阅读说明：本技术 一种研磨调节装置及研磨装置 (Grinding adjusting device and grinding device ) 是由 付丽丽 于 2019-10-09 设计创作，主要内容包括：本发明的实施例提供了一种研磨调节装置及研磨装置,涉及半导体领域。研磨调节装置包括气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀,控制单元用于在固定组件工作时,控制第一开关阀开启并控制第二开关阀关闭,使气源与固定组件连通；控制单元用于在补正组件工作时,控制第二开关阀开启并控制第一开关阀开启,使气源与补正组件连通。在本发明中,固定组件与补正组件分别通过第一支路及第二支路与气源连接,二者之间相互独立工作,工作过程互不影响,从而提高了调节效果。(The embodiment of the invention provides a grinding adjusting device and a grinding device, and relates to the field of semiconductors. The grinding adjusting device comprises an air source, a control unit, a first branch, a second branch, a first switch valve and a second switch valve, wherein the control unit is used for controlling the first switch valve to be opened and the second switch valve to be closed when the fixing assembly works so as to enable the air source to be communicated with the fixing assembly; the control unit is used for controlling the second switch valve to open and controlling the first switch valve to open when the correction assembly works, so that the air source is communicated with the correction assembly. In the invention, the fixing component and the correction component are respectively connected with the air source through the first branch and the second branch, and the fixing component and the correction component work independently of each other, so that the working processes are not influenced by each other, thereby improving the adjusting effect.)

一种研磨调节装置及研磨装置

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体而言，涉及一种研磨调节装置及研磨装置。

背景技术

TFT－LCD(液晶显示屏)玻璃基板在研磨机研磨过程中，补正、卸载原先是一路控制，产品在卸载时因吹气量过大，造成产品在搬运爪上发生偏移，引起G2研磨时，出现产品偏移较大，补正时容易产生补正不到位的现象，导致其对玻璃基板的调节效果较差。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种研磨调节装置和研磨装置，其能够提高对玻璃基板的调节精度。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明实施例提供一种研磨调节装置，包括：气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，所述第一开关阀安装在所述第一支路上，所述第二开关阀安装在所述第二支路上，所述第一支路与所述第二支路均与所述气源连接，所述第一支路远离所述气源的一端与一固定组件连接，所述第二支路远离所述气源的一端与一补正组件连接，所述控制单元与所述第一开关阀及所述第二开关阀电连接；其中所述固定组件用于固定玻璃基板，所述补正组件用于调整玻璃基板的位置；

所述控制单元用于在所述固定组件工作时，控制所述第一开关阀开启并控制所述第二开关阀关闭，使所述气源与所述固定组件连通；

所述控制单元用于在所述补正组件工作时，控制所述第二开关阀开启并控制所述第一开关阀开启，使所述气源与所述补正组件连通。

在可选的实施方式中，所述第二支路包括主路、第一分路及第二分路，所述主路的一端与所述气源连接，所述第一分路及所述第二分路并联后与所述主路连通，所述第二开关阀设置在所述主路上，所述第一分路及所述第二分路分别与一所述补正组件连接。

在可选的实施方式中，所述第一分路上设置有第一单向阀。

在可选的实施方式中，所述第二分路上设置有第二单向阀。

在可选的实施方式中，所述研磨调节装置还包括减压控制器，所述减压控制器设置在所述气源与所述第一支路及所述第二支路之间。

在可选的实施方式中，所述第一支路上设置有第三单向阀。

第二方面，本发明实施例提供一种研磨装置，用于研磨玻璃基板，包括固定组件、补正组件及如前述实施方式任一项所述的研磨调节装置，所述第一支路远离所述气源的一端与所述固定组件连接，所述第二支路远离所述气源的一端与所述补正组件连接，所述固定组件用于固定所述玻璃基板，所述补正组件用于调整所述玻璃基板的位置。

在可选的实施方式中，所述研磨装置还包括图像采集装置及研磨件，所述研磨件靠近所述固定组件设置，所述图像采集装置与所述控制单元电连接；

所述研磨件用于研磨所述玻璃基板；

所述图像采集装置用于采集所述玻璃基板的图像信息，并发送至所述控制单元；

所述控制单元用于依据接收到的所述图像信息，并依据所述图像信息判断所述玻璃基板相对于所述研磨件的角度，当所述玻璃基板相对于所述研磨件的角度超过预设角度时，控制所述第一开关阀关闭并控制所述第二开关阀开启。

在可选的实施方式中，所述控制单元还用于当所述玻璃基板相对于所述研磨件的角度大于所述预设角度时，控制所述第一开关阀开启并控制所述第二开关阀关闭。

在可选的实施方式中，所述预设角度为10度。

本发明实施例的有益效果：研磨调节装置包括气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，第一开关阀安装在第一支路上，第二开关阀安装在第二支路上，第一支路与第二支路均与气源连接，第一支路远离气源的一端与一固定组件连接，第二支路远离气源的一端与一补正组件连接，控制单元与第一开关阀及第二开关阀电连接；其中固定组件用于固定玻璃基板，补正组件用于调整玻璃基板的位置；

控制单元用于在固定组件工作时，控制第一开关阀开启并控制第二开关阀关闭，使气源与固定组件连通；

控制单元用于在补正组件工作时，控制第二开关阀开启并控制第一开关阀开启，使气源与补正组件连通。

在本发明中，固定组件与第一支路连接，补正组件与第二支路连通，当研磨玻璃基板，需要固定住玻璃基板时控制单元控制第一开关阀开启并控制第二开关阀关闭，当需要补正组件调整玻璃基板的位置时，控制单元控制第二开关阀开启并控制第一开关阀关闭。在本发明中，固定组件与补正组件分别通过第一支路及第二支路与气源连接，二者之间相互独立工作，工作过程互不影响，从而提高了调节效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明第一实施例提供的研磨调节装置与固定组件及补正组件连接的结构示意图；

图2为本发明第二实施例提供的研磨装置的结构示意图。

图标：10-研磨装置；100-研磨调节装置；110-气源；120-控制单元；130-第一支路；140-第二支路；142-主路；144-第一分路；146-第二分路；150-第一开关阀；160-第二开关阀；170-第一单向阀；180-第二单向阀；190-第三单向阀；192-减压控制器；200-固定组件；300-补正组件。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。

第一实施例

请参阅图1，本实施例提供了一种研磨调节装置100，本实施例提供了的研磨调节装置100能够提高调节效果。

本实施例提供的研磨调节装置100主要在研磨玻璃基板的过程中，固定玻璃基板或者是调节玻璃基板的位置。

在本实施例中，研磨调节装置100包括：气源110、控制单元120、第一支路130、第二支路140、第一开关阀150及第二开关阀160，第一开关阀150安装在第一支路130上，第二开关阀160安装在第二支路140上，第一支路130与第二支路140均与气源110连接，第一支路130远离气源110的一端与一固定组件200连接，第二支路140远离气源110的一端与一补正组件300连接，控制单元120与第一开关阀150及第二开关阀160电连接；其中固定组件200用于固定玻璃基板，补正组件300用于调整玻璃基板的位置；

控制单元120用于在固定组件200工作时，控制第一开关阀150开启并控制第二开关阀160关闭，使气源110与固定组件200连通；

控制单元120用于在补正组件300工作时，控制第二开关阀160开启并控制第一开关阀150开启，使气源110与补正组件300连通。

在本实施例中，固定组件200与第一支路130连接，补正组件300与第二支路140连通，当研磨玻璃基板，需要固定住玻璃基板时控制单元120控制第一开关阀150开启并控制第二开关阀160关闭，当需要补正组件300调整玻璃基板的位置时，控制单元120控制第二开关阀160开启并控制第一开关阀150关闭。在本实施例中，固定组件200与补正组件300分别通过第一支路130及第二支路140与气源110连接，二者之间相互独立工作，工作过程互不影响，从而提高了调节效果。

在本实施例中，第二支路140包括主路142、第一分路144及第二分路146，主路142的一端与气源110连接，第一分路144及第二分路146并联后与主路142连通，第二开关阀160设置在主路142上，第一分路144及第二分路146分别与一补正组件300连接。

在本实施例中，第一分路144与第二分路146并联后分别与一补正组件300连接，通过两个补正组件300能够提高对玻璃基板的调节精度。

在本实施例中，第一分路144上设置有第一单向阀170。能够防止气流回流至气源110中，影响补正组件300的工作效果。

在本实施例中，第二分路146上设置有第二单向阀180。能够防止气流回流至气源110中，影响补正组件300的工作效果。

在本实施例中，研磨调节装置100还包括减压控制器192，减压控制器192设置在气源110与第一支路130及第二支路140之间。

在本实施例中，在气源110与第一支路130及第二支路140之间设置减压控制器192当第一开关阀150打开后能够使进入固定组件200的气压稳定，防止气压过大损坏固定组件200或者气压过小达不到工作效果。同样的，当第二开关阀160打开后能够是进入补正组件300的气压稳定，防止气压过大损坏补正组件300或者气压过小达不到工作效果。

在本实施例中，第一支路130上设置有第三单向阀190。能够防止气流回流至气源110中，影响固定组件200的工作效果。

综上所述，本实施例提供的研磨调节装置100，在本实施例中，固定组件200与第一支路130连接，补正组件300与第二支路140连通，当研磨玻璃基板，需要固定住玻璃基板时控制单元120控制第一开关阀150开启并控制第二开关阀160关闭，当需要补正组件300调整玻璃基板的位置时，控制单元120控制第二开关阀160开启并控制第一开关阀150关闭。在本实施例中，固定组件200与补正组件300分别通过第一支路130及第二支路140与气源110连接，二者之间相互独立工作，工作过程互不影响，从而提高了调节效果。

第二实施例

请参阅图2，本实施例提供了一种研磨装置10，本实施例提供的研磨装置10主要用于研磨玻璃基板，其能够提高对玻璃基板的调节效果。

为了简要描述，本实施例未提及之处可参照第一实施例。

在本实施例中，研磨装置10包括固定组件200、补正组件300及第一实施例提供的研磨调节装置100，第一支路130远离气源110的一端与固定组件200连接，第二支路140远离气源110的一端与补正组件300连接，固定组件200用于固定玻璃基板，补正组件300用于调整玻璃基板的位置。

在本实施例中，固定组件200主要固定将玻璃基板固定在工作台上，当玻璃基板的位置出现偏差时将玻璃基板吹离工作台。

固定组件200为真空泵。

在本实施例中，研磨装置10还包括图像采集装置及研磨件，研磨件靠近固定组件200设置，图像采集装置与控制单元120电连接；

研磨件用于研磨玻璃基板；

图像采集装置用于采集玻璃基板的图像信息，并发送至控制单元120；

控制单元120用于依据接收到的图像信息，并依据图像信息判断玻璃基板相对于研磨件的角度，当玻璃基板相对于研磨件的角度超过预设角度时，控制第一开关阀150关闭并控制第二开关阀160开启。

在本实施例中，当图像采集装置采集的图像信息并依据图像信息判断玻璃基板相对于研磨件的角度，当其超过预设角度时，控制第一开关阀150关闭并控制第二开关阀160开启，使固定组件200关闭，补正组件300将玻璃基板吹离工作台，调整研磨件相对于玻璃基板的位置。

在本实施例中，控制单元120还用于当玻璃基板相对于研磨件的角度大于预设角度时，控制第一开关阀150开启并控制第二开关阀160关闭。

在本实施例中，预设角度为10度。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。