阅读说明：本技术 晶圆盒载运装置及晶圆盒载运设备 (Wafer cassette carrying device and wafer cassette carrying equipment ) 是由 古伊钧 林祺浩 吕思纬 陈荣哲 蔡佳棋 李旻哲 曹仁杰 于 2018-07-18 设计创作，主要内容包括：本发明公开了一种晶圆盒载运装置,包含：机台本体、控制模块、门框结构及门体模块。机台本体内预留有容置空间,以让相关人员选择性地设置抽排气模块。机台本体用以承载晶圆盒的盘体,具有多个预留凹槽,以让相关人员选择性地设置气体辅助组件。抽排气模块、气体辅助组件及控制模块能相互配合,以对晶圆盒内进行气体交换作业。门框结构、门体模块及控制模块能相互配合,以开启晶圆盒的盖体。门框结构远离盘体的一侧预留有设置吹气模块的结构、构件,以让相关人员选择性地设置吹气模块,从而使吹气模块于被开启的晶圆盒的一侧形成气帘。(The invention discloses an wafer cassette carrying device, which comprises a machine table body, a control module, a frame structure and a body module, wherein an accommodating space is reserved in the machine table body to enable related personnel to selectively arrange an air pumping and exhausting module, the machine table body is used for bearing a wafer cassette tray body and is provided with a plurality of reserved grooves to enable the related personnel to selectively arrange an air auxiliary assembly, the air pumping and exhausting module, the air auxiliary assembly and the control module can be mutually matched to carry out air exchange operation in the wafer cassette, the frame structure, the body module and the control module can be mutually matched to open a cover body of the wafer cassette, a structure and a component for arranging an air blowing module are reserved on the side of the frame structure, which is far away from the tray body, to enable the related personnel to selectively arrange the air blowing module, and accordingly the air blowing module forms an air curtain on the side of the opened wafer cassette.)

晶圆盒载运装置及晶圆盒载运设备

技术领域

本发明涉及一种载运装置及载运设备，特别是一种晶圆盒的输送的晶圆盒载运装置及晶圆盒载运设备。

背景技术

现有用以传送晶圆盒的装置，大多仅具有单一功能，例如是提供晶圆盒暂存的工作站，或者是对晶圆盒内部进行充气的工作站等。由于厂房的空间有限，因此，如何使单一工作站能支持或是执行多种不同的作业，成为了相关生产厂商的需求。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种晶圆盒载运装置及晶圆盒载运设备，用以改善现有技术中，晶圆盒的工作站无法依据生产厂商的需求，而同时支持或是执行多种不同的作业之问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种晶圆盒载运装置，其包含：一机台本体，其包含有一盘体，所述盘体包含有多个预留凹槽，所述盘体用以提供一晶圆盒设置；各个所述预留凹槽用以设置一气体辅助组件；所述机台本体内具有一第一容置空间及一第二容置空间；所述第二容置空间用以提供一抽排气模块容置，所述抽排气模块用以与所述气体辅助组件相连接，以通过所述气体辅助组件对设置于所述机台本体上的所述晶圆盒内部进行气体交换作业；一控制模块，其设置于所述机台本体内，且对应位于所述第一容置空间中；一门框结构，其设置于所述机台本体，且所述门框结构包含有一连通口；所述门框结构远离所述盘体的一侧，能提供一吹气模块设置；所述控制模块能电性连接所述吹气模块，以控制所述吹气模块向所述连通口吹送一预定气体；一门体模块，其包含有一驱动机构及一活动门，所述驱动机构设置于所述机台本体，所述活动门与所述驱动机构相连接，所述控制模块能控制所述驱动机构作动，以使所述活动门遮蔽所述连通口或是不遮蔽所述连通口；所述活动门设置有一开门模块，所述开门模块能被所述驱动机构驱动，以与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒的盖体相互连接；其中，当所述控制模块控制所述驱动机构，而使所述活动门的所述开门模块与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接时，所述控制模块能控制所述驱动机构作动，以使所述活动门及与其相互连接的所述晶圆盒的盖体，一同离开所述连通口，而使所述晶圆盒的内部能通过所述连通口与外连通；其中，当所述门框结构设置有所述吹气模块，且所述控制模块控制所述活动门与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接时，所述控制模块能控制所述吹气模块作动，以于所述连通口的区域形成向所述机台本体方向流动的气流。

优选地，所述晶圆盒载运装置还包含有多个所述气体辅助组件，各个所述气体辅助组件可拆卸地设置于多个所述预留凹槽中，各个所述气体辅助组件包含有一固定座及一喷嘴，所述固定座能固定设置于所述预留凹槽中，所述喷嘴设置于所述固定座，且所述喷嘴能与设置于所述盘体上的所述晶圆盒相互固定，所述喷嘴能与所述抽排气模块相互配合，以对所述晶圆盒内进行气体交换；所述机台本体设置有一滑动模块，所述滑动模块与所述盘体相互连接，所述滑动模块能被所述控制模块控制，而带动所述盘体向靠近所述连通口的方向移动，或带动所述盘体向远离所述连通口的方向移动。

优选地，所述活动门设置有一计数器；当所述活动门与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接，且所述活动门带动所述晶圆盒的盖体一同移动时，所述计数器能被所述控制模块控制以计算设置于所述晶圆盒中的晶圆的数量。

优选地，所述计数器包含有一发射单元及一接收单元，所述发射单元枢接于所述活动门，所述接收单元枢接于所述活动门；当所述活动门与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接，且所述活动门带动所述晶圆盒的盖体一同移动时，所述控制模块能控制所述发射单元及所述接收单元相对于所述活动门旋转，而使所述发射单元及所述接收单元彼此相面对地设置，彼此相面对的所述发射单元及所接收单元则能随着所述活动门移动，以计算设置于所述晶圆盒中的晶圆的数量。

优选地，所述开门模块包含有至少两个卡合组件及至少两个吸附组件，两个所述卡合组件能受所述控制模块控制，而与设置于机台本体上的所述晶圆盒的盖体相互卡合；各个所述吸附组件连接所述抽排气模块；两个所述卡合组件与所述晶圆盒的盖体相互卡合时，所述控制模块能控制所述抽排气模块对所述晶圆盒进行气体交换作业；所述机台本体内设置有一隔板，所述隔板彼此相反的两侧面分别为所述第一容置空间及所述第二容置空间，所述控制模块固定设置于所述隔板的一侧；所述隔板的另一侧用以提供所述抽排气模块固定；所述机台本体于所述盘体的下方还设置有一壳体，所述壳体可拆卸地设置于所述机台本体，所述壳体被拆离所述机台本体时，所述隔板及所述控制模块能外露于所述机台本体。

为了实现上述目的，本发明还提供一种晶圆盒载运设备，其包含：一晶圆盒载运装置，其包含：一机台本体，其包含有一盘体，所述盘体包含有多个预留凹槽，所述盘体用以承载一晶圆盒；所述机台本体内具有一第一容置空间及一第二容置空间；一控制模块，其设置于所述机台本体内，且所述控制模块对应位于所述第一容置空间中；一门框结构，其设置于所述机台本体，且所述门框结构包含有一连通口；一门体模块，其包含有一驱动机构及一活动门，所述驱动机构设置于所述机台本体，所述活动门与所述驱动机构相连接，所述控制模块能控制所述驱动机构作动，以使所述活动门遮蔽所述连通口或是不遮蔽所述连通口；所述活动门设置有一开门模块，所述开门模块能被所述驱动机构驱动，以与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒的盖体相互连接；一辅助装置，其包含：一吹气模块，其可拆卸地设置于所述门框结构远离所述盘体的一侧；所述吹气模块电性连接所述控制模块，所述控制模块能控制所述吹气模块向所述连通口吹送一预定气体；多个气体辅助组件，其对应设置于多个所述预留凹槽；一抽排气模块，其可拆卸地设置于所述机台本体内，且所述抽排气模块对应位于所述第二容置空间中，所述抽排气模块与多个所述气体辅助组件相连接，所述抽排气模块能被控制而使至少一个所述气体辅助组件对设置于所述机台本体上的所述晶圆盒内部进行气体交换作业；其中，当所述控制模块控制所述驱动机构，而使所述活动门的所述开门模块与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接时，所述控制模块能控制所述驱动机构作动，以使所述活动门及与其相互连接的所述晶圆盒的盖体，一同离开所述连通口，而使所述晶圆盒的内部能通过所述连通口与外连通；其中，当所述控制模块控制所述活动门与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接时，所述控制模块能控制所述吹气模块作动，以于所述连通口的区域形成向所述机台本体方向流动的气流。

优选地，所述晶圆盒载运装置还包含有多个所述气体辅助组件，各个所述气体辅助组件可拆卸地设置于多个所述预留凹槽中，各个所述气体辅助组件包含有一固定座及一吸盘；所述机台本体设置有一滑动模块，所述滑动模块与所述盘体相互连接，所述滑动模块能被所述控制模块控制，而带动所述盘体向靠近所述连通口的方向移动，或带动所述盘体向远离所述连通口的方向移动。

优选地，所述活动门设置有一计数器；当所述活动门与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接，且所述活动门带动所述晶圆盒的盖体一同移动时，所述计数器能被所述控制模块控制以计算设置于所述晶圆盒中的晶圆的数量。

优选地，所述计数器包含有一发射单元及一接收单元，所述发射单元枢接于所述活动门，所述接收单元枢接于所述活动门；当所述活动门与设置于所述机台本体上的所述晶圆盒相互连接，且所述活动门带动所述晶圆盒的盖体一同移动时，所述控制模块能控制所述发射单元及所述接收单元相对于所述活动门旋转，而使所述发射单元及所述接收单元彼此相面对地设置，彼此相面对的所述发射单元及所接收单元则能随着所述活动门移动，以计算设置于所述晶圆盒中的晶圆的数量。

优选地，所述开门模块包含有至少两个卡合组件及至少两个吸附组件，两个所述卡合组件能受所述控制模块控制，而与设置于机台本体上的所述晶圆盒的盖体相互卡合；各个所述吸附组件连接所述抽排气模块；两个所述卡合组件与所述晶圆盒的盖体相互卡合时，所述控制模块能控制所述抽排气模块对所述晶圆盒进行气体交换作业；所述机台本体内设置有一隔板，所述隔板彼此相反的两侧面分别为所述第一容置空间及所述第二容置空间，所述控制模块固定设置于所述隔板的一侧；所述隔板的另一侧用以提供所述抽排气模块固定；所述机台本体于所述盘体的下方还设置有一壳体，所述壳体可拆卸地设置于所述机台本体，所述壳体被拆离所述机台本体时，所述隔板及所述控制模块能外露于所述机台本体。

本发明的有益效果可以在于：本发明的晶圆盒载运装置的盘体设置多个预留凹槽及第二容置空间，因此，晶圆盒载运装置的相关生产厂商，能依据相关使用者的需求，而于多个预留凹槽及第二容置空间中增设气体辅助组件及抽排气模块，借此即可使晶圆盒载运装置不但能利用门体模块开启晶圆盒的盖体，以使相关人员或是设备取、放晶圆盒中的晶圆，晶圆盒载运装置还可以利用气体辅助组件及抽排气模块的相互配合，以对晶圆盒的内部进行气体交换作业。本发明的晶圆盒载运设备，不但能开启晶圆盒的盖体，以使相关人员或是设备取、放设置于晶圆盒中的晶圆，还可以对晶圆盒内进行气体交换作业。

附图说明

图1为本发明的晶圆盒载运设备的示意图。

图2为本发明的晶圆盒载运设备的局部分解示意图。

图3为本发明的晶圆盒载运设备的局部放大示意图。

图4为本发明的晶圆盒载运设备的局部分解示意图。

图5为本发明的晶圆盒载运设备的另一视角的示意图。

图6为本发明的晶圆盒载运设备的另一局部分解示意图。

图7为晶圆盒的示意图。

图8为本发明的晶圆盒载运设备设置有晶圆盒的示意图。

图9为本发明的晶圆盒载运设备设置有晶圆盒的作动示意图。

图10为设置于本发明的晶圆盒载运设备上的晶圆盒内部之气体流动示意图。

具体实施方式

请一并参阅图1至图4，其为本发明的晶圆盒载运设备的示意图。晶圆盒载运设备100包含一晶圆盒载运装置10及一辅助装置20。晶圆盒载运装置10包含有一机台本体11、一控制模块12、一门框结构13及一门体模块14。辅助装置20包含有一吹气模块21、多个气体辅助组件22及一抽排气模块23。

机台本体11设置有一盘体111及一壳体112。壳体112可拆卸地设置于机台本体11。机台本体11内设置有一隔板113，隔板113与壳体112能对应于机台本体11中形成一第一容置空间SP1及一第二容置空间SP2。控制模块12固定设置于隔板113的一侧，且控制模块12对应位于第一容置空间SP1。隔板113的另一侧设置有抽排气模块23，而抽排气模块23对应位于第二容置空间SP2。在实际应用中，抽排气模块23可以透过相关的电连接线、电连接器等，与控制模块12相互电性连接，而控制模块12则能据以控制抽排气模块23作动。

盘体111具有多个预留凹槽1111，多个气体辅助组件22可拆卸地设置于多个预留凹槽1111中。各个气体辅助组件22可以包含有一固定座221及一喷嘴222，固定座221能被固定设置于机台本体11，并对应位于预留凹槽1111中，喷嘴222固定设置于固定座221中，且喷嘴222的部份可以外凸于盘体111。多个气体辅助组件22透过多个管体(图未示)与抽排气模块23相连接。当晶圆盒F设置于盘体111上时，多个喷嘴222能对应与晶圆盒F的多个气孔F111(如图6所示)相连接，而抽排气模块23则能通过至少一个喷嘴222，将晶圆盒F内的气体向外抽出，并通过至少一个喷嘴222将至少一种预定气体(例如是XCDA、CDA等洁净气体或是惰性气体等)送入晶圆盒F内。如图7所示，本实施例所举的晶圆盒F包含有一本体F1及一盖体F2，本体F1内形成有一空间，盖体F2可拆卸地设置于本体F1的一侧，本体F1的底部设置有一底座F11，底座F11用以使本体F1固定于盘体111上。

于本实施例图式中，是以盘体111具有六个预留凹槽1111为例，但其数量及设置位置，可以依据不同尺寸、形式的晶圆盒F而变化。在具体的应用中，抽排气模块23可以依据晶圆盒F之气孔F111的数量，而配合两个或四个气体辅助组件22，以对晶圆盒F内部进行气体交换作业。

值得一提的是，盘体111还可以具有多个连通槽1112，多个连通槽1112与多个预留凹槽1111相互连通，而连接多个气体辅助组件22的管体(图未示)则能对应设置于多个连通槽1112中。当然，在不同的应用中，也可以使连接多个气体辅助组件22的管体藏设于机台本体11，而盘体111则不设置有连通槽1112。

为了有效地固定设置于盘体111上的晶圆盒F，盘体111可以设置有一固定组件114、多个辅助定位组件115及多种不同的侦测组件116、117。固定组件114可以大致设置于盘体111的中央位置，且固定组件114可以具有一卡合结构1141，而卡合结构1141能受控制模块12控制以相对于盘体111升降。当晶圆盒F固定设置于盘体111上时，卡合结构1141能被控制升起，并对应进入晶圆盒F相对应的卡合孔F112(如图6所示)中，而后控制模块12还能再控制卡合结构1141旋转，据以使卡合结构1141与晶圆盒F彼此相互卡合。

多个辅助定位组件115可以凸出于盘体111的定位柱，而其可用以与晶圆盒F的相对应的孔洞相互卡合。侦测组件116可以以无线方式，读取晶圆盒F上相对应构件所储存的数据，举例来说，侦测组件116可以利用RFID的技术，读取设置于晶圆盒F上相对应的构件(例如是电子标签)所储存的数据。侦测组件117可以用以侦测盘体111上是否有设置晶圆盒F、侦测组件117也可以用以侦测盘体111上所设置的晶圆盒F的种类；而控制模块12则可以依据侦测组件116、117所侦测的结果，对应控制抽排气模块23、门体模块14的作动。

门框结构13设置于机台本体11，且门框结构13对应位于盘体111的一侧，门框结构13包含有一连通口13A。连通口13A的口径大于晶圆盒F的盖体F2。门框结构13远离盘体111的一侧，能设置吹气模块21，而吹气模块21为可拆卸地设置于门框结构13上。吹气模块21能受控制模块12控制，以向机台本体11的方向，吹送一预定气体(例如是XCDA、CDA等洁净气体或是惰性气体等)，据以于连通口13A远离盘体111的一侧，形成一道向机台本体11方向流动的气帘。在具体的应用中，吹气模块21中可以具有至少一个气孔板211，输入吹气模块21中的气体，将可以通过气孔板211后，均匀地排出吹气模块21。

请一并参阅图4至图6，门体模块14设置于机台本体11。门体模块14包含有一驱动机构141及一活动门142，驱动机构141设置于机台本体11，活动门142与驱动机构141相连接。驱动机构141电性连接控制模块12，控制模块12能控制驱动机构141作动，以使活动门142遮蔽连通口13A或是不遮蔽连通口13A。具体来说，活动门142与吹气模块21一同设置于机台本体11相反于设置有盘体111的一侧，而活动门142能被驱动机构141带动，以相对于机台本体11移动，据以活动门142能由遮蔽连通口13A的位置，移动至不会遮蔽连通口13A的位置，或是由不遮蔽连通口13A的位置移动至会遮蔽连通口13A的位置。于本实施例中，是以活动门142在遮蔽连通口13A的状态下被驱动时，活动门142将向远离门框结构13的方向移动，而对应藏设于连通口13A的下方为例，但不以此为限，活动门142的移动方式及其位置可以是依据需求变化。关于驱动机构141与活动门142相连接的方式，于此不加以限制。

如图5至图7所示，活动门142设置有一开门模块15，开门模块15能被驱动机构141驱动，以与设置于机台本体11上的晶圆盒F的盖体F2相互连接。具体来说，开门模块15包含有一卡合组件151及两个吸附组件152。卡合组件151包含有两个固定件1511及一连动机构1512，各个固定件1511的一端外露于活动门142的一侧，连动机构1512与两个固定件1511相互连接，而连动机构1512能受控制模块12控制以带动两个固定件1511作动，据以使两个固定件1511与晶圆盒F的盖体F2的固定孔F21相互卡合。当两个固定件1511与盖体F2的固定孔F21相互卡合后，控制模块12则可以控制驱动机构141作动，以使活动门142和盖体F2一并向远离门框结构13的方向移动，从而使晶圆盒F内部F1a能通过连通口13A与外连通，借此相关设备或是人员则可以通过连通口13A将晶圆盒F中的晶圆取出，或是将晶圆设置于晶圆盒F中。

在具体的实施例中，如图4所示，机台本体11还可以设置有一滑动模块16，盘体111与滑动模块16相互连接，滑动模块16能受控制模块12控制，而带动盘体111向靠近连通口13A的方向移动，或带动盘体111向远离连通口13A的方向移动。在实际应用中，滑动模块16例如可以包含有线轨及滑块等构件。在具体的实施中，控制模块12可以依据侦测组件116、117所检测的结果，而在晶圆盒F稳定地设置于盘体111上时，控制盘体111向门框结构13的连通口13A移动。

控制模块12控制开门模块15以利用活动门142带动晶圆盒F的盖体F2的具体实施方式可以是，控制模块12先控制滑动模块16，以使盘体111带动晶圆盒F相对于机台本体11移动，而让晶圆盒F的盖体F2能对应贴附于活动门142的一侧。而后，控制模块12利用设置于活动门142上的相关侦测器(图未示)，以在确认盖体F2确实贴附于活动门142的一侧时，控制连动机构1512作动，进而使两个固定件1511与盖体F2相互固定。

在不同的应用中，活动门142也可以与驱动机构141相互配合，而驱动机构141能受控制模块12控制，以使活动门142向盖体F2的方向移动，据以贴附于晶圆盒F的盖体F2；换言之，在不同的实施例中，机台本体11也可以不设置有滑动模块16，而活动门142则可以被驱动机构141控制而相对于机台本体11向靠近或远离晶圆盒F的方向移动。

两个吸附组件152可以连接抽排气模块23，或者可以独立地连接于另一个抽排气模块，于此不加以限制。各个吸附组件152可以包含有一吸附盘体1521及一气嘴1522，吸附盘体1521用以吸附于盖体F2，气嘴1522设置于吸附盘体1521中，且气嘴1522的部份可以外露于吸附盘体1521。各个抽排气模块23能与气嘴1522相互配合，以通过气嘴1522吸入气体，或者是通过气嘴1522排出气体。

如图5、图6、图8至图10，活动门142还可以设置有一计数器17。当活动门142与设置于机台本体11上的晶圆盒F相互连接，且活动门142带动晶圆盒F的盖体F2一同移动时，计数器17能被控制模块12控制以计算设置于晶圆盒F中的晶圆的数量。关于计数器17计算晶圆盒F内的晶圆的方式，例如可以利用光学侦测、影像撷取配合影像分析等方式，于此不加以限制。

举例来说，计数器17可以包含有一发射单元171及一接收单元172，发射单元171枢接于活动门142，接收单元172枢接于活动门142。所述发射单元171例如可以是发出红外线的构件，而接收单元172则可以为能对应接收红外线的构件。当活动门142与设置于机台本体11上的晶圆盒F相互连接，且活动门142带动晶圆盒F的盖体F2一同移动前，控制模块12能先控制发射单元171及接收单元172相对于活动门142旋转，而使发射单元171及接收单元172分别伸入晶圆盒F内，并使发射单元171及接收单元172能大致彼此相面对地设置，从而发射单元171及接收单元172能相互配合，而随着活动门142相对于晶圆盒F移动，据以计算设置于晶圆盒F中的晶圆的数量。

如图2、图3及图10所示，当活动门142将盖体F2带离晶圆盒F时，晶圆盒F内部将能与外部连通。此时，控制模块12将可控制抽排气模块23，配合气体辅助组件22，以对晶圆盒F内部进行气体交换作业，且控制模块12同时可以控制抽排气模块23，配合吹气模块21，以于晶圆盒F外形成气帘，借此，将可有效避免外部的脏污进入晶圆盒F内。

当相关设备或是人员无需再取、放晶圆盒F中的晶圆时，控制模块12将可以控制驱动机构141，以使活动门142带动盖体F2，而将盖体F2设置回晶圆盒F上；而后，控制模块12将可控制抽排气模块23，以利用气体辅助组件22及两个吸附组件152，对晶圆盒F内部进行气体交换作业，举例来说，两个吸附组件152可以用来将XCDA、CDA等洁净气体或是惰性气体充入晶圆盒F中，而至少一个气体辅助组件22则可以用来将将晶圆盒F中的气体向外排出。其中，当活动门142与盖体F2相互固定时，两个吸附组件152的气嘴1522可以对应与盖体F2的气孔F22相互连通，从而抽排气模块23能通过气嘴1522，以将预定气体送入晶圆盒F中。

请一并参阅图2、图4及图6，其亦显示为本发明的晶圆盒载运装置的示意图。以下仅针对晶圆盒载运装置10的部分构件进行强调说明，其余未说明的部分，与前述实施例相同，不再赘述。

如图2所示，本发明的晶圆盒载运装置10的机台本体11内设置有隔板113，隔板113的一侧设置有控制模块12，而隔板113的另一则可以依据相关厂商需求，而设置有前述辅助装置20的抽排气模块23。换言之，晶圆盒载运装置10的机台本体11内具有预留给相关厂商安装设置抽排气模块23的空间(即，前述实施例所称的第二容置空间SP2)，而晶圆盒载运装置10的生产厂商则可以依据晶圆盒载运装置10的购买者的需求，于机台本体11内安装或是不安装抽排气模块23。

如图4所示，本发明的晶圆盒载运装置10的盘体111可以具有多个预留凹槽1111，而多个预留凹槽1111可以依据相关厂商之需求，设置多个气体辅助组件22。盘体111也可以具有多个连通槽1112，多个连通槽1112与多个预留凹槽1111相互连接，而多个连通槽1112能用以设置连接多个气体辅助组件22的管路。换言之，晶圆盒载运装置10的机台本体11上所设置的盘体111具有预留给相关厂商安装设置气体辅助组件22的多个预留凹槽1111，而晶圆盒载运装置10的生产厂商则可以依据晶圆盒载运装置10的购买者的需求，于盘体111上安装或是不安装多个气体辅助组件22。

如图6所示，本发明的晶圆盒载运装置10的门框结构13可以依据需求设置有吹气模块21，亦即，门框结构13相反于盘体111的一侧是预留设置有用以安装吹气模块21的相关结构、构件，而晶圆盒载运装置10的生产厂商则可以依据晶圆盒载运装置10的购买者的需求，于门框结构13安装或是不安装吹气模块21。

依上所述，本发明的晶圆盒载运装置10，由于在机台本体11内有具有预留的空间，且盘体111上具有预留的多个预留凹槽1111，而门框结构13还预留有安装吹气模块21的相关结构、构件，因此，晶圆盒载运装置10的生产厂商能据以依据购买者之需求，而于晶圆盒载运装置10上，额外安装抽排气模块23、气体辅助组件22及吹气模块21。晶圆盒载运装置10在未设置有多个气体辅助组件22、抽排气模块23及吹气模块21的情况下，晶圆盒载运装置10则可以利用盘体111、门框结构13、开门模块15的相互配合，以承载晶圆盒F，并可开启晶圆盒F的盖体F2，而使相关设备或是人员取、放晶圆盒F中的晶圆。

在晶圆盒载运装置10设置有多个气体辅助组件22、抽排气模块23及吹气模块21的情况下，晶圆盒载运装置10则除了可以达到承载晶圆盒F，并开启晶圆盒F的盖体F2的功能外，晶圆盒载运装置10还可以对晶圆盒F内进行气体交换作业，且晶圆盒载运装置10还可以利用吹气模块21，而避免晶圆盒F外部的脏污轻易地进入晶圆盒F内。