具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供了一种多腔室TFT光电稳定性测试设备，包括：腔室测试主体，腔室测试主体包括箱体1，箱体1底部设置有托板12，托板12上设置有变温台11，箱体1侧面开设有长条形通孔，通孔内相对滑动的设置有机械手3。

箱体1为一个塑料箱体或者金属箱体，托板12为一块塑料板，托板12中间位置是一个变温台11，变温台11与加热控制模块2和低温控制柜电连接，变温台11、加热控制模块2和低温控制柜与现有的TFT光电稳定性测试设备使用的变温台11、加热控制模块2和低温控制柜相同，本申请未对其进行创新，且连接关系和控制关系也采用现有的TFT光电稳定性测试设备所使用的方法，本申请也未对连接关系和控制关系进行创新，变温台11的尺寸可以选择6*6cm的。长条形的通孔内设置有第二滑块，第二滑块上贯穿有机械手3，机械手3为一个导管，一段位于箱体1外，可以连接气管，另一端位于箱体1内，连接在一个无底的长方体盒子上，当气管连接在真空泵上时，可以用无底的长方体盒子吸住TFT测试样片，用于样片的前后左右移动。

箱体1上壁设置有观察窗，观察窗为一个通孔，观察窗上设置有遮光密封盖4，遮光密封盖4为一个金属或者塑料盖。上下料时采用机械手3真空吸附的方式，吸住样片通过机械手3来实现样片的前后左右四个方向的移动，把样片上的待测区域移动到变温台11等测试位置。

箱体1上方还设置有显微观察系统，显微观察系统包括：轨道8，轨道8上设置有滑块7，滑块7上设置有显微镜6，显微镜6正下方设置有显微观察窗5，显微观察窗5位于变温台11正上方。轨道8为一个金属轨道8，轨道8上设置有金属滑块7，金属滑块7可以由气动升降装置带动其运动100mm左右，气动升降装置采用现有技术。显微镜6为市场上现有的显微镜6，选购时选择可以连接显示器进行显示的型号的显微镜6，显微观察窗5最简单的情况可以使用一块有机玻璃。

轨道8设置于支架9上，支架9为金属架，支架9上还通过连杆连接有显示器，显微镜6和显示器电连接，显微镜6上带有用于手动调节的粗准焦螺旋和细准焦螺旋。

腔室测试主体包括若干个，若干个腔室测试主体都设置于桌面上，桌面上还设置有支架9。桌面下方设置有加热控制模块2，加热控制模块2与腔室测试主体相连接。腔室测试主体还连接有低温控制柜。

腔室测试主体还连接有测试仪表，测试仪表选用Keithley2636B型测试仪表，具体连接关系和使用方法参照仪表说明书。

本装置可以完成对TFT片的完整高低温环境的电性能测试，使用方便；本装置可以手动调节测试样片10前后左右位置，探针在显微镜6观察下手动对位PAD位置，探针快速接触/分离，加盖密封盖，防止测试时候有外界光的干扰；本装置的显微镜6配有100mm气动升降，在测试过程中可以对样片进行观察监控，使用效果好。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。