具体实施方式

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图对本发明作进一步说明：

实施例1

如图3-6所示，一种用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，包括夹持架21、夹持臂22、夹持气缸23、吸附碗24、真空发生器25，所述夹持架21安装在所述支撑架12下端，所述夹持臂22安装在所述夹持架21下端，所述夹持气缸23固定部安装在所述夹持架21顶部中间位置，所述夹持气缸23用于驱动所述夹持臂22伸展或收缩以使两个所述吸附碗24从相对的状态到朝下的状态之间变换，所述吸附碗24安装在所述夹持臂22下端，所述真空发生器25用于使所述吸附碗24内产生负压。

需要说明的是，图3中吸附碗24对应的晶圆盒为能够分离的圆筒形(本体盖体能够相互分离)，晶圆盒内部可以叠放若干晶圆，如果是其它形状的晶圆盒，仅需将吸附碗24做相应形状设置。

本实施例的用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构，吸附碗24在真空发生器25作用下分别吸附住晶圆盒的本体和盖体，由夹持臂22在夹持气缸23驱动下，使晶圆盒的本体和盖体在合在一起的状态到达相互分离的状态，清洗完毕后，再可由夹持臂22使晶圆盒的本体和盖体合在一起，实现了自动化分合晶圆盒，方便对晶圆盒的清洗。

进一步地，所述夹持架21与所述支撑架12通过螺栓连接，所述夹持臂22与所述夹持架21转动连接，所述夹持气缸23固定部与所述夹持架21通过螺栓连接。

进一步地，所述夹持气缸23伸缩部设置有滑动架，所述夹持臂22上端设置在所述夹持气缸23伸缩部的滑动架内侧。

进一步地，所述固定架14与所述机箱6通过螺栓连接，所述吹扫风机15与所述固定架14通过螺栓连接。

进一步地，所述吸附碗24与所述夹持臂22固定连接，所述真空发生器25与所述吸附碗24通过管道连接。

进一步地，所述用于清洗晶圆盒的防变形夹持机构两侧还设置有能够升降的清洗箱42，所述夹持臂22伸展开后所述清洗箱42能够上升使所述吸附碗24及吸附的晶圆盒进入所述清洗箱42内。

进一步地，所述清洗箱42内设置有超声波振头43。通过超声波振头43使清洗箱42内的清洗液发生振动，提高清洗效果。

进一步地，所述夹持臂22下方两侧还设置有吹扫风机15，所述吹风机用于对伸展开的所述吸附碗24吸附的晶圆盒进行吹风干燥。吹扫风机15、清洗箱42与吸附碗24一同构成了清洗机构，清洗箱42的升降形成避让，有效地在同一空间完成了清洗、吹干操作。

实施例2

如图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8所示，一种用于晶圆盒的防变形清洗装置，包括用于对晶圆盒进行输送的输送机构3、用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构4、机箱6，输送机构3位于机箱6内部下侧，清洗机构4位于机箱6内部且位于输送机构3上方，还包括用于对清洗后的晶圆盒进行烘干的吹扫机构1、用于对晶圆盒进行夹起的夹持机构2、过滤箱5、正压风机7和固定轨8，过滤箱5位于机箱6顶部，正压风机7位于过滤箱5顶部；

吹扫机构1包括联动电机11、支撑架12、联动螺杆13、固定架14、吹扫风机15，联动螺杆13安装在机箱6内部前后两侧，联动电机11安装在机箱6内部前后两侧且位于联动螺杆13一侧，支撑架12上端设置在联动螺杆13外侧，固定架14安装在机箱6内部前后两侧且位于联动螺杆13下方，吹扫风机15安装在固定架14下侧；

夹持机构2包括夹持架21、夹持臂22、夹持气缸23、吸附碗24、真空发生器25，夹持架21安装在支撑架12下端，夹持臂22安装在夹持架21下端，夹持气缸23固定部安装在夹持架21顶部中间位置，吸附碗24安装在夹持臂22下端，真空发生器25设置在吸附碗24侧面，固定轨8安装在机箱6顶部靠近联动螺杆13的位置；

输送机构3包括第一护板31、第二护板32、输送电机33、输送带34、输送辊35，第二护板32通过螺栓连接在机箱6一端，第一护板31通过螺栓连接在机箱6另一端，输送电机33通过螺栓连接在第二护板32一端的前侧，两个输送辊35分别通过轴承连接在第一护板31和第二护板32端部，输送带34设置在输送辊35外侧，利用第一护板31和第二护板32来对两个输送辊35进行支撑，同时利用输送电机33转动部带动一侧的输送辊35进行转动，通过输送辊35的转动来带动输送带34进行同步转动；

清洗机构4包括升降丝杠41、清洗箱42、超声波振头43，升降丝杠41通过轴承连接在机箱6内部前后两侧且位于联动螺杆13另一端，清洗箱42通过螺纹连接在升降丝杠41外侧，超声波振头43设置在清洗箱42内部斜面上，升降丝杠41上端与联动螺杆13另一端通过锥形齿轮连接，利用联动螺杆13另一端的锥形齿轮来带动升降丝杠41进行转动，通过升降丝杠41的转动来带动清洗箱42后端向下移动，通过清洗箱42斜面上的超声波振头43来对晶圆盒进行清洗处理；

联动螺杆13与机箱6通过轴承连接，联动电机11与机箱6通过螺栓连接，支撑架12与联动螺杆13通过螺纹连接，利用联动电机11转动部带动联动螺杆13进行转动，通过联动螺杆13的转动来带动支撑架12进行两侧移动，从而来带动吸附碗24上的晶圆盒移动到吹扫风机15上侧进行吹扫；

夹持架21与支撑架12通过螺栓连接，夹持臂22与夹持架21转动连接，夹持气缸23固定部与夹持架21通过螺栓连接，利用支撑架12来带动夹持架21进行两侧移动，通过夹持臂22的转动来将晶圆盒进行夹持固定；机箱6顶部开设有送气方孔，过滤箱5与机箱6顶部通过螺栓连接，正压风机7与过滤箱5通过螺栓连接，利用正压风机7将外界的空气通过过滤箱5送入到机箱6内，通过过滤箱5来对空气进行过滤；夹持气缸23伸缩部设置有滑动架，夹持臂22上端设置在夹持气缸23伸缩部的滑动架内侧，利用夹持气缸23伸缩部的伸长和缩短来带动夹持臂22在夹持架21下端进行翻转动作；

输送带34外侧设置有弧形橡胶支撑座，利用输送带34外侧的弧形橡胶支撑座来对晶圆盒进行固定；

固定架14与机箱6通过螺栓连接，吹扫风机15与固定架14通过螺栓连接，利用固定架14来对吹扫风机15进行支撑，同时利用吹扫风机15来对清洗前和清洗后的晶圆盒进行吹扫；

吸附碗24与夹持臂22固定连接，真空发生器25与吸附碗24连接，利用真空发生器25进行抽气使吸附碗24(吸附碗24内表面具有若干气孔)内产出负压，通过吸附碗24来将晶圆盒的两端进行吸附固定。

工作原理：首先将需要清洗的晶圆盒放在输送带34外侧的弧形橡胶支撑座上，此时输送电机33转动部带动其后端的输送辊35进行转动，通过输送辊35的转动来带动输送带34向机箱6内进行转动，此时晶圆盒随着输送带34的转动进入到机箱6内部，同时机箱6顶部的过滤箱5和正压风机7启动，通过正压风机7将外界的空气吹送到过滤箱5内部，通过过滤箱5内的过滤板来对空气进行过滤，经过过滤后的空气不断的涌入到机箱6内部，使得机箱6内的气压要高于外界气压，从而保证晶圆盒在机箱6内部打开后不会造成二次污染；当晶圆盒移动到两个吸附碗24之间时，夹持气缸23伸缩部的滑动架带动夹持臂22上端向上移动，此时夹持臂22下端的两个吸附碗24分部紧紧贴合在晶圆盒的盒盖和盒体上，同时真空发生器25开始将吸附碗24内的空气抽出，从而将两个吸附碗24吸附在盒体和盒盖上，随后夹持气缸23伸缩部推动滑动架向下移动，从而夹持臂22下端以夹持架21和夹持臂22连接位置为中心向外侧上方翻转，通过吸附碗24的吸附来将晶圆盒的盒体和盒盖打开，然后联动电机11转动部带动联动螺杆13进行转动，通过联动螺杆13的转动来带动支撑架12和夹持机构2向第一护板31方向移动，在支撑架12带动夹持机构2水平移动过程中，通过机箱6内部前后两侧的吹扫风机15来对晶圆盒打开后的盒体和盒盖内部进行吹扫，从而去除部分的灰尘等污染物，在夹持机构2的水平移动过程中，联动螺杆13另一端和升降丝杠41上端通过锥形齿传动，清洗箱42在升降丝杠41的转动下向下侧移动，当夹持机构2移动到联动螺杆13的另一侧时，清洗箱42位于吸附碗24的下侧，此时夹持气缸23伸缩部开始进行缩短，使得吸附碗24上的晶圆盒的盒体和盒盖均沉浸在清洗箱42内部，此时利用清洗箱42斜面上的超声波振头43来对盒体和盒盖进行清理，当晶圆盒清理结束后，夹持气缸23伸缩部向下伸出，使得盒体和盒盖保持水平开口朝下状态，此后联动电机11转动带动联动螺杆13进行反向转动，通过联动螺杆13的反向转动来带动支撑架12和夹持机构2向一侧移动，在这个移动过程中，吹扫风机15开始对清洗后的晶圆盒盒体和盒盖进行吹扫，从而将清洗后的水分吹干；当夹持机构2移动到初始位置时，夹持气缸23伸缩部的滑动架向上移动，然后夹持臂22下端向中间位置靠拢，从而将吸附碗24吸附的盒体和盒盖重新扣紧，从而放置在输送带34弧形橡胶支撑座上，继而完成对晶圆盒的清洗处理。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。