底可通过干法刻蚀直接制备镂空的半导体纳米线，在制备半导体纳米线时，不需要进行各项同性的湿法腐蚀，可有效避免内凹性空腔的产生。

2)本发明的SOI衬底的绝缘层中具有图形化空腔，可以有效改善绝缘层局部的介电常数，扩大SOI衬底的应用范围。

附图说明

图1～图14显示为现有技术中的纳米线环栅晶体管的制备方法各步骤所呈现的结构示意图。

图15～图21显示为本发明实施例1中的图形化结构的SOI衬底的制备方法各步骤所呈现的结构示意图。

图22～图28显示为本发明实施例2中的图形化结构的SOI衬底的制备方法各步骤所呈现的结构示意图。

元件标号说明

201 第一硅衬底

202 第一绝缘层

203 凹槽

204 空腔

301 第二硅衬底

302 第二绝缘层

401 顶硅层

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图15～图28。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

实施例1

如图15～图21所示，本实施例提供一种图形化结构的SOI衬底的制备方法，所述制备方法包括：

如图15所示，首先进行步骤1)，提供第一硅衬底201及第二硅衬底301，于所述第一硅衬底201表面形成第一绝缘层202，于所述第二硅衬底301表面形成第二绝缘层302。当然，在其他的实施例中，所述第一硅衬底及所述第二硅衬底也可以是其他的半导体材料，例如，所述第一半导体衬底及第二半导体衬底的材质可以为锗、硅锗、氮化镓、氮化铝、砷化镓、碳化硅、氧化锌及氧化镓及磷化铟中的一种，且并不限于此处所列举的示例。

例如，采用热氧化工艺于所述第一硅衬底201及所述第二硅衬底301表面形成二氧化硅层，作为第一绝缘层202及第二绝缘层302，在本实施例中，所述热氧化工艺选用为干法热氧化工艺，氧化的温度范围为900～1200℃，具体可以选用为1000℃。

所述第一绝缘层202及第二绝缘层302的厚度可以分别为10纳米至100纳米之间，所述第一绝缘层202及第二绝缘层302的厚度可以依据热氧化工艺的温度及时间确定。例如，在本实施例中，所述第一绝缘层202的厚度为不大于50纳米，则使得所述凹槽203的深度不大于50纳米，所述第一绝缘层202及第二绝缘层302的总厚度为不大于150纳米。以上参数设置可保证所述凹槽203下方保持足够的绝缘层厚度，例如，所述凹槽203下方的绝缘层的厚度为50纳米以上。

另外，所述第一绝缘层202可以在后续的H或He离子注入的过程中，保护硅的表面不被损坏。

如图16所示，然后进行步骤2)，基于所述第一绝缘层202对所述第一硅衬底201进行剥离离子注入，于所述第一硅衬底201中定义剥离界面。

作为示例，所述剥离离子可以为H离子，离子注入参数视所需的注入深度而定。当然，在其它的实施例中，也可以选用He离子作为剥离离子进行注入，并不限于此处所列举的示例。后续的顶硅层401的厚度由所述剥离界面的深度定义。

如图17所示，然后进行步骤3)，图形化刻蚀所述第一绝缘层202，形成贯穿至所述第一硅衬底201的凹槽203。

在本实施例中，所述图形化刻蚀为各项异性的干法刻蚀，以提高所述凹槽203的控制精度。

如图18～图20所示，步骤4)，键合所述第一绝缘层202及所述第二绝缘层302，所述第二绝缘层302封闭所述凹槽203，以形成空腔204。

如图21所示，最后进行步骤5)，进行退火工艺加强所述第一绝缘层202与所述第二绝缘层302的键合强度，并使所述第一硅衬底201从剥离界面处剥离，与所述第一绝缘层202结合的部分作为SOI衬底的顶硅层401；其中，步骤4)的键合气氛包括氢气及氮气的混合气体或氧气及氮气的混合气体，步骤5)的退火工艺过程中，所述空腔204内的所述混合气体被所述顶硅层401吸收或从所述顶硅层401中扩散出去，以降低所述空腔204内的气压。本发明的制备过程中，键合时采用的气氛选择为氢气/氮气或氧气/氮气的混合气体，使后续的智能剥离及高温加固键合的过程中，绝缘层空腔204内的气体可以从硅中扩散出去，或被硅吸收，并降低空腔204内的气压，使空腔204结构在上述高温环境下，具有与外界大气压相近的内部压强，空腔204结构受到的压力较小，其结构不容易被内外气压差破坏，从而得到具有薄层顶硅层401的图形化结构的SOI衬底。例如，在本实施例中，所述顶硅层401的厚度不大于50nm，制备出较薄的顶硅层401，可有效拓展本发明的图形化结构的SOI衬底的应用范围，例如，可以用于刻蚀形成镂空的硅纳米线，降低硅纳米线的刻蚀难度，提高硅纳米线的质量。

具体地，所述退火工艺包括在第一温度下进行退火以使所述第一硅衬底201从剥离界面处剥离，以及在第二温度下进行退火以加强所述第一绝缘层202与所述第二绝缘层302的键合强度，所述第一温度的范围介于200～900℃之间，所述第二温度的范围介于400～1200℃之间。

对于不同的第一半导体衬底及第二半导体衬底，上述工艺的参数如下表：

最后，对所述顶层硅表面进行CMP抛光，以获得表面光洁的顶硅层401。

实施例2

如图22～图28所示，本实施例提供一种图形化结构的SOI衬底的制备方法，所述制备方法包括：

如图22所示，首先进行步骤1)，提供第一硅衬底201及第二硅衬底301，于所述第一硅衬底201表面形成第一绝缘层202。当然，在其他的实施例中，所述第一硅衬底及所述第二硅衬底也可以是其他的半导体材料，例如，所述第二半导体衬底及第二半导体衬底的材质可以为锗、硅锗、氮化镓、氮化铝、砷化镓、碳化硅、氧化锌及氧化镓中及磷化铟的一种，且并不限于此处所列举的示例。

例如，采用热氧化工艺于所述第一硅衬底201表面形成二氧化硅层，作为第一绝缘层202，在本实施例中，所述热氧化工艺选用为干法热氧化工艺，氧化的温度范围为900～1200℃，具体可以选用为1000℃。

如图24所示，然后进行步骤2)，对所述第二硅衬底301进行剥离离子注入，于所述第二硅衬底301中定义剥离界面。

作为示例，所述剥离离子可以为H离子，离子注入参数视所需的注入深度而定。当然，在其它的实施例中，也可以选用He离子作为剥离离子进行注入，并不限于此处所列举的示例。后续的顶硅层401的厚度由所述剥离界面的深度定义。

如图23所示，接着进行步骤3)，图形化刻蚀所述第一绝缘层202，以于所述第一绝缘层202中形成凹槽203，所述凹槽203未贯穿所述第一绝缘层202。

在本实施例中，所述图形化刻蚀为各项异性的干法刻蚀，以提高所述凹槽203的控制精度。

例如，在本实施例中，所述第一绝缘层202的厚度为不大于150纳米，所述凹槽203的深度不大于50纳米。以上参数设置可保证所述凹槽203下方保持足够的绝缘层厚度，例如，所述凹槽203下方的绝缘层的厚度为50纳米以上。

如图25～图26所示，然后进行步骤4)，键合所述第二硅衬底301及所述第一绝缘层202，所述第二硅衬底301封闭所述凹槽203，以形成空腔204。

如图27所示，最后进行步骤5)，进行退火工艺加强所述第一绝缘层202与所述第二硅衬底301的键合强度，并使所述第二硅衬底301从剥离界面处剥离，与所述第一绝缘层202结合的部分作为SOI衬底的顶硅层401；其中，步骤4)的键合气氛包括氢气及氮气的混合气体或氧气及氮气的混合气体，步骤5)的退火工艺过程中，所述空腔204内的混合气体被所述顶硅层401吸收或从所述顶硅层401中扩散出去，以降低所述空腔204内的气压。

本发明的制备过程中，键合时采用的气氛选择为氢气/氮气或氧气/氮气的混合气体，使后续的智能剥离及高温加固键合的过程中，绝缘层空腔204内的气体可以从硅中扩散出去，或被硅吸收，并降低空腔204内的气压，使空腔204结构在上述高温环境下，具有与外界大气压相近的内部压强，空腔204结构受到的压力较小，其结构不容易被内外气压差破坏，从而得到具有薄层顶硅层401的图形化结构的SOI衬底。例如，在本实施例中，所述顶硅层401的厚度不大于50nm，制备出较薄的顶硅层401，可有效拓展本发明的图形化结构的SOI衬底的应用范围，例如，可以用于刻蚀形成镂空的硅纳米线，降低硅纳米线的刻蚀难度，提高硅纳米线的质量。

具体地，所述退火工艺包括在第一温度下进行退火以使所述第二硅衬底301从剥离界面处剥离，以及在第二温度下进行退火以加强所述第一绝缘层202与所述第二硅衬底301的键合强度，所述第一温度的范围介于200～900℃之间，所述第二温度的范围介于400～1200℃之间。

对于不同的第一半导体衬底及第二半导体衬底，上述工艺的参数如下表：

最后，对所述顶层硅表面进行CMP抛光，以获得表面光洁的顶硅层401。

需要说明的是，上述的制备方法适用于晶圆级的制备，本发明晶圆级的图形化结构的SOI衬底的结构如图28所示。

如上所述，本发明的图形化结构的SOI衬底的制备方法，具有以下有益效果：

1)本发明提供了一种工艺稳定性良好的SOI衬底的制备方法，该SOI衬底可通过干法刻蚀直接制备镂空的半导体纳米线，在制备半导体纳米线时，不需要进行各项同性的湿法腐蚀，可有效避免内凹性空腔的产生。

2)本发明的SOI衬底的绝缘层中具有图形化空腔，可以有效改善绝缘层局部的介电常数，扩大SOI衬底的应用范围。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。