具体实施方式

参照附图对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细说明。本发明并不限定于以下的实施方式所记载的内容。另外，在以下所记载的结构要素中包含有本领域技术人员能够容易想到的、实质上相同的结构要素。此外，以下所记载的结构能够适当地组合。另外，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或者变更。

〔实施方式〕

根据附图对本发明的实施方式的加工装置1进行说明。图1是示出实施方式的加工装置1的结构例的立体图。图2是示意性地示出图1的加工装置1的功能结构的一例的图。如图1所示，实施方式的加工装置1具有保持工作台10、转动工作台20、暂放工作台30、加工单元40、搬送臂51、52、53、触摸面板60、清洗单元70、盒载置台80、盒81、82以及控制单元90。在本实施方式中，加工装置1具有装置基台2和装置罩3，在装置基台2上具有上述加工装置1的结构要素，利用装置罩3覆盖除了触摸面板60以外的上述结构要素。本发明的结构单元是上述加工装置1的结构要素中的对后述的被加工物100进行保持的所有单元，在本实施方式中，具体而言，表示保持工作台10、暂放工作台30、搬送臂51、52、53、清洗单元70的清洗工作台71以及盒81、82。

在本实施方式中，如图1所示，作为加工装置1所加工的加工对象的被加工物100例如是以硅、蓝宝石、碳化硅(SiC)、砷化镓等为母材的圆板状的半导体晶片或光器件晶片等。被加工物100在由平坦的正面的呈格子状形成的多条分割预定线划分出的区域中形成有芯片尺寸的器件。在本发明中，被加工物100也可以在正面的背侧的背面上粘贴有粘接带，在粘接带的外缘部安装有环状的框架。另外，在本发明中，被加工物100也可以是具有多个被树脂密封的器件的矩形状的封装基板、陶瓷板或者玻璃板等。

在本实施方式中，加工装置1例如自动地实施如下的全自动加工：使加工装置1的各结构单元实施一系列的动作而重复进行被加工物100的搬送和加工，依次对收纳于盒81、82的被加工物100进行加工。另外，在本发明中，加工装置1并不限定于实施全自动加工的方式，也可以是不实施全自动加工而根据操作者的操作逐个实施各处理的手动机。

保持工作台10利用保持面11对被加工物100进行保持。保持工作台10呈圆盘形状，其具有：圆盘形状的吸附部，其由在上表面形成有对被加工物100进行保持的平坦的保持面11且具有多个多孔的多孔陶瓷等构成；以及框体，其将吸附部嵌入并固定于上表面中央部的凹陷部。保持面11形成为与作为水平面的XY平面大致平行。保持工作台10通过未图示的旋转驱动源而绕与垂直于水平面的Z轴方向平行的轴心旋转自如地设置。保持工作台10的吸附部经由未图示的真空吸引路径而与未图示的真空吸引源连接，利用整个保持面11对被加工物100进行吸引保持。保持工作台10设置有未图示的传感器。设置于保持工作台10的传感器对保持面11所保持的被加工物100进行检测，并将检测结果发送至控制单元90。

如图1所示，保持工作台10在转动工作台20上设置有两个。这两个保持工作台10在转动工作台20上以与转动工作台20独立且能够大致在水平面内进行旋转的方式设置。如图1所示，转动工作台20是圆盘状的工作台，是设置为能够在水平面内进行旋转，通过在规定的时机进行旋转驱动，使保持工作台10移动而搬送保持工作台10上的被加工物100的搬送构件的一例。两个保持工作台10在转动工作台20上例如以180°的相位角等间隔地配设。这两个保持工作台10通过转动工作台20的旋转而依次移动到搬入搬出位置和加工位置。转动工作台20设置有未图示的传感器。设置于转动工作台20的传感器对转动工作台20的旋转角进行检测，并将检测结果发送至控制单元90。

暂放工作台30是如下的工作台：在将从载置于盒载置台80的盒81、82取出的加工前的被加工物100搬入到保持工作台10上之前暂放被加工物100，并进行被加工物100的中心对位。暂放工作台30设置有未图示的传感器。设置于暂放工作台30的传感器对暂放工作台30所保持的被加工物100进行检测，并将检测结果发送至控制单元90。

加工单元40对保持工作台10所保持的被加工物100进行加工。在本实施方式中，加工单元40是磨削单元，具有磨削磨轮41。磨削磨轮41具有呈环状配置的磨削磨具，一边对磨削磨轮41施加绕与Z轴方向平行的轴心的旋转动作，一边沿着Z轴方向将磨削磨轮41按压至被定位于加工位置的保持工作台10所保持的被加工物100，从而对被加工物100进行磨削加工。

如图1所示，加工装置1还具有磨削量检测单元45。磨削量检测单元45设置在被定位于加工位置的保持工作台10的保持面11的外周附近。在本实施方式中，磨削量检测单元45是接触式的高度检测装置，具有对接触的位置的高度进行检测的两根接触式的探针。磨削量检测单元45的一方的探针检测保持工作台10的保持面11的高度，另一方的探针检测比保持工作台10的保持面11所保持的被加工物100的外缘稍靠内侧的区域的上表面的高度，根据一方的探针所检测的高度与另一方的探针所检测的高度的差异，检测比被加工物100的外缘稍靠内侧的区域的厚度，并将该厚度的检测结果发送至控制单元90。另外，在本发明中，磨削量检测单元45并不限定于此，也可以是如下的方式：根据被保持面11和被加工物100反射的波长的激光的干涉波的受光，检测比被加工物100的外缘稍靠内侧的区域的厚度。

第1搬送臂51具有吸附垫，是对在暂放工作台30上对位后的加工前的被加工物100进行吸附保持并搬入到位于搬入搬出位置的保持工作台10上的搬入单元的一例。第2搬送臂52具有吸附垫，是将位于搬入搬出位置的保持工作台10上所保持的加工后的被加工物100进行吸附保持并搬出到清洗单元70的清洗工作台71上的搬出单元的一例。第3搬送臂53例如是具有U字型手的机器人拾取器，通过U字型手对被加工物100进行吸附保持并搬送被加工物100。第3搬送臂53是将加工前的被加工物100从盒81、82中搬出到暂放工作台30并且将加工后的被加工物100从清洗单元70搬入到盒81、82的搬送单元的一例。第3搬送臂53将加工前收纳在盒81中的加工后且清洗后的被加工物100搬入到盒81中，将加工前收纳在盒82中的加工后且清洗后的被加工物100搬入到盒82中。搬送臂51、52、53分别设置有未图示的传感器。设置于搬送臂51、52、53的传感器分别对构成搬送臂51、52、53的各臂的旋转角和位置等与搬送臂51、52、53的驱动相关的信息即驱动信息、以及搬送臂51、52、53所吸附保持的被加工物100进行检测，并将这些检测结果发送至控制单元90。

如图1所示，触摸面板60按照使显示面朝向外侧的状态设置于装置罩3。触摸面板60具有：显示器61，其显示与加工装置1相关的各种信息；以及输入部62，其从操作者受理加工条件的设定输入等与加工装置1相关的各种操作输入。在本实施方式中，显示器61按照从斜向观察加工装置1的方式立体地(三维地)显示配置图200(参照图12)，该配置图200根据实际的加工装置1内的配置来显示加工装置1的各结构单元的图例和加工装置1所进行的处理中的被加工物100的图例。

这里，加工装置1的各结构单元的图例是按照从斜上方观察加工装置1的各结构要素的外形的至少一部分的方式立体地显示的二维的立体图像，在本实施方式中，具体而言，是后述的装置基台立体图像202、保持工作台立体图像210、转动工作台立体图像220、暂放工作台立体图像230、加工单元立体图像240、搬送臂立体图像251、252、253、清洗单元立体图像270、盒载置台立体图像280以及盒立体图像281、282(参照图3、图8以及图9)。

另外，加工装置1处理中的被加工物100的图例是按照从斜上方观察加工装置1处理中的被加工物100的外形的方式立体地显示的二维的立体图像，在本实施方式中，具体而言，是后述的被加工物立体图像400(参照图10)。另外，在本实施方式中，加工装置1处理中的被加工物100例如是盒81、82所收纳的被加工物100、第3搬送臂53所吸附保持和搬送的被加工物100、暂放工作台30进行保持和中心对位的被加工物100、第1搬送臂51所吸附保持和搬送的被加工物100、保持工作台10所吸引保持的被加工物100、加工单元40所加工的被加工物100、第2搬送臂52所吸附保持和搬送的被加工物100以及清洗工作台71所保持和清洗的被加工物100。

另外，显示器61立体地(三维地)显示是指将从斜上方观察加工装置1而得的配置图200显示在显示器61上，至少是指显示从斜上方观察加工装置1的配置图200而得的二维的图像数据。

清洗单元70具有对磨削后的被加工物100进行保持的清洗工作台71。清洗单元70对清洗工作台71上的磨削后的被加工物100进行清洗，将附着于磨削后的加工面上的磨削屑等污染物去除。清洗工作台71设置有未图示的传感器。设置于清洗工作台71的传感器对清洗工作台71所保持的被加工物100进行检测，并将检测结果发送至控制单元90。

盒载置台80是对作为用于收纳多个被加工物100的收纳器的盒81、82进行载置的载置台。在本实施方式中，加工装置1具有两个部位的盒载置台80，在一方的盒载置台80上载置盒81，在另一方的盒载置台80上载置盒82，但在本发明中并不限定于此，只要至少具有一个部位以上的盒载置台80即可。

盒81、82能够通过开口取出放入被加工物100，并且具有多个沿Z轴方向隔开间隔地保持被加工物100的插槽。在加工装置1中，收纳于盒81、82的被加工物100按照收纳的插槽的级数一张一张地进行管理、区分而进行处理。在本实施方式中，盒81、82都具有13层插槽，对13张被加工物100进行区分而进行处理，但在本发明中并不限定于此，插槽也可以为几层。盒81、82以开口朝向第3搬送臂53侧的状态载置于盒载置台80。

控制单元90分别控制加工装置1的各结构要素，使加工装置1实施与对被加工物100进行加工的加工处理相关的各动作。控制单元90接收设置于各结构单元等的传感器的检测结果。另外，控制单元90根据这些传感器的检测结果来进行与加工装置1的状态相关的信息处理，并显示在显示器61上。如图2所示，控制单元90具有存储部91和处理部92。

存储部91存储实现由处理部92执行的加工装置1的各种处理等功能的程序、用于程序的处理的数据(加工条件)等。存储部91包含RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)、闪存、EPROM(Erasable Programmable ReadOnly Memory：可擦除可编程只读存储器)、EEPROM(注册商标)(Electrically ErasableProgrammable Read Only Memory：电可擦除可编程只读存储器)等非易失性或易失性的半导体存储器等存储装置。存储在存储部91中的程序也可以说是具有包含用于进行能够由处理部92所具有的处理器执行的数据处理的多个命令的能够由处理器读取且非过渡性(non-transitory)的记录介质的程序产品。存储部91也能够用作处理部92所具有的处理器执行记述在程序中的命令时的临时的作业区域。

如图2所示，实施方式的存储部91具有图像数据存储部94、三维数据存储部95、布局设定存储部96以及移动履历存储部97。存储部91的功能、图像数据存储部94、三维数据存储部95、布局设定存储部96以及移动履历存储部97的功能通过存储部91所包含的存储装置来实现。

图3是示出图2的图像数据存储部94所存储的图像的一例的图。图像数据存储部94存储从斜上方观察除了各结构单元以外的加工装置1的各结构要素的至少一部分而立体地(三维地)显示的二维的立体图像。具体而言，如图3所示，图像数据存储部94存储装置基台立体图像202、转动工作台立体图像220、暂放工作台立体图像230、加工单元立体图像240、清洗单元立体图像270、盒载置台立体图像280以及盒立体图像281、282。图像数据存储部94所存储的这些立体图像预先通过加工装置1的操作者或管理者等而存储在图像数据存储部94中。

装置基台立体图像202是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察装置基台2的外形的方式立体地显示装置基台2的二维的立体图像。转动工作台立体图像220是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察转动工作台20的外形的方式立体地显示转动工作台20的二维的立体图像。暂放工作台立体图像230是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察暂放工作台30的外形的方式立体地显示暂放工作台30的二维的立体图像。加工单元立体图像240是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察加工单元40的外形的方式立体地显示加工单元40的二维的立体图像。清洗单元立体图像270是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察清洗单元70的外形的一部分的方式立体地显示清洗单元70的一部分的二维的立体图像。清洗单元立体图像270包含清洗工作台立体图像271(参照图12)，该清洗工作台立体图像271是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察清洗工作台71的外形的方式立体地显示清洗工作台71的二维的立体图像。盒载置台立体图像280是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察盒载置台80的外形的方式立体地显示盒载置台80的二维的立体图像。盒立体图像281、282分别是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察盒81、82的外形的一部分的方式立体地显示盒81、82的一部分的二维的立体图像。图像数据存储部94所存储的这些立体图像全部是从与配置图200相同的方向观察加工装置1的各结构要素的外形而得的立体的二维的立体图像。在本实施方式中，图像数据存储部94所存储的这些立体图像都是操作者大致从触摸面板60所在的位置斜着观察加工装置1的各结构要素而得的图像。另外，在本实施方式中，清洗单元立体图像270和盒立体图像281、282是省略了覆盖清洗单元70和盒81、82的上方的部分的立体图像，由此，在配置图200中容易目视确认被加工物立体图像400(参照图10)，该被加工物立体图像400显示被收纳在清洗工作台71上或盒81、82中的被加工物100。

图像数据存储部94所存储的这些立体图像也可以在配置图200中不伴随被加工物100的移动而移动或旋转等。例如，虽然转动工作台20进行旋转驱动，但转动工作台立体图像220的形状和位置在配置图200中没有变化。另外，虽然加工单元40的磨削磨轮41进行旋转，但加工单元立体图像240的形状和位置在配置图200中没有变化。另外，虽然清洗单元70的清洗工作台71进行旋转，但清洗单元立体图像270的形状和位置在配置图200中没有变化。

图4是示出图2的三维数据存储部95所存储的三维数据的一例的图。三维数据存储部95存储加工装置1中的未由图像数据存储部94存储立体图像的各结构单元和被加工物100的各三维数据。作为三维数据而存储的各结构单元和被加工物100选择的是在被加工物100的一系列的加工中进行移动和旋转等从而显示在配置图200内的位置和外形发生变化的结构单元和被加工物。具体而言，如图4所示，三维数据存储部95存储保持工作台三维数据310、搬送臂三维数据351、352、353以及被加工物三维数据300。保持工作台三维数据310是以三维示出保持工作台10的外形的数据。搬送臂三维数据351、352、353分别是以三维示出搬送臂51、52、53的外形的数据。被加工物三维数据300是以三维示出被加工物100的外形的数据。三维数据存储部95所存储的这些三维数据例如是以三维CAD(Computer-AidedDesign：计算机辅助设计)表示了该各结构要素的数据。根据三维数据存储部95所存储的这些三维数据而生成的立体图像在配置图200中能够伴随各结构单元和被加工物100的动作而进行移动或旋转等。在本实施方式中，搬送臂三维数据351、352、353能够进行伴随构成搬送臂51、52、53的各臂的旋转移动而使数据内的形状变化的处理。三维数据存储部95所存储的这些三维数据预先通过加工装置1的操作者或管理者等而存储在三维数据存储部95中。

图5是示出图2的布局设定存储部96所存储的布局坐标数据501的一例的图。布局设定存储部96存储根据从斜上方(与配置图200相同的方向)观察实际的加工装置1内的各结构要素时的配置而决定的、在配置图200中配置显示加工装置1的各结构要素的各立体图像的位置的信息。具体而言，如图5所示，布局设定存储部96将表示加工装置1的各结构要素的各立体图像202、210、220、230、240、251、252、253、270、280、281、282与各立体图像202、210、220、230、240、251、252、253、270、280、281、282的配置图内坐标一对一地关联而存储为布局坐标数据501。这里，各立体图像202、210、220、230、240、251、252、253、270、280、281、282的配置图内坐标是在配置图200中将配置各立体图像202、210、220、230、240、251、252、253、270、280、281、282的位置利用配置图200内所设定的坐标系来表示的坐标，例如，在将配置图200的中心或四角中的任意位置作为原点的坐标系中，将配置于配置图200时的各立体图像202、210、220、230、240、251、252、253、270、280、281、282的中心或四角中的任意的位置利用由像素单元规定的X坐标和Y坐标来表示。配置图内坐标的X坐标表示配置图200的左右方向上的位置，配置图内坐标的Y坐标表示配置图200的上下方向上的位置。布局坐标数据501预先通过加工装置1的操作者或管理者等而存储在布局设定存储部96中。

在本实施方式中，通过由转动工作台20的旋转驱动实现的保持工作台10的移动和搬送臂51、52、53的移动，各结构单元和被加工物100处于从加工装置1的上表面观察时重叠的位置关系。因此，布局坐标数据501对处于重叠的位置关系的各结构单元和被加工物100的立体图像的配置图内坐标设定校正，该校正使表示上下方向的Y坐标隔开间隔。

在本实施方式中，布局坐标数据501例如设定如下的校正：对搬送臂立体图像251的配置图内坐标的Y坐标加上规定值的3倍，对第2搬送臂立体图像252的配置图内坐标的Y坐标加上规定值的2倍，对第3搬送臂立体图像253、加工单元立体图像240的配置图内坐标的Y坐标加上规定值，对保持工作台立体图像210、转动工作台立体图像220、暂放工作台立体图像230以及清洗单元立体图像270的配置图内坐标的Y坐标减去规定值。由此，在配置图200中，布局坐标数据501设定了在配置搬送臂立体图像251、252、253的位置分别沿上下方向扩大间隔的校正。另外，由此，在配置图200中，布局坐标数据501设定了将搬送臂立体图像251、252、253和加工单元立体图像240与保持工作台立体图像210、暂放工作台立体图像230以及清洗单元立体图像270之间的被加工物立体图像400的通过区域沿配置图内坐标的上下方向扩展的校正。

图6是示出图2的布局设定存储部96所存储的布局层叠顺序数据502的一例的图。布局设定存储部96存储图像层叠顺序，该图像层叠顺序是显示加工装置1的各结构要素10、20、40及被加工物100的各立体图像210、220、240、400配置在配置图200中时的各立体图像210、220、240、400的层叠的顺序。具体而言，如图6所示，布局设定存储部96存储布局层叠顺序数据502，该布局层叠顺序数据502将在配置加工单元立体图像240的位置附近层叠的加工单元立体图像240、被加工物立体图像400、保持工作台立体图像210、转动工作台立体图像220与它们的各立体图像240、400、210、220的图像层叠顺序一对一地关联起来。

另外，关于布局设定存储部96的布局层叠顺序数据502，虽然未图示，但还将搬送臂立体图像251、252、253、被加工物立体图像400、保持工作台立体图像210、转动工作台立体图像220、暂放工作台立体图像230、清洗单元立体图像270与它们的各立体图像251、252、253、400、210、220、230、270的图像层叠顺序一对一地关联起来。

另外，在图6所示的例子中，布局层叠顺序数据502设定为：将图像层叠顺序的编号较小的立体图像层叠在比图像层叠顺序的编号较大的立体图像在配置图200中位于近前侧的位置。布局层叠顺序数据502预先通过加工装置1的操作者或管理者等而存储在布局设定存储部96中。

该布局层叠顺序数据根据实际斜着观察加工装置1时的外观而设定为：将第1搬送臂立体图像251层叠于比第2搬送臂立体图像252位于近前侧的位置，将第2搬送臂立体图像252层叠于比第3搬送臂立体图像253位于近前侧的位置。另外，在本实施方式中，仅在第3搬送臂53向暂放工作台30延伸的情况下，第3搬送臂立体图像253与第1搬送臂立体图像251在配置图200中相互层叠，仅在第3搬送臂53向清洗单元70延伸的情况下，第3搬送臂立体图像253与第2搬送臂立体图像252在配置图200中相互层叠。

图7是示出图2的移动履历存储部97所存储的移动履历数据600的一例的图。如图7所示，移动履历存储部97将在加工前收纳各被加工物100的插槽的级数的编号和各被加工物100的移动履历(移动完成状况)与每个被加工物100关联起来而记录为移动履历数据600。移动履历存储部97针对每个盒81、82记录移动履历数据600。另外，在图7所示的例子中，移动履历数据600针对每个被加工物100记录进行全自动加工时的加工装置1中的被加工物100的各移动处理是否完成，但在本发明中并不限定于此，在加工装置1是手动机的情况下等，各被加工物100的移动履历的项目和顺序也可以按照每个被加工物100而不同。

在图7所示的例子中，移动履历数据600表示如下的情况：关于在加工前被收纳在插槽的级数的编号为“1”的插槽中的被加工物100，已经在所有的被加工物100的移动路径上移动完毕，并且已经再次收纳在相同的插槽中，关于在加工前被收纳在插槽的级数的编号为“2”的插槽中的被加工物100，已经大致在被加工物100的移动路径上移动完毕，并且即将通过第3搬送臂53再次收纳在相同的插槽中，关于在加工前被收纳在插槽的级数的编号为“3”的插槽中的被加工物100，对该被加工物100进行吸引保持的保持工作台10定位于加工位置而处于加工处理中，关于在加工前被收纳在插槽的级数的编号为“4”的插槽中的被加工物100，对该被加工物100进行吸引保持的保持工作台10定位于搬入搬出位置而等待加工处理，关于在加工前被收纳在插槽的级数的编号为“5”的插槽中的被加工物100，处于已被搬送到暂放工作台30上的阶段，被收纳在插槽的级数的编号为“6”以后的插槽中的被加工物100都未被搬出。

移动履历存储部97根据实时得到的设置于各结构单元的传感器的检测结果，每当识别到各被加工物100的实际的位置和移动时，实时地记录、更新移动履历数据600。当来自被加工物100的移动前的结构单元的传感器的被加工物100的检测信号消失并识别到产生了来自被加工物100的移动目的地的结构单元的传感器的被加工物100的检测信号时，移动履历存储部97识别为该被加工物100从移动前的结构单元被搬送到移动目的地的结构单元，并将该情况记录、更新在移动履历数据600中。另外，移动履历存储部97根据来自搬送臂51、52、53的传感器的被加工物100的检测信号而识别为搬送(移动)了被加工物100，并将该情况记录、更新在移动履历数据600中。

除了上述以外，存储部91存储加工单元40对被加工物100的加工处理所需的加工条件等信息。该加工条件等信息预先通过加工装置1的操作者或管理者等存储在存储部91中。

处理部92包含CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)微处理器、微型计算机、DSP(Digital Signal Processor：数字信号处理器)、系统LSI(Large ScaleIntegration：大规模集成电路)等处理器等运算处理装置。处理部92所具有的处理器执行被加载到存储部91所具有的RAM上的程序。由此，实现由加工装置1执行的各种处理等的功能。在加载到存储部91所具有的RAM上并由处理部92所具有的处理器执行的程序中，有层叠显示各立体图像的程序、使三维数据进行旋转而生成或显示立体图像的程序、以固定为规定的角度的状态显示三维数据并使该显示平行移动的程序等。作为由加工装置1执行的各种处理等的功能，例示出加工单元40对被加工物100的加工处理的功能、以及用于实现显示器61的显示功能的配置图200的生成处理和变化处理等的功能等。

处理部92根据存储在存储部91中的程序来进行动作，执行以下说明的加工装置1的各种处理等(加工处理、以及配置图200的生成处理和变化处理等)。如图2所示，实施方式的处理部92具有加工处理部98和显示处理部99。处理部92的功能、以及加工处理部98和显示处理部99的功能通过运算处理装置执行存储在存储部91的存储装置中的程序来实现。加工处理部98根据存储在存储部91中的加工条件等信息来对加工装置1的各结构要素进行控制，执行加工单元40对被加工物100的加工处理。

接着，在本说明书中，根据附图对实施方式的加工装置1的动作的一例进行说明。例如当通过输入部62受理由操作者进行的对收纳在盒81、82中的被加工物100进行全自动加工的意思的输入时，加工装置1通过加工处理部98自动地实施以下说明的一系列的加工处理。首先，加工装置1通过第3搬送臂53将收纳于盒81、82的加工前的被加工物100搬出一张并搬送到暂放工作台30，通过暂放工作台30进行由第3搬送臂53搬送的被加工物100的中心对位，通过第1搬送臂51将进行了中心对位的暂放工作台30上的被加工物100搬入到位于搬入搬出位置的保持工作台10上。接着，加工装置1通过转动工作台20的旋转驱动，使吸引保持着加工前的被加工物100的保持工作台10从搬入搬出位置移动到加工位置，通过加工单元40对加工位置的保持工作台10上的被加工物100进行磨削加工。加工装置1在基于加工单元40的磨削中或磨削后，通过磨削量检测单元45对被加工物100的磨削量进行检测。当被加工物100的磨削加工完成时，加工装置1通过转动工作台20的旋转驱动，使保持着磨削后的被加工物100的保持工作台10从加工位置移动到搬入搬出位置，通过第2搬送臂52将搬入搬出位置的保持工作台10上的磨削后的被加工物100搬出到清洗单元70的清洗工作台71上，通过清洗单元70对清洗工作台71上的磨削后的被加工物100进行清洗，通过第3搬送臂53将清洗后的清洗工作台71上的被加工物100收纳在盒81、82中。这样，加工装置1自动地完成对一张被加工物100的如下的一系列的加工处理：该加工处理从来自盒81、82的加工前的被加工物100的搬出开始，经过被加工物100的加工，到加工后的被加工物100向盒81、82的搬入为止。然后，加工装置1针对盒81、82内的所有被加工物100，按照收纳有被加工物100的插槽的级数的顺序逐张自动地实施该一张被加工物100的一系列的加工处理，从而完成收纳在盒81、82中的所有被加工物100的全自动加工。另外，加工装置1并不限定于实施全自动加工的方式，也可以是按照对各被加工物100实施的各处理通过输入部62受理由操作者进行的输入而实施各处理的方式。

接着，在本说明书中，根据附图对实施方式的加工装置1中的显示处理部99使显示器61显示配置图200和收纳状态图201之前的处理进行说明。图8、图9、图10以及图11是示出图2的显示处理部99的处理的一例的图。图12是示出图1的加工装置1的显示器61所显示的配置图200的一例的图。当加工装置1的输入部62受理由操作者进行的实施被加工物100的全自动加工的意思的输入或者实施各处理的意思的输入时，显示处理部99开始生成图12所示那样的配置图200。

如图8所示，显示处理部99根据保持工作台三维数据310而生成保持工作台立体图像210。另外，保持工作台立体图像210是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察保持工作台10的外形的方式立体地显示保持工作台10的二维的立体图像，是从与显示各结构要素的立体图像相同的方向观察而得的立体的二维的立体图像。在本实施方式中，显示处理部99针对两个保持工作台10分别生成保持工作台立体图像210。另外，显示处理部99根据开始生成配置图200时的转动工作台20的旋转角的信息，计算开始生成配置图200时的各保持工作台10的加工装置1内的位置。显示处理部99根据开始生成该配置图200时的各保持工作台10的加工装置1内的位置的信息、布局坐标数据501所包含的搬入搬出位置和加工位置的保持工作台立体图像210的配置图内坐标的信息以及转动工作台立体图像220的配置图内坐标的信息，计算与开始生成配置图200时的各保持工作台10的加工装置1内的位置对应的、作为配置图200上的保持工作台立体图像210的配置位置的配置图内坐标510。

另外，如图9所示，显示处理部99分别根据搬送臂三维数据351、352、353和开始生成配置图200时的搬送臂51、52、53的驱动信息，生成搬送臂立体图像251、252、253。显示处理部99根据搬送臂51、52、53的驱动信息而使搬送臂三维数据351、352、353变形，生成搬送臂立体图像251、252、253。例如在搬送臂51、52、53反转的情况下，生成反转的搬送臂立体图像251、252、253。另外，搬送臂立体图像251、252、253是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察搬送臂51、52、53的外形的方式立体地显示搬送臂51、52、53的二维的立体图像，是从与显示各结构要素的立体图像相同的方向观察而得的立体的二维的立体图像。

另外，显示处理部99在根据加工装置1的输入部62受理由操作者进行的实施被加工物100的全自动加工的意思的输入的情况而生成配置图200的情况下，根据实施全自动加工的意思的输入的受理，取得在开始生成配置图200时将所有的被加工物100收纳在盒81、82中的意思的各被加工物100的位置信息。显示处理部99取得收纳于盒81、82时的各被加工物100的姿势信息。这里，在本实施方式中，被加工物100的姿势信息例如是被加工物100相对于水平方向的倾斜角的信息。然后，显示处理部99根据被加工物三维数据300和该各被加工物100的姿势信息，针对每个被加工物100生成被加工物立体图像400。另外，被加工物立体图像400是按照从斜上方(与配置图200相同的方向)观察被加工物100的外形的方式立体地显示被加工物100的二维的立体图像，是从与显示各结构要素的立体图像相同的方向观察而得的立体的二维的立体图像。在本实施方式中，显示处理部99附加与每个被加工物100相关联的插槽的级数的编号的显示，生成被加工物立体图像400，以便能够通过在加工前收纳各被加工物100的插槽的级数的编号来进行识别。

另外，显示处理部99在根据加工装置1的输入部62受理由操作者进行的实施被加工物100的全自动加工的意思的输入的情况而生成配置图200的情况下，如图10所示，进一步根据布局坐标数据501所包含的盒立体图像281、282的配置图内坐标的信息，计算与收纳于盒81、82时的被加工物100的位置对应的配置图200上的位置，将该计算出的配置图200上的位置作为开始生成配置图200时的配置图200上的各被加工物立体图像400的配置位置(配置图内坐标530)。显示处理部99例如利用对盒立体图像281、282的底板部分的配置图内坐标的Y坐标加上规定值与从下侧计数的被加工物立体图像400的层叠顺序之积而得的值来计算从插槽的级数较大的一方朝向级数较小的一方依次重叠在盒立体图像281、282的底板部分的上方的各被加工物立体图像400的配置图200上的位置，并将该计算出的值作为各配置图内坐标530进行计算。

另外，显示处理部99在根据实施各处理的意思的输入的受理而生成配置图200的情况下，根据在开始生成配置图200时的设置于各结构单元的传感器的检测结果或者开始生成配置图200时的移动履历数据600，针对每个被加工物100确定在开始生成配置图200时实际保持被加工物100的结构单元，并取得该结构单元所保持的被加工物100的姿势信息。在对被加工物100进行保持的结构单元是搬送臂51、52、53的情况下，显示处理部99进一步根据搬送臂51、52、53的驱动信息，取得搬送臂51、52、53所保持的被加工物100的姿势信息。然后，显示处理部99根据被加工物三维数据300和该各被加工物100的姿势信息，针对每个被加工物100生成被加工物立体图像400。在伴随着搬送臂51、52、53的反转而各被加工物100也反转的情况下，显示处理部99根据该姿势信息而使被加工物三维数据300进行旋转，生成被加工物立体图像400。

另外，显示处理部99在根据实施各处理的意思的输入的受理而生成配置图200的情况下，如图10所示，进一步根据布局坐标数据501所包含的各结构单元的配置图内坐标的信息，计算与被结构单元保持时的被加工物100的位置对应的配置图200上的位置，将该计算出的配置图200上的位置作为开始生成配置图200时的配置图内坐标530。具体而言，显示处理部99在实际对被加工物100进行保持的结构单元是在上方对被加工物100进行保持的保持工作台10、暂放工作台30以及清洗工作台71中的任意的结构单元的情况下，利用对保持工作台立体图像210、暂放工作台立体图像230以及清洗工作台立体图像271中的任意的结构单元的保持区域部分的配置图内坐标的Y坐标加上规定值而得到的值来计算重叠在保持工作台立体图像210、暂放工作台立体图像230以及清洗工作台立体图像271中的任意的图像的保持区域部分的上方的配置图200上的位置，并将该计算出的值作为各配置图内坐标530进行计算。另外，显示处理部99在实际对被加工物100进行保持的结构单元是在下方对被加工物100进行保持的搬送臂51、52、53的情况下，利用对搬送臂立体图像251、252、253的保持区域部分的配置图内坐标的Y坐标减去规定值而得到的值来计算重叠在搬送臂立体图像251、252、253的保持区域部分的下方的配置图200上的位置，并将该计算出的值作为各配置图内坐标530进行计算。

在本实施方式中，显示处理部99根据在配置图200中设定使被加工物立体图像400的通过区域沿上下方向扩展的校正的布局坐标数据501，计算被加工物立体图像400的配置图内坐标530。因此，在配置图200中，显示处理部99针对显示被加工物100的被加工物立体图像400，能够沿上下方向隔开间隔地配置显示从加工装置1的上表面观察时处于与该被加工物100重叠的位置关系的各结构要素的各立体图像。

显示处理部99在执行了图8至图10所示的各立体图像的生成处理和配置图内坐标的计算处理之后，如图11所示，根据图像数据存储部94所存储的各立体图像、布局坐标数据501、布局层叠顺序数据502、保持工作台立体图像210、保持工作台立体图像210的配置图内坐标510、搬送臂立体图像251、252、253、关于所有被加工物100的被加工物立体图像400以及每个被加工物立体图像400的各配置图内坐标530，生成图12所示那样的配置图200和收纳状态图201，并显示在显示器61上。

具体而言，首先，显示处理部99根据布局坐标数据501和布局层叠顺序数据502来配置图像数据存储部94所存储的各立体图像，生成配置图200的基础部分。然后，显示处理部99根据保持工作台立体图像210的配置图内坐标510和布局层叠顺序数据502而将保持工作台立体图像210配置于配置图200的基础部分，根据布局坐标数据501和布局层叠顺序数据502而将搬送臂立体图像251、252、253配置于配置图200的基础部分，根据每个被加工物立体图像400的各配置图内坐标530和布局层叠顺序数据502而将各被加工物立体图像400配置于配置图200的基础部分，从而生成配置图200。通过这样生成配置图200，配置图200成为从斜上方观察配置有各结构单元的加工装置1的整体而得的图例，成为在与配置图200上的实际的位置同等的位置上显示从斜上方观察的被加工物100的图例。另外，显示处理部99也可以在执行图8至图10所示的各立体图像的生成处理和配置图内坐标的计算处理之前或者与这些处理的执行同步地生成配置图200的基础部分。

接着，显示处理部99根据每个被加工物立体图像400的各配置图内坐标530，提取层叠配置在盒立体图像281、282上的被加工物立体图像400、即提取收纳在盒81、82中的被加工物100的被加工物立体图像400，生成与配置图200不同地将提取出的被加工物立体图像400分别按照盒81、82的插槽的级数的顺序沿上下方向隔开间隔地配置而得的收纳状态图201。

如图12所示，显示处理部99使显示器61显示排列了所生成的配置图200和收纳状态图201的显示画面。

接着，在本说明书中，根据附图对实施方式的加工装置1中的显示处理部99使显示器61显示配置图200和收纳状态图201之后的处理进行说明。图13和图14是示出图2的显示处理部99的处理的一例的图。

如图8所示，显示处理部99与实际的保持工作台10的移动对应地，每次都检测转动工作台20的旋转角的信息，并根据检测出的转动工作台20的旋转角而重新取得实际的各保持工作台10的加工装置1内的位置，根据重新取得的实际的各保持工作台10的加工装置1内的位置而重新计算保持工作台立体图像210的配置图内坐标510，在配置图200中重复执行使保持工作台立体图像210从已经显示的位置移动到重新计算出的配置图内坐标510的移动处理。在该移动处理中，显示处理部99使保持工作台立体图像210沿着根据预先得知的实际的保持工作台10的移动轨迹而计算出的配置图200中的保持工作台立体图像210的移动轨迹以规定的速度移动。

另外，如图13所示，显示处理部99与构成实际的搬送臂51、52、53的各臂的旋转移动对应地，每次都检测实际的搬送臂51、52、53的驱动信息，根据检测出的实际的搬送臂51、52、53的驱动信息使搬送臂三维数据351、352、353的形状变化而生成搬送臂立体图像251、252、253，通过在配置图200中从已经显示的搬送臂立体图像251、252、253变化为重新生成的搬送臂立体图像251、252、253并使重新生成的搬送臂立体图像251、252、253反映在配置图200上，由此重复执行使搬送臂立体图像251、252、253变化的变化处理。在该变化处理中，显示处理部99使搬送臂立体图像251、252、253按照根据预先得知的实际的搬送臂51、52、53的各臂的驱动方式计算出的配置图200中的搬送臂立体图像251、252、253的形状的变化方式以规定的速度变化。

另外，如图14所示，显示处理部99与实际的被加工物100的倾斜和反转对应地，每次都根据设置于各结构单元的传感器的检测结果或者更新的移动履历数据600，确定实际对被加工物100进行保持的结构单元，取得该结构单元所保持的被加工物100的姿势信息，根据所取得的被加工物100的姿势信息使被加工物三维数据300进行旋转而生成被加工物立体图像400，通过在配置图200中从已经显示的被加工物立体图像400变化为重新生成的被加工物立体图像400并使重新生成的被加工物立体图像400反映在配置图200上，由此重复执行使被加工物立体图像400变化的变化处理。

另外，如图14所示，显示处理部99针对每个被加工物100，与实际的被加工物100的移动对应地，每次都根据设置于各结构单元的传感器的检测结果或者更新的移动履历数据600，确定实际对被加工物100进行保持的结构单元，根据重新确定的实际对被加工物100进行保持的结构单元的信息，重新计算被加工物立体图像400的配置图内坐标530，在配置图200和收纳状态图201中重复执行使被加工物立体图像400从已经显示的位置移动到重新计算出的配置图内坐标530的移动处理。在该移动处理中，显示处理部99使各被加工物立体图像400沿着根据预先得知的实际的被加工物100的移动轨迹计算出的配置图200中的被加工物立体图像400的移动轨迹以规定的速度移动。另外，也可以为，显示处理部99在由于实际的被加工物100的移动轨迹复杂而配置图200中的被加工物立体图像400的移动轨迹变得复杂等情况下，对被加工物立体图像400的移动轨迹进行直线近似，使被加工物立体图像400呈直线状从已经显示的位置向重新计算出的配置图内坐标530以规定的速度移动。另外，也可以为，显示处理部99在实际的被加工物100不倾斜或反转而移动的情况下，在配置图200中以固定为该角度的状态显示被加工物三维数据300作为被加工物立体图像400，通过使被加工物立体图像400移动来执行移动处理。

显示处理部99通过执行以上根据图8、图13以及图14说明的变化处理和移动处理，能够以更少的处理在配置图200和收纳状态图201中实时地反映并显示实际的保持工作台10、搬送臂51、52、53以及被加工物100的驱动和移动的情形。

这样，显示器61通过图像数据存储部94、三维数据存储部95、布局设定存储部96、移动履历存储部97以及显示处理部99，在加工中的实际的加工装置1上的被加工物100的位置和作为加工装置1整体的图像的配置图200上的相同位置上显示被加工物立体图像400，伴随着被加工物100的移动，将作为加工装置1整体的图像的配置图200上的被加工物立体图像400的位置变更为与实际的加工装置1上的被加工物100相同的位置。另外，显示器61同样通过图像数据存储部94、三维数据存储部95、布局设定存储部96、移动履历存储部97以及显示处理部99，与实际相比沿上下方向隔开间隔地显示立体图像的配置图200上的位置，该立体图像显示从加工装置1的上表面(上方)观察时处于重叠的位置关系的至少两个结构单元。

在具有以上那样的结构的实施方式1的加工装置1中，显示器61按照从斜向观察加工装置1的方式立体地显示配置图200，该配置图200根据实际的加工装置1内的配置而显示加工装置1的各结构单元的图例和加工装置1所进行的处理中的被加工物100的图例，因此，即使加工装置1的各结构要素或被加工物100实际在上下方向上重叠，由于在显示器61中显示各结构要素和被加工物100的各立体图像在上下方向上错开地显示，因此也起到能够通过显示器61的显示而准确地掌握加工装置1内的状况的作用效果。

另外，实施方式1的加工装置1中，在移动中或固定位置上从加工装置1的上表面观察时处于重叠的位置关系的加工装置1的至少两个结构要素在配置图200中沿上下方向隔开间隔地配置并显示在显示器61上，因此即使加工装置1的各结构要素或被加工物100实际在上下方向上重叠，也起到能够通过显示器61的显示而准确地掌握加工装置1内的状况的作用效果。

另外，本发明并不限定于上述实施方式。即，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形来实施。在上述实施方式中，设置有具有显示加工装置1的状态的显示功能的显示器61的加工装置1是对被加工物100进行磨削的磨削装置，但在本发明中并不限定于磨削装置，也可以是对被加工物100进行切削的切削装置、对被加工物100进行研磨的研磨装置、对被加工物100进行激光加工的激光加工装置、对粘贴于被加工物100的带进行扩展的带扩展装置。另外，在显示器61设置于带扩展装置的情况下，对被加工物100进行保持的保持工作台和带扩展单元沿上下方向重叠，彼此相对地进行升降移动，因此与上述实施方式相同，在显示器61中将显示保持工作台的立体图像和显示带扩展单元的立体图像沿上下方向隔开间隔地配置并显示。另外，这些加工装置还可以具有紫外线照射单元，在该情况下，紫外线照射单元在盒的下方与盒重叠地配置，与盒一起通过盒升降机升降自如地设置。