阅读说明：本技术 一种精密半导体清洗装置 (Accurate semiconductor belt cleaning device ) 是由 陈建华 薛敬伟 王锡胜 胡长文 刘庆贵 于 2019-10-12 设计创作，主要内容包括：本发明涉及半导体技术领域,公开了一种精密半导体清洗装置,包括箱体、控制器、水箱、半导体进出口、废水出口；箱体的内部左侧固定安装有气缸腔,气缸腔的内中部固定有气缸,气缸的右侧输出端设置有穿过气缸腔的横向的活塞杆,活塞杆的末端固定安装有旋转安装块,旋转安装块的右侧转动连接有与活塞杆同轴心的连接杆,连接杆的末端固定安装有夹持块,箱体的内部右侧固定安装有旋转电机腔,旋转电机腔的内中部设置有旋转电机,旋转电机的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔的旋转杆,旋转杆的末端也固定安装有夹持块。夹持块的一侧设置有夹持口,位于夹持块上方的箱体的内顶部向下设置有两组喷水口。本发明冲洗速度快,全面,精度高,效果好。(The invention relates to the technical field of semiconductors, and discloses a precision semiconductor cleaning device which comprises a box body, a controller, a water tank, a semiconductor inlet, a semiconductor outlet and a wastewater outlet; the inside left side fixed mounting of box has the cylinder chamber, the interior middle part in cylinder chamber is fixed with the cylinder, the right side output of cylinder is provided with the horizontal piston rod that passes the cylinder chamber, the terminal fixed mounting of piston rod has rotatory installation piece, the right side of rotatory installation piece is rotated and is connected with the connecting rod with the piston rod is with the axle center, the terminal fixed mounting of connecting rod has the grip block, the inside right side fixed mounting of box has the rotating electrical machines chamber, the interior middle part in rotating electrical machines chamber is provided with the rotating electrical machines, the left side output of rotating electrical machines rotates and is connected with the rotary rod that passes the rotating electrical machines chamber, the terminal also fixed mounting of. One side of the clamping block is provided with a clamping opening, and the inner top of the box body above the clamping block is downwards provided with two groups of water spraying openings. The invention has the advantages of high flushing speed, comprehensiveness, high precision and good effect.)

一种精密半导体清洗装置

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体是一种精密半导体清洗装置。

背景技术

半导体片的清洗是一项非常精细的工作，而且半导体片对清洗环境的要求较为苛刻，在清洗过程中，需要保证周边环境的清洁，同时对半导体片的清洗也是一项费时费力的工作。

中国专利（公告号：CN 110112086 A，公告日：2019.08.09）公开一种半导体片清洗设备，包括上料系统、下料系统、运转系统和抓取系统，上料系统和下料系统均包括两条料带，通过两条料带的同步运行，实现半导体片的间歇上料和下料，当抓取系统在链条的作用下移动至凸轮环轨的清洗区时，抓取系统伸入到清洗盒中，当抓取系统在链条的作用下移动至凸轮环轨的平行区时，抓取系统离开清洗盒；上料系统和下料系统之间设置有开爪限位器，当抓取系统运动至上料系统和下料系统时，与开爪限位器接触，抓取系统打开。但是该清洗设备，无法保证能够冲洗半导体的每个位置，会导致冲洗不全面，影响冲洗的精度。

发明内容

本发明的目的在于提供主题，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种精密半导体清洗装置，包括箱体、控制器、水箱、半导体进出口、废水出口；箱体的左侧壁中部固定安装有控制器，通过控制器可控制整个装置各个部件的启停。箱体设置为透明结构，便于使用者观察内部的情况。箱体的顶部左侧固定安装有一组水箱，水箱的右侧箱体上向下开设有半导体进出口，箱体的内部左侧固定安装有气缸腔，气缸腔的内中部固定有气缸，气缸的右侧输出端设置有穿过气缸腔的横向的活塞杆，活塞杆的末端固定安装有旋转安装块，旋转安装块的右侧转动连接有与活塞杆同轴心的连接杆，连接杆的末端固定安装有夹持块。箱体的内部右侧固定安装有旋转电机腔，旋转电机腔的内中部设置有旋转电机，旋转电机的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔的旋转杆，旋转杆的末端也固定安装有夹持块。夹持块的一侧设置有夹持口，夹持口的内部用于夹持半导体本体的一侧，通过左右两侧夹持块可将从半导体进出口进入的半导体本体进行夹持固定。通过启动气缸带动活塞杆左右移动，进而带动连接杆末端的夹持块左右调整位置，通过先将半导体本体的右端放置到旋转杆末端的夹持块中，然后通过移动左侧的连接杆末端的夹持块将半导体本体紧紧的固定在两组夹持块之间，然后启动旋转电机带动旋转杆转动，然后驱动位于两组夹持块之间的半导体本体旋转。位于夹持块上方的箱体的内顶部向下设置有两组喷水口，喷水口的顶部通过输水管连通到固定在箱体上表面的水箱上，输水管上设置有电磁阀，用于控制输水管中水的流动，通过喷水口向下喷水，进而对夹持在夹持块之间的半导体本体进行清洗，通过采用旋转清洗的方式便于对半导体本体进行全方位的充分的冲洗。所述箱体的底部左右两侧向下开设有废水出口，通过废水出口便于将冲洗的废水排出。

作为本发明进一步的方案：箱体的底部固定安装有四组用于保持箱体底部稳定的垫块。

作为本发明进一步的方案：箱体的横截面设置为上部半圆形下部矩形，在保持箱体整体放置稳定的同时，也可提高箱体的美观性。

作为本发明进一步的方案：半导体进出口的中部设置有一组推拉式的口盖，口盖的顶部固定安装有推块，通过设置推拉式的口盖便于开合半导体进出口。

作为本发明进一步的方案：夹持口的内表面固定粘贴有橡胶垫，橡胶垫的设置在提高半导体本体夹持力的同时，也可防止半导体本体受到磨损。

作为本发明进一步的方案：所述气缸、旋转电机、喷水口、电磁阀均与控制器电性连接。

作为本发明再进一步的方案：位于两组废水出口之间的箱体的内表面固定安装有一组中部向上凸起的导流板，导流板的设置便于引导冲洗产生的废水快速的向废水出口中流动，防止在箱体的内部发生堆积。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过将待清洗的半导体夹持在箱体的中间位置，然后将其设置为旋转状态，进而再通过两组喷水口对其进行冲洗，便于全方位的进行冲洗，保证冲洗的精度。

附图说明

图1为一种精密半导体清洗装置的外部结构示意图。

图2为一种精密半导体清洗装置的主视内部结构示意图。

图3为一种精密半导体清洗装置中夹持块的结构示意图。

其中：箱体10，控制器11，水箱12，半导体进出口13，口盖14，半导体本体15，夹持块16，废水出口17，旋转电机腔18，气缸腔19，气缸20，活塞杆21，旋转安装块22，连接杆23，旋转电机24，旋转杆25，夹持口26，橡胶垫27，喷水口28，输水管29。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

实施例一

请参阅图1-3，一种精密半导体清洗装置，包括箱体10、控制器11、水箱12、半导体进出口13、废水出口17；箱体10的底部固定安装有四组用于保持箱体10底部稳定的垫块。箱体10设置为透明结构，便于使用者观察内部的情况。箱体10的横截面设置为上部半圆形下部矩形，在保持箱体10整体放置稳定的同时，也可提高箱体10的美观性。箱体10的左侧壁中部固定安装有控制器11，通过控制器11可控制整个装置各个部件的启停。箱体10的顶部左侧固定安装有一组水箱12，水箱12的右侧箱体10上向下开设有半导体进出口13，半导体进出口13的中部设置有一组推拉式的口盖14，口盖14的顶部固定安装有推块，通过设置推拉式的口盖14便于开合半导体进出口13。

箱体10的内部左侧固定安装有气缸腔19，气缸腔19的内中部固定有气缸20，气缸20的右侧输出端设置有穿过气缸腔19的横向的活塞杆21，活塞杆21的末端固定安装有旋转安装块22，旋转安装块22的右侧转动连接有与活塞杆21同轴心的连接杆23，连接杆23的末端固定安装有夹持块16。箱体10的内部右侧固定安装有旋转电机腔18，旋转电机腔18的内中部设置有旋转电机24，旋转电机24的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔18的旋转杆25，旋转杆25的末端也固定安装有夹持块16。夹持块16的一侧设置有夹持口26，夹持口26的内部用于夹持半导体本体15的一侧，通过左右两侧夹持块16可将从半导体进出口13进入的半导体本体15进行夹持固定。夹持口26的内表面固定粘贴有橡胶垫27，橡胶垫27的设置在提高半导体本体15夹持力的同时，也可防止半导体本体15受到磨损。通过启动气缸20带动活塞杆21左右移动，进而带动连接杆23末端的夹持块16左右调整位置，通过先将半导体本体15的右端放置到旋转杆25末端的夹持块16中，然后通过移动左侧的连接杆23末端的夹持块16将半导体本体15紧紧的固定在两组夹持块16之间，然后启动旋转电机24带动旋转杆25转动，然后驱动位于两组夹持块16之间的半导体本体15旋转。位于夹持块16上方的箱体10的内顶部向下设置有两组喷水口28，喷水口28的顶部通过输水管29连通到固定在箱体10上表面的水箱12上，输水管29上设置有电磁阀，用于控制输水管29中水的流动，通过喷水口28向下喷水，进而对夹持在夹持块16之间的半导体本体15进行清洗，通过采用旋转清洗的方式便于对半导体本体15进行全方位的充分的冲洗。所述箱体10的底部左右两侧向下开设有废水出口17，通过废水出口17便于将冲洗的废水排出。所述气缸20、旋转电机24、喷水口28、电磁阀均与控制器11电性连接。

本发明的工作原理是：首先通过半导体进出口13将待清洗的半导体本体15放置到箱体10的内部，然后半导体本体15的右侧夹持在右侧夹持块16的内部，然后启动气缸20带动左侧的夹持块16向右移动，然后将半导体本体15的左侧进行稳固，然后启动喷水口28将水箱12中的水向下对半导体本体15进行喷洒，然后启动旋转电机24带动旋转杆25转动，进而带动半导体本体15进行旋转冲洗，然后冲洗产生的废水通过废水出口17进行排出。

实施例二

在实施例一的基础上，位于两组废水出口17之间的箱体10的内表面固定安装有一组中部向上凸起的导流板，导流板的设置便于引导冲洗产生的废水快速的向废水出口17中流动，防止在箱体10的内部发生堆积。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。