一种基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片

文档序号:1873999 发布日期:2021-11-23 浏览:34次 >En<

阅读说明:本技术 一种基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片 (Pressure detection system optical chip based on gold nanoparticles ) 是由 邢飞 韩雪 田敬坤 姬广民 于 2021-07-12 设计创作,主要内容包括:本发明公开了一种基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片。该光学芯片是由石英玻璃/金纳米颗粒/微流体通道组成的多层膜耦合结构。其中所述的金纳米颗粒是通过等离子体溅射仪在石英玻璃上溅射制备的,能够自主控制溅射时间,从而可自主控制金纳米颗粒间的间隙。所述微流体通道介质层在与金纳米颗粒紧贴的一面具有微流体通道。通过本发明所提供的基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片,能够实现对压力的变化进行实时监控,另一方面,由于金纳米颗粒对偏振光的依赖特性,提高了压力探测系统的灵敏度,能够检测小压力的变化,成功提供一个高灵敏度、超快速响应的压力探测系统。(The invention discloses an optical chip of a pressure detection system based on gold nanoparticles. The optical chip is a multilayer film coupling structure consisting of quartz glass/gold nanoparticles/microfluidic channels. The gold nanoparticles are prepared by sputtering on quartz glass through a plasma sputtering instrument, and the sputtering time can be controlled autonomously, so that the gaps among the gold nanoparticles can be controlled autonomously. The microfluidic channel medium layer is provided with a microfluidic channel on one surface clinging to the gold nanoparticles. The optical chip of the pressure detection system based on the gold nanoparticles can realize real-time monitoring on the pressure change, and on the other hand, the gold nanoparticles have the dependence on polarized light, so that the sensitivity of the pressure detection system is improved, the change of small pressure can be detected, and the pressure detection system with high sensitivity and ultra-fast response is successfully provided.)

一种基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片

技术领域

本技术涉及压力探测、压力传感领域,具体涉及一种基于金纳米颗粒的压力探测系统。

背景技术

压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天等众多行业。在使用压力传感器的时候,有几种无法避免的误差,比如偏移量误差、灵敏度误差、线性误差、滞后误差等。这些误差是压力传感器无法避免的,只能选择高精度的生产设备,利用最新的技术来降低这些误差。

微流体技术是指在微观尺寸下控制、操作和检测复杂流体的技术,是在微电子、微机械、生物工程和纳米技术基础上发展起来的一门全新交叉学科。随着生物芯片技术的发展,微流体技术作为生物芯片的一项关键支撑技术也得到了人们越来越多的关注。与微电子技术不同,微流体技术不强调减小器件的尺寸,它着重于构建微流体通道系统来实现各种复杂的微流体操纵功能。微流控芯片具有强大的集成性,能够同时并行处理大量不同样本,具备分析快、耗能少、污染低等特性。本发明中将金纳米颗粒与微流控技术相结合来实现对压力的实时探测。

发明内容

本发明提供了一种基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片,旨在能够提供一个高灵敏度、超快速响应的压力探测系统。

为实现上述目的,本发明首先提出了一种基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片。所述光学芯片由直角棱镜粘贴多层膜耦合结构组成,所述的多层膜耦合结构是由石英玻璃/金纳米颗粒/微流体通道介质层组成。

上述光学芯片中,所述金纳米颗粒高度为6 ~ 8nm,所述石英玻璃的大小为20mm*20mm,厚度为1-1.5mm,所述直角棱镜为等腰直角三棱镜,微流体通道的材料为聚二甲基硅氧烷。

上述基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片的制备方法包括以下步骤:

1)首先配置酒精、异丙醇和丙酮的混合溶液,然后将石英玻璃放入超声波清洗机进行清洗;

2)在石英玻璃上溅射金纳米颗粒制备样品;

3)使用已有的模具制备带有图案的微流体通道;

4)将石英玻璃上溅射的金纳米颗粒按照微流体通道图案的形状、大小进行擦除,将擦出好的带有金纳米颗粒的石英玻璃放入等离子体进行清洗,然后与带有图案的微流体通道键合;

5)将石英玻璃另一面与三棱镜进行粘合,形成所述的基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片。

上述步骤2)使用等离子体溅射仪在石英玻璃上溅射金纳米颗粒制备样品;上述步骤2)使用等离子体溅射仪进行制备样品,能够自主控制溅射时间,从而可自主控制金纳米颗粒间的间隙;上述步骤3)微流体通道使用有机硅弹性体基底和有机硅弹性体固化剂混合得到预聚物,然后倒入模具中,固化后即可得到上述微流体通道。

全内反射又称为全反射,其定义为当一束光由光密介质射入光疏介质时,入射角θ1大于临界角θC时就会发生全反射现象,即折射光线消失,入射光线全部发生反射。发生全反射时,透射光强为零,但是光强将透入到光疏介质内很短一段距离,并沿着交界面传播一段很短的距离,再回到光密介质中,这个穿入到光疏介质中的波叫做倏逝波。由于倏逝波沿介质交界面传播故也称其为表面波。

在上述多层膜耦合结构中,金纳米颗粒夹在高折射率的介质1(石英玻璃)和低折射率的介质2(微流体通道中的流体)的界面处构成三层膜的结构。在全反射条件下,金纳米颗粒对光吸收存在偏振依赖特性,即对s偏振光有很大的吸收,对p偏振光吸收很小。当固定介质1的折射率时,改变介质2的折射率,反射光的能量随介质2的变化而变化,基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片对介质2折射率变化敏感,能够实现对介质2折射率变化的传感,因此能够实现对压力变化的传感。

利用上述基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片,本发明提供了一种对压力检测的装置,包括半导体激光器、偏振片、四分之一波片、显微镜物镜、压力探测系统光学芯片、偏振分光棱镜、衰减片、光阑、平衡探测器和电脑,所述半导体激光器出射波长为532nm的激光,入射到所述的偏振片、四分之一波片,被调整成为圆偏光;圆偏光在经过所述的显微物镜进行聚焦,然后入射到所述的压力探测系统光学芯片内进行全内反射;经过全内反射后的光经过所述的偏振分光棱镜被分为p,s偏振光;然后p,s偏振光被所述的平衡探测器接收,最后在所述的电脑上以电压的形式显示。

利用上述装置对流体流速进行检测的步骤包括:

1)将压力探测系统光学芯片的进水端和出水端分别插上导管,使流体能够通过光学芯片;

2)调节激光器、偏振片、四分之一波片和显微镜物镜,获得稳定的圆偏光进入所述压力探测系统光学芯片,并在多层膜耦合结构处发生全内反射;

3)记录平衡检测器检测到的p,s偏振光的光功率信号,两种偏振光的光功率之差以电压信号的方式呈现出来;

4)将针管与进水端导管连接,出水端使用封口器封上,用手推动针管以改变光学芯片内部流体压力大小,从而得到与压力变化相关的变化曲线;

5)改变压力大小,重复步骤4)得到多组实验结果。

有益效果

通过本发明所提供的基于金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片,能够实现对压力的变化进行实时监控,另一方面,由于金纳米颗粒对偏振光的依赖特性,提高了压力探测系统的灵敏度,能够检测小压力的变化,成功提供一个高灵敏度、超快速响应的压力探测系统。

附图说明

图1金纳米颗粒的压力探测系统光学芯片图。

图2金纳米颗粒的压力探测系统光路图。

图3电压随压力变化实验结果图。

具体实施方式

本发明的实施例提供了一种基于金纳米颗粒的压力探测系统的装置,该装置包括:

图1是该探测系统的光学芯片图,其中包括101等腰直角三棱镜,102聚二甲基硅氧烷,103金纳米颗粒,104微流体通道,105进液管,106出液管。

本装置的具体实施步骤如下:

1、 在石英玻璃上溅射金纳米颗粒制备样品

首先,清洗石英玻璃;选取合适大小的玻璃片,这里选取20mm*20mm大小,厚度为0.05mm的石英玻璃;配置酒精、异丙醇和丙酮的混合溶液,将配置好的混合溶液放在烧杯中,然后放入超声机中进行超声清洗25分钟,清洗完后用超纯水清洗干净,然后使用惰性气体冲干净石英玻璃表面的超纯水,得到干净的石英玻璃片;然后进行样品制备;将清洗好的石英玻璃放入等离子体溅射仪中,设置好需要的时间,打开电机抽真空,待到合适的放电电流时,开始溅射,得到整片的金纳米颗粒样品。

2、 制备微流体通道

将有机硅弹性体基底和有机硅弹性体固化剂按照10:1的比例进行混合得到聚二甲基硅氧烷预聚物,将得到的预聚物倒入带有图案的模具中,然后在干燥箱60℃的条件下固化2小时,以此得到带有图案的微流体通道,按照实验要求选取合适图案的微通道分别在入口处和出口处进行打孔待用。

3、 制备光学芯片

将金纳米颗粒样品按照微通道的图案进行图案化;首先按照微通道的大小、尺寸和形状,在整片的金纳米颗粒石英玻璃上用无尘布进行擦除,擦出一个大小、形状完全符合的形状,然后将擦好的石英玻璃和微通道放入等离子体机中进行清洗,在功率18W的条件下,清洗2分钟,然后将带有图案的微通道与带有金纳米颗粒那一面的石英玻璃进行键合,可达到永久键合,然后分别在微通道的入口处和出口处插入直径约为0.5mm的导管,即可获得依次为石英玻璃/金纳米颗粒/微流体通道介质层的三层膜耦合结构,如图1所示,然后将该三层膜结构用与跟棱镜、石英玻璃折射率相同的匹配液与直角棱镜进行粘合,即获得由石英玻璃/金纳米颗粒/微流体通道介质层的多层膜耦合而成的光学芯片,包括101等腰直角三棱镜,102聚二甲基硅氧烷,103金纳米颗粒,104微流体通道,105进液管,106出液管。

4、 压力探测系统的装置

以上光学芯片用于组装压力探测系统的装置,如图2所示,装置包括201半导体激光器、202偏振片、203四分之一波片、204显微镜物镜、205压力探测系统光学芯片、206偏振分光棱镜、207反光镜、208衰减片、209光阑、210平衡探测器和211电脑,配置的半导体激光器出射波长为532nm的激光,入射到偏振片、四分之一波片,被调整成为圆偏光;圆偏光在经过显微物镜进行聚焦,然后入射到压力探测系统光学芯片内进行全内反射;经过全内反射后的光经过偏振分光棱镜被分为p,s偏振光;然后p,s偏振光被平衡探测器接收,最后在电脑上以电压的形式显示,从而将光信号转化为电信号。

由此装置可以通过获得的实时的电压信息得到压力的信息,具体步骤为:

1)首先调节激光器、偏振片、四分之一波片和显微镜物镜,获得稳定的圆偏光进入所述压力探测系统光学芯片,并在多层膜耦合结构处发生全内反射;

2)记录平衡检测器检测到的p,s偏振光的光功率信号,两种偏振光的光功率之差以电压信号的方式呈现出来;

3)将针管与进水端导管连接,出水端使用封口器封上,用手推动针管以改变光学芯片内部流体压力大小,从而得到与压力变化相关的变化曲线,如图3所示;

4)改变压力大小,重复步骤4)得到多组实验结果。

从图3可以看出,系统能够实时监测微流体通道内流体压力的变化,并且对压力变化敏感,能够感知较小压力的变化。

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