一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪

文档序号:1935283 发布日期:2021-12-07 浏览:19次 >En<

阅读说明:本技术 一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪 (Connecting component for spectrum sensing system and spectrometer ) 是由 叶鑫 唐烽 李波 郑万国 吴卫东 杨李茗 李青芝 邵婷 邓青华 吴之清 石兆华 于 2020-06-03 设计创作,主要内容包括:本发明涉及一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪。所述连接部件包括:阵列式布设在基底的上表面的多个纳米结构单元;每个纳米结构单元对应一个设定谐振波长值;每个纳米结构单元均由多个圆形环组成;多个圆形环为同心圆环;每个圆形环由多个相同纳米结构按圆周方向均匀排布而成,所有纳米结构单元的焦距均相等。本发明设置了多个纳米结构,通过根据不同波长的光设置每个纳米结构的相位,使每个纳米结构单元的焦距相等以实现不同波长的光聚焦在一个平面上,使面阵探测器能够准确的测量光强分布,以解决分光光学系统所产生的衍射串扰问题,实现光谱传感系统及光谱仪的高效集成化。(The invention relates to a connecting part used in a spectrum sensing system and a spectrometer. The connecting member includes: a plurality of nanostructure units arranged on the upper surface of the substrate in an array manner; each nanostructure unit corresponds to a set resonance wavelength value; each nanostructure element is composed of a plurality of circular rings; the plurality of circular rings are concentric circular rings; each circular ring is formed by uniformly arranging a plurality of same nano structures in the circumferential direction, and the focal lengths of all the nano structure units are equal. The invention sets a plurality of nano structures, and sets the phase of each nano structure according to light with different wavelengths, so that the focal length of each nano structure unit is equal to realize that light with different wavelengths focuses on a plane, and the area array detector can accurately measure light intensity distribution, thereby solving the problem of diffraction crosstalk generated by a light splitting optical system and realizing the high-efficiency integration of a spectrum sensing system and a spectrometer.)

一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪

技术领域

本发明涉及光谱测量领域,特别是涉及一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪。

背景技术

分光系统与面阵探测器之间采用粘胶连接时,由于阵列单元的衍射在面阵探测器上出现衍射圆环,导致相邻区域对光的探测会出现串扰。阵列单元和面阵探测器之间采用单个透镜连接时,由于透镜色散特性的存在,单个透镜导致不同波长的光聚焦不在一个平面上,面阵探测器上不同的波长的光聚焦后由于焦距不同导致其焦斑大小不一致,相邻光斑之间互相影响,使得面阵探测器对光强的探测结果不准确。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪,以提高面阵探测器对光强分布测量的准确性。

为实现上述目的,本发明提供了如下方案:

一种用于光谱传感系统中的连接部件,包括:阵列式布设在基底的上表面的多个纳米结构单元;每个所述纳米结构单元对应一个设定谐振波长值;每个所述纳米结构单元均由多个圆形环组成;多个所述圆形环为同心圆环;每个所述圆形环由多个相同的纳米结构按圆周方向均匀排布而成,每个所述纳米结构的相位和半径根据所述纳米结构所在圆形环的半径确定;所有所述纳米结构单元的焦距均相等。

可选的,每个所述纳米结构的相位与所述纳米结构所在的圆形环的半径满足公式,其中,φ(r,λ)表示纳米结构的相位,取值范围为0-2π,r表示所述纳米结构所在圆形环的半径,f为纳米结构单元的焦距,λ为设定谐振波长值,表示环心处的相位。

可选的,所述圆形环的半径为:

ri=i*(ri-ri-1),

其中ri表示沿径向向外计数第i个圆形环的半径,r0=0,i表示从环心沿径向向外计算圆形环所在的圈数。

可选的,所述纳米结构的横坐标为:纵坐标为其中,ri表示沿径向向外计数第i个圆形环的半径,N表示同一圆形环中纳米结构的个数,所述纳米结构设置的坐标原点为环心,j表示同一圆形环中纳米结构的编号。

可选的,所述纳米结构的形状为方形柱状。

可选的,所述纳米结构的高小于等于λ/(n1-1),所述纳米结构的长大于0.1λ,所述纳米结构的宽小于0.5λ,其中λ为设定谐振波长值,n1为纳米结构所用材料的折射率。

可选的,所述圆形环中的两个相邻纳米结构的间距小于其中λ为设定谐振波长值,n为纳米结构单元所处环境的折射率,α为纳米结构单元的孔径角。

可选的,每个所述圆形环中纳米结构的个数为取整值;所述取整值为对进行向下取整后得到的值,ri表示沿径向向外计数第i个圆形环的半径,T表示圆形环中的两个相邻纳米结构的间距。

一种光谱仪,包括:分光系统、面阵探测器和上述所述的连接部件;所述连接部件的上表面设置所述分光系统,所述连接部件的下表面设置所述面阵探测器。

可选的,所述分光系统包括阵列式布设在支撑件上表面的多个超原子单元,每个所述超原子单元对应一个设定谐振波长值,所述超原子单元由多个相同的超原子组成;所述超原子单元用于使设定谐振波长的光透过;所述连接部件中的每个纳米结构单元与所述超原子单元一一对应,且对应的纳米结构单元用于将透过的所述设定谐振波长的光聚焦。

根据本发明提供的具体实施例,本发明公开了以下技术效果:本发明设置了多个纳米结构单元,所述纳米结构单元包括多个纳米结构,通过根据不同波长的光设置每个纳米结构的相位,使每个纳米结构单元的焦距相等以实现不同波长的光聚焦在一个平面上,使面阵探测器能够准确的测量光强分布。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例1光谱传感系统中的连接部件中的纳米结构单元的结构示意图;

图2为本发明实施例1中方形纳米结构形状示意图;

图3为本发明实施例1中纳米结构单元的孔径角的示意图;

图4为本发明实施例2光谱仪的结构示意图;

图5为现有技术中面阵探测器上相邻测试区域光强发生串扰的原理示意图;

图6为现有技术中单个透镜导致不同波长的光聚焦不在一个平面上的原理示意图。

符号说明:

1-基底、2-纳米结构单元、3-圆形环、4-纳米结构、5-方形柱状纳米结构的宽、6-方形柱状纳米结构的高、7-方形柱状纳米结构的长、8-孔径角、100-分光系统、101-超原子单元、102-支撑架、110-连接部件、120-面阵探测器、121-粘胶、122-衍射圆环、123-单个透镜。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种用于光谱传感系统中的连接部件及光谱仪。本发明设置了多个纳米结构单元,所述纳米结构单元包括多个纳米结构,通过根据不同波长的光设置每个纳米结构的相位,使每个纳米结构单元的焦距相等以实现不同波长的光聚焦在一个平面上,使面阵探测器能够准确的测量光强分布,以解决分光光学系统所产生的衍射串扰问题,实现光谱传感系统及光谱仪的高效集成化。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

实施例1

如图1所示,用于光谱传感系统中的连接部件,包括:阵列式布设在基底1的上表面的多个纳米结构单元2;每个所述纳米结构单元2对应一个设定谐振波长值;每个所述纳米结构单元2均由多个圆形环3组成;多个所述圆形环3为同心圆环;每个所述圆形环3由多个相同的纳米结构4按圆周方向均匀排布而成,每个所述纳米结构4的相位和半径根据所述纳米结构4所在圆形环3的半径确定;所有所述纳米结构单元2的焦距均相等。

可选的,每个所述纳米结构的相位与所述纳米结构所在的圆形环的半径满足公式,其中,表示计算得出的每个纳米结构的相位,φ(r,λ)表示选取的纳米结构的相位,取值范围为0-2π,r表示所述纳米结构所在圆形环的半径,f为纳米结构单元的焦距,λ为设定谐振波长值,表示环心处的相位,其中公式的作用是将圆环中纳米结构的相位限定在0-2π范围内。

所述圆形环3的半径满足公式:

ri=i*(ri-ri-1),

其中ri表示沿径向向外计数第i个圆形环3的半径,r0=0,i表示从环心沿径向向外计算圆形环3所在的圈数。

所述纳米结构4的横坐标满足公式:纵坐标为其中,ri表示沿径向向外计数第i个圆形环3的半径,N表示同一圆形环3中纳米结构4的个数,所述纳米结构4设置的坐标原点为环心,j表示同一圆形环3中的纳米结构4的编号,以x正半轴上纳米结构为0号,即j=0,按逆时针方向给同一圆形环中纳米结构进行编号。

每个所述圆形环3中纳米结构4的个数为取整值;所述取整值为对进行向下取整后得到的值,ri表示沿径向向外计数第i个圆形环3的半径,T表示圆形环3中的两个相邻纳米结构4的间距。

如图2所示,所述纳米结构的形状可以为方形柱状。

通过对方形柱状纳米结构的宽5、方形柱状纳米结构的高6和方形柱状纳米结构的长7进行调节,继而调节光通过方形柱状纳米结构后产生的相位延迟。所述方形柱状纳米结构的高6小于等于λ/(n1-1),所述方形柱状纳米结构的长7大于0.1λ,所述方形柱状纳米结构的宽5小于0.5λ,其中λ为设定谐振波长值,n1为纳米结构所用材料的折射率。所述圆形环中的两个相邻的方形柱状纳米结构的间距(两个相邻的方形柱状纳米结构的中心之间的距离)小于其中λ为设定谐振波长值,NA为纳米结构单元的数值孔径。NA=n sin(α/2),其中,n为纳米结构单元所处环境的折射率,α为纳米结构单元的孔径角8,如图3所示。

关于纳米结构的设计:

共设计m个纳米结构作为备选纳米结构。在0到2π的相位范围内选取m个相位间距为的纳米结构,m个纳米结构所产生的相位延迟分别为 第s个纳米结构的相位延迟为s=1,2,…m。

基于电磁仿真设计理论,如时域有限差分方法、有限元法等均可,设置圆形环中的两个相邻纳米结构之间的间距为T,以单个纳米结构为单元进行仿真计算,获得不同尺寸下纳米结构产生的相位延迟和透过率情况。当透过率高于70%时,固定参数高,改变宽和长,得到第s个方形纳米柱状结构的相位为其中s=1,2,…,m。

所述s满足公式其中,表示对x向下取整(例如),<x>表示对x四舍五入(例如<1.55>=2),s=1,2,…,m,m表示备选的纳米结构的个数,r表示圆形环的半径,f表示所述纳米结构单元的焦距,λ表示所述谐振波长值,表示纳米结构单元中心的相位。

透镜之所以有聚焦功能就是由于照射到透镜平面上不同位置的光到最后焦点处产生的相位延迟是相同的。我们设计纳米结构的目的就是想要产生不同的相位延迟,达到调节空间不同位置上的光的相位延迟目的,以实现等焦距聚焦。

实施例2

如图4所示,一种光谱仪包括:分光系统100、面阵探测器120和上述所述的连接部件110;所有的纳米结构单元2的焦距等于连接部件110到面阵探测器120的距离。所述连接部件110的上表面设置所述分光系统100,所述连接部件110的下表面设置所述面阵探测器120。面阵探测器可以是CCD、CMOS或其他可以探测平面不同位置光场强度的仪器。

分光系统100、连接部件110和面阵探测器120之间的距离满足成像公式:f为纳米结构单元的焦距、u为分光系统与连接部件的物距,v为连接部件与面阵探测器的像距,面阵探测器能够准确的测量分光系统表面的光强分布。

所述分光系统100包括阵列式布设在支撑件102上表面的多个超原子单元101,每个所述超原子单元101对应一个设定谐振波长值,所述超原子单元101由多个相同的超原子组成。所述超原子单元101用于使设定谐振波长的光透过率与非设定谐振波长的光透过率不同,达到分光的效果。超原子单元101之间的距离大于10倍波长。所述连接部件110中的每个纳米结构单元2与所述超原子单元一一对应,且对应的纳米结构单元用于将透过的所述设定谐振波长的光聚焦。例如:超原子单元101所对应的设定谐振波长值分别为λ1、λ2、λ3、λ4...λN。设定谐振波长值为λ1的超原子单元101对应纳米结构单元F1,谐振波长为λ2的超原子单元101对应纳米结构单元F2,设定谐振波长值为λN的超原子单元101对应纳米结构单元FN。F1到FN针对各自对应的设定谐振波长值λ1到λN的焦距相同。

如图5所示,分光系统100与面阵探测器120之间采用粘胶121连接时,由于超原子单元的衍射在面阵探测器上出现衍射圆环122,且相邻区域对光的探测会出现串扰。

如图6所示,超原子单元101和面阵探测器120之间采用单个透镜123连接时,由于透镜色散特性的存在,单一的透镜很难对宽波段实现消色差,导致不同波长的光(λ1、λ2、λ3、λ4)聚焦不在一个平面上,不利于面阵探测器120上光强探测。

本实施例的基本原理如下:

每个超原子单元对一个设定谐振波长值λi,针对该设定谐振波长值λi设计具有焦距为f的纳米结构单元,纳米结构单元的面积和超原子单元的面积相同,且一一对应。本实施例在分光系统与面阵探测器之间采用针对不同波长的等焦距纳米结构单元,解决分光系统对光的衍射导致面阵探测器上相邻区域测试光强发生串扰的问题,使每个超原子单元所对应的设定谐振波长值的光通过对应的纳米结构单元以后被聚焦在面阵探测器的表面。如此既解决了超原子单元之间的衍射问题,又解决了单个透镜连接方式带来的焦距不一致的问题。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处,各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述,本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

11页详细技术资料下载
上一篇:一种医用注射器针头装配设备
下一篇:基于多维度调节的微型光谱仪

网友询问留言

已有0条留言

还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!

精彩留言,会给你点赞!