阅读说明：本技术 液体材料吐出装置 (Liquid material discharge device ) 是由 生岛和正 于 2016-07-21 设计创作，主要内容包括：本发明提供可抑制朝向贮存液体材料的容器供给的压缩气体的压力变动且可解决吐出量的不均匀的问题的吐出装置。一种液体材料吐出装置及其涂布装置,具备：贮存容器,其贮存液体材料；吐出口,其吐出液体材料；压力控制阀,其将自外部的压缩气体源供给的压缩气体调压成所期望的压力；吐出阀,其确保或遮断压力控制阀与贮存容器的连通；控制装置,其对吐出阀的动作进行控制；第一配管,其连接压力控制阀与吐出阀；及第二配管,其连接吐出阀与贮存容器；进一步具备：第三配管,其自上述第一配管分支；及泄露机构,其连接于上述第三配管；上述泄露机构将通过上述压力控制阀调压的压缩气体的一部分排出至外部。(The invention provides a discharge device which can restrain the pressure fluctuation of compressed gas supplied to a container for storing liquid material and solve the problem of uneven discharge amount. A liquid material discharge device and a coating device thereof are provided with: a storage container that stores a liquid material; a discharge port for discharging the liquid material; a pressure control valve for adjusting a pressure of a compressed gas supplied from an external compressed gas source to a desired pressure; a discharge valve that ensures or blocks communication between the pressure control valve and the storage container; a control device for controlling the operation of the discharge valve; a first pipe connecting the pressure control valve and the discharge valve; and a second pipe connecting the discharge valve and the storage container; further comprises: a third pipe branching from the first pipe; and a leak mechanism connected to the third pipe; the leakage mechanism discharges a part of the compressed gas regulated by the pressure control valve to the outside.)

液体材料吐出装置

本申请是申请日为2016年7月21日、申请号为201680043499.1、发明名称为液体材 料吐出装置的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及通过将压缩气体供给至贮存有液体材料的容器而自吐出口定量吐出液体材料的吐出装置。

背景技术

存在通过将压缩气体供给至贮存有液体材料的贮存容器而自吐出口定量吐出液体材料的、称为空气式分配器(dispenser)的装置。为了实现定量吐出，以使作用于液体材料的压缩气体成为一定的压力的方式进行控制是重要的。在空气式分配器中，为了进行该控制，使用调节器(regulator)(减压阀)或泄压(relief)阀等的压力控制阀。

周知的喷嘴挡板式调节器如下所述动作而进行调压。即，若二次侧空气压力比设定值上升，则利用通过反馈孔而返回至内部的二次侧空气压力的一部分，使被设置于内部的喷嘴开放，由此使背压下降，主阀通过该作用而关闭，并且排气阀开启而使上升至二次侧的设定空气压力以上的压缩空气被放出至大气，而将空气压力保持为设定值。作为使用了周知的喷嘴挡板式调节器的吐出装置，例如在专利文献1中公开了一种气体脉冲吐出装置，其具有：气体供给源，其供给压力P₀的气体；吐出口；及峰压力生成部，其连接于气体供给源及吐出口；其特征在于，峰生成部具备第1压力调整单元与被连接于第1压力调整单元的吐出口侧的第1开闭阀，在将第1开闭阀开放时朝吐出口放出第1压力调整单元侧的气体，第1压力调整单元具备：第1减压机构，其使自气体供给源供给的气体的压力P₀减少至压力P₁；及第1压力解放机构，其连接于第1减压机构的吐出口侧，并在第1减压机构的吐出口侧的压力超过P₁时将第1减压机构的吐出口侧的气体放出至大气。

另外，周知的泄压阀如下所述动作而进行调压。即，若空压回路内的空气压力超过由调整弹簧或来自外部的先导(pilot)压力设定的值，则阀开启而将空气排出(泄压)至外部，由此将空压回路内的空气压力保持为设定值。作为使用了周知的泄压阀的吐出装置，例如在专利文献2中公开了一种模具涂布机(die coater)涂料供给装置，其由涂料容器、被设置于较涂料容器内的液面低的位置的定量泵、模具涂布机、自涂料容器的内部延伸且被连接于定量泵的抽吸侧的第1涂料配管、及连接定量泵的吐出侧与模具涂布机的第2涂料配管构成，并通过上述定量泵将涂料容器的涂料供给至模具涂布机，其中，将上述涂料容器设为气密容器，并且以利用压缩气体对上述涂料容器的液面进行加压的方式将压缩气体供给系统连接于上述涂料容器，并在自配管的中途分支的管的前端具备泄压阀。

压缩气体向贮存容器的供给通过吐出阀来进行，但存在在吐出阀动作时在连通贮存容器与吐出阀的流路产生急剧的压力下降等的技术问题。该压力变动通过在连通贮存容器与吐出阀的流路设置具有相较于贮存容器的容积足够大的容积的缓冲槽(buffer tank)而可一定程度解决，但仍存在若不将缓冲槽的容量增大例如10倍以上则无法消除压力变动等的技术问题。因此，申请人在专利文献3中提出了一种液体定量吐出方法，其设置缓冲槽，并且使缓冲槽的下游侧的流路的流动阻力大于缓冲槽的上游侧的流路的流动阻力，由此减轻在吐出阀的动作时产生的流路的压力下降。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-152165号公报

专利文献2：日本特开平9-85151号公报

专利文献3：日本专利第5460132号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

以自压缩气体源供给的压力成为一定的方式进行控制的上述的调节器(减压阀)或泄压阀等的压力控制阀中，存在如下的问题。

例如，在调节器中，直至二次侧压力平定而成为设定值的期间，以振动的方式重复进行欲提升压力的压缩气体的供给动作和欲降低压力的压缩气体的排出动作，由此对二次侧压力进行调整。该设定压力调整动作如果在二次侧的压缩气体的使用为相对长的时间则不易成为问题，但在如分配器那样每一次的吐出动作时间短、或多个吐出动作以短的间隔连续的情况下，压力变动影响到吐出量。该压力变动的影响特别是在空气式分配器中，与显著的吐出量的变动(不均匀)相关联。

另外，伴随着上述的设定压力调整动作的压力变动在被连接于二次侧的贮存容器(注射器)或配管(管(tube))等的机器的容积(以下，称为“负载容量”)相对于调节器供给的流量而言小的情况下变得更加显著。其原因在于，相对于小的负载容量，由调节器进行的压缩气体的供给动作或排出动作变得过多。

上述的那样的压力变动例如以如下的形态呈现：(1)在分配器开始吐出动作时(吐出阀为连通位置时)，由于压缩气体自调节器突然地朝向贮存容器侧(二次侧)流动，调压动作无法跟上，而使二次侧压力暂时性地下降；(2)在分配器结束吐出动作时(吐出阀为遮断位置时)，由于自调节器朝向贮存容器(二次侧)的压缩气体突然被阻挡，而使二次侧压力暂时性地上升。

此外，在连续地重复吐出动作的情况下，根据吐出时间或吐出间隔，而使上述(1)及(2)的状态复杂地组合，有时也呈现即将进行吐出动作前的状态相对于设定值变高或变低这样的形态。其结果，存在意图的吐出量与实际的吐出量之间产生差这样的问题。

在泄压阀中，也存在根据伴随着设定压力调整动作的阀的开闭，而起因于压力变动的相同的问题。

因此，本发明的目的在于，提供可抑制朝向贮存液体材料的容器供给的压缩气体的压力变动，可解决吐出量的不均匀的问题的吐出装置。

解决问题的技术手段

本发明的液体材料吐出装置，其特征在于，具备：贮存容器，其贮存液体材料；吐出口，其吐出液体材料；压力控制阀，其将自外部的压缩气体源供给的压缩气体调压成所期望的压力；吐出阀，其确保或遮断压力控制阀与贮存容器的连通；控制装置，其对吐出阀的动作进行控制；第一配管，其连接压力控制阀与吐出阀；及第二配管，其连接吐出阀与贮存容器；进一步具备：第三配管，其自上述第一配管分支；及泄露机构，其连接于上述第三配管；上述泄露机构将通过上述压力控制阀调压的压缩气体的一部分排出到外部。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，是空气式分配器。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征既可以在于，上述泄露机构构成为具备孔(orifice)，再有，其特征也可以在于，上述泄露机构构成为具备连接上述孔与设置于上述孔的下游或上游的开闭阀而成的孔开闭机构。

在具备上述的孔开闭机构的液体材料吐出装置中，其特征既可以在于，上述开闭阀是通过上述控制装置开闭的自动开闭阀，上述控制装置根据预先储存的开闭条件信息，而对上述开闭阀进行开闭，再有，其特征也可以在于，上述泄露机构具备多个相互并排地连接的上述孔开闭机构，在该情况下，优选其特征在于，上述孔开闭机构构成为包含第一孔开闭机构、及具有与第一孔开闭机构不同的流量的孔的第二孔开闭机构。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述泄露机构构成为具备通过上述控制装置而能够改变流量的流量控制阀。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述压力控制阀是通过上述控制装置控制动作的电动气动调节器(electric pneumatic regulator)。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，进一步具备收纳上述压力控制阀、上述吐出阀、上述泄露机构、及上述控制装置的框体，上述框体具备供与上述压缩气体源连通的配管装卸的第一接头、及供与上述贮存容器连通的配管装卸的第二接头。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，上述泄露机构具备连接于上述第三配管的末端的负载增强用真空机构。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，具备在上述吐出阀内的流路产生负压的吐出阀用真空机构。

在上述的液体材料吐出装置中，其特征也可以在于，具备设置于上述第一配管的缓冲槽。

本发明的涂布装置，其特征在于，具备：上述的液体材料吐出装置；工件台，其载置工件；相对移动装置，其使上述吐出口与工件相对移动；及压缩气体源，其将压缩气体供给至液体材料吐出装置。

发明的效果

根据本发明，可通过泄露机构来解决由于压力控制阀的设定压力调整动作而产生的吐出量的不均匀的问题。

另外，由于压力控制阀的二次侧压力一直低于设定值，因此，即使是连续吐出动作，也可实施不均匀少的稳定的吐出。

附图说明

图1是说明第一实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

图2是说明第二实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

图3是说明第三实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

图4是说明第四实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

图5是说明第五实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

图6是说明第六实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

图7是说明第七实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

图8是说明第八实施方式所涉及的吐出装置的基本构成的方块图。

具体实施方式

以下，对用于实施本发明的方式例进行说明。

[第一实施方式]

在图1中显示说明第一实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。

第一实施方式所涉及的吐出装置1由如下构件构成：压缩气体源2，其供给压缩气体；压力控制阀(调节器)3，其将自压缩气体源2供给的压缩气体调压至所期望的压力；吐出阀4，其确保或遮断压力控制阀3与贮存容器8的连通；贮存容器8，其贮存液体材料；吐出口9，其用于将液体材料自贮存容器8朝向外部排出；控制装置10，其控制吐出阀4的动作；及泄露机构11；在图1所示的配置中，各机器分别由配管21～26而被连接。该吐出装置是通过压缩气体的作用而吐出液体材料的空气式分配器，也存在配置有在与贮存容器8的内壁面紧贴的状态下推压液体材料的炮弹形柱塞的情况。

压缩气体源2是更换自如地连接市售的通用装置的压缩气体源，例如，由用于产生干燥空气的压缩机、或填充有被压缩的空气、氮气或不活泼气体的气瓶构成。

压力控制阀3由例如通过调整螺丝或先导压力进行压力的调整的直动式电磁阀、或根据来自外部的电信号而进行压力的调整的电动气动调节器构成。此处，在使用电动气动调节器的情况下，可利用控制装置10来控制动作。

吐出阀4是切换阀，例如由通过电磁铁来进行切换的电磁阀、或通过先导压力来进行切换的先导切换阀构成。在本实施方式中，采用对连通压力控制阀3与贮存容器8的位置及连通贮存容器8与大气的位置进行切换的3端口2位置切换阀。然而，并不限定于此，也可使用其他方式的切换阀。吐出阀4的切换动作的控制利用控制装置10来进行。

自压缩气体源2供给的压缩气体在压力控制阀3中被调压至所期望的压力后，朝向吐出阀4的输入端口5供给。在吐出阀4的输出端口6，连接有朝向贮存容器8连接的配管，若吐出阀4确保输入端口5和输出端口6的连通，则被供给至输入端口5的压缩气体被供给至贮存容器8的上部空间。通过该被供给的压缩气体的作用，被贮存于贮存容器8内的液体材料自吐出口9朝向外部被排出。通过对吐出阀4利用控制装置10确保输入端口5及输出端口6的连通的时间的长度、或由压力控制阀3调整的压力的大小等进行控制，可对液体材料自吐出口9的吐出量进行调整。

贮存容器8由市售的通用的注射器构成。

具有吐出口9的喷嘴构件经由配管25而与贮存容器8连通。也可不使用配管25而在直接连接于贮存容器8的喷嘴构件设置吐出口9。另外，也可将吐出口9直接设置于贮存容器8。

配管21～26如果也存在由硬质构件构成的情况，则也存在由可挠性构件(管(tube)等)构成的情况。

本实施方式中的泄露机构11通过在自连接压力控制阀3与吐出阀4的配管22分支的配管23的中途设置孔12而构成。与该孔12的下游侧连接的配管26的端部被开放于大气。被压力控制阀3调压的压缩气体的一部分通过该孔12而朝向外部被放出，由此使相对于压力控制阀3的实质的负载容量变大，因此，可使在压力控制阀3的二次侧(主要为贮存容器8)的压力变动变小。即，由于可使贮存容器8中的压力变动变小，因此，也可减少通过压缩气体的作用而被吐出的液体材料的吐出量的不均匀。

另外，通过配管22的压缩气体的一部分通过泄露机构11(此处为孔12)而朝向外部被排出，由此使压力控制阀3的二次侧(下游侧)的压力一直较设定值下降，而使压力控制阀3一直进行欲将压力提高的动作(供给动作)。由于压力控制阀3不产生重复供给动作与排出动作而欲实现设定值的设定压力调整动作，因此，可使即将吐出动作之前的状态一定，即使是连续吐出动作，也可实施不均匀少的稳定的吐出。

通过孔12而朝向外部流出的压缩气体的量由孔12的直径的大小决定。孔12的直径的大小优选为根据负载容量的大小或压力控制阀3的流量(二次侧压力)等的不同而适当选择适合的大小。是否为适合的直径的大小的判断例如根据预先实施的实验来进行。在本实施方式中，实际上进行一边改变负载容量或压力控制阀3的流量(二次侧压力)一边对贮存容器8中的压力波形进行测定的实验，以验证使压力的变动变小的适合的孔径。

更详细而言，在将贮存容器8即注射器的尺寸设为1至100mL，将压力控制阀二次侧压力(吐出压力)设为最大500kPa，将孔径设为φ0.1至2mm的范围内进行实验。其结果，例如在注射器尺寸10mL、压力控制阀二次侧压力(吐出压力)100kPa下，在使用φ0.4mm的孔时，可获得良好的结果。然而，上述结果仅为一个例子，在注射器尺寸等变更的情况下，变更为适合的孔径。因此，若预先大量地取得各种变化的数据，则在负载容量等的条件变更时，在必须对孔12进行变更等的情况下，可不用重新进行实验等，而可平顺地进行更换。这些数据既可作为将负载容量与孔径的关系建立关联的表格而储存于控制装置10的储存装置，也可将根据这些数据计算出的实验式储存于控制装置10的储存装置，而动态地计算出最佳的孔径。也可将上述以外的参数作为参考，例如，考虑了参考下述的真空的压力或压缩气体的温度、液体材料的粘度等。

根据以上所说明的第一实施方式的吐出装置1，可通过泄露机构11将伴随于压力控制阀3的设定压力调整动作的压力变动设为最小限度，由此将吐出量的不均匀设为最小限度。

另外，由于通过泄露机构11使压力控制阀3的二次侧压力一直较设定值低，因此即使是连续吐出动作，也可实施不均匀少的稳定的吐出。

[第二实施方式]

在图2中显示说明第二实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。以下仅对与第一实施方式(图1)的构成不同的部位进行说明，对相同的部位省略说明。

第二实施方式的泄露机构11与第一实施方式的泄露机构11的不同在于，在孔12的下游侧具备开闭阀13。该开闭阀13在压力控制阀3相对于负载容量不具有充分的流量的情况下发挥效果。

在压力控制阀3相对于负载容量未具有充分的流量的情况下，即使因为吐出而开始压缩气体的供给动作，被供给至贮存容器8的压缩气体的压力到达设定值为止的时间变长。此时，通过将开闭阀13设为“闭”状态，不进行来自孔12的排出，由此可使被供给至贮存容器8的压缩气体的压力到达设定值为止的时间变短。

另一方面，在压力控制阀3相对于负载容量具有足够的流量的情况(更换贮存容器8等而使负载容量变小的情况)下，操作开闭阀13而设为“开”状态，自孔12一直排出压缩气体的一部分，由此可将伴随着压力控制阀3的设定压力调整动作的压力变动设为最小限度。

作为开闭阀13，只要是切换“开”与“闭”的2个位置的开闭阀即可，既可为能够通过手动来进行操作的手动开闭阀(例如为球阀或旋塞)，也可为能够通过电信号或先导压力等而自动地操作的自动开闭阀(例如为电磁阀或先导切换阀)。在采用自动开闭阀的情况下，通过控制装置10来控制开闭动作。

在图2中，例示了在孔12的下游侧配置开闭阀13的方式，但也可在孔12的上游侧配置开闭阀13。然而，在孔12的上游侧配置开闭阀13的情况下，由于需要考虑开闭阀13的阻力与孔径的关系，因此优选为在孔12的下游侧配置开闭阀13。

将开闭阀13设为“开”状态或是设为“闭”状态，优选为根据负载容量的大小或压力控制阀3的流量(二次侧压力)等的不同，进行与决定上述的孔12的直径的大小的实验相同的实验，事先求出“开”状态与“闭”状态的分界线(阈值那样的值)，并据此做出决定。例如，实际上进行一边改变负载容量或压力控制阀3的流量(二次侧压力)一边测定贮存容器8中的压力波形的实验，来找出压力的变动变小的负载容量(贮存容器8的尺寸等)。若列举一个例子，则在作为压力控制阀的调节器的二次侧压力(吐出压力)为100kPa，注射器尺寸为10mL时设为“开”，为20mL时设为“闭”的情况下，可获得良好的结果。然而，上述结果仅为一个例子，优选为大量地取得各种变化的数据，并事先将存储有应设为“开”状态及“闭”状态的条件的开闭条件表格储存于控制装置10的储存装置，或将根据这些数据计算出的实验式储存于控制装置10的储存装置，而动态地计算出最适合的开闭状态。通过这样做，可根据负载容量的变化(例如，通过输入压力控制阀的下游侧压力、压力控制阀的流量、孔12的流量及贮存容器8的负载容量)，而利用控制装置10自动地将开闭阀13设为“开”状态或“闭”状态。

再者，优选为通过在吐出装置1的电源关闭时将开闭阀13设为“闭”状态，而将不使用时的来自泄露机构11的泄漏设为零。此处，在开闭阀13采用自动开闭阀的情况下，优选为通过控制装置10而在电源关闭时将开闭阀13自动设为“闭”状态。

根据以上所说明的第二实施方式的吐出装置1，可通过泄露机构11来吸收由于贮存容器8的大小或配管长度而变动的负载容量的变化。

[第三实施方式]

在图3中显示说明第三实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。以下仅对与第一实施方式(图1)的构成不同的部位进行说明，对相同的部位省略说明。

第三实施方式的泄露机构11在取代孔12而设置能够改变流量的流量控制阀14的方面与第一实施方式的泄露机构11不同。

在第三实施方式中，即使在产生将压力控制阀3或贮存容器8更换为其他种类的必要时，也可通过对利用流量控制阀14排出的压缩气体的量进行调整，而将伴随着压力控制阀3的设定压力调整动作的压力变动设为最小限度。关于该点，在设置了孔12的第一实施方式的方式(图1)中，会产生孔12的更换成为必要的情况。

此处，作为流量控制阀14，例示了针阀或伺服阀等。流量控制阀14既可为能够以手动操作的阀，也可为能够自动地操作的阀，但优选构成为通过控制装置10而可对动作进行自动控制。再者，在流量控制阀14中，若将开度设为零，则可设为与将第二实施方式的泄露机构11的开闭阀13设为“闭”的状态相同的状态。

再者，优选为在吐出装置1的电源关闭时将流量控制阀14设为“闭”状态，由此将不使用时的来自泄露机构11的泄漏设为零。此处，在流量控制阀14采用可自动控制的构成的情况下，优选为通过控制装置10而在电源关闭时将流量控置阀14自动设为“闭”状态。

根据以上所说明的第三实施方式的吐出装置1，可通过泄露机构11动态地吸收由于贮存容器8的大小或配管长度而变动的负载容量的变化或对应于压力控制阀3的更换。

[第四实施方式]

在图4中显示说明第四实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。以下仅对与第一实施方式(图1)的构成不同的部位进行说明，对相同的部位省略说明。

第四实施方式的泄露机构11具备多个孔12及与孔12相同数量的开闭阀13。换言之，可说是将第二实施方式(图2)的泄露机构11多个并排地排列的方式。在图4中，显示了设置有5个开闭阀13及孔12的组的例子，但数量并不限定于此，既可为4个以下，也可为6个以上。

多个孔12优选为由流量(直径的大小)相互不同的多个孔构成。其原因在于，通过预先准备直径的大小不同的孔12，从而即使在将压力控制阀3或贮存容器8更换为其他种类时，也可通过将选择的一个或多个开闭阀13设为“开”状态，而对应于负载容量的变化。在第四实施方式中，也优选为采用通过控制装置10而能够自动地对所有的开闭阀13进行开闭的自动开闭阀。

再者，优选为通过在吐出装置1的电源关闭时将开闭阀13设为“闭”状态，而将不使用时的来自泄露机构11的泄漏设为零。此处，在开闭阀13采用自动开闭阀的情况下，优选为通过控制装置10而在电源关闭时将开闭阀13自动地设为“闭”状态。

根据以上所说明的第四实施方式的吐出装置1，可通过泄露机构11动态地吸收由于贮存容器8的大小或配管长度而变动的负载容量的变化或对应于压力控制阀3的更换。

[第五实施方式]

在图5中显示说明第五实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。以下仅对与第一实施方式(图1)的构成不同的部位进行说明，而对相同的部位省略说明。

第五实施方式的泄露机构11不仅将端部开放于大气，而且如图5所示，在端部具备真空机构15。通过连接真空机构15，可使负载容量较大气开放的情况更大，而可提高使压力的变动变小的效果。此处，作为真空机构15，例示有喷射器(ejector)或真空泵等。

再者，真空机构15也可应用于第一至第四实施方式的任一泄露机构11。

根据以上所说明的第五实施方式的吐出装置1，可通过真空机构15而使负载容量更加增大，由此可实现所期望的负载容量。

[第六实施方式]

在图6中显示说明第六实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。以下仅对与第一实施方式(图1)的构成不同的部位进行说明，而对相同的部位省略说明。

第六实施方式的吐出阀4具备被连接于排气端口7的真空机构16。通过真空机构16，可在吐出结束时对贮存容器8施加负压而使液体截断良好，或在待机时对贮存容器8施加负压以防止液体滴落。此处，作为真空机构16，例示有喷射器或真空泵等。

吐出阀4的动作本身与第一至第五实施方式相同。(1)在吐出动作时，连通输入端口5与输出端口6；(2)在吐出动作结束时，遮断输入端口5与输出端口6的连通，并连通输出端口6与排气端口7，而将被供给至贮存容器8的压缩气体放出至大气。

泄露机构11也可应用于第一至第五实施方式的任一构成。

以上所说明的第六实施方式的吐出装置1通过真空机构16而可使液体截断良好或防止液体滴落。另外，在设置有这样的真空机构16的吐出装置中，也可将压力控制阀3的二次侧的压力变动设为最小限度，且即使进行连续吐出动作，也可进行不均匀少的稳定的吐出。

[第七实施方式]

在图7中显示说明第七实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。以下仅对与第一实施方式(图1)的构成不同的部位进行说明，而对相同的部位省略说明。

第七实施方式的吐出装置1构成为在压力控制阀3与吐出阀4之间具备图7所示那样的缓冲槽17。此处，缓冲槽17的内容积例如为贮存容器8的内容积的1.5倍～100倍的大小，从装置的大小的观点出发，优选设为1.5倍以上～小于10倍的大小。

在设置了缓冲槽17的情况下，泄露机构11可自压力控制阀3与缓冲槽17之间分支。在该情况下，优选构成为缓冲槽17的上游侧的配管及泄露机构11相加后的流动阻力大于缓冲槽17的下游侧的配管的流动阻力。对于设置有缓冲槽17的吐出装置1，在发明人的申请所涉及的日本专利第5460132号(专利文献3)中有详细说明。

泄露机构11也可应用于第一至第五实施方式的任一构成。

以上所说明的第七实施方式的吐出装置1通过设置缓冲槽17，可使贮存容器8的内部压力急剧地上升，相较于没有缓冲槽的构成的吐出装置，可以高节拍进行吐出作业。另外，在设置有这样的缓冲槽17的吐出装置中，也可通过泄露机构11将压力控制阀3的二次侧的压力变动设为最小限度，再有，即使进行连续吐出动作，也可进行不均匀少的稳定的吐出。

[第八实施方式]

在图8中显示说明第八实施方式所涉及的吐出装置1的基本构成的方块图。以下仅对与第一实施方式(图1)的构成不同的部位进行说明，而对相同的部位省略说明。

第八实施方式的吐出装置1将供给压缩气体的压缩气体源2、分配控制器20、作为贮存液体材料的贮存容器8的注射器18、及具有用于将液体材料自贮存容器8朝向外部排出的吐出口9的喷嘴19作为主要的构成要素。

分配控制器20是设置于一个框体的机器的总和，在框体内配置有：压力控制阀3，其将自压缩气体源2供给的压缩气体调压至所期望的压力；缓冲槽17，其贮存压缩气体；吐出阀4，其确保或遮断压力控制阀3与注射器18的连通；真空机构16，其连接于吐出阀4的排气端口7，并在吐出动作结束时与注射器18连通而作用负压；控制装置10，其控制吐出阀4的动作；及泄露机构11，其将通过压力控制阀3调压的压缩气体的一部分排出到外部。在分配控制器20的框体内，在如图8所示的配置中，各机器分别由配管而连接，与压缩气体源2及注射器18的连接部分设置接头等而可装卸地构成。通过这样的接头等，将容易成为大型的设备的压缩气体源2、或作为消耗品而频繁地进行更换的注射器18或喷嘴19分别可装卸地设为不同构成，由此可使框体的搬运或设置、消耗品的更换等处理变得容易。

自压缩气体源2供给的压缩气体在压力控制阀3中被调压为所期望的压力后，朝向吐出阀4的输入端口5被供给。在吐出阀4的输出端口6，连接有朝向注射器18连接的配管，若吐出阀4确保输入端口5与输出端口6的连通，则被供给至输入端口5的压缩气体朝向注射器18被供给。通过该压缩气体，被贮存于注射器18内的液体材料自喷嘴19所具有的吐出口9朝向外部被排出。通过对吐出阀4确保输入端口5与输出端口6的连通的时间的长度、或由压力控制阀3调整的压力的大小等进行调整，可调整液体材料自吐出口9的吐出量。

泄露机构11也可应用于第一至第五实施方式的任一构成。

分配控制器20与注射器18通过可挠性管而连接，操作者可以手保持注射器18，也可搭载于具备XYZ轴驱动装置的涂布装置。注射器18通过XYZ轴驱动装置而与工件台相对移动，被用于将液体材料涂布于工件上的作业。XYZ驱动装置例如构成为具备公知的XYZ轴伺服马达和滚珠螺杆。

本实施方式的吐出装置1也可通过泄露机构11而将压力控制阀3的二次侧的压力变动设为最小限度，再有，即使进行连续吐出动作，也可进行不均匀少的稳定的吐出。

符号的说明

1：吐出装置、2：压缩气体源、3：压力控制阀(调节器)、4：吐出阀、5：输入端口、6：输出端口、7：排气端口、8：贮存容器、9：吐出口、10：控制装置、11：泄露机构、12：孔、13：开闭阀、14：流量控制阀、15：真空机构(负载增强用)、16：真空机构(吐出阀用)、17：缓冲槽、18：注射器、19：喷嘴、20：分配控制器、21～26：配管。