一种铌靶材与铜背板的钎焊方法
阅读说明：本技术 一种铌靶材与铜背板的钎焊方法 (Method for brazing niobium target and copper back plate ) 是由 姚力军 边逸军 潘杰 王学泽 陈石 廖培君 于 2021-08-19 设计创作，主要内容包括：本发明提供了一种铌靶材与铜背板的钎焊方法,包括：在铌靶材的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍,随后采用钎料分别浸润铌靶材与铜背板,再对浸润处理后的铌靶材的焊接面与铜背板进行焊接。本发明实现了铌靶材与铜背板的焊接,仅在铌靶材表面进行喷砂和镀镍处理,简化了工艺流程,降低了工作复杂度,且镀镍处理改善了铌靶材以及铜背板的焊接性能,使铌靶材与铜背板能够实现可靠结合；将铜丝设置于铌靶材与铜背板的焊接面之间,有效保留了靶材和背板焊接面间的焊料,提高了铌靶材与铜背板的结合强度。(The invention provides a method for brazing a niobium target and a copper back plate, which comprises the following steps: and sequentially carrying out sand blasting pretreatment and chemical nickel plating on the welding surface of the niobium target material, then respectively infiltrating the niobium target material and the copper back plate by using brazing filler metal, and then welding the welding surface of the niobium target material after infiltration treatment and the copper back plate. The welding method realizes the welding of the niobium target and the copper back plate, only carries out sand blasting and nickel plating treatment on the surface of the niobium target, simplifies the process flow, reduces the working complexity, improves the welding performance of the niobium target and the copper back plate through the nickel plating treatment, and ensures that the niobium target and the copper back plate can be reliably combined; the copper wire is arranged between the welding surfaces of the niobium target and the copper back plate, so that the welding flux between the target and the welding surface of the back plate is effectively reserved, and the bonding strength of the niobium target and the copper back plate is improved.)
技术领域
本发明属于溅射靶材技术领域，涉及靶材与背板的钎焊方法，尤其涉及一种铌靶材与铜背板的钎焊方法。
背景技术
溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，带电粒子轰击固体材料表面时，发生表面原子碰撞并产生能量和动量的转移，使被轰击材料原子从表面逸出并沉积在衬底上，被轰击的固体是溅射法制备沉积薄膜的原材料，一般被称为溅射靶材。由于溅射靶材的强度不一，在实际应用过程中，需要将溅射靶材和背板绑定制成靶材组件。背板为溅射靶材提供支撑，同时可以传导热量，一般通过焊接对溅射靶材和背板进行绑定。由于靶材组件在溅射过程中的工作环境比较恶劣，如果靶材组件中靶材与背板之间的焊接结合度较低，将导致靶材在受热条件下变形、开裂，甚至从背板脱落。
钎焊是指将低于焊件熔点的钎料和焊件同时加热到钎料熔化温度后，利用液态钎料填充固态工件的缝隙使金属连接的焊接方法。根据钎料熔点的不同，钎焊又分为硬钎焊和软钎焊。现有靶材和背板的钎焊方法无法有效保留靶材和背板焊接面间的焊料，因而难以保证焊接结合率和焊接结合强度。
CN101176960A公开了一种金属靶材与靶托的连接方法，包括如下步骤：(1)分别在靶材、靶托对应的接触部位加工出用于结合的中间弧形凸面、中间弧形凹面；(2)将靶材与靶托的加工台面除油、酸洗等清洗干净，并吹干；(3)加热靶托至钎焊料的液相线30～50℃，在靶托的凹面内均匀涂上钎焊料；(4)靶材凸面在轴向压力下向靶托凹面挤进；(5)在挤压过程中，靶托凹面上的钎焊料熔化流动时充填接合面的各部位，通过排气通道把残存的空气排除。
CN111570957A公开了一种铜背板组件钎焊方法，S1.准备铜背板组件和不锈钢水嘴，并在所述铜背板组件表面进行处理，达到完全去除表面的氧化膜的效果；S2.在不锈钢水嘴的表面电镀处理；S3.将水路衬底装配在所述基底上方形成钎缝E，并在钎缝E周围装填金属钎料；S4.将不锈钢水嘴入水口装配在所述基底卡槽处形成钎缝A、钎缝B，并在钎缝A、钎缝B周围装填金属钎料；S5.将所述的不锈钢水嘴出水口和所述水路衬底装配形成钎缝C、钎缝D，并在钎缝C、钎缝D位置处装填金属钎料。
CN103737140A公开了一种ITO靶材与铜背板的绑定方法，将铜背板固定于加热台上，将ITO靶材放置于所述铜背板上；对所述铜背板进行加热，通过钎焊将所述ITO靶材贴合在所述铜背板上；及在所述ITO靶材的远离所述铜背板的表面上放置配重块，待所述ITO靶材冷却后取下所述配重块。加热的步骤具体为：将所述铜背板从室温加热至50℃，在50℃恒温5分钟；再从50℃加热至80℃，在80℃恒温5分钟；再从80℃加热至110℃，在110℃恒温5分钟；接着从110℃加热至140℃，在140℃恒温5分钟；进一步从140℃加热至170℃～180℃，并维持所述铜背板的温度为170℃～180℃。
传统的钎焊方法用于各种半导体靶材的焊接，如钨靶、钛靶、钼靶、铬靶、镍靶、银靶、ITO靶等，需要对铜背板做喷砂镀镍处理，焊接结构比较复杂，增加了工艺的复杂程度，且由于无法有效保留靶材和背板焊接面间的焊料，因而难以保证焊接结合率和焊接结合强度。
现有的焊接方法中还没有关于铌靶材与铜背板的钎焊方法公开的示例，因此，如何实现铌靶材与铜背板的钎焊，同时提高靶材与背板在钎焊过程中的结合律和焊接结合强度将是研究重点。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种铌靶材与铜背板的钎焊方法，工艺简单，易操作，焊接结合律高、焊接结合强度高。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供了一种铌靶材与铜背板的钎焊方法，所述的钎焊方法包括：
在铌靶材的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材与铜背板，再将浸润处理后的铌靶材与铜背板进行焊接。
作为本发明一个优选技术方案，所述的钎焊方法包括以下步骤：
(Ⅰ)将沙粒喷射至铌靶材的焊接面形成粗糙的喷砂表面；
(Ⅱ)采用酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材进行活化，随后置于镀镍溶液中在喷砂表面形成镀镍层；
(Ⅲ)分别将铜背板与铌靶材置于加热平台进行加热，同时将钎料覆盖在铜背板和铌靶材表面，待钎料融化后浸润铜背板和铌靶材，分别在铜背板和铌靶材焊接面一侧的表面形成钎料层；
(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板的钎料层表面放置铜丝，并将铌靶材置于铜丝上，施压，再冷却完成钎焊。
作为本发明一个优选技术方案，步骤(Ⅰ)中，所述的沙粒为46#白刚玉。
优选地，所述喷射的压力为0.4～0.45MPa，例如可以是0.4Mpa、0.41Mpa、0.42Mpa、0.43Mpa、0.44Mpa或0.45Mpa，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述喷砂表面的粗糙度为4～8μm，例如可以是4μm、4.2μm、4.5μm、4.8μm、5μm、5.3μm、5.5μm、5.8μm、6μm、6.2μm、6.5μm、6.8μm、7μm、7.3μm、7.5μm、7.8μm或8μm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。本发明中在铌靶材表面进行喷砂，提高铌靶材与铜背板焊接面的粗糙度，从而提高了后续镀镍处理时的结合度。
作为本发明一个优选技术方案，所述的酸液为混合酸。
优选地，所述的混合酸包括氢氟酸和硝酸的混合酸液。本发明中采用氢氟酸和硝酸的混合酸进行铌靶材焊接面的活化，有利于去除表面氧化层。
优选地，所述的混合酸液中氢氟酸、硝酸和水的体积比为(0.8～1.2)：(2～4)：(3～5)，例如可以是(0.8:2:3)、(1:2:3)、(1.2:2:3)、(0.8:3:3)、(1.2:3:3)、(1:3:4)、(0.8:2:4)、(1:2:4)、(1.2:2:5)、(1:2:5)或(1.2:4:5)，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述活化的时间为2～3min，例如可以是2min、2.1min、2.2min、2.3min、2.4min、2.5min、2.6min、2.7min、2.8min、2.9min或3min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明一个优选技术方案，步骤(Ⅱ)中，所述置于镀镍溶液中的时间为30～50min，例如可以是30min、31min、32min、33min、34min、35min、36min、37min、38min、39min、40min、41min、42min、43min、44min、45min、46min、47min、48min、49min或50min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述的镀镍溶液的类型包括硫酸盐型、氯化物型、氨基磺酸盐型、柠檬酸盐型或氨硼酸盐型中的任一种或至少两种的组合。
作为本发明一个优选技术方案，步骤(Ⅱ)中还包括活化后对铌靶材进行洗涤。
优选地，所述的洗涤采用纯水进行清洗。
作为本发明一个优选技术方案，步骤(Ⅲ)中，所述钎料加热后的温度为160～190℃，例如可以是160℃、162℃、165℃、168℃、170℃、173℃、175℃、177℃、178℃、180℃、182℃、185℃、188℃或190℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述的钎料包括铟焊料。
优选地，所述的浸润为超声波浸润。
优选地，所述超声波的频率20kHz～50kHz，例如可以是20kHz、23kHz、25kHz、27kHz、30kHz、32kHz、35kHz、38kHz、40kHz、42kHz、45kHz、48kHz或50kHz，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述超声波的振动幅度5～50μm，例如可以是5μm、8μm、10μm、12μm、15μm、20μm、23μm、25μm、27μm、30μm、32μm、35μm、38μm、40μm、42μm、45μm、48μm或50μm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述铌靶材的钎料层一侧面向铜丝放置。
作为本发明一个优选技术方案，步骤(Ⅲ)中，加热前沿铜背板非焊接面的侧面粘贴一圈胶带。
优选地，所述的胶带高出钎料层1～2mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.5mm、1.8mm或2mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述的胶带为耐温胶带。本发明中通过在铜背板非焊接面的侧面设置胶带，将非焊接面进行遮蔽，然后在铜背板的焊接面放置焊料并加热，利用熔化后的焊料进行浸润处理。
作为本发明一个优选技术方案，步骤(Ⅳ)中，所述铜丝的长度小于焊接面的长度。
优选地，所述铜丝的直径为0.2～0.5mm，例如可以是0.2mm、0.25mm、0.3mm、0.35mm、0.4mm、0.45mm或0.5mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
需要说明的是，本发明中将铜丝设置于铌靶材与铜背板的焊接面之间，在铜丝的支撑下焊料均匀分布，经冷却形成具有一定厚度的焊料层，实现将靶材和背板焊接起来的目的，而且，作为支撑条的铜丝会嵌入焊料层中，虽然不被取出，但是并不会影响焊料层的结合强度。
作为本发明一个优选技术方案，步骤(Ⅳ)中，所述的施压通过在铌靶材表面放置压块进行。
优选地，所述压块的重量为30～60kg，例如可以是30kg、32kg、33kg、35kg、36kg、38kg、40kg、42kg、43kg、45kg、48kg、50kg、52kg、55kg、56kg、57kg、58kg或60kg，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(Ⅳ)中，所述的铜背板与加热平台一同冷却。需要说明的是，本发明中将铜背板与加热平台一同进行冷却，可以避免空气进入焊接面并防止局部缩孔。
优选地，所述冷却后除去铜背板侧面的胶带。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明中提供的一种铌靶材与铜背板的钎焊方法，仅在铌靶材表面进行喷砂和镀镍处理，简化了工艺流程，降低了工作复杂度，通过在铌靶材表面进行喷砂处理，提高了铌靶材与铜背板焊接面的粗糙度，从而提高了后续镀镍处理时，镍层与焊接面的结合强度；且镀镍处理改善了铌靶材以及铜背板的焊接性能，使铌靶材与铜背板能够实现可靠结合，提高了结合率和结合强度；将铜丝设置于铌靶材与铜背板的焊接面之间，在铜丝的支撑下均匀分布，有效保留了靶材和背板焊接面间的焊料，提高了铌靶材与铜背板的结合强度，从而满足靶材组件长期稳定使用的需要。
附图说明
图1为本发明一个
具体实施方式
中提供的靶材组件的结构示意图。
其中，1-铌靶材；2-铜背板；3-铜丝；4-钎料层；5-胶带。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在一个具体实施方式中，本发明提供了一种铌靶材1与铜背板2的钎焊方法，所述的钎焊方法包括：
在铌靶材1的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材1与铜背板2，再将浸润处理后的铌靶材1与铜背板2进行焊接。
具体包括以下步骤：
(Ⅰ)将沙粒喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.4～0.45MPa，并形成粗糙度为4～8μm的喷砂表面；
(Ⅱ)采用体积比为(0.8～1.2)：(2～4)：(3～5)的氢氟酸、硝酸和水的混合酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材1进行活化2～3min，再清洗铌靶材1，随后置于镀镍溶液中30～50min，在喷砂表面形成镀镍层，镀镍溶液的类型包括硫酸盐型、氯化物型、氨基磺酸盐型、柠檬酸盐型或氨硼酸盐型中的任一种或至少两种的组合；
(Ⅲ)如图1所示，沿铜背板2非焊接面的侧面粘贴一圈胶带5，胶带5高出钎料层4的高度为1～2mm，再分别将铜背板2与铌靶材1置于加热平台进行加热，同时将钎料覆盖在铜背板2和铌靶材1表面，待钎料融化后浸润铜背板2和铌靶材1，分别在铜背板2和铌靶材1的表面形成钎料层4，加热后的钎料温度为160～190℃，可采用铟钎料进行超声波浸润，超声波的频率20kHz～50kHz，振动幅度5～50μm。
(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板2的钎料层4表面放置直径为0.2～0.5mm的铜丝3，并将铌靶材1的钎料层4一侧面向铜丝3放置于铜背板2上，在铌靶材1表面放置重量为30～60kg的压块，将铜背板2随加热平台一同冷却后除去胶带5，完成钎焊得到靶材组件。
实施例1
本实施例中提供了一种铌靶材1与铜背板2的钎焊方法，所述的钎焊方法包括：
在铌靶材1的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材1与铜背板2，再对浸润处理后的铌靶材1与铜背板2进行焊接。
具体包括以下步骤：
(Ⅰ)将46#白刚玉喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.45MPa，并形成粗糙度为6μm的喷砂表面；
(Ⅱ)采用体积比为1：3：4的氢氟酸、硝酸和水的混合酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材1进行活化3min，取出后利用纯水再清洗铌靶材1，随后置于硫酸盐型镀镍溶液中50min，在喷砂表面形成镀镍层；
(Ⅲ)在铜背板2非焊接面的侧面粘贴一圈胶带5，胶带5高出钎料层4的高度为1mm，再分别将铜背板2与铌靶材1置于加热平台进行加热，同时将铟钎料覆盖在铜背板2和铌靶材1表面，待铟钎料融化后通过超声波浸润铜背板2和铌靶材1，分别在铜背板2和铌靶材1的表面形成钎料层4，加热后的铟钎料温度为180℃，超声波的频率40kHz，振动幅度20μm。
(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板2的钎料层4表面放置直径为0.3mm的铜丝3，并将铌靶材1的钎料层4一侧面向铜丝3并放置于铜背板2上，在铌靶材1表面放置重量为50kg的压块，将铜背板2随加热平台一同冷却后取出耐温胶带5，完成钎焊。
实施例2
本实施例中提供了一种铌靶材1与铜背板2的钎焊方法，所述的钎焊方法包括：
在铌靶材1的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材1与铜背板2，再对浸润处理后的铌靶材1与铜背板2进行焊接。
具体包括以下步骤：
(Ⅰ)将46#白刚玉喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.45MPa，并形成粗糙度为8μm的喷砂表面；
(Ⅱ)采用体积比为1：4：4的氟酸、硝酸和水的混合酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材1进行活化3min，取出后利用纯水再清洗铌靶材1，随后置于氯化物型镀镍溶液中45min，在喷砂表面形成镀镍层；
(Ⅲ)在铜背板2非焊接面的侧面粘贴一圈胶带5，胶带5高出钎料层4的高度为1mm，再分别将铜背板2与铌靶材1进行加热，同时将铟钎料覆盖在铜背板2和铌靶材1表面，待铟钎料融化后通过超声波浸润铜背板2和铌靶材1，分别在铜背板2和铌靶材1的表面形成钎料层4，加热后的铟钎料温度为190℃，超声波的频率30kHz，振动幅度10μm。
(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板2的钎料层4表面放置直径为0.3mm的铜丝3，并将铌靶材1的钎料层4一侧面向铜丝3放置于铜背板2上，在铌靶材1表面放置重量为50kg的压块，将铜背板2随加热平台一同冷却后取出耐温胶带5，完成钎焊。
实施例3
本实施例中提供了一种铌靶材1与铜背板2的钎焊方法，所述的钎焊方法包括：
在铌靶材1的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材1与铜背板2，再对浸润处理后的铌靶材1与铜背板2进行焊接。
具体包括以下步骤：
(Ⅰ)将46#白刚玉喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.4MPa，并形成粗糙度为5μm的喷砂表面；
(Ⅱ)采用体积比为0.8：3：3的氟酸、硝酸和水的混合酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材1进行活化2min，去除后利用纯水再清洗铌靶材1，随后置于氨基磺酸盐型镀镍溶液中40min，在喷砂表面形成镀镍层；
(Ⅲ)在铜背板2非焊接面的侧面粘贴一圈胶带5，胶带5高出钎料层4的高度为2mm，再分别将铜背板2与铌靶材1置于加热平台进行加热，同时将铟钎料覆盖在铜背板2和铌靶材1表面，待铟钎料融化后通过超声波浸润铜背板2和铌靶材1，分别在铜背板2和铌靶材1的表面形成钎料层4，加热后的铟钎料温度为170℃，超声波的频率25kHz，振动幅度15μm。
(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板2的钎料层4表面放置直径为0.2mm的铜丝3，并将铌靶材1的钎料层4一侧面向铜丝3放置于铜背板2上，在铌靶材1表面放置重量为30kg的压块，将铜背板2随加热平台一同冷却后取出耐温胶带5，完成钎焊。
实施例4
本实施例中提供了一种铌靶材1与铜背板2的钎焊方法，所述的钎焊方法包括：
在铌靶材1的焊接面依次进行喷砂预处理和化学镀镍，随后采用钎料分别浸润铌靶材1与铜背板2，再对浸润处理后的铌靶材1与铜背板2进行焊接。
具体包括以下步骤：
(Ⅰ)将46#白刚玉喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.43MPa，并形成粗糙度为4μm的喷砂表面；
(Ⅱ)采用体积比为1.2：4：5的氟酸、硝酸和水的混合酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材1进行活化2.5min，取出后利用纯水再清洗铌靶材1，随后置于柠檬酸盐型镀镍溶液中30min，在喷砂表面形成镀镍层；
(Ⅲ)在铜背板2非焊接面的侧面粘贴一圈胶带5，胶带5高出钎料层4的高度为1mm，再分别将铜背板2与铌靶材1置于加热平台进行加热，同时将铟钎料覆盖在铜背板2和铌靶材1表面，待铟钎料融化后通过超声波浸润铜背板2和铌靶材1，分别在铜背板2和铌靶材1的表面形成钎料层4，加热后的铟钎料温度为160℃，超声波的频率20kHz，振动幅度5μm。
(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板2的钎料层4表面放置直径为0.42mm的铜丝3，并将铌靶材1的钎料层4一侧面向铜丝3放置于铜背板2上，在铌靶材1表面放置重量为30kg的压块，将铜背板2随加热平台一同冷却后取出耐温胶带5，完成钎焊。
实施例5
(Ⅰ)将46#白刚玉喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.45MPa，并形成粗糙度为7μm的喷砂表面；
(Ⅱ)采用体积比为1：2：3的氟酸、硝酸和水的混合酸液对步骤(Ⅰ)中的铌靶材1进行活化2min，取出后利用纯水再清洗铌靶材1，随后置于氨硼酸盐型镀镍溶液中35min，在喷砂表面形成镀镍层；
(Ⅲ)在铜背板2非焊接面的侧面粘贴一圈胶带5，胶带5高出钎料层4的高度为1mm，再分别将铜背板2与铌靶材1置于加热平台进行加热，同时将铟钎料覆盖在铜背板2和铌靶材1表面，待铟钎料融化后通过超声波浸润铜背板2和铌靶材1，分别在铜背板2和铌靶材1的表面形成钎料层4，加热后的铟钎料温度为175℃，超声波的频率35kHz，振动幅度50μm。
(Ⅳ)在步骤(Ⅲ)中铜背板2的钎料层4表面放置直径为0.3mm的铜丝3，并将铌靶材1的钎料层4一侧面向铜丝3放置于铜背板2上，在铌靶材1表面放置重量为30kg的压块，将铜背板2随加热平台一同冷却后取出耐温胶带5，完成钎焊。
实施例6
本实施例与实施例1的区别在于，步骤(Ⅱ)中，将清洗后的铌靶材1取出后，置于硫酸盐型与氯化物型的混合镀镍溶液中，进而在喷砂表面形成镀镍层。
实施例7
本实施例与实施例2的区别在于，步骤(Ⅱ)中，将清洗后的铌靶材1取出后，置于氯化物型与氨基磺酸盐型的混合镀镍溶液中，进而在喷砂表面形成镀镍层。
实施例8
本实施例与实施例3的区别在于，步骤(Ⅱ)中，将清洗后的铌靶材1取出后，置于氨基磺酸盐型与柠檬酸盐型的混合镀镍溶液中，进而在喷砂表面形成镀镍层。
实施例9
本实施例与实施例4的区别在于，步骤(Ⅱ)中，将清洗后的铌靶材1取出后，置于柠檬酸盐型与氨硼酸盐型的混合镀镍溶液中，进而在喷砂表面形成镀镍层。
实施例10
本实施例与实施例1的区别在于，步骤(Ⅱ)中，采用氢氟酸活化铌靶材1。
实施例11
本实施例与实施例1的区别在于，步骤(Ⅱ)中，采用硝酸的活化铌靶材1。
实施例12
本实施例与实施例1的区别在于，步骤(Ⅰ)中，将46#白刚玉喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.3MPa，并形成粗糙度为3μm的喷砂表面，再进行铌靶材1与铜背板2的钎焊。
实施例13
本实施例与实施例1的区别在于，步骤(Ⅰ)中，将46#白刚玉喷射至铌靶材1的焊接面，喷射的压力为0.6MPa，并形成粗糙度为9μm的喷砂表面，再进行铌靶材1与铜背板2的钎焊。
分别将实施例1～13中钎焊后的靶材组件取下，利用超声波C扫描成像仪进行焊接结合率、单个缺陷率检测，具体测试结果见表1。
表1
本发明中提供的一种铌靶材1与铜背板2的钎焊方法，仅在铌靶材1表面进行喷砂和镀镍处理，简化了工艺流程，降低了工作复杂度，通过在铌靶材1表面进行喷砂处理，提高了铌靶材1与铜背板2焊接面的粗糙度，从而提高了后续镀镍处理时，镍层与焊接面的结合强度；且镀镍处理改善了铌靶材1以及铜背板2的焊接性能，使铌靶材1与铜背板2能够实现可靠结合，提高了结合率和结合强度；将铜丝3设置于铌靶材1与铜背板2的焊接面之间，在铜丝3的支撑下均匀分布，有效保留了靶材和背板焊接面间的焊料，提高了铌靶材1与铜背板2的结合强度，从而满足靶材组件长期稳定使用的需要。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
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